JP2013545143A - Mems素子のためのデジタル駆動制御 - Google Patents
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Abstract
Description
マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)は今日、マイクロシステム技術において、駆動制御信号から機械的な行動への中継局として使用されている。ここでアクチュエーター、殊にMEMSアクチュエーターは大きな役割を担う。1つの使用例は、空間光変調器(SLM、spatial light modulator)の使用に関する。空間光変調器によって、マイクロミラー素子ないしはマイクロミラーのアレイを介して、回転、傾斜およびシフトによって、光ビーム例えばレーザービームが所期のように偏向される。
本発明の基になるアイディアは、MEMS素子をできるだけノイズ無く駆動制御することができ、必要とする実装コストが少ない、準静的モードにおけるMEMS素子の駆動制御のための方法および装置を実現することである。
MEMS素子(30)のカットオフ周波数(ωg)を下回る信号周波数でデジタル駆動制御信号を供給するステップと、
カットオフ周波数(ωg)の二倍よりも大きいサンプリング周波数でこのデジタル駆動制御信号をオーバーサンプリングするステップと、
このオーバーサンプリング時に生じるノイズを、カットオフ周波数(ωg)上方の周波数領域(23b)にシフトさせることによって、オーバーサンプリングされたデジタル駆動制御信号をノイズシェーピングするステップと、
オーバーサンプリングされたデジタル駆動制御信号で、MEMS素子(30)を駆動するステップとを有する。
一方では、ΔΣ変調器は、高いオーバーサンプリングレートで動作する。この高いオーバーサンプリングレートは、ここで、MEMS素子30のカットオフ周波数ωgの少なくとも二倍のサンプリング周波数を有している。変調器3によるデジタル駆動制御信号の量子化時に生じる量子化ノイズは一様に、周波数0からサンプリング周波数の半分に達する周波数領域にわたって分配される。ここでこの周波数領域にわたって分配された全体的なノイズエネルギーは、一定である。すなわち、サンプリング周波数が高くなるほど、量子化ノイズが分配されている周波数領域が大きくなり、この周波数領域内の個々の周波数に対する信号−ノイズ−間隔が高くなる。
Claims (8)
- MEMS素子(30)を駆動制御する方法(500)であって、当該方法は
前記MEMS素子(30)のカットオフ周波数(ωg)の下方にある信号周波数でデジタル駆動制御信号を供給するステップと、
前記カットオフ周波数(ωg)の二倍よりも大きいサンプリング周波数で、前記デジタル駆動制御信号をオーバーサンプリングするステップと、
前記オーバーサンプリング時に生じたノイズを、前記カットオフ周波数(ωg)の上方の周波数領域(23b)にシフトさせることによって、前記オーバーサンプリングされたデジタル駆動制御信号をノイズシェーピングするステップと、
前記オーバーサンプリングされたデジタル駆動制御信号で、前記MEMS素子(30)を駆動するステップとを有する、
ことを特徴とする、MEMS素子(30)を駆動制御する方法(500)。 - 前記オーバーサンプリングステップおよび前記ノイズシェーピングステップを、ΔΣ変調器によって行う、請求項1記載の方法(500)。
- 前記ΔΣ変調器の積分器の伝達関数の零点を、前記カットオフ周波数(ωg)の下方の周波数領域(23a)における前記MEMS素子(30)の共振モードの周波数に設定する、請求項2記載の方法(500)。
- MEMS素子(30)用の制御回路(300)であって、前記MEMS素子は請求項1から3までのいずれか1項記載の方法を実行し、
・前記MEMS素子(30)用のデジタル駆動制御信号を形成するように構成されている波形発生器(2)と、
・前記デジタル駆動制御信号をオーバーサンプリングして、ノイズシェーピングを与え、オーバーサンプリングされかつノイズシェーピングされたデジタル駆動制御信号を出力するように構成されている変調器(3)と、
・前記オーバーサンプリングされかつノイズシェーピングされたデジタル駆動制御信号で、前記MEMS素子(30)を準静的モードにおいて駆動するように構成されているデジタル駆動装置(4)とを有している、
ことを特徴とする、MEMS素子(30)用の制御回路(300)。 - 前記変調器(3)はΔΣ変調器である、請求項4記載の制御回路(300)。
- 前記MEMS素子(30)は容量性アクチュエーター、殊にマイクロミラーアクチュエーターである、請求項4または5記載の制御回路(300)。
- 前記ΔΣ変調器の積分器は、前記MEMS素子(30)の共振モードの周波数に、伝達関数の零点を有している、請求項5記載の制御回路(300)。
- 前記駆動制御信号は、いずれの時点でも、前記MEMS素子(30)、殊に前記アクチュエーターの共振モードの周波数に相応する周波数成分を有していない、請求項5または6記載の制御回路(300)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010061790A DE102010061790A1 (de) | 2010-11-23 | 2010-11-23 | Digitale Ansteuerung für ein mikro-elektromechanisches Element |
DE102010061790.3 | 2010-11-23 | ||
PCT/EP2011/067854 WO2012069248A1 (de) | 2010-11-23 | 2011-10-13 | Digitale ansteuerung für ein mikro-elektromechanisches element |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013545143A true JP2013545143A (ja) | 2013-12-19 |
JP5657131B2 JP5657131B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=44862967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013540280A Expired - Fee Related JP5657131B2 (ja) | 2010-11-23 | 2011-10-13 | Mems素子のためのデジタル駆動制御 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9722521B2 (ja) |
EP (1) | EP2643925B1 (ja) |
JP (1) | JP5657131B2 (ja) |
KR (1) | KR101845112B1 (ja) |
CN (1) | CN103477551B (ja) |
DE (1) | DE102010061790A1 (ja) |
TW (1) | TWI555322B (ja) |
WO (1) | WO2012069248A1 (ja) |
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-
2010
- 2010-11-23 DE DE102010061790A patent/DE102010061790A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-10-13 JP JP2013540280A patent/JP5657131B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-10-13 EP EP11770744.8A patent/EP2643925B1/de active Active
- 2011-10-13 WO PCT/EP2011/067854 patent/WO2012069248A1/de active Application Filing
- 2011-10-13 CN CN201180056228.7A patent/CN103477551B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-10-13 US US13/988,457 patent/US9722521B2/en active Active
- 2011-10-13 KR KR1020137013041A patent/KR101845112B1/ko active IP Right Grant
- 2011-11-21 TW TW100142474A patent/TWI555322B/zh not_active IP Right Cessation
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---|---|
TW201234759A (en) | 2012-08-16 |
EP2643925B1 (de) | 2017-09-06 |
KR101845112B1 (ko) | 2018-05-18 |
TWI555322B (zh) | 2016-10-21 |
KR20140009198A (ko) | 2014-01-22 |
US20130293161A1 (en) | 2013-11-07 |
JP5657131B2 (ja) | 2015-01-21 |
EP2643925A1 (de) | 2013-10-02 |
CN103477551A (zh) | 2013-12-25 |
WO2012069248A1 (de) | 2012-05-31 |
CN103477551B (zh) | 2017-02-15 |
DE102010061790A1 (de) | 2012-05-24 |
US9722521B2 (en) | 2017-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130522 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |