JP2005026647A - フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トンネル酸化膜12及び第1ポリシリコン膜14が形成された半導体基板10を提供する段階と、前記第1ポリシリコン膜上に緩衝酸化膜及びパッド窒化膜を順次形成する段階と、前記半導体基板内にトレンチを形成する段階と、前記トレンチが埋め込まれるように素子分離膜用酸化膜24を蒸着した後、前記パッド窒化膜をバリアとして用いた平坦化工程を行う段階と、前記パッド窒化膜が除去されると同時に前記緩衝酸化膜が少なくとも50%程度除去されるようにストリップ工程を行う段階と、前処理洗浄工程によって前記緩衝酸化膜を除去する段階と、全体構造上に第2ポリシリコン膜26を蒸着した後、パターニング工程によってパターニングし、第1及び第2ポリシリコン膜からなるフローティングゲートを形成する段階とを含む。
【選択図】図9
Description
12 トンネル酸化膜
14 第1ポリシリコン膜
16 緩衝酸化膜
18 パッド窒化膜
20 トレンチ
22 ウォール酸化膜
24 HDP酸化膜
26 第2ポリシリコン膜
30 フローティングゲート
Claims (5)
- (a)トンネル酸化膜及び第1ポリシリコン膜が形成された半導体基板を提供する段階と、
(b)前記第1ポリシリコン膜上に緩衝酸化膜及びパッド窒化膜を順次形成する段階と、(c)前記半導体基板内にトレンチを形成する段階と、
(d)前記トレンチが埋め込まれるように素子分離膜用酸化膜を蒸着した後、前記パッド窒化膜をバリアとして用いた平坦化工程を行う段階と、
(e)前記パッド窒化膜が除去されると同時に前記緩衝酸化膜が少なくとも50%程度除去されるようにストリップ工程を行う段階と、
(f)前処理洗浄工程によって前記緩衝酸化膜を除去する段階と、
(g)全体構造上に第2ポリシリコン膜を蒸着した後、パターニング工程によってパターニングし、第1及び第2ポリシリコン膜からなるフローティングゲートを形成する段階とを含むフローティングゲート形成方法。 - 前記緩衝酸化膜が30Å〜40Åの厚さに蒸着されることを特徴とする請求項1記載のフローティングゲート形成方法。
- 前記緩衝酸化膜がHTO、TEOS又はDCS−HTOで蒸着されることを特徴とする請求項1記載のフローティングゲート形成方法。
- 前記(c)段階の後、前記トレンチの内部面、前記トンネル酸化膜、前記第1ポリシリコン膜及び前記緩衝酸化膜の内側壁にウォール酸化膜を形成するためのウォール酸化工程が行われる段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のフローティングゲート形成方法。
- 前記ウォール酸化工程が温度800℃〜1000℃の範囲内で行われることを特徴とする請求項4記載のフローティングゲート形成方法。
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