JP2004296297A - 有機el表示装置用配線基板の製造方法および有機el表示装置 - Google Patents
有機el表示装置用配線基板の製造方法および有機el表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004296297A JP2004296297A JP2003087861A JP2003087861A JP2004296297A JP 2004296297 A JP2004296297 A JP 2004296297A JP 2003087861 A JP2003087861 A JP 2003087861A JP 2003087861 A JP2003087861 A JP 2003087861A JP 2004296297 A JP2004296297 A JP 2004296297A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- display device
- conductive film
- connection terminal
- transparent conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】基板1の上に、ITO10を成膜する。その後、ITO10の表面を20nm程度研磨することによりITO10の表面を平滑化する。次いで、Mo、AlNd、Moを成膜し、積層金属膜を作製する。レジストをパターニングした後、陰極補助配線パターン3となる部分以外の積層金属膜をウェットエッチングする。その状態で、硝酸水溶液を用いて、ウェットエッチングによりITO10の表面の変質層を除去する。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機ELディスプレイを構成するための有機EL表示装置用配線基板の製造方法および有機EL表示装置に関し、特に、駆動回路との接続部の接続抵抗を小さくできる有機EL表示装置用配線基板の製造方法および有機EL表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という。)を使用した有機ELディスプレイは、液晶表示装置と比較して視野角が広く、また、応答速度も速く、有機物が有する発光性の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。有機EL素子は、基板上に陽極または陰極が形成され、その陽極または陰極の上に発光層を含む薄膜状の有機化合物(有機薄膜)が積層され、さらに、有機薄膜の上に、基板上に形成された陽極または陰極に対向するように陰極または陽極が形成された構造である。有機EL素子は、対向して設けられた陽極と陰極との間に配置された有機薄膜に電流が供給されると自発光する電流駆動型の表示素子である。
【0003】
有機EL素子は、一般に、ガラス等の基板の上にITO(インジウム・錫・酸化物)などの透明導電膜で陽極が形成され、その上に薄膜状の有機化合物が複数層重ねられた有機薄膜が形成され、さらに、その上にアルミニウム(Al)などの金属膜による陰極が蒸着された構造を有する。なお、基板の上に形成された透明導電膜が陰極とされ、有機薄膜の上に蒸着された金属膜が陽極とされる場合もある。そして、有機EL素子の接続端子に駆動回路が電気的に接続されて、有機ELディスプレイが作製される。
【0004】
有機薄膜が積層される透明導電膜の表面は、平滑であることが好ましい(例えば、特許文献1参照。)。透明導電膜の表面の凹凸の程度が大きいと、発光層となる有機薄膜の膜質を劣化させたり、陽極と陰極との短絡を引き起こす可能性があるからである。
【0005】
そこで、基板の上に形成された透明導電膜の表面を研磨したり、特許文献1に記載されているように、透明導電膜の表面をできるだけ平滑にする製造方法が用いられる。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−25349号公報(段落0005〜0011)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ITOなどの透明導電膜は、腐食に対する耐性が高い等の理由で、有機EL素子において、電極だけでなく、陽極および陰極と駆動回路とを接続するための接続端子としても用いられている。接続端子として透明導電膜が用いられる場合、有機EL素子を製造する際に、電極としての透明導電膜と接続端子としての透明導電膜とは1つの工程で形成される。従って、接続端子としての透明導電膜の表面の平滑性も高くなっている。
【0008】
接続端子と、駆動回路を搭載したフレキシブル基板、または駆動回路を接続端子に接続するためのフレキシブルケーブルとは、一般に、ACF(Anisotoropic Conductive Film:異方性導電膜)を用いて接続される。
【0009】
ところが、ITOなどの透明導電膜の表面には表面変質層が存在し、透明導電膜を接続端子として使用した場合、接続端子とACFとの接触抵抗が高くなる。特に、透明導電膜の表面を研磨などで平滑化した場合には、表面変質層による接続抵抗の上昇が顕著である。そのような状態で、有機EL素子に通電を継続すると、特に、高温高湿下で通電を継続すると、接触抵抗の値がより高くなる。その結果、所望の通電が行われず表示品位が低下する。
【0010】
そこで、本発明は、接続端子としての透明導電膜を使用する場合に駆動回路との接続部の接続抵抗を小さくできる有機EL表示装置用配線基板の製造方法および有機EL表示装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の態様1は、基板上に透明導電膜を設け、透明導電膜の表面を平滑化し、透明導電膜の表面を5nm以上ウェットエッチングすることを特徴とする製造方法を提供する。
【0012】
態様2は、態様1において、基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であり、透明導電膜の表面をウェットエッチングした後に、透明導電膜から、透明電極および接続端子を形成する製造方法を提供する。
【0013】
態様3は、態様1において、基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であり、透明導電膜から、透明電極および接続端子を形成した後に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする製造方法を提供する。
【0014】
態様4は、態様3において、陰極補助配線パターンを形成する際に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする製造方法を提供する。
【0015】
態様5は、態様3において、陰極補助配線パターンを形成し、その後に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする製造方法を提供する。
【0016】
態様6は、態様2、3、4または5において、接続端子の部分のみの透明導電膜の表面をウェットエッチングする製造方法を提供する。
【0017】
態様7は、態様6において、透明導電膜の表面をウェットエッチングする際に、表示画素部の透明電極をレジストで保護する製造方法を提供する。
【0018】
態様8は、態様1〜7において、表面粗さがRaで1.0nmを超えるように透明導電膜の表面をウェットエッチングする製造方法を提供する。
【0019】
本発明の態様9は、基板上に透明導電膜を設け、透明導電膜の表面を平滑化し、透明導電膜の表面変質層を除去することを特徴とする製造方法を提供する。
【0020】
態様10は、態様9において、基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であり、表面変質層を除去した後に、透明導電膜から透明電極および接続端子を形成する製造方法を提供する。
【0021】
態様11は、態様9において、基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であり、透明導電膜から透明電極および接続端子を形成した後に、表面変質層を除去する製造方法を提供する。
【0022】
態様12は、態様11において、陰極補助配線パターンを形成する際に、表面変質層を除去する製造方法を提供する。
【0023】
態様13は、態様11において、陰極補助配線パターンを形成し、その後に、表面変質層を除去する製造方法を提供する。
【0024】
態様14は、態様10、11、12または13において、接続端子の部分のみの表面変質層を除去する製造方法を提供する。
【0025】
態様15は、態様14において、表面変質層を除去する際に、表示画素部の透明電極をレジストで保護する製造方法を提供する。
【0026】
態様16は、態様9〜15において、表面粗さがRaで1.0nmを超えるように表面変質層を除去する製造方法を提供する。
【0027】
態様17は、態様2〜8,10〜16において、接続端子と、表示画素に対応した透明電極とを、同一の透明導電膜の層で形成する製造方法を提供する。
【0028】
本発明の態様18は、態様1または9の有機EL表示装置用配線基板の製造方法により製造された有機EL表示装置用配線基板を備えたことを特徴とする有機EL表示装置を提供する。
【0029】
上記の態様の製造方法にもとづいて、以下のような特徴を有する有機EL素子を形成することができる。
【0030】
基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極に対して第1の接続端子が導電接続された有機EL素子であって、第1の接続端子に透明導電膜が用いられ、第1の接続端子の表面粗さが、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗いことを特徴とする有機EL素子。
【0031】
基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、対向電極に対して第2の接続端子が導電接続された有機EL素子であって、第2の接続端子に透明導電膜が用いられ、第2の接続端子の表面粗さが、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗いことを特徴とする有機EL素子。
【0032】
基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極に対して第1の接続端子が導電接続され、対向電極に対して第2の接続端子が導電接続された有機EL素子であって、第1の接続端子および第2の接続端子に透明導電膜が用いられ、第1の接続端子の表面粗さが、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗く、かつ、第2の接続端子の表面粗さが、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗いことを特徴とする有機EL素子。
【0033】
第1の接続端子の表面粗さがRaで1.0nmを超えていることを特徴とする有機EL素子。
【0034】
第2の接続端子の表面粗さがRaで1.0nmを超えていることを特徴とする有機EL素子。
【0035】
第1の接続端子または第2の接続端子と、表示画素に対応した透明電極とが、同一のITOの層で形成されてなることを特徴とする有機EL素子。
【0036】
第1の接続端子または第2の接続端子と、外部の駆動端子とが導電接続された場合に、両者の間の接続抵抗が5.0Ω以下であることを特徴とする有機EL素子。
【0037】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1を図面を参照して説明する。図1、図3、図5および図7は、本発明の製造方法を構成する各工程における中間生成物を示す正面図であり、図2、図4および図6は、図1、図3および図5に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図である。図8は、本発明の製造方法によって得られる有機EL素子を示す正面図であり、図9は、図8に示す有機EL素子のA−A’断面を示す断面図である。図10は、図8に示す有機EL素子に対してTCP(Tape Carrier Package )9が接続された状態を示す断面図である。
【0038】
図1〜図10を参照して、本発明の有機EL表示装置用配線基板の製造方法の実施の形態1を説明する。まず、シリカコートが成膜されたソーダライムガラス基板(以下、ガラス基板という。)等の基板1の上に、DCスパッタ法等によって、ITO10を成膜する。その後、ITO10の表面を20nm程度研磨することによりITO10の表面を平滑化する。なお、研磨以外の方法、例えばスパッタエッチングにより平滑化を行ってもよい。
【0039】
次いで、DCスパッタ法等によって、順に、モリブデン(Mo)、アルミニウムネオジム合金(AlNd)、Moを成膜し、積層金属膜を作製する。Moの代わりに、Mo合金を用いると耐腐食性が向上する。例えば、モリブデンタングテン合金(MoW)、モリブデンニオブ合金(MoNb)、モリブデンバナジウム合金(MoV)、モリブデンタンタル合金(MoTa)などを用いることが好ましい。
【0040】
Al合金として、AlNdに代えて、アルミニウムシリコン合金(AlSi)、アルミニウムシリコン銅合金(AlSiCu)等も適用可能である。純Alを適用する場合には、ヒロックの発生を抑制するために、成膜温度を100℃以下にすることが好ましい。
【0041】
その後、フォトリソグラフ法等でレジストをパターニングした後、陰極補助配線パターン3となる部分以外の積層金属膜をウェットエッチングする。MoおよびAlを、燐酸、酢酸および硝酸の混合水溶液によるエッチング液で一括エッチングすることが可能である。
【0042】
ITO10の表面には平滑化を行う際に変質層が形成され、変質層をそのままにしておくと、接続端子の接続抵抗を大きくしてしまう。そこで、陰極補助配線パターン3となる部分の積層金属膜にレジストがパターニングされている状態で、硝酸水溶液を用いて、ウェットエッチングによりITO10の表面の変質層(表面の変質層を、表面変質層と呼ぶ。)を除去する。有機EL素子の場合、平滑化後のITOの膜厚は一般に100〜300nm程度である。この場合、除去されるITO10の表層は5〜50nmであることが好ましい。10〜20nmであればより好ましい。また、このとき、基板1を加熱してレジストの密着力を強化しておくことが望ましい。その後、レジストを剥離する。
【0043】
以上の工程によって、図1および図2に示すように、ITO10の上に陰極補助配線パターン3が形成される。そして、この状態では、ITO10の表面の変質層が除去されている。なお、ITO10の表面の変質層が除去されることによって、後の工程で形成される接続端子の表面の変質層が除去されていることになる。なお、図1および図2には、8つの陰極補助配線パターン3が示されている。また、A−A’断面図では、陰極補助配線パターン3を明示するために、長手方向が誇張して示されている。
【0044】
次に、フォトリソグラフ法等でレジストをパターニングした後、ITO10をウェットエッチングし、その後レジストを剥離する。その結果、図3に示すように、陽極パターン2a、および後工程で形成される陰極パターンと駆動回路との接続部となる接続端子2bが形成される。なお、図3には、8つの陽極パターン2aと、8つの接続端子2bとが例示されている。
【0045】
図4は、図3に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図である。陽極パターン2aと接続端子2bとは、同一のITO10の層で形成されている。陽極パターン2aは、透明電極に相当する。陰極パターンは、透明電極に対向する対向電極に相当し、接続端子2bは、対向電極に導電接続される第2の接続端子に相当する。
【0046】
次いで、絶縁膜を形成するために、感光性ポリイミド膜をコーティングする。そして、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、熱硬化させ、図5および図6に示すように、画素部となる開口部4aを有するポリイミドパターン4を形成する。なお、硬化処理に伴って、AlNdの抵抗を低くすることができる。図5に示すように、マトリクス状に複数の開口部4aが形成されるが、符号は1カ所にのみ付されている。硬化後のポリイミドパターン4の膜厚は1.0μm程度が好ましい。絶縁膜を形成することにより、陽極パターン2aのエッジ(図6においてAで示す。)の上部(図6においてBで示す。)が絶縁膜により平坦化され、後工程で成膜される有機薄膜や陰極の断線の可能性が低減するとともに、陽極と陰極との絶縁耐圧が向上する。
【0047】
図5に示すように、陽極パターン2aのうち、ポリイミドパターン4で覆われていない部分(開口部4aを除く)のうちの先端の方の部分は、陽極パターン2aと駆動回路との接続部となる接続端子2cになる。接続端子2cは、陽極としての透明電極に導電接続される第1の接続端子に相当する。また、陽極パターン2aのポリイミドパターン4で覆われていない部分のうちの接続端子2c以外の部分は、陽極と接続端子2cを接続するための陽極引出配線に相当する。すなわち、陽極パターン2aのうち、陽極引出配線および接続端子2cを除く部分が、実質的な陽極である。
【0048】
その後、感光性アクリル樹脂をコーティングし、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、硬化させ、図7に示すように、陰極分離パターン5を得る。陰極分離パターン5が逆テーパ構造を有するように、ネガの感光性樹脂を用いることが好ましい。なお、複数の陰極パターンの間の複数の部分に陰極分離パターン5が形成されるが、符号は1カ所にのみ付されている。
【0049】
次いで、有機薄膜6を蒸着する。有機薄膜6を形成する前にITOの表面改質、例えば酸素プラズマ処理や紫外線処理を行う。その後、第1正孔輸送層(正孔注入層)としての例えば銅フタロシアニン(CuPc)と、第2正孔輸送層としての例えばα−NPDとを蒸着し、次いで、有機発光材料による発光層および電子輸送層としての例えばアルミニウムキノリン(Alq)を蒸着する。さらに、電子注入層としての例えばフッ化リチウム(LiF)を蒸着する。
【0050】
さらに、陰極パターン7を形成するために、Alを蒸着する。有機薄膜6を形成する際に、α−NPDの代わりにTPDなどのトリフェニルアミン系の物質を用いることも可能である。また、陰極パターン7を形成する際に、Alの代わりにナトリウム(Na)、リチウム(Li)、銀(Ag)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、イットリウム(Y)、インジウム(In)またそれらを含む合金を用いることも可能であるが、Moとのコンタクト特性からAlまたはAl合金を使用することが好ましい。
【0051】
以上のような工程を経て、図8および図9に示すような有機EL素子が得られる。
【0052】
次いで、図10に示すように、陰極用の駆動回路が内蔵されたTCP(Tape Carrier Package)9を、接続端子2bに接続する。接続に際して、まず、接続端子2bにおける接続端子部に異方性導電膜8を仮圧着する。接続端子部は、接続端子2bにおいて、実際にTCP9が実装される部分である。そして、TCP9を接続端子部に本圧着する。すなわち、異方性導電膜8に圧着する。
【0053】
また、陽極用の駆動回路が内蔵されたTCPを、接続端子2cに接続する。接続の仕方は、TCP9を接続端子2bに接続する際の接続の仕方と同じである。
【0054】
[実施の形態2]
実施の形態1では、陰極補助配線パターン3となる部分以外の積層金属膜をエッチングした後、レジストを剥離する前に、ITO10の表面の変質層を除去したが、レジスト剥離後に、ITO10の表面の変質層を除去してもよい。その場合、陰極補助配線パターン3を形成するために例えばクロム(Cr)を用いることが好ましい。また、本実施の形態では、エッチング液として、塩酸溶液や、塩酸および硝酸の混合液を使用することもできる。
【0055】
[実施の形態3]
また、ITO10の表面を平滑化し陰極補助配線パターン3を形成し、さらに、陽極パターン2a(接続端子2cを含む。)および接続端子2bを形成した後に、ITOによる陽極パターン2aおよび接続端子2bの表面の変質層を除去してもよい。陰極補助配線パターン3は例えばクロム(Cr)で形成されていることが好ましい。また、本実施の形態では、エッチング液として、硝酸水溶液、塩酸溶液、塩酸および硝酸の混合液を使用することもできる。
【0056】
[実施の形態4]
実施の形態3では、陽極パターン2aおよび接続端子2bを形成した後にITO表面の変質層を除去する際に、表示画素部を形成する部分も含めて変質層を除去したが、表示画素部を形成する部分についてはITO表面の変質層を除去する必要はない。従って、表示画素部を形成する部分を除き、ITO表面の変質層を除去するようにしてもよい。その場合、陽極パターン2aをフォトレジストで覆う。具体的には、陽極パターン2aのうち表示画素部を形成する部分をフォトレジストで保護する。その際、接続端子2bを露出させる。そして、ウェットエッチングによって接続端子2bの表層を除去する。この工程により、陽極パターン2a(接続端子2cを含む。)における表示画素部を形成する部分以外の部分および接続端子2bのみのITOの表面変質層が除去されるので、接続端子2b,2cの表面粗さが、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗くなっている。
【0057】
[実施の形態5]
実施の形態1〜4では、ITO10の表面を平滑化し陰極補助配線パターン3を形成した後に、陽極パターン2a(接続端子2cを含む。)および接続端子2bを形成したが、ITO10の表面を平滑化した後、陽極パターン2a(接続端子2cを含む。)および接続端子2bを形成してから陰極補助配線パターン3を形成してもよい。
【0058】
以下、陽極パターン2aおよび接続端子2bを形成してから陰極補助配線パターン3を形成する実施の形態を説明する。図11は、本実施の形態における中間生成物を示す正面図であり、図12は、図11に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図である。
【0059】
実施の形態1〜4の場合と同様にITO10の表面を平滑化する。次に、フォトリソグラフ法等でレジストをパターニングした後、ITOをウェットエッチングし、その後レジストを剥離する。その結果、図11および図12に示すように、陽極パターン2a、および後工程で形成される陰極パターンと駆動回路との接続部となる接続端子2bが形成される。なお、図11には、8つの陽極パターン2aと、8つの接続端子2bとが例示されている。
【0060】
次いで、陽極パターン2aをフォトレジストで覆う。具体的には、陽極パターン2aのうち表示画素部を形成する部分をフォトレジストで保護する。その際、接続端子2bを露出させる。そして、ウェットエッチングによって接続端子2bの表層を15nm程度除去する。この工程により、研磨により生じているITOの表面変質層を除去することができる。
【0061】
その後、実施の形態1の場合と同様にして陰極補助配線パターン3を形成する。その結果、図3および図4に示すように、接続端子2bの上における一部に陰極補助配線パターン3が形成される。以下、実施の形態1の場合と同様にして、絶縁膜、陰極分離パターン5および有機薄膜6を形成し、陰極用の駆動回路が内蔵されたTCP9を接続端子2bの接続端子部に接続する。また、陽極用の駆動回路が内蔵されたTCPを接続端子2cに接続する(図5〜図10参照)。
【0062】
なお、陽極パターン2aのうち、陽極引出配線および接続端子2cの部分は、上記のウェットエッチングして接続端子2bの表面の変質層を除去する工程において、同様にウェットエッチングされる。従って、接続端子2cでも、表層の15nm程度が除去される。ここでは15nm程度薄くしたが、接続端子2b,2cは5nm以上薄くされることが好ましい。また、その工程により、陽極パターン2a(接続端子2cを含む。)における表示画素部を形成する部分以外の部分および接続端子2bのみのITOの表面変質層が除去されるので、接続端子2b,2cの表面粗さは、表示画素に対応した透明電極の表面粗さよりも相対的に粗くなっている。
【0063】
また、接続端子2b,2cとともに表示画素部のITOも、変質層を除去するために粗化してしまうと、絶縁耐圧の低下によって短絡が発生する可能性が生ずる。短絡が生ずると表示品位が低下する。従って、本実施の形態のように、表示画素部のITOは粗化せず、接続端子2b,2cのITOの表層のみ除去して粗化することによって、表示品位を維持しつつ、接続抵抗の上昇を抑えることができる。
【0064】
[例1]
実施の形態1の製造方法により有機EL素子を形成した。すなわち、シリカコート20nmが成膜された厚さ0.7mmの基板1としてのガラス基板の上に、DCスパッタ法で、ITO10を170nm成膜した。その後、ITO10の表面を20nm程度研磨することによりITO10の表面を平滑化した。
【0065】
次いで、陰極補助配線パターン3を形成するために、DCスパッタ法で、順に、モリブデン(Mo)、アルミニウムネオジム合金(AlNd)、Moを成膜し、積層金属膜を作製した。成膜膜厚は、下部のMoが100nm、AlNdが300nm、上部のMoが100nm程度である。その後、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、燐酸、酢酸および硝酸の混合水溶液によるエッチング液を用いて、積層金属膜をウェットエッチングした。
【0066】
次いで、120℃に加熱したオーブンで20分程度基板1を熱処理した後、硝酸水溶液を用いて、ITO10の表面の変質層を除去した。このときに除去されるITOにおけるITO膜厚は、15nm程度である。そして、陰極補助配線パターン3を形成するためのレジストを剥離した。次に、陽極パターン2aと接続端子2bとを形成するために、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、塩酸および硝酸の混合水溶液を用いてITOをエッチングし、その後レジストを剥離した。
【0067】
次いで、絶縁膜を形成するために、感光性ポリイミド膜を1.4μmの厚さでスピンコーティングした。そして、フォトリソグラフ法等でパターニングを行った後、320℃で硬化させ、画素部となる開口部4aを有するポリイミドパターン4を形成した。
【0068】
その後、感光性アクリル樹脂をスピンコーティングし、ネガの感光性樹脂を用いたフォトリソグラフ法でパターニングを行った後、200℃で硬化させ、陰極分離パターン5を得た。
【0069】
次いで、蒸着装置を用いてマスク蒸着により有機薄膜6を蒸着した。有機薄膜6を形成する前に、並行平板RFプラズマ装置を用いて、酸素プラズマ照射を実施し、ITOの表面改質を行った。プラズマ処理条件を、酸素50sccm、6.7Pa、1.5kWとして、RIEモードのプラズマ処理を60秒実施した。
【0070】
その後、第1正孔輸送層としての膜厚10nmの銅フタロシアニン(CuPc)と、第2正孔輸送層としての膜厚60nmのα−NPDとを蒸着し、次いで、有機発光材料による発光層および電子輸送層としてのAlqを、膜厚50nmとなるように蒸着した。さらに、電子注入層としてのフッ化リチウム(LiF)を0.5nm蒸着した。
【0071】
さらに、陰極パターン7を形成するために、膜厚200nmのAlを蒸着した。
【0072】
次いで、接続端子2bにおける接続端子部に異方性導電膜8を仮圧着した。異方性導電膜8として、日立化成製アニソルム7106Uを使用した。仮圧着温度は80℃で、圧着圧力1.0MPa、圧着時間は5秒である。そして、TCP9を異方性導電膜8に本圧着した。本圧着温度は170℃で、圧着圧力は2.0MPa、圧着時間は20秒である。
【0073】
以上のようにして作製された有機EL素子において、接続端子部の抵抗値を測定したところ、5.0Ω以下であった。また、接続端子2b,2cの表面粗さは、Raで5.4nmであった。ただし、表面粗さをRaで1.04nmとした場合でも接続端子部の抵抗値を十分下げることができたので、表面粗さがRaで1.0nmを超える値であれば、接続端子部の抵抗値を低下させることが可能である。
【0074】
また、陽極用の駆動回路が内蔵されたTCPを、接続端子2cに接続した。接続の仕方は、TCP9を接続端子2bに接続する際の接続の仕方と同じである。従って、接続端子2cについても、接続端子部の抵抗値を5.0Ω程度以下に低くすることができた。
【0075】
これに対して、接続端子2b,2cのITOの表面の変質層を除去しない場合の接続抵抗は10〜70Ωと大きくばらついてしまう。接続抵抗が大きい場合には、定電流を流すために必要な電圧が上昇してしまうため、十分な電圧が素子に印加できなくなったり、階調表示をパルス幅変調で表示する場合などに電流が0になったときに有機EL素子にかかる電圧がばらつく。その結果、例えば、横筋状の表示むらを生ずる。
【0076】
なお、ITOの表面の変質層が除去されているか否かは、例えばAFM(原子力間顕微鏡)を用いて判定することができる。AFM探針とサンプルとしてのITOの表面との間に、0.001Vの電圧を印加し、探針をサンプルの表面の凹凸をトレースするように走査させ、各場所において流れた電流を測定する。研磨(平滑化)していないITOが積層された基板では平均電流値は100nA、研磨したITOが積層された基板では平均電流値は2nAであった。研磨によって電流値が大幅に減少してことは、ITOの表面に変質層が生成されていることを示している。
【0077】
研磨したITOが積層された基板を塩酸および硝酸の混合液を用いて処理した場合には、平均電流値は50nAであった。塩酸および硝酸の混合液を用いて処理する前の平均電流値は2nAであるから、電流量は増加している。このことは、変質層の一部が除去され、平均電流値が上昇したことを示している。
【0078】
[例2]
実施の形態5の製造方法により有機EL素子を形成した。すなわち、シリカコート20nmが成膜された厚さ0.7mmの基板1としてのガラス基板の上に、DCスパッタ法で、ITO10を170nm成膜した。その後、ITO10の表面を20nm程度研磨することによりITO10の表面を平滑化した。
【0079】
次いで、陽極パターン2aのうち表示画素部を形成する部分をフォトレジストで保護し、塩酸および硝酸の混合溶液で30秒ウェットエッチングし、接続端子2b,2cの表層を除去した。このときに除去される接続端子2b,2cにおけるITO膜厚は、15nm程度である。
【0080】
その後、陰極補助配線パターン3を形成するために、DCスパッタ法で、順に、モリブデン(Mo)、アルミニウムネオジム合金(AlNd)、Moを成膜し、積層金属膜を作製した。成膜膜厚は、下部のMoが100nm、AlNdが300nm、上部のMoが100nm程度である。その後、フォトリソグラフ法でレジストをパターニングした後、燐酸、酢酸および硝酸の混合水溶液によるエッチング液を用いて、積層金属膜をウェットエッチングし、レジストを剥離した。
【0081】
以下、例1における絶縁膜を形成する工程以降と同じ工程を経て有機EL素子を得た。例2で得られた有機EL素子も、例1で得られた有機EL素子と同等の性能であった。すなわち、接続端子部の接続抵抗値を5.0Ω程度以下に低くすることができた。
【0082】
【発明の効果】
本発明では、透明導電膜による接続端子の表面変質層を除去することによって、有機EL素子において駆動回路が接続される部分の接続抵抗を低くし、表示品位の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の製造方法における第1の工程における中間生成物を示す正面図。
【図2】図1に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図。
【図3】実施の形態1の製造方法における第2の工程における中間生成物を示す正面図。
【図4】図3に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図。
【図5】実施の形態1の製造方法における第3の工程における中間生成物を示す正面図。
【図6】図5に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図。
【図7】実施の形態1の製造方法における第4の工程における中間生成物を示す正面図。
【図8】本発明の製造方法によって得られる有機EL素子を示す正面図。
【図9】図8に示す有機EL素子のA−A’断面を示す断面図。
【図10】図8に示す有機EL素子に対してTCPが接続された状態を示す断面図。
【図11】実施の形態5の製造方法における第1の工程における中間生成物を示す正面図。
【図12】図1に示す中間生成物のA−A’断面を示す断面図。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2a 陽極パターン
2b 接続端子(第2の接続端子)
2c 接続端子(第1の接続端子)
3 陰極補助配線パターン
4 ポリイミドパターン
4a 開口部
5 陰極分離パターン
6 有機薄膜
7 陰極パターン
8 異方性導電膜
9 TCP
10 ITO
Claims (18)
- 基板上に透明導電膜を設け、透明導電膜の表面を平滑化し、透明導電膜の表面を5nm以上ウェットエッチングする有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であって、
透明導電膜の表面をウェットエッチングした後に、透明導電膜から、前記透明電極および前記接続端子を形成する請求項1に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。 - 基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であって、
透明導電膜から、前記透明電極および前記接続端子を形成した後に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする請求項1に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。 - 陰極補助配線パターンを形成する際に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする請求項3に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 陰極補助配線パターンを形成し、その後に、透明導電膜の表面をウェットエッチングする請求項3に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 接続端子の部分のみの透明導電膜の表面をウェットエッチングする請求項2、3、4または5に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 透明導電膜の表面をウェットエッチングする際に、表示画素部の透明電極をレジストで保護する請求項6に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 表面粗さがRaで1.0nmを超えるように透明導電膜の表面をウェットエッチングする請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 基板上に透明導電膜を設け、透明導電膜の表面を平滑化し、透明導電膜の表面変質層を除去する有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であって、
前記表面変質層を除去した後に、透明導電膜から前記透明電極および前記接続端子を形成する請求項9に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。 - 基板上に透明電極と対向電極とが設けられ、透明電極と対向電極の間に有機薄膜が挟持され、透明電極もしくは対向電極、または透明電極と対向電極の双方に対して透明導電膜による接続端子が導電接続される有機EL素子を搭載する有機EL表示装置用配線基板の製造方法であって、
透明導電膜から前記透明電極および前記接続端子を形成した後に、前記表面変質層を除去する請求項9に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。 - 陰極補助配線パターンを形成する際に、前記表面変質層を除去する請求項11に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 陰極補助配線パターンを形成し、その後に、前記表面変質層を除去する請求項11に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 接続端子の部分のみの前記表面変質層を除去する請求項10、11、12または13に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 前記表面変質層を除去する際に、表示画素部の透明電極をレジストで保護する請求項14に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 表面粗さがRaで1.0nmを超えるように前記表面変質層を除去する請求項9〜15のいずれか1項に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 接続端子と、表示画素に対応した透明電極とを、同一の透明導電膜の層で形成する請求項2〜8および10〜16のいずれか1項に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法。
- 請求項1または請求項9に記載の有機EL表示装置用配線基板の製造方法により製造された有機EL表示装置用配線基板を備えた有機EL表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003087861A JP4271972B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 有機el表示装置用配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003087861A JP4271972B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 有機el表示装置用配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004296297A true JP2004296297A (ja) | 2004-10-21 |
JP4271972B2 JP4271972B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=33402148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003087861A Expired - Fee Related JP4271972B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 有機el表示装置用配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4271972B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1715533A2 (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-25 | LG Electronics Inc. | Light emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2007026951A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Tohoku Pioneer Corp | 自発光パネルの製造方法、および自発光パネル |
JP2007179913A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | El装置及びその製造方法 |
JP2008051959A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Optrex Corp | 表示装置 |
JP2008116490A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Optrex Corp | 電極基板 |
JP2008304880A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及び有機電界発光表示装置のマザー基板 |
US7521861B2 (en) | 2004-12-24 | 2009-04-21 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Electroluminescence element |
US7719184B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-05-18 | Kyocera Corporation | Organic EL element having a protective layer |
JP2011523143A (ja) * | 2008-06-06 | 2011-08-04 | アップル インコーポレイテッド | 高抵抗率の金属ファンアウト |
WO2012133716A1 (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Necライティング株式会社 | 有機el発光装置、有機el発光装置の製造方法及び有機el照明装置 |
JP5673675B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2015-02-18 | コニカミノルタ株式会社 | 透明電極の製造方法、透明電極および有機電子素子 |
US9491852B2 (en) | 2010-10-15 | 2016-11-08 | Apple Inc. | Trace border routing |
CN110010652A (zh) * | 2017-12-27 | 2019-07-12 | 乐金显示有限公司 | 电致发光显示设备及其制造方法 |
US10824285B2 (en) * | 2018-02-06 | 2020-11-03 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Electrode structure and method for manufacturing the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09120890A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-06 | Mitsubishi Chem Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2001351778A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Tohoku Pioneer Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示デバイス及びその製造方法 |
JP2002343560A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-11-29 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置、電子機器 |
JP2003347046A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-05 | Fuji Electric Co Ltd | 有機薄膜発光素子パネルおよびその製造方法 |
-
2003
- 2003-03-27 JP JP2003087861A patent/JP4271972B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09120890A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-06 | Mitsubishi Chem Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2001351778A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Tohoku Pioneer Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示デバイス及びその製造方法 |
JP2002343560A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-11-29 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置、電子機器 |
JP2003347046A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-05 | Fuji Electric Co Ltd | 有機薄膜発光素子パネルおよびその製造方法 |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7521861B2 (en) | 2004-12-24 | 2009-04-21 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Electroluminescence element |
EP1715533A3 (en) * | 2005-04-19 | 2011-10-19 | LG Electronics Inc. | Light emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2006301580A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Lg Electron Inc | 有機電界発光素子、及びこの発光素子にディスプレイ信号を供給する構造とその形成方法 |
EP1715533A2 (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-25 | LG Electronics Inc. | Light emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2007026951A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Tohoku Pioneer Corp | 自発光パネルの製造方法、および自発光パネル |
JP4611829B2 (ja) * | 2005-07-19 | 2011-01-12 | 東北パイオニア株式会社 | 自発光パネルの製造方法、および自発光パネル |
US7719184B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-05-18 | Kyocera Corporation | Organic EL element having a protective layer |
JP2007179913A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | El装置及びその製造方法 |
JP2008051959A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Optrex Corp | 表示装置 |
JP2008116490A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Optrex Corp | 電極基板 |
JP2008304880A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及び有機電界発光表示装置のマザー基板 |
US9069418B2 (en) | 2008-06-06 | 2015-06-30 | Apple Inc. | High resistivity metal fan out |
US9495048B2 (en) | 2008-06-06 | 2016-11-15 | Apple Inc. | High resistivity metal fan out |
JP2013175225A (ja) * | 2008-06-06 | 2013-09-05 | Apple Inc | 高抵抗率の金属ファンアウト |
JP2014241156A (ja) * | 2008-06-06 | 2014-12-25 | アップル インコーポレイテッド | 高抵抗率の金属ファンアウト |
US10048819B2 (en) | 2008-06-06 | 2018-08-14 | Apple Inc. | High resistivity metal fan out |
JP2011523143A (ja) * | 2008-06-06 | 2011-08-04 | アップル インコーポレイテッド | 高抵抗率の金属ファンアウト |
JP5673675B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2015-02-18 | コニカミノルタ株式会社 | 透明電極の製造方法、透明電極および有機電子素子 |
US9491852B2 (en) | 2010-10-15 | 2016-11-08 | Apple Inc. | Trace border routing |
US9781823B2 (en) | 2010-10-15 | 2017-10-03 | Apple Inc. | Trace border routing |
JP5684370B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-03-11 | Necライティング株式会社 | 有機el発光装置、有機el発光装置の製造方法及び有機el照明装置 |
US8963144B2 (en) | 2011-03-29 | 2015-02-24 | Nec Lighting, Ltd. | Organic EL light emitting device, manufacturing method therefor, and organic EL illumination device |
US9269928B2 (en) | 2011-03-29 | 2016-02-23 | Nec Lighting, Ltd. | Organic EL light emitting device, manufacturing method therefor, and organic EL illumination device |
WO2012133716A1 (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Necライティング株式会社 | 有機el発光装置、有機el発光装置の製造方法及び有機el照明装置 |
US9537114B2 (en) | 2011-03-29 | 2017-01-03 | Nec Lighting, Ltd. | Organic EL light emitting device, manufacturing method therefor, and organic EL illumination device |
CN110010652A (zh) * | 2017-12-27 | 2019-07-12 | 乐金显示有限公司 | 电致发光显示设备及其制造方法 |
US10824285B2 (en) * | 2018-02-06 | 2020-11-03 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Electrode structure and method for manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4271972B2 (ja) | 2009-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4271972B2 (ja) | 有機el表示装置用配線基板の製造方法 | |
JP4271915B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス表示素子、有機エレクトロルミネセンス表示装置 | |
US7169461B2 (en) | Laminate, a substrate with wires, an organic EL display element, a connection terminal for the organic EL display element and a method for producing each | |
KR101905195B1 (ko) | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 | |
WO2016176956A1 (zh) | 有机发光显示面板及其制备方法、显示装置 | |
EP2261982A2 (en) | Organic electroluminescence display device and method of producing the same | |
JP3649238B2 (ja) | 積層体、配線付き基体、有機el表示素子、有機el表示素子の接続端子及びそれらの製造方法 | |
KR101926199B1 (ko) | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 | |
CN104206016B (zh) | 薄膜图案形成方法 | |
KR20140082186A (ko) | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 | |
JP2005183209A (ja) | 有機el表示装置及びその製造方法 | |
JPH07272859A (ja) | エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP2011091093A (ja) | 有機el素子 | |
KR20120063930A (ko) | 플렉서블 표시장치의 제조방법 | |
KR100684175B1 (ko) | 전기발광 소자의 제조 방법 | |
JP3750631B2 (ja) | 有機薄膜発光素子パネルの製造方法 | |
JP2006040589A (ja) | 積層体、有機el表示素子、及び、有機el表示素子の製造方法 | |
JPH088498A (ja) | 配線構造、その製造方法および該配線構造を用いた画像形成装置 | |
JP4673579B2 (ja) | 表示装置 | |
JP2005183208A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP2005078932A (ja) | 有機el発光装置及びその製造方法 | |
JP2011071030A (ja) | 電界発光表示装置 | |
JP2005050724A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 | |
JP3113767B2 (ja) | 透明導電膜の製造方法および製造装置 | |
KR100768707B1 (ko) | 유기 발광 소자의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051128 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090226 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150306 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150306 Year of fee payment: 6 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150306 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |