JP2004509776A - ワイヤのこ引き装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、交互運動又は連続運動方式で動くようになっていて、のこ引きされるべき加工物に押し当てられると共に、ワイヤ案内筒体によって支持された少なくとも1つのワイヤ層と、のこ引きされるべき加工物とワイヤ層と切断平面に含まれた切断方向において相対的に前進運動させるよう設けられた第1の手段と、のこ引きされるべき加工物と、ワイヤ層を切断平面に垂直な振動軸線の回りに相対的に振動運動させるよう設けられた第2の手段とを有するワイヤのこ引き装置に関する。
【0002】
この種の装置では、フィラメントが、ワイヤ案内筒体に螺旋に巻きつけられ、2つのワイヤ案内筒体の間に、互いに並行なワイヤから成る少なくとも1つの層を形成し、連続して位置したワイヤ相互間の距離は、スライスの厚さを定める。さらに、1又は複数のワイヤ層の平面は、公知の装置では、全体としてのこ引き方向に垂直な固定された角度をなし、これにより、例えば熱振動に起因して生じるワイヤ層の全体として横方向運動の場合、スライスの表面上にうねり及び縦じわを生じさせる場合がある。これらうねりは、大きさが数μmであっても、或る用途のためのスライス、例えば、半導体業界のシリコンを使用できなくしてしまうという欠点がある。さらに、前後への運動中、方向の反転に起因して荒れが生じる。スライスのユーザは、これらが、次に行なうラップ仕上げ又は修正及び研磨作業を減少させるよう粗いのこ引き表面をできるだけ欠点のないものにしようとする傾向がある。さらに、自由研磨剤の使用中、ワイヤによってピックアップされた研磨剤は、のこ引き経路の長さに沿って摩耗するようになり、それゆえ、のこ引き線の幅が変わることになる。これは結果的に、スライスの厚さにばらつきを生じさせることになる。のこ引きの結果並びに得られる公差は、ワイヤとのこ引きされるべき加工物の間の研磨剤の侵入の度合い並びにのこ引き経路に沿うその摩耗の度合いで決まることになる。研磨材のこの摩耗は、研磨剤の種類及びのこ引き又は係合長さ(これはインゴットの寸法ということになる)で決まることになる。この寸法は、結晶成長技術の進歩により常に増大しているので、この現象は、際立って目立つ傾向がある。研磨剤のこの摩耗は、単位長さ当たり及び単位時間当たりに除去される材料の量で決まることになる。非矩形又は正方形の形をした加工物の切断中、フィラメントの層によってのこ引きされる長さ又は係合長さは、のこ引き深さの関数として変化する。研磨剤の侵入の度合い、それゆえ研磨剤の摩耗はかくして、のこ引き高さの関数として変化し、加工物の形状において、高さの関数である厚さのばらつきを生じさせる。厚さのこのばらつきは、ユーザによって与えられる公差を超えるほど大きい場合がある。
【0003】
ワイヤの層の振動又はのこ引きされるべき加工物の振動が行われる上述した形式のワイヤのこ引き装置は、材料、例えば多結晶シリコン又は単結晶シリコン又は他の材料GaAs、InP、GGG又は石英、合成サファイア、即ちセラミックの薄くされたスライスを得るために、特に、電子部品業界、フェライト業界、石英及びシリカ業界において既に知られている。これら材料は価格が高いので、ワイヤのこ引きは、他の技術、例えばダイヤモンドディスクのこ引きと比較して一層魅力的である。
たとえば図11に示す公知の装置の中には、振動運動をのこ引きされるべき加工物に与えるものがある。
【0004】
しかしながら、この振動運動は常時、固定された回転軸線A回りであり、その位置は、のこ引き装置の機械的構造により一度限りであらかじめ決定される。したがって、この位置は、所望しても変えたり修正することはできない。かくして、このように振動の位置が固定されているので、得られるスライスのうねり及び縦じわを無くすことはできない。さらに、これにより、位置決めが不適切な状態での振動に起因して切断中、別の凹凸が生じる場合がある。
【0005】
本発明の目的は、上述の欠点を解決することにあり、この目的のため、本発明は、第2の手段が、少なくとも1つの有効回転軸線を備えた振動装置及びのこ引きされるべき加工物とワイヤ層を振動軸線の回りに相対的に振動運動させるよう構成された可動部材とを有し、振動軸線の空間位置は、この振動軸線が前記有効回転軸線からプログラム可能且つ調整可能な距離を置いたところに位置するよう調整できると共にプログラムできることを特徴とする。
【0006】
かくして、ワイヤ層と振動軸線の相対位置を用途に応じて調整したり変えることができる。かくして、スライス及びのこ引き加工物の精度が大幅に向上する。得られるスライスの表面状態は、軸線が正確に位置決めされた振動運動により、のこ引き中、研磨及びラップ仕上げ効果を得ることができるとすれば非常に規則正しくなる。のこ引き中、のこ引きされる加工物を、位置が最適な方法で調整してプログラム可能な軸線の回りに振動させることによって得られるラップ仕上げ及び修正作業の重ね合わせによりすべてのうねりの荒れを無くすことができる。さらに、この特定の振動により、のこ引き経路に沿う研磨剤の侵入及びワイヤの除去効果の良好な制御が可能になり、それによりそののこ引き効率が向上する。
【0007】
有利な実施形態では、のこ引きされるべき加工物が固定される支持テーブルを更に有し、振動装置は、支持テーブルに作用するよう構成されている。
変形例として、振動装置は、ワイヤ案内筒体を支持した機械的部材に作用するよう構成されている。
【0008】
好ましい実施形態によれば、振動装置は、切断平面に垂直な回転軸線回りの回転を行う第1の部材と、切断平面に平行な方向への運動を行う第2の部材と、切断方向と一致した方向への並進運動を行う第3の部材とから成る。
これら特性により、非常に高品質ののこ引き製品を確保しながら特に信頼性の高い構成が得られる。
【0009】
別の実施形態によれば、振動装置は、切断平面に垂直な2つの回転軸線回りの回転を行う2つの回転自在な部材と、切断方向と一致した方向への並進運動を行う並進部材とから成る。
この場合も又、追加の実施形態によれば、振動装置は、切断平面に垂直な3つの回転軸線回りの回転を行う3つの回転自在な部材から成る。
【0010】
別の望ましい実施形態は、振動装置が、切断平面に垂直な回転軸線の回りに回動自在に設けられた振子を有し、ワイヤ案内筒体が、切断平面に平行な方向に動くことができる少なくとも1つの支持体に取り付けられ、並進部材が、のこ引きされるべき加工物と上記回転軸線を切断方向に一致した方向に相対運動させるよう設けられていることを特徴とする。
望ましくは、切断装置は、振動装置によって生じた回転運動及び並進運動を制御してこれら生じた運動がその組合せの結果として振動軸線の回りに振動運動を生じさせるようになったプログラム可能な制御ユニットを有し、振動軸線の位置は、プログラムされるようになっている。
【0011】
かくして、制御ユニットは、所定時間内で及び(又は)のこ引き深さの関数として可変振幅及び可変振動数を持つことができる振動運動を生じさせるよう構成されたものであるのがよい。
他の利点は、独立形式の請求項に記載された本発明の特徴及び図面の助けをかりて行われる本発明の以下の例示の詳細な説明から明らかになろう。図面は、2つの実施形態及びその変形例を例示として概略的に示している。
【0012】
図1〜図3に示すワイヤのこ引き装置又は機械は、第1の実施形態を構成している。この装置は、少なくとも2つのワイヤ案内筒体11,12を支持したフレーム10を有し、ワイヤが、少なくとも1つのワイヤ層15を形成するよう案内筒体に螺旋に巻き付けられており、2本の隣り合うワイヤ相互間の距離は、のこ引きスライスの厚さを定める。ワイヤ案内筒体11,12はこの目的上、一般に、層の隣り合うワイヤ相互間の間隔を定めるのど部が彫刻された合成材料の層で被覆されている。ワイヤは、固定研磨剤で覆われ、又は一般に液体中に懸濁状態にある自由に動く研磨剤をワイヤに連続的に供給する。ワイヤはかくして、研磨粒子を担持するのに役立ち、研磨粒子はそれ自体、いわゆるのこ引きゾーン16でのこ引き作業を行う。このワイヤは望ましくは、ばね鋼で構成され、このばね法は、硬質の材料又はより特定の組成物、例えばシリコン、セラミック、III−V族の元素の化合物、GGG(ガドリニウム−ガリウム−ガーネット)、サファイア等のブロックをのこ引きして厚さ約0.5〜5mmの層の状態にするよう0.1〜0.2mmの直径を有している。研磨剤は、市販の製品であり、ワイヤに固定された形態又はスリップ剤中の自由に動くことができる形態のダイヤモンド、炭化珪素、アルミナ等であるのがよい。
【0013】
のこ引きされるべき加工物20は、支持テーブル21上に固定され、この支持テーブルは、制御装置22によってワイヤの層に対してのこ引きされるべき加工物20を運動させることができるようフレームに可動的に取り付けられている。この制御装置22は、ワイヤ案内筒体11,12の軸線に垂直な切断平面YZに含まれた切断方向Zにのこ引きされるべき加工物20とワイヤの層15を相対的に前進させる前進装置19と、のこ引きされるべき加工物20の振動運動を生じさせてこの振動運動の回転軸線Aの位置を調整したり予め定めることができるように構成された振動装置23とを有している。
この制御装置22は、この目的のため、切断方向Zにおいてフレーム10に可動的に取り付けられると共にモータ25によって駆動されるスライダ24を有している。このスライダ24は又、上記前進装置19に相当しており、これはZ方向及び切断平面YZに垂直なX方向に設けられた垂直アーム26に固定されている。
【0014】
主軸線28がXに平行なシャフト27がスライダ24及びアーム26に回動自在に取り付けられている。このシャフト27は、動力駆動式ジャッキ29により2つのレバーを介して作動され、このシャフトは、調節可能な周波数及び振幅で軸線28の回りに角度α回転することができる。
【0015】
支持テーブル21は、並進機構30によってシャフト27に取り付けられている。この並進機構30は、シャフト27に固定された2本のレール31,32を有し、支持テーブル21は、Y方向に摺動自在にこれらレールに取り付けられている。Y方向におけるこの運動は、アクチュエータ33によって制御される。モータ25、ジャッキ29及びアクチュエータ33は、プログラム可能な電子制御ユニット35、例えばコンピュータによって制御される。
かくして、制御装置22及び振動装置23によって得られる振動運動を、方向Y及びZの2つの並進運動と、上記方向Y,Zに垂直であり、切断平面YZを形成する軸線28の回りに角度αの回転運動とに分解でき、この切断平面YZは、切断方向Zを含み、ワイヤの層15の層に平行であってワイヤの層15の平面に垂直である。
【0016】
回転軸線28の回りに角度αだけ回転させると共に振動軸線Aの回りに同一角度α振動させるため、図1〜図3に示す装置について、以下の運動が行われる。なお、振動軸線Aの空間位置は、この振動軸線Aが回転軸線28から所定の距離Z0のところに位置するようにプログラムできる。
上式において、Z0は、回転軸線28と振動点又は振動軸線Aを分離する距離に等しく、Zαは、角度αが0である整列状態の中間位置からZの方向におけるフレーム10に対するスライダ24の移動量に相当し、Yαは、Y方向におけるレール31,32及びシャフト27に対する支持テーブル21の移動量に相当している。
【0017】
かくして、並進運動Yα,Yαは、角度αの関数であり、この角度αが連続して変化する場合、時間の関数である。距離Z0は、機械的回転軸線28と効果的に得られる振動軸線Aとの間の距離によって与えられる装置のプログラム可能且つ調整可能なパラメータである。これは、一定であってもよく、時間の関数として変数であってもよい。振動軸線Aの位置は、図1及び図2に示す実施形態では、のこ引きされるべき加工物20の中心にプログラムされており、この場合、加工物は円筒形である。かくして、一定の距離Z0が得られることになる。図2は、のこ引き装置の互いに異なる構成要素の位置を3つの互いに異なる位置で示しており、振動点又は振動軸線Aの位置は、垂直運動Zαを行うことにより不変のままである。
【0018】
他方、振動軸線Aのこの位置は又、ワイヤ層15上又はワイヤ層から所定の距離を置いたところに位置するようプログラムでき、距離Z0はかくして、時間の関数として且つ切断の進み具合の関数として連続的に減少することになる。
【0019】
図4に示す第1の実施形態の変形例では、機械的要素の組立体全体は、のこ引き装置が互いに平行なワイヤから成る1つの層を備えておらず、互いに直交したワイヤの2つの層15a,15bを有している場合、第1の実施形態と同一である。ワイヤは、これら2つのワイヤ案内筒体11,12にたすき掛けで巻き付けられ、かくして、これら2つのワイヤ案内筒体相互間に、真っ直ぐな線40に沿って交差した2つの層15a,15bを形成している。のこ引き装置は、2つの直交した層15a,15bのワイヤを平行にするのに必要な2つの外部ワイヤ案内筒体41,42を更に有している。かくして、制御装置22及び振動装置23を、振動軸線Aが層15a,15bの互いに直交する真っ直ぐな線40と一致するようプログラムできる。かくして、特に正確且つ迅速な切断が得られる。
【0020】
図5及び図6に示す第2の実施形態は、のこ引きされるべき加工物20の運動及び振動装置53の運動を行わせるために異なる機械的構成の制御装置52を有している。この振動装置は、Zの方向でフレーム10に可動的に取り付けられ、モータ55によって駆動されるスライダ54を更に有している。横方向運動方式のテーブル56が、スライダ54に取り付けられ、このテーブルをモータ57により切断方向Zに垂直であり、ワイヤの層のワイヤに平行なY方向に動かすことができる。このテーブル56は、モータ59によって駆動されて、方向Xに平行であり、方向Y,Zに垂直な回転軸線60の回りに角変位αを行う回転自在なプレート機構58を支持している。
【0021】
回転可能なプレート58は、のこ引きされるべき加工物20が固定された支持テーブル61に固定されている。モータ55,57,59は、制御ユニットによって制御される。のこ引きされるべき加工物の振動運動も又、方向Y,Zの2つの並進運動及び軸線60回りの角度αの回転によって得られる。振動軸線Aの回りの角度αの振動の場合、以下の数学的関係式が、α、Zα、Yα相互間に存在する。
Zα=Z0(1−cosα)
Yα=Z0・sinα
上式において、Z0は、回転軸線60と振動軸線Aを分離する距離に等しく、Zαは、Zの方向におけるフレーム10に対するスライダ54の移動量に相当し、Yαは、Y方向におけるスライダ54に対する支持テーブル61及び回転自在なプレート58の移動量に相当している。
【0022】
図5は、のこ引き装置の種々の構成要素の位置を3つの互いに異なる位置で示しており、振動点又は振動軸線Aの位置は、運動Zαを行うことにより不変のままである。
【0023】
かくして、この第2の実施形態では、のこ引きされるべき加工物20を振動軸線Aの回りに振動運動させることができ、この振動軸線Aの位置は、第1の実施形態と同一のやり方で、且つ振動軸線Aが有効回転軸線60からプログラム可能且つ調整可能な距離Zを置いて位置するようなやり方でプログラムできると共に調整でき且つ予め決定できる。明らかなこととして、この振動装置53を、第1の実施形態及びその変形例と同様、任意の性状、即ち、単一又はたすき掛けのワイヤの層に用いることができる。
【0024】
図7に示す第3の実施形態では、振動装置73は、2種類の並進運動及び1種類の回転運動をもたらすのではなく、2つの有効回転軸線74,75及び切断方向Zにおける並進運動を提供する。かくして、のこ引きされるべき加工物20は、支持テーブル21に取り付けられ、この支持テーブル21は、第1の回転軸線74の回りに回動自在に第2の振動部材又はレバー77に取り付けられた第1の振動部材又はレバー76に固定され、第2の振動部材又はレバー77は、静止フレーム10上に切断方向Zに可動的に設けられたスライダ78に第2の回転軸線75回りに回動自在に取り付けられている。スライダ78及び制御ユニットによって制御されるモータ(図示せず)によって駆動可能なその2つの振動アーム75,77により、加工物を振動軸線Aの回りに振動させることができ、この振動軸線Aの空間位置は、この振動軸線Aが第2の回転軸線75、又はフレーム10上の基準点、例えばスライダ78の案内経路の下限79からプログラム可能且つ調整可能な距離を置いたところに常に位置するよう調整できると共にプログラムできる。
【0025】
のこ引きされるべき加工物の振動がフレーム10に対し静止した振動軸線Aの回りに角度αだけ生じる場合、加工物の運動は以下の法則に従って得られるはずである。
上式において、a,bは、2つのレバー76,77の長さであり、aは、事実、回転軸線74と振動軸線Aとの間のプログラム可能な距離に一致しており、Z0は、長さa+bの合計であり、Zαは、スライダ78によって得られる移動量であり、Bは、回転軸線75回りのレバー77の回転量に相当している。
【0026】
かくして、第2のレバー77が回転軸線75の回りに角度βだけ所与の方向に回転すると、第1のレバー76は、その逆の方向に回転軸線74回りに角度α+βだけ回転し、スライダ78は、下方へ距離Zα移動して振動軸線Aが静止状態を保つようになっている。この実施形態では、距離bは一定であり、振動装置73の機械的構成によって与えられる。他方、距離aは、プログラム可能なパラメータであり、その大きさは、振動軸線Aの所望の位置で決まる。
【0027】
図8に示す第4の実施形態は、3種類の回転を用いることにより本発明を具体化する別の可能性を示しており、これら3種類の回転は、正しく組み合わされると、フレーム上の基準点から所定のプログラム可能且つ調整可能な空間位置のところに位置した振動軸線Aの回りに角度αの回転を可能にする。かくして、のこ引きされるべき加工物20は、支持テーブル21に取り付けられ、この支持テーブル7は、第1の回転軸線87の回りに回動自在に第2のレバー88に取り付けられた第1のレバー86に固定され、第2のレバーは、第2の回転軸線89の回りに回動自在に第3のレバー90に取り付けられ、この第3のレバーは、のこ引き装置のフレームに対して固定された第3の回転軸線91の回りに回動する。
【0028】
かくして、のこ引きされるべき加工物を回転軸線Aの回りに角度α回転させることが望ましい場合、以下の法則にしたがってレバー86,88,90の回転を生じさせるべきである。なお、回転軸線Aの位置は、フレームに対し静止した状態でなければならない。
上式において、Z0は、回転軸線91と振動軸線Aを分離するプログラムされた距離に等しく、a,b,cは、それぞれレバー86,88,90の長さであり、事実、aは、回転軸線87と振動軸線Aとの間のプログラム可能な距離に相当し、α,β,γは、レバー86,88,90が図8の鉛直線に対して取る回転角度に相当している。
【0029】
上述の4つの実施形態では、振動装置は、のこ引きされるべき加工物の支持テーブルを前進させる機構に取り付けられている。これは、図9及び図10に示す第5の実施形態ではそのようになっていない。この第5の実施形態は、振動装置103に取り付けられたワイヤ案内筒体101,102によって支持されたワイヤ層100を有している。この振動装置103は、ピボット110によりのこ引き装置のフレーム105に回動自在に取り付けられた揺動フレーム104を有し、ピボット110の回転軸線は、切断平面YZに垂直である。2つのワイヤガイド筒体101,102はそれぞれ、支持部品106,107に回転自在に取り付けられ、これら支持部品は、連結バー108によって互いに固定された状態で、振動装置のフレーム104上でY方向に運動自在にころ軸受109に取り付けられている。
【0030】
のこ引きされるべき加工物20は、支持テーブル115に固定され、この支持テーブルは、ころ軸受117によってフレーム105に切断方向Zに運動自在に取り付けられたスライダ116に固定されている。ピボット110回りのフレーム104の回転運動は、動力駆動式ジャッキ120によって制御される。Y方向におけるワイヤ案内筒体101,102の並進は、動力駆動式ジャッキ121によって得られ、切断方向Zにおけるのこ引きされるべき加工物20の並進は、モータ122によって得られる。ジャッキ120,121及びモータ122は、制御ユニットによって制御され、この制御ユニットは、Y及びZ方向における並進とピボット110回りの回転の組合せにより、振動軸線Aの回りでの振動運動が生じるようにプログラムでき、振動軸線Aの空間位置は、プログラム可能であり且つ調整可能である。
【0031】
この実施形態では、振動装置103は、ワイヤ案内筒体を支持している機構に取り付けられている。方向Zにおける修正並進は、のこ引きされるべき加工物を支持したスライダ116によって行われる。この並進は当然のことながら、ワイヤ案内筒体101,102を支持した機構とも関連するのがよい。
【0032】
かくして、本発明の目的は一般に、のこ引きされるべき加工物又はワイヤ層に、任意の固定点又は可変点Aの周りにワイヤ層に平行に、作業の要望に応じて選択されたバランス取り又は振動運動を与えることにより、のこ引き装置がのこ引き中、ワイヤ層15に対してなす角度を変化させることができるようにすることにある。これを行うため、例えば方向Z,Yの2種類の並進及び回転αが提供される。3種類の運動は、互いに独立しており、互いに別個独立に行うことができ、或いは選択された振動点又は振動軸線Aを定める機能によって互いに関連づけられた運動を有する。この振動運動により、のこ引き中におけるワイヤの係合長さを減少させることができ、しかも研磨剤の進入具合を向上させることができる。かくして、ワイヤ層に対する独立されるべき加工物の振動運動によるのこ引き経路に沿う研磨剤の更新速度は増大し、それに伴なってのこ引き効率が向上する。すでにのこ引きして得られたスライスの表面の連続通過は、加工物の振動に起因して、スライスの表面に対しラップ仕上げ効果をもたらし、それゆえこれら通路は、表面のうねりや荒れを減少させる。振動軸線Aの位置の選択は例えば、のこ引きされるべき加工物の中心又はのこ引きされるべき加工物とワイヤ層の接触点のところである。後者の場合、振動軸線を支持テーブル21とワイヤ層の相対位置の関数としてプログラムすることが必要であろう。この機能を実行するため、ディジタル制御装置に時間の関数又は支持テーブルの相対位置の関数として座標を導入することにより、選択を例えばディジタル制御装置から電子的に行うことができる。これら運動、即ち1又は複数の種類の回転及び複数の種類の並進は各々、別個独立に作動できるが、選択された振動点又は振動軸線Aに応じて数学的関数によって関連づけることができる。さらに、選択された軸線の回りの回転頻度及び回転の大きさは、支持テーブルの相対位置又は切断前進距離の関数として可変であるのがよい。
【0033】
のこ引きされるべき加工物の精度(これは、半導体用途では非常に重要である)は、のこ引き中のワイヤの位置並びに表面の状態(うねりや荒れ)で決まる。この表面状態は、もし制御されなければ、のこ引き技術全体を損なう場合がある。かくして、この表面状態には、のこ引き中のこれらの欠陥を最小限に抑えることができる万能振動装置が更に必要である。というのは、ばらつきが僅かであっても、その結果としてスライスがその次の手順について不合格となるからである。
【0034】
例えばのこ引きされるべき加工物の漸増サイズに関連した電子用途の要件は、ばらつきがほんの僅かでもこれを無くさなければならないということである。かくして、スライスを連続的にのこ引きするのは十分とは言えず、それよりも、のこ引き中、ラップ仕上げ作業と、可変であり又はのこ引き経路に沿う研磨剤の侵入について更に良好な制御を行って可変ではない所定の点の周りでののこ引きされるべき加工物の振動に起因して生じる修正作業を重ね合わせれば足りる。この運動の回数並びにその大きさは、のこ引き中、前もって決定でき、かくして、のこ引きされるべき加工物の形状の関数であろう。さらに、こののこ引きの仕方は、ワイヤに対し除去効果があり、それによりそののこ引き効率が向上するという利点を有している。
【0035】
かくして、制御装置22を備えたのこ引き装置は、前進運動Zにプログラムされた振動運動を重ね合わせることができ、かくして、用途により特定された任意の点Aの周りでの振動を生じさせることができ、振幅及び振動数がのこ引き中に変化する組立体から成る。この機械的組立体を、電子システム、ディジタルシステム又は他のシステムで制御することができる。この装置を用いることにより、精度が向上した加工物を製造することができる。
【0036】
当然のことながら、上述の実施形態は、非限定的なものであり、これら実施形態は、請求項1に記載された本発明の範囲に属する望ましい改造を施した技術内容であってもよい。特に、のこ引き装置は、3以上の数のワイヤ案内筒体を有していてもよい。並進及び回転運動の制御を、任意の電気的、電磁的、空気式、油圧式手段又は任意他のアクチュエータで行うことができる。振動運動、その振幅及び振動数は、スライスの表面状態を計測する装置の影響を受ける場合がある。のこ引き装置及び振動装置は、任意他の機械的構成のものであってもよい。かくして、第1、第2、第3及び第4の実施形態の振動装置は、のこ引きされるべき加工物が動かない状態のまま、ワイヤ層の振動運動を生じさせるのにも用いることができる。複雑な変形例では、のこ引きされるべき加工物及びワイヤ層に、振動軸線回りの振動運動を同時に又は交互に及ぼすことができ、振動軸線の空間位置は、プログラム可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】
第1の実施形態の側面図である。
【図2】
第1の第1の実施形態を3つの互いに異なる位置で部分的に示す図である。
【図3】
第1の実施形態の機械的実施例の斜視図である。
【図4】
第1の実施形態の変形例の概略側面図である。
【図5】
第2の実施形態を3つの互いに異なる位置で示す図である。
【図6】
第2の第2の実施形態の機械的実施例の斜視図である。
【図7】
図3の実施形態を3つの互いに異なる位置で示す図である。
【図8】
図4の実施形態を3つの互いに異なる位置で示す図である。
【図9】
第5の実施形態を3つの互いに異なる位置で示す図である。
【図10】
この第5の実施形態の機械的実施例の斜視図である。
【図11】
振動運動方式の公知ののこ引き装置を部分的に示す図である。
Claims (13)
- 交互運動又は連続運動方式で動くようになった少なくとも1つのワイヤ層(15)を有し、このワイヤ層が、のこ引きすべき加工物(20)に押し当てられ、ワイヤ案内筒体(11,12)によって支持され、
前記のこ引きすべき加工物(20)と前記ワイヤ層(15)との間で、切断平面(YZ)に含まれる切断方向(Z)において、相対的前進運動を行うように設けられた第1の手段(24)と、
前記のこ引きすべき加工物(20)と前記ワイヤ層(15)との間で、切断平面に対して垂直な振動軸線を中心に相対的な振動運動を行うように設けられた第2の手段(23)とを
有するワイヤのこ引き装置において、
前記第2の手段は、少なくとも1つの有効回転軸線(28)を備えた振動装置(23)と、前記のこ引きすべき加工物(20)とワイヤ層(15)との間で、振動軸線(A)を中心に相対的な振動運動を作り出すように構成された可動部材(24,30)とを有し、前記振動軸線(A)の空間位置は、この振動軸線(A)が前記有効回転軸線(28)からプログラム可能で、調整可能な距離(Z)に配置されるように、調整することができ、プログラムすることができることを特徴とする、
ワイヤのこ引き装置。 - 前記のこ引きすべき加工物(20)が固定される少なくとも1つの支持テーブル(21)を更に有し、前記振動装置(23)が前記支持テーブル(21)に作用するように構成されていることを特徴とする請求項1記載ののこ引き装置。
- 振動装置(103)は、ワイヤ案内筒体(101,102)を支持した機械的部材(104)に作用するよう構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載ののこ引き装置。
- 切断平面(YZ)に垂直な回転軸線(28)回りの回転(α)を行う第1の部材(27)と、切断平面(YZ)に平行な方向への運動を行う第2の部材(30)と、切断方向(Z)と一致した方向への並進運動を行う第3の部材(24)とから成ることを特徴とする請求項2又は3記載ののこ引き装置。
- 第1の部材は、第3の部材(24)に取り付けられた回転自在な要素(27)を有し、第2の部材(30)は、回転自在な要素(27)と、のこ引きされるべき加工物(20)が固定された支持テーブル(21)との間に設けられた摺動要素(31,32)を有していることを特徴とする請求項4記載ののこ引き装置。
- 第2の部材は、第3の部材(54)と第1の部材(58)との間に設けられた摺動要素(56)を有し、第3及び第1の部材は、のこ引きされるべき加工物(20)が固定される支持テーブル(61)に固定された回転自在な要素を有し、前記回転自在な要素は、第2の部材の摺動要素(56)に取り付けられていることを特徴とする請求項4記載ののこ引き装置。
- 第1、第2及び第3の部材(58,56,54)の運動は、以下の方程式によって互いに関連付けられており、
Zα=Z0(1−cosα)
Yα=Z0・sinα
上式において、Z0は、回転自在な要素(58)の回転軸線(60)と得られた振動軸線(A)との間の距離に等しく、αは、回転自在な要素(58)の回転角度であり、Zαは、第3の部材(54)の並進運動に相当し、Yαは、第2の部材(56)の並進運動に相当していることを特徴とする請求項7記載ののこ引き装置。 - 振動装置は、切断平面(YZ)に垂直な2つの回転軸線(74,75)回りの回転(α,β)を行う2つの回転自在な部材(76,77)と、切断方向(Z)と一致した方向への並進運動を行う並進部材(78,79)とから成ることを特徴とする請求項2又は3記載ののこ引き装置。
- 振動装置は、切断平面(YZ)に垂直な3つの回転軸線(87,89,91)回りの回転(α,β,γ)を行う3つの回転自在な部材(86,88,90)から成ることを特徴とする請求項2又は3記載ののこ引き装置。
- 振動装置は、切断平面に垂直な回転軸線(110)の回りに回動自在に設けられた振子(104)を有し、ワイヤ案内筒体(101,102)は、切断平面(YZ)に平行な方向(Y)に動くことができる少なくとも1つの支持体(106,107)に取り付けられ、並進部材(116,117)が、のこ引きされるべき加工物と前記回転軸線(110)を切断方向(Z)に一致した方向に相対運動させるよう設けられていることを特徴とする請求項3記載ののこ引き装置。
- 振動装置によって生じた回転運動及び並進運動を制御してこれら生じた運動がその組合せの結果として振動軸線(A)の回りに振動運動を生じさせるようになったプログラム可能な制御ユニット(35)を有し、振動軸線(A)の位置は、プログラムされるようになっていることを特徴とする請求項1〜11のうちいずれか一に記載ののこ引き装置。
- 制御ユニット(35)は、所定時間内で及び(又は)のこ引き深さの関数として可変振幅及び可変振動数を持つことができる振動運動を生じさせるよう構成されていることを特徴とする請求項11記載ののこ引き装置。
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