JP2005044903A - 積層セラミック電子部品の外部電極形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】外部電極と積層体の同時焼成におけるクラック発生防止のための積層セラミック電子部品の外部電極形成方法を提供する。
【解決手段】焼成により内部導体となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、得られた積層体を加熱して該積層体中のバインダーを除去する工程と、外部電極形成用のスラリー中へ、前記バインダーを除去した積層体を浸漬して該積層体の端面に前記スラリー中において該スラリーの固形分を着肉させる工程と、前記積層体を前記スラリーから引き上げたのち、前記着肉したスラリー固形分を乾燥させる工程と、前記スラリー固形分を乾燥させた積層体を焼成し、焼成済み積層体に前記内部導体と電気的に接合された外部電極を形成する工程と、を備える。
【選択図】 なし
【解決手段】焼成により内部導体となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、得られた積層体を加熱して該積層体中のバインダーを除去する工程と、外部電極形成用のスラリー中へ、前記バインダーを除去した積層体を浸漬して該積層体の端面に前記スラリー中において該スラリーの固形分を着肉させる工程と、前記積層体を前記スラリーから引き上げたのち、前記着肉したスラリー固形分を乾燥させる工程と、前記スラリー固形分を乾燥させた積層体を焼成し、焼成済み積層体に前記内部導体と電気的に接合された外部電極を形成する工程と、を備える。
【選択図】 なし
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミック電子部品の外部電極の形成方法、特に積層セラミックコンデンサの外部電極の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、セラミック電子部品、たとえば積層セラミックコンデンサの外部電極形成方法としては、外部電極ペースト中に積層体を浸漬した後、ペースト中から引き上げて積層体の端面にペースト層を形成し、ペースト層を乾燥させた後、積層体と同時焼成する方法(特許文献1参照)や、積層体をペースト槽に浸漬した状態で、該積層体を水平に移動させた後で引き上げ、ペースト層を形成し乾燥させた後、焼成する方法(特許文献2参照)等が既に多数提案されている。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−15736号公報
【特許文献2】
特許第2934029号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法で外部電極ペーストを塗布した場合、図1の積層セラミックコンデンサ1の断面図に示すように、外部電極のエッジ部14の厚みは、端面部16や側面部18の厚みと比較して薄くなり、外部電極8,9にクラック10が発生しやすくなる。なお、図1に示す積層セラミックコンデンサにおいて、2は積層体、3はセラミック層、4および5は内部電極層を表す。
【0005】
また、前記クラック10の発生を防止するため、エッジ部14の厚みを厚くすると、端面部16や側面部18の厚みもさらに厚くなる。外部電極と積層体を同時焼成する際に、外部電極が該積層体よりも低い温度で体積収縮することから、端面部16や側面部18が厚い外部電極形状の場合、積層体にかかる応力が大きくなり、図1に示すような積層体にクラック12が発生するという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、外部電極と積層体の同時焼成におけるクラック発生防止のため、外部電極厚みをより均一化できる積層セラミック電子部品の外部電極形成方法を提供しようとすることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法は、焼成により内部導体となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、得られた積層体を加熱して該積層体中のバインダーを除去する工程と、
外部電極形成用のスラリー中へ、前記バインダーを除去した積層体を浸漬して該積層体の端面に前記スラリー中において該スラリーの固形分を着肉させる工程と、
前記積層体を前記スラリーから引き上げたのち、着肉したスラリー固形分を乾燥させる工程と、
前記スラリー固形分を乾燥させた積層体を焼成し、焼成済み積層体に前記内部導体と電気的に接続された外部電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【0008】
また、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法において、外部電極用スラリーの粘度が1.0Pa・s以下であることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法についての実施の形態を実施例に基づき説明する。
【0010】
(実施例1)
(1)脱バインダー済み積層体の作製
まず、内部導体層となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着して積層体とした。この積層体を所定の大きさにカットし、該積層体の端面より内部導体を露出させた積層体を作製した。
【0011】
次に、この積層体を大気中230℃で5時間熱処理することにより、積層体中のバインダー除去を行った。この熱処理により、積層体中に含まれる有機成分含有率は10wt%から3wt%へ低下した。また、バインダー除去後の積層体について、直径0.01〜10μmの開気孔の体積含有率(開気孔率)を水銀ポロシメーターにより測定したところ、55%であった。さらに、開気孔の平均径は0.4μmであった。
【0012】
(2)外部電極形成用スラリーの作製
10重量部のチタン酸バリウムを表面に被覆した平均粒径が1.0μmのニッケル粉末100重量部に対して、平均粒径0.3μmのチタン酸バリウムが10重量部と、純水が50重量部と、バインダー成分として固形分比率が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョンが10重量部と、分散剤としてポリカルボン酸アンモニウムが0.6重量部と、をボールミルにて5時間、分散混合した。上述の操作により、粘度が0.2Pa・sの外部電極形成用スラリーを得た。
【0013】
このスラリーの粘度経時変化の有無を確認するため、ボールミルでの混合後、7日間静置した後に再度ボールミルにて30分間、スラリーを分散させた。再分散後の前記スラリーの粘度を測定したところ、静置前と同じ0.2Pa・sであった。以上の結果から、本実施例で作製した前記スラリーは、再分散しやすく粘度の経時変化もしにくいことを確認した。
【0014】
(3)バインダー除去済み積層体へのスラリー固形分の着肉
以上の方法で作製した外部電極形成用スラリーを充填したスラリー槽に、バインダー除去済みの積層体を0.5mm/秒の速度で、内部電極露出端面を下にして、垂直に降下させ、外部電極に相当する寸法分1.0mmを浸漬させた。この状態で5秒間保持することで、前記積層体の開気孔を含む浸漬部分に前記スラリーの固形分を着肉させた。この後、前記スラリー固形分を着肉させた積層体を再度0.5mm/秒の速度で垂直に引き上げた。
【0015】
以上の操作により前記スラリー固形分を着肉させた積層体を120℃で30分間乾燥させた後で、積層体のもう一方の端面へも同様に、スラリー固形分の着肉、および乾燥を行った。このスラリー固形分の着肉工程において、スラリー中の導体粉末やセラミック粉末の沈降分離を防止するため、スラリー槽中のスラリーを2分経過毎に1回の割合で攪拌した。
【0016】
(4)積層体と着肉したスラリー固形分の同時焼成
次に、着肉したスラリー固形分を乾燥させた積層体を還元雰囲気中1300℃で1時間焼成することにより、積層体とスラリー固形分を同時焼成し、外部電極が形成された積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。
【0017】
(5)評価
以上の操作により形成した外部電極の各部分の厚みについて表1に示す。外部電極の厚みは、各部分についてチップ10個を測定した値である。
【0018】
【表1】
【0019】
図1を参照して外部電極のエッジ部14の膜厚は17〜25μm、端面部16の膜厚は20〜25μm、側面部18の膜厚は25〜30μmであった。また、外部電極と積層体を同時焼成したチップの断面を鏡面研磨し顕微鏡観察したところ、外部電極および積層体にクラック等の構造欠陥は見られなかった。
【0020】
(比較例)
(1)脱バインダー済み積層体の作製
実施例1と同様に内部導体層となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着して積層体とした。該積層体を所定の大きさにカットし、この積層体の端面より内部導体を露出させた積層体を作製した。次に実施例1と同様にバインダーを除去した。
【0021】
(2)外部電極形成用スラリーの作製
平均粒径が2.0μmのニッケル粉末100重量部に対して、平均粒径1.0μmのセラミック原料粉末20重量部を混合した。有機ビヒクルとして、テルピネオールが100重量部に対してエチルセルロースが10重量部になるように溶解した。その後、固形分(ニッケル粉末及びセラミック原料粉末)が60重量%となるように有機ビヒクルを添加して粘度20Pa・sの外部電極形成用スラリーを作製した。
【0022】
(3)バインダー除去済み積層体へのスラリー付着
以上の方法で作製した外部電極形成用スラリーを充填したスラリー槽に、バインダー除去済みの積層体を、内部電極露出端面を下にして、垂直に降下させ、外部電極に相当する寸法分を浸漬させた。この後、積層体を垂直に引き上げて、端面にスラリーを付着させた。以上の操作により前記スラリーを付着させた積層体を120℃で10分間乾燥させた後で、積層体のもう一方の端面へも同様に、前記スラリーの付着、および乾燥を行った。
【0023】
(4)積層体とスラリー固形分の同時焼成
前記の乾燥済み積層体について、実施例1と同様の方法で、積層体と付着したスラリー固形分を同時焼成し、積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。
【0024】
(5)評価
以上の操作により形成した外部電極の各部分の厚みについて表1に示す。前記外部電極の厚みは、各部分についてチップ10個を測定した値である。
【0025】
以上の比較例の方法で作製したチップの外部電極厚みは、エッジ部14が15〜20μm、端面部16が42〜50μm、側面部18が48〜60μmであった。また、比較例のチップについて、外部電極と積層体を同時焼成したものの断面を鏡面研磨し顕微鏡観察した結果、外部電極の端部を起点として、積層体内部にクラック12が発生しているのが確認された。
【0026】
前記の比較例および実施例1の結果から、本発明の方法で薄く均一な外部電極を作製することで、図2に示すような外部電極に発生するクラック10や積層体中に発生するクラック12を防止できることが確認できた。
【0027】
また、本発明はバインダー除去後の有機成分の含有率を3wt%として評価したが、この含有率については、本発明の効果を発現するためには3wt%に限定しない。たとえば、積層体を不活性雰囲気中900℃で処理することにより、有機成分の含有率を0%としながらも、バインダー除去後の加工に耐えうる強度をもつ積層体を作製することが可能であった。なお、この場合、積層体は吸水しやすいため、外部電極形成用スラリー中への浸漬時間を実施例1の1/5程度に短縮することにより、実施例1とほぼ同一の膜厚の外部電極を作製することができた。
【0028】
また、外部電極形成用スラリーを構成する粉体の粒径、あるいはバインダーの種類や添加量に依存して前記スラリーの粘度が変化するが、該スラリーの粘度が1.0Pa・sを超えると該スラリーから生チップを引き上げた際に、積層体表面に、着肉したスラリー固形分に加えて、スラリー自体が残りやすく、外部電極厚みが変動しやすいことが確認できた。
(実施例2)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0029】
次に、20重量部のチタン酸バリウム(平均粒径0.3μm)、100重量部のNi粉末(平均粒径1.0μm)、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョンが10重量部、および分散剤としてアクリルコポリマー1.0重量部を5時間混合した。この操作により、粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0030】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層コンデンサを作製した。実施例2においても実施例1と同様に効果があることを確認した。実施例2の評価結果を表1に示す。
(実施例3)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0031】
次に、2重量部のNiを無電解めっきにより被覆した20重量部のチタン酸バリウム(平均粒径0.3μm)、98重量部のNi粉末、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョン10重量部、および分散剤としてアクリルコポリマー1.0重量部を5時間混合した。この操作で粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0032】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層.コンデンサを作製した。
【0033】
実施例3においても、実施例1と同様の効果があることを確認した。実施例3の評価結果を表1に示す。
(実施例4)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0034】
次に、100重量部のNi粉末(平均粒径が1.0μm)に対して、20重量部のジルコニア(平均粒径0.3μm)、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョン10重量部、分散剤としてポリカルボン酸アンモニウム0.6重量部を5時間混合した。
【0035】
この操作で粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0036】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層コンデンサを作製した。
【0037】
実施例4においても、実施例1と同様な効果があることを確認した。実施例4の評価結果を表1に示す。
(実施例5)
実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。なお、積層体の作製に際しては、セラミック粉末の粒径、および脱バインダー温度を変化させて、開気孔の平均径と開気孔率が異なる積層体(試料)を得た。
【0038】
続いて、実施例1と同様の方法により、金属粉末を含有した外部電極形成用スラリーを用いて、積層体へスラリー固形分を着肉させ、焼成することにより積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。ただし、積層体へのスラリー固形分を着肉させる際の積層体のスラリーへの浸漬時間は表2に示すとおりとした。
【0039】
次に、得られた積層セラミックコンデンサについて、外部電極の各部分の厚み、積層体中および外部電極エッジ部のクラック有無について評価した。その結果を表2に示す。
【0040】
【表2】
【0041】
表2から明らかなように、外部電極および積層体にクラックが発生せず、焼成前の積層体の開気孔の平均径としては、少なくとも、0.01〜10μmの範囲が好ましいことが確認できた。
【0042】
また、開気孔率が10〜70%の範囲において、外部電極および積層体中にクラックが発生しておらず、焼成前の積層体の開気孔率としては、少なくとも、10〜70vol%の範囲が好ましいことが確認できた。
【0043】
上記した実施例1から5では、外部電極形成用スラリーの溶媒として水を使用した例を示したが、溶媒としてはトルエンやアルコール等の有機溶媒を使用することでも同様の効果が得られる。
【0044】
また、実施例1から5では内部導体材料としてニッケルを使用した積層セラミックコンデンサへの適用例を示したが、銅やAg/Pd等の金属粉末を内部導体材料として用いても同様の効果がある。
【0045】
また、上記した実施例1から5では外部電極用スラリーとして金属粉末とセラミック粉末を共に含有する場合について述べたが、前記スラリーが金属粉末のみを含有する場合であっても同様の効果が得られる。
【0046】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法を用いれば、積層体の端面における外部電極厚みを均一化し、該外部電極厚みが起因となって発生する積層体中や外部電極中のクラックの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】積層セラミック電子部品としての積層セラミックコンデンサの断面図であり、外部電極における各部分の名称と、従来技術にて形成された外部電極に起因するクラックの一例を示す。
【符号の説明】
1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 セラミック層
4、5 内部電極層
6、7 積層体の端面
8、9 外部電極
10 外部電極エッジ部のクラック
12 外部電極端部を起点とする積層体中のクラック
14 エッジ部
16 端面部
18 側面部
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミック電子部品の外部電極の形成方法、特に積層セラミックコンデンサの外部電極の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、セラミック電子部品、たとえば積層セラミックコンデンサの外部電極形成方法としては、外部電極ペースト中に積層体を浸漬した後、ペースト中から引き上げて積層体の端面にペースト層を形成し、ペースト層を乾燥させた後、積層体と同時焼成する方法(特許文献1参照)や、積層体をペースト槽に浸漬した状態で、該積層体を水平に移動させた後で引き上げ、ペースト層を形成し乾燥させた後、焼成する方法(特許文献2参照)等が既に多数提案されている。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−15736号公報
【特許文献2】
特許第2934029号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法で外部電極ペーストを塗布した場合、図1の積層セラミックコンデンサ1の断面図に示すように、外部電極のエッジ部14の厚みは、端面部16や側面部18の厚みと比較して薄くなり、外部電極8,9にクラック10が発生しやすくなる。なお、図1に示す積層セラミックコンデンサにおいて、2は積層体、3はセラミック層、4および5は内部電極層を表す。
【0005】
また、前記クラック10の発生を防止するため、エッジ部14の厚みを厚くすると、端面部16や側面部18の厚みもさらに厚くなる。外部電極と積層体を同時焼成する際に、外部電極が該積層体よりも低い温度で体積収縮することから、端面部16や側面部18が厚い外部電極形状の場合、積層体にかかる応力が大きくなり、図1に示すような積層体にクラック12が発生するという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、外部電極と積層体の同時焼成におけるクラック発生防止のため、外部電極厚みをより均一化できる積層セラミック電子部品の外部電極形成方法を提供しようとすることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法は、焼成により内部導体となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、得られた積層体を加熱して該積層体中のバインダーを除去する工程と、
外部電極形成用のスラリー中へ、前記バインダーを除去した積層体を浸漬して該積層体の端面に前記スラリー中において該スラリーの固形分を着肉させる工程と、
前記積層体を前記スラリーから引き上げたのち、着肉したスラリー固形分を乾燥させる工程と、
前記スラリー固形分を乾燥させた積層体を焼成し、焼成済み積層体に前記内部導体と電気的に接続された外部電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【0008】
また、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法において、外部電極用スラリーの粘度が1.0Pa・s以下であることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法についての実施の形態を実施例に基づき説明する。
【0010】
(実施例1)
(1)脱バインダー済み積層体の作製
まず、内部導体層となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着して積層体とした。この積層体を所定の大きさにカットし、該積層体の端面より内部導体を露出させた積層体を作製した。
【0011】
次に、この積層体を大気中230℃で5時間熱処理することにより、積層体中のバインダー除去を行った。この熱処理により、積層体中に含まれる有機成分含有率は10wt%から3wt%へ低下した。また、バインダー除去後の積層体について、直径0.01〜10μmの開気孔の体積含有率(開気孔率)を水銀ポロシメーターにより測定したところ、55%であった。さらに、開気孔の平均径は0.4μmであった。
【0012】
(2)外部電極形成用スラリーの作製
10重量部のチタン酸バリウムを表面に被覆した平均粒径が1.0μmのニッケル粉末100重量部に対して、平均粒径0.3μmのチタン酸バリウムが10重量部と、純水が50重量部と、バインダー成分として固形分比率が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョンが10重量部と、分散剤としてポリカルボン酸アンモニウムが0.6重量部と、をボールミルにて5時間、分散混合した。上述の操作により、粘度が0.2Pa・sの外部電極形成用スラリーを得た。
【0013】
このスラリーの粘度経時変化の有無を確認するため、ボールミルでの混合後、7日間静置した後に再度ボールミルにて30分間、スラリーを分散させた。再分散後の前記スラリーの粘度を測定したところ、静置前と同じ0.2Pa・sであった。以上の結果から、本実施例で作製した前記スラリーは、再分散しやすく粘度の経時変化もしにくいことを確認した。
【0014】
(3)バインダー除去済み積層体へのスラリー固形分の着肉
以上の方法で作製した外部電極形成用スラリーを充填したスラリー槽に、バインダー除去済みの積層体を0.5mm/秒の速度で、内部電極露出端面を下にして、垂直に降下させ、外部電極に相当する寸法分1.0mmを浸漬させた。この状態で5秒間保持することで、前記積層体の開気孔を含む浸漬部分に前記スラリーの固形分を着肉させた。この後、前記スラリー固形分を着肉させた積層体を再度0.5mm/秒の速度で垂直に引き上げた。
【0015】
以上の操作により前記スラリー固形分を着肉させた積層体を120℃で30分間乾燥させた後で、積層体のもう一方の端面へも同様に、スラリー固形分の着肉、および乾燥を行った。このスラリー固形分の着肉工程において、スラリー中の導体粉末やセラミック粉末の沈降分離を防止するため、スラリー槽中のスラリーを2分経過毎に1回の割合で攪拌した。
【0016】
(4)積層体と着肉したスラリー固形分の同時焼成
次に、着肉したスラリー固形分を乾燥させた積層体を還元雰囲気中1300℃で1時間焼成することにより、積層体とスラリー固形分を同時焼成し、外部電極が形成された積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。
【0017】
(5)評価
以上の操作により形成した外部電極の各部分の厚みについて表1に示す。外部電極の厚みは、各部分についてチップ10個を測定した値である。
【0018】
【表1】
【0019】
図1を参照して外部電極のエッジ部14の膜厚は17〜25μm、端面部16の膜厚は20〜25μm、側面部18の膜厚は25〜30μmであった。また、外部電極と積層体を同時焼成したチップの断面を鏡面研磨し顕微鏡観察したところ、外部電極および積層体にクラック等の構造欠陥は見られなかった。
【0020】
(比較例)
(1)脱バインダー済み積層体の作製
実施例1と同様に内部導体層となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着して積層体とした。該積層体を所定の大きさにカットし、この積層体の端面より内部導体を露出させた積層体を作製した。次に実施例1と同様にバインダーを除去した。
【0021】
(2)外部電極形成用スラリーの作製
平均粒径が2.0μmのニッケル粉末100重量部に対して、平均粒径1.0μmのセラミック原料粉末20重量部を混合した。有機ビヒクルとして、テルピネオールが100重量部に対してエチルセルロースが10重量部になるように溶解した。その後、固形分(ニッケル粉末及びセラミック原料粉末)が60重量%となるように有機ビヒクルを添加して粘度20Pa・sの外部電極形成用スラリーを作製した。
【0022】
(3)バインダー除去済み積層体へのスラリー付着
以上の方法で作製した外部電極形成用スラリーを充填したスラリー槽に、バインダー除去済みの積層体を、内部電極露出端面を下にして、垂直に降下させ、外部電極に相当する寸法分を浸漬させた。この後、積層体を垂直に引き上げて、端面にスラリーを付着させた。以上の操作により前記スラリーを付着させた積層体を120℃で10分間乾燥させた後で、積層体のもう一方の端面へも同様に、前記スラリーの付着、および乾燥を行った。
【0023】
(4)積層体とスラリー固形分の同時焼成
前記の乾燥済み積層体について、実施例1と同様の方法で、積層体と付着したスラリー固形分を同時焼成し、積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。
【0024】
(5)評価
以上の操作により形成した外部電極の各部分の厚みについて表1に示す。前記外部電極の厚みは、各部分についてチップ10個を測定した値である。
【0025】
以上の比較例の方法で作製したチップの外部電極厚みは、エッジ部14が15〜20μm、端面部16が42〜50μm、側面部18が48〜60μmであった。また、比較例のチップについて、外部電極と積層体を同時焼成したものの断面を鏡面研磨し顕微鏡観察した結果、外部電極の端部を起点として、積層体内部にクラック12が発生しているのが確認された。
【0026】
前記の比較例および実施例1の結果から、本発明の方法で薄く均一な外部電極を作製することで、図2に示すような外部電極に発生するクラック10や積層体中に発生するクラック12を防止できることが確認できた。
【0027】
また、本発明はバインダー除去後の有機成分の含有率を3wt%として評価したが、この含有率については、本発明の効果を発現するためには3wt%に限定しない。たとえば、積層体を不活性雰囲気中900℃で処理することにより、有機成分の含有率を0%としながらも、バインダー除去後の加工に耐えうる強度をもつ積層体を作製することが可能であった。なお、この場合、積層体は吸水しやすいため、外部電極形成用スラリー中への浸漬時間を実施例1の1/5程度に短縮することにより、実施例1とほぼ同一の膜厚の外部電極を作製することができた。
【0028】
また、外部電極形成用スラリーを構成する粉体の粒径、あるいはバインダーの種類や添加量に依存して前記スラリーの粘度が変化するが、該スラリーの粘度が1.0Pa・sを超えると該スラリーから生チップを引き上げた際に、積層体表面に、着肉したスラリー固形分に加えて、スラリー自体が残りやすく、外部電極厚みが変動しやすいことが確認できた。
(実施例2)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0029】
次に、20重量部のチタン酸バリウム(平均粒径0.3μm)、100重量部のNi粉末(平均粒径1.0μm)、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョンが10重量部、および分散剤としてアクリルコポリマー1.0重量部を5時間混合した。この操作により、粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0030】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層コンデンサを作製した。実施例2においても実施例1と同様に効果があることを確認した。実施例2の評価結果を表1に示す。
(実施例3)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0031】
次に、2重量部のNiを無電解めっきにより被覆した20重量部のチタン酸バリウム(平均粒径0.3μm)、98重量部のNi粉末、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョン10重量部、および分散剤としてアクリルコポリマー1.0重量部を5時間混合した。この操作で粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0032】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層.コンデンサを作製した。
【0033】
実施例3においても、実施例1と同様の効果があることを確認した。実施例3の評価結果を表1に示す。
(実施例4)
まず、実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。
【0034】
次に、100重量部のNi粉末(平均粒径が1.0μm)に対して、20重量部のジルコニア(平均粒径0.3μm)、50重量部の純水、バインダー成分として固形分が50wt%であるポリ酢酸ビニルエマルジョン10重量部、分散剤としてポリカルボン酸アンモニウム0.6重量部を5時間混合した。
【0035】
この操作で粘度が0.3Pa・sの外部電極形成用スラリーを調整した。
【0036】
次に、前記スラリーを用いて、実施例1と同様の方法で外部電極を形成し、チップ型積層コンデンサを作製した。
【0037】
実施例4においても、実施例1と同様な効果があることを確認した。実施例4の評価結果を表1に示す。
(実施例5)
実施例1と同様の方法で、積層体の作製とバインダー除去を行った試料を準備した。なお、積層体の作製に際しては、セラミック粉末の粒径、および脱バインダー温度を変化させて、開気孔の平均径と開気孔率が異なる積層体(試料)を得た。
【0038】
続いて、実施例1と同様の方法により、金属粉末を含有した外部電極形成用スラリーを用いて、積層体へスラリー固形分を着肉させ、焼成することにより積層セラミックコンデンサ(チップ)を作製した。ただし、積層体へのスラリー固形分を着肉させる際の積層体のスラリーへの浸漬時間は表2に示すとおりとした。
【0039】
次に、得られた積層セラミックコンデンサについて、外部電極の各部分の厚み、積層体中および外部電極エッジ部のクラック有無について評価した。その結果を表2に示す。
【0040】
【表2】
【0041】
表2から明らかなように、外部電極および積層体にクラックが発生せず、焼成前の積層体の開気孔の平均径としては、少なくとも、0.01〜10μmの範囲が好ましいことが確認できた。
【0042】
また、開気孔率が10〜70%の範囲において、外部電極および積層体中にクラックが発生しておらず、焼成前の積層体の開気孔率としては、少なくとも、10〜70vol%の範囲が好ましいことが確認できた。
【0043】
上記した実施例1から5では、外部電極形成用スラリーの溶媒として水を使用した例を示したが、溶媒としてはトルエンやアルコール等の有機溶媒を使用することでも同様の効果が得られる。
【0044】
また、実施例1から5では内部導体材料としてニッケルを使用した積層セラミックコンデンサへの適用例を示したが、銅やAg/Pd等の金属粉末を内部導体材料として用いても同様の効果がある。
【0045】
また、上記した実施例1から5では外部電極用スラリーとして金属粉末とセラミック粉末を共に含有する場合について述べたが、前記スラリーが金属粉末のみを含有する場合であっても同様の効果が得られる。
【0046】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法を用いれば、積層体の端面における外部電極厚みを均一化し、該外部電極厚みが起因となって発生する積層体中や外部電極中のクラックの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】積層セラミック電子部品としての積層セラミックコンデンサの断面図であり、外部電極における各部分の名称と、従来技術にて形成された外部電極に起因するクラックの一例を示す。
【符号の説明】
1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 セラミック層
4、5 内部電極層
6、7 積層体の端面
8、9 外部電極
10 外部電極エッジ部のクラック
12 外部電極端部を起点とする積層体中のクラック
14 エッジ部
16 端面部
18 側面部
Claims (2)
- 焼成により内部導体となるべき層を形成したセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、得られた積層体を加熱して該積層体中のバインダーを除去する工程と、
外部電極形成用のスラリー中へ、前記バインダーを除去した積層体を浸漬して該積層体の端面に前記スラリー中において該スラリーの固形分を着肉させる工程と、
前記積層体を前記スラリーから引き上げたのち、着肉したスラリー固形分を乾燥させる工程と、
前記スラリー固形分を乾燥させた積層体を焼成し、焼成済み積層体に前記内部導体と電気的に接続された外部電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする、積層セラミック電子部品の外部電極形成方法。 - 外部電極形成用スラリーの粘度が1.0Pa・s以下であることを特徴とする、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の外部電極形成方法。
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