JP2004361920A - ティルトミラーの制御装置及び制御方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 83
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 21
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
【解決手段】 ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいてティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部1,2,3と、この制御信号生成部1,2,3により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタ4と、このディジタルフィルタにより共振周波数成分を除去した制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって制御信号の非線形性を補償する平方根演算部5とをそなえるように構成する。
【選択図】 図1
Description
ところで、上記のような静電駆動型ティルトミラーの制御においては、静電容量の非線形性が問題となる。静電引力は、静電エネルギーを回転角で偏微分した値に比例しており、そのトルクは次式(1)で与えられる。
平方根演算装置としては、例えば図14に示すような下記特許文献1に記載された構成がある。この図14に示す平方根演算装置は、非線形特性をもつ静電形アクチュエータ(下記特許文献1の第1図及び第2図参照)をフィードバック制御する制御装置に適用されるもので、ダイオードD1,抵抗R1及びオペアンプ100aをそなえて成る対数演算回路100と、オペアンプ110aをそなえて成る1/2倍回路110と、ダイオードD2,抵抗R2及びオペアンプ120aをそなえて成る指数回路120とをそなえて構成されており、ダイオードD1,D2の電流電圧特性が指数関数的であることを利用して、y=exp(0.5×ln(x))=√xとなる演算を行なうようになっている。
また、平方根演算を適用した場合でも、静電容量のミラー回転角に対する非線形性(静電容量Cをミラー回転角θで偏微分(角度微分)した値の角度依存性)の影響は補償できず、ミラーの残留振動を抑制する効果が十分とはいえない。
本発明は、以上のような課題に鑑み創案されたもので、ティルトミラーの傾斜角制御を、静電容量のミラー回転角に対する非線形性を補償しながら高速且つ高安定に行なえるようにすることを目的とする。
(1)ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部
(2)該制御信号生成部により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタ
(3)該ディジタルフィルタにより該共振周波数成分を除去した該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償する平方根演算部
ここで、上記の制御信号生成部は、該パラメータとして該目標傾斜角と該ティルトミラーの駆動特性情報とを入力するパラメータ入力部と、このパラメータ入力部により入力された該目標傾斜角と該駆動特性情報とに基づいて該制御信号を演算により求める演算部とをそなえて構成してもよい(請求項2)。
〔A〕第1実施形態の説明
図1は本発明の第1実施形態としてのティルトミラーの制御装置の構成を示すブロック図で、この図1に示す制御装置は、例えば図13により前述したティルトミラー102の傾斜角を制御するもので、本実施形態では、角度入力部1,ミラー駆動特性メモリ2,電圧演算部3,ディジタルフィルタ4,平方根演算部5,ディジタル/アナログ変換器(DAC:Digital to Analog Converter)6及びスイッチ7をそなえて構成されている。なお、103及び104はそれぞれティルトミラー102の回転軸(トーションバー)101(図13参照)の下部に対称に配置された電極(プラス側電極及びマイナス側電極)を示す。
つまり、これらの角度入力部1,ミラー駆動特性メモリ2及び電圧演算部3は、ティルトミラー102の目標傾斜角を決定するパラメータに基づいてティルトミラー102の傾斜角を目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部としての機能を果たし、角度入力部1及びミラー駆動特性メモリ2は、上記パラメータとして目標傾斜角とティルトミラー102の駆動特性情報とを入力するパラメータ入力部としての機能を果たすのである。
以下、上述のごとく構成された本実施形態の制御装置の動作について詳述する。
そして、プラス側電極103とマイナス側電極104を図2に示すように定義する。なお、ミラー102は紙面水平方向にもう1つ回転軸をもつが、互いに独立であるものとして、以下では片方の軸のみ扱う。
この時、安定時における傾斜角αは次式(A-11)で表される。
平方根演算部5では、ディジタルフィルタ4からの入力電圧Vf(t)に対し、次式(A-14)で表される電圧Vsr(t)を出力する。
そこで、次に、ディジタルフィルタ4の周波数特性T(s)を求める。前記の式(A-1)に示した運動方程式をラプラス変換すると、次式(A-16)のようになる。
ここで、BEFおよびミラー102の利得周波数特性を図示すると、図4に示すようになる。なお、設定したパラメータは、ω=2π×1000(rad/s)、ζ=0.01、Q=0.3である(図4において、実線がミラーの利得周波数特性、点線がBEFの周波数特性をそれぞれ表す)。ただし、ミラー102の利得はs=0において1になるよう規格化してある。
そして、この電圧(演算結果)は、ディジタルフィルタ4においてミラー102の共振周波数が除去されたのち、平方根演算部5に入力されて平方根演算がディジタルにより施され、その演算結果がDAC6にてアナログ電圧に変換されて、スイッチ7経由で電極103又は104に印加される。このとき印加されるトルクはミラーの共振周波数成分を抑圧した波形となり、ティルトミラー102は2つの電極103,104を用いた場合についても速やかに目標傾斜角に傾斜する。
〔B〕第2実施形態の説明
本実施形態では、第1実施形態よりもさらにミラー制御の高速化及び安定化を図ることを目標とする。即ち、上述した実施形態によるミラー制御でも、静電容量のミラー回転角(傾斜角)に対する非線形性〔前記の式(1)の右辺における下記式(C-1)の角度依存性〕の影響を十分に補償できず、残留振動を抑制する効果が十分とはいえない。
なお、角度入力部1,制御電圧演算部10における電圧演算部3,ディジタルフィルタ4,駆動電圧印加部30におけるDAC6,スイッチ7及びミラー電極103,104は、それぞれ、第1実施形態と同一もしくは同様のものである。
また、ゲイン調整部5Bは、上記非線形補償演算テーブル5Aの出力のゲインを駆動電圧利得メモリ5Cの出力によって調整するものである。ここで、ティルトミラーにおいては、一般的に静電容量を基にバネ定数kを制御するのが難しく、回転能率誤差の主要因となる。静電容量誤差がバネ定数誤差に比べて無視できるとき、基準となるバネ定数を定め、バネ定数を下記の式(C-5)と表した場合、駆動電圧Vdは、下記の式(C-6)で表される。
このため、駆動電圧メモリ5Cには、予め、ミラー角度測定手段(図示省略)により、同一構造のミラー102に対する上記式(C-6)におけるε(駆動電圧利得)をミラー102毎に測定・記憶しておく。これにより、複数ミラー102に対する制御を共通化することができ、非線形性補償演算テーブル5Aに必要なメモリ容量を削減して、回路規模の小型化を図ることができる。
まず、予め上述したミラー角度測定手段により駆動電圧利得εをミラー102別に求めて駆動電圧利得メモリ5Cに格納しておく。そして、実際に角度制御を行なう場合は、角度入力部1によりミラー102の目標傾斜角を電圧演算部3に与える。電圧演算部3は、入力された目標傾斜角に応じた制御電圧値を生成する〔例えば、前記の式(A-12)参照〕。
以上により、ミラー102に印加されるトルクは制御電圧Vcと比例した形となり、ミラー102は2つの電極103,104を用いた場合についても速やかに目標傾斜角に傾斜する。このように、本実施形態では、静電引力で傾斜角が制御されるミラー102について、当該ミラー102の共振周波数成分を除去した電圧波形に、さらに、静電容量のミラー傾斜角に対する非線形性を補償するテーブル演算処理(電圧近似演算)を施すことで、擬似的にミラー102の線形制御が可能となり、ミラー102の残留振動を十分に抑制した、小規模で高速且つ安定な角度応答を実現するミラー制御が可能である。
前記の式(C-4)は、次式(D-1)で表すことができるので、次式(D-2)が成立する。
つまり、これらの初期パルス補償値演算部5D及びゲイン調整部5Eは、制御電圧演算部(制御信号生成部)10により得られた制御信号の冒頭部分のパルス波形を制御(増幅又は減衰)して当該冒頭部分のパルス波形の歪みを補償するパルス波形補償部としての機能を果たすものである。
〔D〕付記
(付記1) ティルトミラーの傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタと、
該ディジタルフィルタにより該共振周波数成分を除去した該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償する平方根演算部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。
該パラメータとして該目標傾斜角と該ティルトミラーの駆動特性情報とを入力するパラメータ入力部と、
該パラメータ入力部により入力された該目標傾斜角と該駆動特性情報とに基づいて該制御信号を演算により求める演算部とをそなえて構成されたことを特徴とする、付記1記載のティルトミラーの制御装置。
該制御信号の値によって当該制御信号を与える電極を切り替える切り替えスイッチが設けられたことを特徴とする、付記1又は2に記載のティルトミラーの制御装置。
(付記4) 該ティルトミラーが、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)によるミラーであることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載のティルトミラーの制御装置。
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成し、
該制御信号から該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分をディジタルフィルタにより除去した後、
該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により得られた該制御信号について、該ティルトミラーの静電容量に対する該傾斜角の非線形性を電圧近似演算により補償して該ティルトミラーの駆動信号を生成する非線形性補償演算部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。
該制御信号の電圧値をVc、当該電圧値の最大値をVcmax、該駆動信号の電圧値をVd、該傾斜角の最大値をθmaxとしたときに、該制御信号の電圧値Vcに対して、次式(C-4)で表される電圧近似演算による演算結果を該駆動信号の電圧値Vdとして記憶しておき、入力電圧値Vcに対して該電圧値Vdを出力する非線形性補償演算テーブルをそなえたことを特徴とする、付記6記載のティルトミラーの制御装置。
同一構造を有する複数の該ティルトミラーの個々のバネ定数誤差を補償するゲイン情報を該ティルトミラー別に記憶するゲイン情報記憶部と、
該非線形性補償演算テーブルの出力ゲインを該ゲイン情報記憶部の該ゲイン情報に従って調整するゲイン調整部とをさらにそなえて構成されたことを特徴とする、付記7記載のティルトミラーの制御装置。
該制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタをそなえたことを特徴とする、付記6〜8のいずれか1項に記載のティルトミラーの制御装置。
(付記10) 該ティルトミラーが、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)によるミラーであることを特徴とする、付記6〜9のいずれか1項に記載のティルトミラーの制御装置。
(付記12) 静電引力により傾斜角が制御されるティルトミラーの該傾斜角を制御する制御方法であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成し、
該制御信号について、該ティルトミラーの静電容量に対する該傾斜角の非線形性を電圧近似演算により補償して該ティルトミラーの駆動信号を生成することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。
静電引力により傾斜角が制御されるティルトミラーの該傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの傾斜角を制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により得られた該制御信号の冒頭部分のパルス波形を制御して補償するパルス波形補償部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。
該制御信号生成部と該冒頭パルス波形補償部との間に、該制御信号から該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去してステップ信号を出力する帯域阻止フィルタが設けられるとともに、
該冒頭パルス波形補償部が、該ステップ信号の該冒頭部分のパルス波形のみを制御するように構成されたことを特徴とする、付記13記載のティルトミラーの制御装置。
該帯域阻止フィルタが、ディジタルフィルタにより構成されたことを特徴とする、付記14記載のティルトミラーの制御装置。
(付記16)
該ティルトミラーが、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)によるミラーであることを特徴とする、付記13〜15のいずれか1項に記載のティルトミラーの制御装置。
ティルトミラーの傾斜角を制御する制御方法であって、
該ティルトミラーの傾斜角を制御するための制御信号を生成し、
該制御信号の冒頭部分のパルス波形を制御して補償することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。
2 ミラー駆動特性メモリ(パラメータ入力部)
3 電圧演算部
4 ディジタルフィルタ
5 平方根演算部
5A 非線形性補償演算テーブル
5B,5E ゲイン調整部
5D 初期パルス補償値演算部
5C 駆動電圧利得メモリ(ゲイン情報記憶部)
6 ディジタル/アナログ変換器(DAC)
7 スイッチ
10 制御電圧演算部
20 駆動電圧演算部
30 駆動電圧印加部(ドライバ)
50 補償値演算テーブル
101 トーションバー
102 ティルトミラー
103,104 電極
Claims (7)
- ティルトミラーの傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタと、
該ディジタルフィルタにより該共振周波数成分を除去した該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償する平方根演算部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。 - 該制御信号生成部が、
該パラメータとして該目標傾斜角と該ティルトミラーの駆動特性情報とを入力するパラメータ入力部と、
該パラメータ入力部により入力された該目標傾斜角と該駆動特性情報とに基づいて該制御信号を演算により求める演算部とをそなえて構成されたことを特徴とする、請求項1記載のティルトミラーの制御装置。 - ティルトミラーの傾斜角を制御する制御方法であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成し、
該制御信号から該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分をディジタルフィルタにより除去した後、
該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。 - 静電引力により傾斜角が制御されるティルトミラーの該傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により得られた該制御信号について、該ティルトミラーの静電容量に対する該傾斜角の非線形性を電圧近似演算により補償して該ティルトミラーの駆動信号を生成する非線形性補償演算部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。 - 静電引力により傾斜角が制御されるティルトミラーの該傾斜角を制御する制御方法であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角に制御するための制御信号を生成し、
該制御信号について、該ティルトミラーの静電容量に対する該傾斜角の非線形性を電圧近似演算により補償して該ティルトミラーの駆動信号を生成することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。 - 静電引力により傾斜角が制御されるティルトミラーの該傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの傾斜角を制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により得られた該制御信号の冒頭部分のパルス波形を制御して補償するパルス波形補償部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。 - ティルトミラーの傾斜角を制御する制御方法であって、
該ティルトミラーの傾斜角を制御するための制御信号を生成し、
該制御信号の冒頭部分のパルス波形を制御して補償することを特徴とする、ティルトミラーの制御方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004046744A JP4357317B2 (ja) | 2003-05-13 | 2004-02-23 | ティルトミラーの制御装置及び制御方法 |
US10/823,549 US6995896B2 (en) | 2003-05-13 | 2004-04-14 | Tilt mirror controlling apparatus and method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003134527 | 2003-05-13 | ||
JP2004046744A JP4357317B2 (ja) | 2003-05-13 | 2004-02-23 | ティルトミラーの制御装置及び制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004361920A true JP2004361920A (ja) | 2004-12-24 |
JP4357317B2 JP4357317B2 (ja) | 2009-11-04 |
Family
ID=33422129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004046744A Expired - Lifetime JP4357317B2 (ja) | 2003-05-13 | 2004-02-23 | ティルトミラーの制御装置及び制御方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6995896B2 (ja) |
JP (1) | JP4357317B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814 Year of fee payment: 4 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |