JP2005039138A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 しきい値を大きく変化させることができ、且つ設定したしきい値を長期間にわたって保持できるようにすること。
【解決手段】 チャネル領域の上面に、ボトム絶縁層14と、電子蓄積層15A,15B,15Cの間に中間絶縁層16A,16Bを介挿させサンドイッチ構造とした超格子構造の層と、トップ絶縁層17と、ゲート電極18とを順次積層する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電子を蓄積するトラップ準位を深くすることにより、電子がトラップ準位から漏れ出ることを抑制した不揮発性半導体記憶装置に関するものである。
従来知られている不揮発性半導体記憶装置としての電子蓄積型不揮発性メモリの動作について説明する。電子蓄積型不揮発性メモリとしては、浮遊ゲートに電子を蓄積するEEPROM(フラッシュメモリ)が良く知られている。また、次世代のメモリとして、窒化シリコン(Si34)を電子蓄積層として用いるSONOS(Semiconductor-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor)型不揮発性メモリが注目を集めている。
浮遊ゲート型フラッシュメモリおよびSONOS型不揮発性メモリは、電子蓄積層に電子を注入することにより電界効果型トランジスタのしきい値電圧を変化・設定し、これにより、ゲート(ワード線)に電圧を印加したとき電流が流れるか流れないかで当該メモリに書き込まれたデータを判定する。
図7は、浮遊ゲートに電子を注入することによりしきい値を設定した浮遊ゲート型フラッシュメモリのメモリセルのしきい値分布を示している。ワード線の電圧が0Vの時に、しきい値(データ)が“1”の状態であればメモリセルに電流が流れ、”0”の状態であれば電流が流れない。このように、電流が流れるか流れないかにより、“1”と“0”のデータを区別している。したがって、この場合は1個のメモリセルは1ビットのデータを記憶しているといえる。次に、1個のメモリセルに2ビットのデータを記憶した場合のメモリセルのしきい値分布を図8に示す。“11”,“10”,“01”,“00”の4つのデータに対応したしきい値分布を示していることがわかる。
さて、上記のフラッシュメモリやSONOS型不揮発性メモリの場合では、設定したしきい値の値は、永遠に変化しないわけではなく、時間と共に徐々に電子がトンネル効果により漏れ出て変化してしまうことが知られている(非特許文献1)
ここで、SONOS型不揮発性メモリを例に取り、詳しく説明する。図9は、前記したSONOS型不揮発性メモリの断面図である。p型シリコン基板(p−Si)21に形成するソース22,ドレイン23の間のチャネル領域の上面に、酸化シリコン(SiO2)からなるボトム絶縁層24を2nm、そのボトム絶縁層24の上面に窒化シリコン(Si34)からなる電子蓄積層25を10nm、その電子蓄積層25の上面にSiO2からなるトップ絶縁層26を4nmそれぞれ積層し、そのトップ絶縁層26の上面にn型ポリシリコンからなるゲート電極27を積層したものである(たとえば、特許文献1)。
ウイリアム D ブラウン、ジョー E ブレワー著、「不揮発性半導体メモリ技術」、IEEE出版、321頁、1998年(Nonvolatile Semiconductor Memory Technology,edited by William.D.Brown and Joe.E.Brewer,IEEE press(1998),page 321) 特開平11−40682号公報
図10は、図9のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造を示したものである。電子蓄積層25には、トップ絶縁層26との境界側においてシリコンのダングリングボンドに起因する深いトラップ準位(Si34の伝導帯から2.2eVの位置)が存在するが、ボトム絶縁層24との境界側においては境界を持たないバルクの性質に起因する浅いトラップ準位(Si34の伝導帯から0.8eVの位置)が存在する。この場合に、深いトラップ準位を形成する境界は電子蓄積層25とトップ絶縁層26との境界の1つしかなく、電子を蓄積する深いトラップ準位の数を多くできない。従って、しきい値の値を大きく変化させることができない。このため、多値化への応用を考えたときに、1セル内において記録できる状態の数(しきい値の数)をあまり多くできないという問題があった。
また、ボトム絶縁層24の膜厚が2nmしか無いために、トンネル効果により漏れ電流が生じてしまい、しきい値が時間と共に変化することが知られている。図11は、しきい値が時間と共に変化する一例を示している。当初1Vであったしきい値電圧と−1Vであったしきい値電圧が、ほぼ108秒が経過すると0Vになって、しきい値電圧が区別できなくなっている。このように、従来のSONOS型不揮発性メモリはしきい値電圧が時間経過によって変動し、データの保持時間が短くなってしまうという問題もあった。
本発明の目的は、しきい値を大きく変化させることができ、且つ設定したしきい値を長期間にわたって保持できるようにした不揮発性半導体記憶装置を提供することにある。
請求項1にかかる発明は、チャネル領域の上面にボトム絶縁層、電子蓄積層、トップ絶縁層、およびゲート電極が順次積層されたゲート構造をもつ不揮発性半導体記憶装置において、前記電子蓄積層を、前記ボトム絶縁層の上側と前記トップ絶縁層の下側が電子蓄積層となるように電子蓄積層と中間絶縁層を交互に積層してなる超格子構造の層に代えたことを特徴とする。
請求項2にかかる発明は、チャネル領域の上面にボトム絶縁層、電子蓄積層、トップ絶縁層、およびゲート電極が順次積層されたゲート構造をもつ不揮発性半導体記憶装置において、前記電子蓄積層を窒化シリコン化合物で構成し、該窒化シリコン化合物を化学量論組成よりもシリコンリッチな組成としたことを特徴とする。
請求項3にかかる発明は、請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置おいて、前記電子蓄積層として、Si34、SiON、又はA123を用いることを特徴とする。
請求項4にかかる発明は、請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置おいて、前記電子蓄積層として、Si34またはSiONを用いることを特徴とする。
本発明の不揮発性半導体記憶装置によれば、電子蓄積層の深いトラップ準位の数を多くしあるいはその深いトラップ準位が電子蓄積層の全領域に拡大するので、しきい値を大きく変化させることができて多値メモリに適用できるとともに、電子がそのトラップ準位から漏れ出ることが抑制されデータの保持時間を大幅に延長させることができる。
本発明では、電子蓄積層の部分を、ボトム絶縁層の上側とトップ絶縁層の下側が電子蓄積層となるように電子蓄積層と中間絶縁層を交互に積層してなる超格子構造の層とすることにより、電子を蓄積するトラップ準位を深くするとともにその深いトラップ準位の数を増大させる。あるいは電子蓄積層を窒化シリコン化合物で構成して該窒化シリコン化合物を化学量論的組成よりもシリコンリッチな組成とすることにより、電子を蓄積するトラップ準位を深くするとともに深いトラップ準位を電子蓄積層の全領域に亘るようにする。以下、詳しく説明する。
図1は本発明実施例1のSONOS型不揮発性メモリの構造を示す断面図である。p型シリコン基板(p−Si)11に形成するソース12,ドレイン13の間のチャネル領域の上面に、酸化シリコン(SiO2)からなるボトム絶縁層14を2nm、そのボトム絶縁層14の上面に窒化シリコン(Si34)からなる電子蓄積層15Aを2nm、その電子蓄積層15Aの上面にSiO2からなる中間絶縁層16Aを2nm、その中間絶縁層16Aの上面にSi34からなる電子蓄積層15Bを2nm、その電子蓄積層15Bの上面にSiO2からなる中間絶縁層16Bを2nm、その中間絶縁層16Bの上面にSi34からなる電子蓄積層15Cを2nm、その電子蓄積層15Cの上面にトップ絶縁層17を4nmそれぞれ積層し、そのトップ絶縁層17の上面にn型ポリシリコンからなるゲート電極18を積層したものである。
すなわち、2nmの電子蓄積層15A,15B,15Cのそれぞれの間に2nmの中間絶縁層16A,16Bをそれぞれ介挿させてサンドイッチ構造とし、これにより超格子構造を実現したものである。このため、電子蓄積層の上に絶縁層が存在する境界(深いトラップ準位が生成される境界)は3個存在し(15A−16A,15B−16B,15C−17)、したがって深いトラップ準位の数を多くすることが可能である。このため、しきい値の値を大きく変化させることができ、1個のメモリセルに1ビットのみならず多ビットのデータを書き込むことが可能となり、大容量化を実現できる。図2に図1の構造のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造を示した。各電子蓄積層15A,15B,15Cにおいて深いトラップ準位(Si34の伝導帯から2.2eVの位置)が形成されている。
図5に、本発明実施例1を用いた場合のしきい値と時間の関係を示す。図9に示した従来構造のSONOS型不揮発性メモリでは108秒の経過後に2つのしきい値状態(1V,−1V)の違いが識別できなくなるのに対して、本発明実施例1では時間1016秒が経過するまで、2つのしきい値状態(1V,−1V)の違いが識別できる。よって、図6に示すように、正しくデータを読み出せるデータ保持時間が108倍改善される。
図3は本発明実施例2のSONOS型不揮発性メモリの構造を示す断面図である。前記した実施例1では電子蓄積層の部分を電子蓄積層と中間絶縁層を交互に積層してなる超格子構造の層として深いトラップ準位を実現すると共にその数を増大させたが、実施例2では電子蓄積層19を単層とし、その電子蓄積層19の窒化シリコンを化学量論的組成(Si34)よりもx(x>0)だけシリコンが過剰の組成(Si3+X4)とした。
前記したように、従来の電子蓄積層とその上面に存在するトップ絶縁層との境界では深いトラップ準位が存在するが、これはシリコンのダングリングボンドに起因している。そこで、本実施例2では、電子蓄積層19にシリコンを過剰に供給することによって、シリコンリッチな状態としてシリコンのダングリングボンドを増大させ、深いトラップ準位を生成する。図4に図3の構造のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造を示した。シリコンリッチなSi3+X4からなる電子蓄積層19は、その全領域に亘って深いトラップ準位(Si3+X4の伝導帯から2.2eVの位置)が生成されている。
なお、実施例1では電子蓄積層15A,15B,15CとしてSi34を使用し、中間絶縁層16A,16BとしてSiO2を使用する超格子構造を用いたが、この組み合わせに限られるものではない。例えば、電子蓄積層15A,15B,15Cとして酸化アルミニウム(Al23)あるいは酸化窒化シリコン(SiON)を使用してもよい。また、実施例2では電子蓄積層19としてシリコンリッチなSi3+X4を用いたが、SiONを用いてシリコンリッチなSi1+XONとしてもよい。
実施例1のSONOS型不揮発性メモリの断面図である。 実施例1のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造の説明図である。 実施例2のSONOS型不揮発性メモリの断面図である。 実施例2のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造の説明図である。 実施例1のしきい値の経時変化特性図である。 実施例1と従来例のしきい値の保持時間比較特性図である。 2値のしきい値を有するメモリセルのしきい値分布の説明図である。 4値のしきい値を有するメモリセルのしきい値分布の説明図である。 従来のSONOS型不揮発性メモリの断面図である。 従来のSONOS型不揮発性メモリのバンド構造の説明図である。 従来のSONOS型不揮発性メモリのしきい値の経時変化特性図である。
符号の説明
11:p型シリコン基板
12:ソース
13:ドレイン
14:ボトム絶縁層
15A,15B,15C:電子蓄積層
16A,16B:中間絶縁層
17:トップ絶縁層
18:ゲート電極
19:電子蓄積層

Claims (4)

  1. チャネル領域の上面にボトム絶縁層、電子蓄積層、トップ絶縁層、およびゲート電極が順次積層されたゲート構造をもつ不揮発性半導体記憶装置において、
    前記電子蓄積層を、前記ボトム絶縁層の上側と前記トップ絶縁層の下側が電子蓄積層となるように電子蓄積層と中間絶縁層を交互に積層してなる超格子構造の層に代えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  2. チャネル領域の上面にボトム絶縁層、電子蓄積層、トップ絶縁層、およびゲート電極が順次積層されたゲート構造をもつ不揮発性半導体記憶装置において、
    前記電子蓄積層を窒化シリコン化合物で構成し、該窒化シリコン化合物を化学量論組成よりもシリコンリッチな組成としたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  3. 請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置おいて、
    前記電子蓄積層として、Si34、SiON、またはA123を用いることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  4. 請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置おいて、
    前記電子蓄積層として、Si34またはSiONを用いることを特徴とする不揮発性半導体装置。
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