JP2004507095A - 発光半導体チップ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、放射を形成するゾーンを備えた活性層と、半導体を活性ゾーンの延在方向において側方で制限する横面および縦面とを有する発光半導体チップに関する。さらに本発明はこの種の半導体チップにより形成されるルミネセンスダイオードに関する。
【0002】
この種の半導体は刊行物 Song Jae Lee & Seok Won Song, ”Efficiency Improvement in Light Emitting Diode Based on Geometrically Deformed Chips”, SPIE Conference on Light Emitting Diodes:Research,Manufacturing and Applications III, San Jose Kaliforinia, Jan.1999, 237頁〜248頁から公知である。ここに記載されている半導体チップの半導体ボディは下方のカバー層、活性層および上方のカバー層を有している。或る例では半導体チップはプリズム状に構成されており、その基本面の輪郭は菱形である。このような菱形の輪郭では、活性ゾーンから送出される光ビームは少なくとも数回全反射した後、側面に対して全反射の限界角度よりも小さい角度で現れる。光効率は主として半導体チップ内での吸収率により制限される。
【0003】
公知の半導体チップの問題点は、高い光出力を要する適用分野で発生する。なぜなら高い光出力は半導体チップに大きな電流が流れることを前提とするからである。このとき光出力と必要な電流強度とのあいだには非線形の関係が生じる。つまり必要な電流強度は光出力との比例関係を超えて過度に上昇する。このために横断面の面積単位当たりで生じる熱も半導体チップの光出力が増大するにつれて過度に増大する。したがって熱負荷を制限するには、横断面積を拡大して電流密度を低減しなければならない。このため高い光出力を有する半導体チップは一般に特に大きな横断面積を有する。
【0004】
しかも半導体チップの厚さが同じであれば、半導体チップの側面が活性ゾーンにおいて光を形成する発光点から見て小さな立体角しかなさないことになる。したがってパーセンテージで考えると半導体チップの側面には僅かな光ビームしか直接には発生しない。これは基本的には半導体チップの厚さを横断面の寸法でスケーリングすることにより側面を大きくすれば回避できるが、これはプロセス技術上の理由から困難である。また例えば市販では予め定められた所定の層厚さを有する基板しか入手できない。
【0005】
こうした従来技術から出発して、本発明の課題は、高い放射出力に適した半導体チップを提供し、半導体チップで形成される放射の出力効率を改善することである。さらに本発明の課題は改善された放射効率を有する光学素子を提供することである。
【0006】
この課題は、出力面(Auskoppelflaeche)として用いられる半導体チップの少なくとも1つの縦面が活性ゾーンの延在方向で横面よりも長い本発明の構成により解決される。
【0007】
高い光出力に適した半導体チップを得るためにまず必要なのは、横断面積を大きくして生じる損失熱を放出できるようにすることである。横断面積とは活性ゾーンに対して長手方向で延在する部分の横断面積を意味する。例えば小さな熱伝導性しか有さない材料を使用する場合には、まず活性ゾーンで発生する損失熱を放出できるようにラテラル方向の横断面積の大きさを選定しなければならない。横面に対して縦面を長くすることにより、側面積全体に対する横断面積の比を調整することができる。例えば側面積全体に対する横断面積の比は横面に対して縦面を長くすることにより低減される。これにより側面全体に対する横断面積の比から格別に有利な光出力が得られる。その結果、縦横が等しい長さである場合に比べて、活性ゾーンから見て縦面が大きな立体角を有する。したがって全放射のうち直接に側面へ出ていく放射のパーセンテージも高くなる。また放射が半導体チップを通過するときの光路も短くなる。放射成分が途中で側面に吸収されてしまう確率も小さくなる。
【0008】
こうした理由から半導体チップの縦面は横面に対して細長く構成される。これにより同じ横断面積で同じ長さの側面を有する半導体チップよりも良好な放射効率が得られる。
【0009】
有利な実施形態では、活性ゾーンが放射透過性の基板上に配置された活性層内に設けられ、基板は活性層とは反対側の底面へ向かって先細になっている。
【0010】
活性層から送出された放射は放射透過性の基板を通り、全体として斜めになった縦面に対して全反射角度よりも小さい所定の角度で発生する。このため活性層から見て側面のなす立体角が拡大されると特に高い光効率が得られる。
【0011】
本発明の別の有利な実施形態は従属請求項の対象となっている。
【0012】
以下に本発明を添付図に則して詳細に説明する。
【0013】
図1のa、bには本発明の半導体チップの横断面と長手方向断面との概略図が示されている。図2のa、bには図1のa、bの半導体チップ上に構成されているルミネセンスダイオードの方向から見た横断面の概略図が示されている。図3のa、bには図1のa、bの半導体チップ上に構成されている別のルミネセンスダイオードから見た横断面の概略図が示されている。図4にはコンタクト層の設けられた半導体チップの拡大された平面概略図が示されている。図5には別の半導体チップの横断面の概略図が示されている。図6には変更された半導体チップの横断面の概略図が示されている。図7にはさらに変更された別の半導体チップの横断面の概略図が示されている。
【0014】
図1のaには半導体チップ1の断面図が示されている。この半導体チップには活性層2が設けられている。活性層2は一般に多層構造体として放射形成ゾーンを含む電流層または電流層シーケンスを有している。活性層2は基板3上に配置されており、この基板は活性層2からの放射を透過する。さらに下方のカバー層4と上方のカバー層5とが設けられており、これらのカバー層はコンタクト層として用いられる。また半導体チップ1には縦面6が設けられている。
【0015】
一般に基板は媒体によって包囲されており、この媒体は基板よりも小さな屈折率を有する。基板側面、例えば図1のaの縦面の個所での全反射に基づいて、光ビームが基板から側面を通って出射する。この光ビームは基板からこれに接する媒体への移行時に全反射の限界角よりも小さい所定の角度で側面に発生する。この角度を以下では略して全反射角度と称する。
【0016】
したがって基板側面での出力に対して発光点から送出される光ビームを中心軸線が発光点を通る基板側面の面法線である光出射円錐(Lichtaustrittskegel)として延在させなければならない。光出射円錐の開放角は全反射角度の2倍の大きさである。発光点から送出される光ビームが当該の光出射円錐を外れると、その光ビームは当該の基板の側面で全反射してしまう。
【0017】
図1のaに示されているケースでは、基板3によって形成される縦面6の領域と活性層2の放射を形成する発光点7とは所定の立体角ω1をなしている。この立体角ω1は、発光点7から送出されて光出射円錐8の基板3内に存在する成分として延在する全ての光ビームが縦面6に当たって出力される大きさに選定されている。
【0018】
図1のbには半導体チップ1の長手方向断面図が示されている。発光点7と基板3によって形成される横面9の領域とは立体角ωqをなしている。この立体角ωqは縦面6と発光点7とのなす立体角ω1よりも格段に小さい。さらに云えば、ωqは出力可能な光ビームの光出射円錐のうち基板内に存在する成分が下方のカバー層4へ入って出力されなくなってしまうほど小さい。
【0019】
基本的には、基板3の厚さは、光出射円錐8内部の全ての光ビームが横面9に発生する大きさにすることができる。ただしこれは実際上はきわめて制限された状況でしか行うことができない。というのは市販入手可能な基板3は決まった厚さしか有さず、基板3の厚さを任意に選定することはできないからである。したがって有利には、縦面6の長さをできる限り長く選定すると有利である。また横面9は短く選定し、少なくとも光出射円錐8のうち縦面6から最も離れた個所に位置する発光点の光ビームが直接に縦面6に発生するようにすべきである。縦面6の長さを横面9に比べて長くすることにより、側面と活性面との有利な比が得られる。活性面とはここでは活性層2の面積のことである。活性層の面積が等しいときの側面と活性面との比は、縦横の長さが異なっている場合のほうがこれらが等しい場合よりも大きくなる。
【0020】
光出射円錐8のうち基板内部に存在する光ビーム成分が阻止されずに縦面6に発生する構成と、側面と活性面との有利な比とにより、半導体チップ1に高い電流負荷耐性および良好な放射出力が得られる。
【0021】
図2のa、bにはそれぞれ本発明の半導体チップ1を備えたルミネセンスダイオード10のモジュールの断面図と平面図とが示されている。縦横の比が少なくとも10:1の長さの細長い半導体チップ1が相互に並列に配置されており、ルミネセンスダイオード10として全体ではほぼ矩形の基本面を形成している。半導体チップ1どうしのあいだに分離壁11が設けられている。半導体チップ1および分離壁11はフレーム12によって包囲されている。半導体チップ1も分離壁11もフレーム12も共通の支持体13上に配置されており、例えばプラスティックから製造されたレンズボディ14によってカバーされている。
【0022】
分離壁11およびフレーム12は半導体チップ1から側方の方向へ送出される放射を支持体13からレンズボディ14のほうへ偏向するために用いられる。分離壁11により、例えば1つの半導体チップから送出された放射が隣接している別の半導体チップに吸収されることが阻止される。
【0023】
図3のa、bには別の実施例のルミネセンスダイオード15のモジュールが示されている。ここでは中央の半導体チップが幅広の分離壁16によって置換されており、この分離壁の表面にボンディングワイヤ18のためのコンタクト面17が設けられている。ボンディングワイヤ18はコンタクト面17から半導体チップ1のコンタクト面19へ通じている。
【0024】
半導体チップ1から送出された放射を支持体13とは反対の送出方向へ集束するために、ルミネセンスダイオード15は半導体チップ1をカバーするレンズ状のレンズボディ22を有しており、このレンズボディには湾曲部21が設けられている。
【0025】
図4にはルミネセンスダイオード10または15のモジュールに使用されている半導体チップ1の拡大平面図が示されている。ここでは特にコンタクト面19の詳細な構造が見て取れる。コンタクト面19は中央の端子面23、例えばワイヤ接続のためのボンディング面を有しており、そこからコンタクト路24が延び、さらにスタブ路25が分岐している。半導体チップ1の周に沿ってコンタクト路24がフレーム状に構成されている。コンタクト路24のこうした構成は活性層2全体にわたる電流の均一な分布を保証する。コンタクト路24を半導体チップ1の周に沿ってフレーム状に配置することにより、電位の変動も回避される。
【0026】
図5にはさらに変更された別の実施例の半導体チップ26の断面図が示されている。半導体チップ26はここでは活性層2を含む多層構造体27を有している。多層構造体27は放射透過性の基板3上に被着されており、基板3とは反対側では上方電極28によってカバーされている。この電極28の反対側の基板上には下方電極29が設けられている。
【0027】
多層構造体27に接する側では基板3は斜めの側面6を有しており、この側面は多層構造体27の法線に対して傾斜角θを有している。下方電極29へ向かう方向では当該の斜めの側面は多層構造体27または活性層2に対して垂直な側面へと移行している。
【0028】
多層構造体の屈折率よりも大きい屈折率を有する基板では、有利には、基板3の斜めの側面6の傾斜角θは多層構造体27と基板3とによって形成される界面31の限界角度、すなわち基板3から多層構造体27への移行部の全反射角度よりも大きい。こうした形状設定により、光出射円錐8の立体角は格段に拡大される。したがって図5に示されている半導体チップ26の縦面は横面に比べて長くなり、特に有利である。
【0029】
多層構造体は例えばGaNベースの半導体の構造体である。半導体材料としてここでは特にGaN、InGaN、AlGaNまたはInAlGaNが適している。この種の多層構造体は一般にエピタキシャルプロセスにより製造される。
【0030】
有利には、本発明では、多層構造体27は放射透過性の基板上に成長され、そこから半導体チップ用の基板3が成形される。エピタキシ基板として特に放射透過性と導電性とを特徴とするSiC基板が適している。例えばSiC基板の屈折率はGaNベースの多層構造体の屈折率よりも大きい。これにより有利には活性層内で形成された放射が基板へ入るときにも全反射は生じない。
【0031】
基板3の下方電極29に接する領域は有利には立方体状または直方体状に形成されている。このように相互に直交または相互に平行な界面が当該の領域に設けられるように形状設定することにより、半導体チップ1の実装が簡単化される。これにより特に、従来の立方体状または直方体状のチップのための自動実装装置を使用することができるようになる。
【0032】
図6、図7には、同様に基板3の特別な形状設定に基づく高い効率を特徴とする本発明の別の実施例が示されている。図6に示されている実施例では、基板3はさしあたりその側面と界面31とが鋭角βをなすように構成されている。延長部では側面は下方の電極29へ向かう方向へ湾曲している。側面6は凹形に構成されており、有利は直方体状または立方体状の台30へ続く滑らかな移行部を有している。
【0033】
図7に示されている実施例ではさらに台30の構成が省略されている。基板3は厚さの方向で先細となっている。
【0034】
基本的には斜めの側面6はフレネルレンズの形態で相互にオフセットされて配置された部分面として形成することもできることを指摘しておく。この場合少なくとも半導体チップ1の断面の矩形の輪郭はそのままに保持される。
【0035】
また半導体チップ1または26の輪郭は必ずしも矩形でなくともよい。半導体チップ1または26の輪郭が尖った平行四辺形、台形または他の多角形の形状を有していてもよい。
【0036】
半導体チップ1、26の光効率の増大は矩形の輪郭を有する従来のチップに関連して詳細に求められている。この場合、以下の結果が得られる。
【0037】
例1:
InGaN半導体チップは係数4の増幅を行う活性面を有している。評価の結果を表1に示した。ここでは端の3つの列にそれぞれ標準チップからの全出力に対する出力放射の成分が示されている。
【0038】
【表1】
【0039】
例2:
図5に示されている斜めの側面を有する半導体チップ26では、種々のタイプごとに表2の値が得られた。ここでは表1に示されている標準チップでの全出力に対する出力放射の成分が示されている。
【0040】
【表2】
【0041】
均一な平面を有する大型チップに比べて、図5の半導体チップ26は係数1.8ほど改善されており、図1のa、bに示されている半導体チップ1の利得の値は約15%である。横面に比べて縦面を長くすることにより光効率を著しく上昇させることができる。
【0042】
ここに示した考察は縦横の長さの等しい活性層を有する半導体チップだけでなく、細長い形状の基板を有する半導体チップにも相当する。これは、活性層そのものは活性ゾーンで発生する損失熱を放出するのに充分に良好な熱伝導率を有しているが、基板の熱伝導率が低いために大きな横断面積を必要とする場合に特に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体チップの横断面と長手方向断面との概略図である。
【図2】半導体チップ上に構成されているルミネセンスダイオードの方向から見た横断面の概略図である。
【図3】半導体チップ上に構成されている別のルミネセンスダイオードの方向から見た横断面の概略図である。
【図4】コンタクト層の設けられた半導体チップの拡大された平面概略図である。
【図5】別の実施例の半導体チップの横断面の概略図である。
【図6】変更された実施例の半導体チップの横断面の概略図である。
【図7】さらに変更された実施例の半導体チップの横断面の概略図である。
Claims (18)
- 電磁放射を形成するゾーンを備えた活性層(2)と放射透過性の基板(3)とを有しており、
基板上に活性層が配置されており、
該基板は半導体チップを活性ゾーンの延在方向の側方で制限し、かつ少なくとも一部の放射を出力する横面(9)および縦面(6)を有している
発光半導体チップにおいて、
出力面として用いられる少なくとも1つの縦面(6)は活性ゾーンの延在方向で横面(9)よりも長い
ことを特徴とする発光半導体チップ。 - 半導体チップは活性層(2)を含む多層構造体(27)を有しており、該多層構造体は基板(3)上に配置されている、請求項1記載のチップ。
- 縦面(6)および横面(9)は活性層(2)の側方の広がりを制限している、請求項1または2記載のチップ。
- 出力面として用いられる縦面(6)は活性層(2)の延在方向で横面(9)の少なくとも2倍の長さを有する、請求項1から3までのいずれか1項記載のチップ。
- 出力面として用いられる縦面(6)は活性層(2)の延在方向で横面(9)の少なくとも10倍の長さを有する、請求項1から3までのいずれか1項記載のチップ。
- 基板(3)はパラレルパイプド(Parallelpiped)として構成されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のチップ。
- 基板(3)は活性層(2)の反対側の底面へ向かって先細になっている、請求項1から6までのいずれか1項記載のチップ。
- 基板(3)は活性層(2)の延在方向に向かって斜めの側面を有しており、該斜めの側面から底面へ向かって活性層(2)の延在方向に対して垂直な側面が続いている、請求項7記載のチップ。
- 表面に電流伝搬路(24)が設けられており、該電流伝搬路は端子面(23)から出ている、請求項1から8までのいずれか1項記載のチップ。
- 電流伝搬路(24)からスタブ路(25)が分岐している、請求項9記載のチップ。
- 基板の屈折率は多層構造体の屈折率よりも大きい、請求項2から10までのいずれか1項記載のチップ。
- 多層構造体はGaN、InGaN、AlGaNまたはInAlGaNを含む、請求項2から10までのいずれか1項記載のチップ。
- 活性層はGaN、InGaN、AlGaNまたはInAlGaNを含む、請求項1または12記載のチップ。
- 基板はSiC基板(3)である、請求項1から13までのいずれか1項記載のチップ。
- 多層構造体(27)はエピタキシャルプロセスにより製造されている、請求項2から14までのいずれか1項記載のチップ。
- 基板(3)は多層構造体(27)のエピタキシャルプロセスによる製造に使用されるエピタキシ基板から成形されている、請求項15記載のチップ。
- 請求項1から15までのいずれか1項記載の発光半導体チップを含んでいることを特徴とするルミネセンスダイオード。
- 半導体チップの縦面(6)に沿ってリフレクタ(11)が延在している、請求項17記載のルミネセンスダイオード。
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