KR20140082186A - 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 - Google Patents
은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 조성물의 총 중량에 대하여, 인산 18.0 ~ 21.0 중량%, 황산 6.0 ~ 10.0 중량%, 과황산염 2.0 ~ 5.0 중량%, 유기산 18.0 ~ 22.0 중량% 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물, 이를 사용하는 금속 패턴의 형성방법, 및 이를 사용하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물, 이를 사용하는 금속 패턴의 형성방법, 및 이를 사용하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diode)는 두 개의 반대 전극과 그 사이에 존재하는 다층의 반도체적 성질을 갖는 유기물의 박막들로 구성되어 있다. 이와 같은 구성의 유기 발광 소자는 유기 물질을 이용하여 전기 에너지를 빛 에너지로 전환시켜주는 현상, 즉 유기 발광 현상을 이용한다. 구체적으로, 유기물(단분자/저분자 또는 고분자) 박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 전자와 정공이 재결합(Recombination)하여 여기자(Excition)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 형상을 이용한 자체 발광형 디스플레이 소자이다.
최근 평판 표시 장치 중에서, 주로 사용되는 유기발광디스플레이(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도 범위도 넓은 장점을 가지고 있다.
한편, 유기발광디스플레이의 표시 면적이 점점 대형화됨에 따라, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 게이트선 및 데이터선 또한 길어지고 그에 따라 배선의 저항 또한 증가한다. 이와 같은 이유로 인하여, 종래에 주로 사용되었던 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al) 및 이들의 합금을 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor,TFT)에 사용되는 게이트 및 데이터 배선 등으로 계속 이용하는 것은 평판표시장치의 대형화 및 고해상도 실현을 어렵게 만드는 원인으로 작용하고 있다. 따라서, 이러한 저항 증가에 의한 신호 지연 등의 문제를 해결하기 위해서는, 상기 게이트선 및 데이터선을 최대한 낮은 비저항을 가지는 재료로 형성할 필요가 있다.
이를 위해 평판 표시 장치에 적용되고 있는 금속들에 비해 낮은 비저항과 높은 휘도를 가지고 있는 은(Ag: 비저항 약 1.59μΩ㎝)막, 은합금막 또는 은막이나 은합금막을 포함한 다층막을 칼라필터의 전극, OLED 배선 및 반사판에 적용하여 평판표시장치의 대형화와 고해상도 및 저전력 소비 등을 실현하기 위한 노력이 경주되고 있으며, 그러한 노력의 일환으로 이러한 재료에 적용하기 위한 식각액이 개발되고 있다.
그러나, 은(Ag)은 유리 등의 절연 기판 또는 진성 비정질 규소나 도핑된 비정질 규소 등으로 이루어진 반도체 기판 등의 하부 기판에 대해 접착성(adhesion)이 극히 불량하여 증착이 용이하지 않고, 배선의 들뜸(lifting) 또는 벗겨짐(feeling)이 쉽게 유발된다. 또한, 은(Ag) 도전층이 기판에 증착된 경우에도 이를 패터닝하기 위해 종래의 식각액을 사용하는 경우 은(Ag)이 과도하게 식각되거나 불균일하게 식각되어 배선의 들뜸 또는 벗겨짐 현상이 발생하고, 배선의 측면 프로파일이 불량하게 된다. 따라서, 이러한 문제점을 해결하는 새로운 식각액에 대한 연구가 진행되었다.
예를 들어, 대한민국 등록특허 10-0579421호는 질산, 인산, 초산, 보조 산화물 용해제, 함불소형 탄소계 계면활성제 및 물을 포함하는 은 식각액 조성물을 제안하는데, 상기 조성물에 포함된 인산은 투명전극/은/투명전극막에서 은을 식각하고 투명전극막의 부식을 억제하는 기능을 하지만 하부 데이터 배선에 손상(Damage)을 발생시키는 문제가 있다. 따라서, 이러한 문제점을 해결한 은 박막 식각액 조성물이 필요한 실정이다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막을 식각함에 있어서 사이드 에칭 양이 적고, 하부 데이터 배선의 손상 및 잔사의 발생 없이 균일한 식각 특성을 나타내며, 장기 보관성을 향상시킨 식각액 조성물, 이를 이용하는 금속 패턴의 형성방법, 및 이를 사용하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적의 달성을 위하여, 본 발명은 조성물의 총 중량에 대하여,
인산 18.0 ~ 21.0 중량%, 황산 6.0 ~ 10.0 중량%, 과황산염 2.0 ~ 5.0 중량%, 유기산 18.0 ~ 22.0 중량% 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물을 제공한다.
또한, 본 발명은 (i) 기판 상에 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 및 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 단계; 및
(ii) 상기에서 형성된 하나 또는 다수 개의 막을 본 발명의 식각액 조성물로 식각하는 단계를 포함하는 금속 패턴의 형성방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 a) 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계; b) 상기 게이트 전극을 포함한 기판 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계; c) 상기 게이트 절연층 상에 반도체층을 형성하는 단계; d) 상기 반도체층 상에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및 e) 상기 드레인 전극에 연결된 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서,
상기 a) 단계, d)단계 및 e)단계 중 어느 한 단계 이상이, 은 또는 은합금 단일막, 및 은 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 공정 및 이를 본 발명의 식각액 조성물로 식각하여 각각의 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 식각액 조성물은, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막을 식각함에 있어서 사이드에칭 양이 적고, 하부 데이터 배선막의 손상 및 잔사의 발생 없이 균일한 식각 특성을 나타내므로, 유기발광디스플레이 장치의 고해상도, 대형화 및 저전력 소비를 달성하는데 중요한 역할을 할 수 있다. 또한, 본 발명의 식각액 조성물은 주산화제로 페릭염을 사용하지 않음으로써, 과산화물의 단점인 장기 보관성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각한 후의 SEM 사진이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진이다.
도 3은 비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각한 후의 SEM 사진이다.
도 4는 비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진이다.
도 3은 비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각한 후의 SEM 사진이다.
도 4는 비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진이다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 조성물의 총 중량에 대하여, 인산 18.0 ~ 21.0 중량%, 황산 6.0 ~ 10.0 중량%, 과황산염 2.0 ~ 5.0 중량%, 유기산 18.0 ~ 22.0 중량% 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물에 관한 것이다.
본 발명의 식각액 조성물은, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막을 동시에 식각할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막은 예컨대, 산화인듐막/은막의 이중막 또는 산화인듐막/은막/산화인듐막의 삼중막 등을 의미하며, 산화인듐은 산화주석인듐(ITO), 산화아연인듐(IZO) 등을 의미한다.
본 발명의 식각액 조성물에 포함되는 인산(H3PO4)은 주산화제로 사용되는 성분으로서, 은(Ag)계 금속막과 산화인듐막을 산화시켜 습식 식각하는 역할을 한다. 상기 인산의 함량은 조성물 총 중량에 대하여 18.0 ~ 21.0 중량%이다. 인산의 함량이 18.0 중량% 미만인 경우에는 은막의 식각 속도 저하와 식각 프로파일의 불량을 야기시킬 수 있으며, 21.0 중량%를 초과하는 경우에는 산화인듐막의 과식각으로 인하여 예컨대, 산화인듐막/은막/산화인듐막의 삼중막을 식각하는 경우, 은막의 표면층이 드러나게 되어 후속 공정 중 열처리에 의해서 은이 기판 표면에서 떨어져 재흡착되는 문제가 발생 할 수 있다.
본 발명의 식각액 조성물에 포함되는 황산(H2SO4)은 보조 산화물 용해제로 사용되는 성분으로서, 전체 조성물의 총 중량에 대하여 6.0 ~ 10.0 중량%의 양으로 첨가되며, 10.0 중량%를 초과하여 과량 첨가시 높은 식각 속도로 인해 식각 길이가 길어져 공정상 나쁘며, 6.0 중량% 미만으로 첨가 시에는 은막의 식각이 원활하지 않을 수 있다.
본 발명의 식각액 조성물에 포함되는 과황산염은 반응 개시제로서, 조성물의 총 중량에 대하여 2.0 ~ 5.0 중량%로 포함하는 것이 바람직하며, 5.0 중량%를 초과하여 포함하면 높은 식각 속도로 인해 식각 길이가 길어져 공정상 나쁘며, 2.0 중량% 미만으로 포함될 경우에는 첨가 시에는 은막이 식각되지 않는다.
상기 과황산염은 당업계에서 사용되는 것이라면 특별히 한정하지 않는다. 본 발명에 포함되는 상기 과황산염은 과황산칼륨(PPS, potassium persulfate), 과황산나트륨(SPS, sodium persulfate) 및 과황산암모늄(APS, ammonium persulfate)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것이 바람직하며, 과황산나트륨(SPS, sodium persulfate)을 사용하는 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 식각액 조성물에 포함되는 유기산은 물에 비해 작은 유전상수를 지니고 있어 습식 식각 공정에서 은막에 대한 식각액의 습윤성을 높여 좀 더 균일하고 빠른 식각이 이루어지게 하며, 하부 데이터 배선의 부식을 억제하는 역할을 한다. 유기산은 조성물의 총 중량에 대하여 18.0 ~ 22.0 중량%의 양으로 첨가되며, 22.0 중량%를 초과하여 첨가하면 산화인듐막의 과식각이 발생할 수 있다. 18.0 중량% 미만으로 첨가 시에는 은막의 식각 속도 저하와 식각 프로파일의 불량을 야기시킬 수 있다.
본 발명에 포함되는 상기 유기산은 예를 들면, 아세트산(acetic acid), 부탄산(butanoic acid), 시트르산(citric acid), 포름산(formic acid), 글루콘산(gluconic acid), 글리콜산(glycolic acid), 말론산(malonic acid), 메탄술폰산(methanesulfonic acid), 펜탄산(pentanoic acid) 및 옥살산(oxalic acid)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 이 중에서 아세트산(초산)을 사용하는 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 식각액 조성물은 페릭염을 포함하지 않음으로써, 장기 보관이 가능한 효과를 가진다.
본 발명의 식각액 조성물에 포함되는 물은 특별히 한정되는 것은 아니나, 탈이온수가 바람직하다. 특히, 물의 비저항 값(즉, 물 속에 이온이 제거된 정도)이 18㏁/㎝이상인 탈이온수를 사용하는 것이 더욱 바람직하다. 본 발명에서 사용되는 물은 조성물 총 중량이 100%가 되도록 잔량 포함된다.
본 발명의 식각액 조성물은 전술한 성분 이외에 통상의 첨가제를 더 포함할 수 있으며, 첨가제로는 계면 활성제, 금속 이온 봉쇄제, 및 부식 방지제 등을 사용할 수 있다.
본 발명의 식각액 조성물에서 인산, 황산, 과황산염 및 유기산은 통상적으로 공지된 방법에 따라 제조 가능하고, 특히 반도체 공정용의 순도를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은,
(i) 기판 상에 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 및 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 단계; 및
(ii) 상기에서 형성된 하나 또는 다수 개의 막을 본 발명의 식각액 조성물로 식각하는 단계를 포함하는 금속 패턴의 형성방법에 관한 것이다.
상기 금속 패턴의 형성방법에 있어서, 상기 (i)단계는 기판을 제공하는 단계 및 상기 기판 상에 상기 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 및 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 기판은 통상적인 세정이 가능한 것으로서, 웨이퍼, 유리 기판, 스테인레스 스틸 기판, 플라스틱 기판 또는 석영 기판을 이용할 수 있다. 상기 기판 상에 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막을 형성하는 방법으로는 당업자에게 알려진 다양한 방법을 사용할 수 있으며, 진공증착법 또는 스퍼터링 법을 이용하여 형성하는 것이 바람직하다.
상기 (ii)단계에서는, (i)단계에서 형성된 하나 또는 다수 개의 막 상에 포토레지스트를 형성하고, 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트를 선택적으로 노광하고, 상기 노광된 포토레지스트를 후굽기(post-baking)하고, 상기 후굽기된 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성한다.
상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 하나 또는 다수 개의 막을 본 발명의 식각액 조성물을 이용하여 식각하여, 금속패턴을 완성한다.
또한, 본 발명은,
a) 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;
b) 상기 게이트 전극을 포함한 기판 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계;
c) 상기 게이트 절연층 상에 반도체층을 형성하는 단계;
d) 상기 반도체층 상에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및
e) 상기 드레인 전극에 연결된 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서,
상기 a) 단계, d)단계 및 e)단계 중 어느 한 단계 이상이, 은 또는 은합금 단일막, 및 은 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 공정 및 이를 본 발명의 식각액 조성물로 식각하여 각각의 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
상기 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판은 박막트랜지스터(TFT) 어레이 기판일 수 있다.
본 발명에 따른 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 a) 단계는 a1) 기상증착법이나 스퍼터링(sputtering)법을 이용하여 기판 상에 은 또는 은합금 단일막 및 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 증착시키는 단계; 및 a2) 상기에서 형성된 하나 또는 다수 개의 막을 본 발명의 식각액으로 패터닝하여 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기의 하나 또는 다수 개의 막을 기판 상에 형성하는 방법은 상기 예시된 것으로만 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 b) 단계에서는 기판 상에 형성된 게이트 전극 상부에 질화실리콘(SiNX)을 증착하여 게이트 절연층을 형성한다. 여기서, 게이트 절연층의 형성시 사용되는 물질은 질화실리콘(SiNx)에만 한정되는 것은 아니고, 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 각종 무기 절연물질 중에서 선택된 물질을 사용하여 게이트 절연층을 형성할 수도 있다.
본 발명에 따른 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 c) 단계에서는 게이트 절연층 상에 화학기상증착법(CVD)을 이용하여 반도체층을 형성한다. 즉, 순차적으로 엑티브층(active layer)과 오믹콘택층(ohmic contact layer)을 형성한 후, 건식 식각을 통해 패터닝한다. 여기서, 엑티브층은 일반적으로 순수한 비정질 실리콘(a-Si:H)으로 형성하고, 오믹콘택층은 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)으로 형성한다. 이러한 엑티브층과 오믹콘택층을 형성할 때 화학기상증착법(CVD)을 이용할 수 있지만, 이에만 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 d) 단계는 d1) 상기 반도체층 상에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및 d2) 상기 소스 및 드레인 전극 상에 절연층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 d1) 단계에서는 오믹콘택층 위에 스퍼터링법을 통해 은 또는 은합금 단일막, 및 은 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 증착하고 본 발명의 식각액으로 식각하여 소스 전극과 드레인 전극을 형성한다. 여기서, 상기 하나 또는 다수 개의 막을 기판 상에 형성하는 방법은 상기 예시된 것으로만 한정되는 것은 아니다. 상기 d2) 단계에서는 소스 전극과 드레인 전극 상에 질화실리콘(SiNx)과 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연그룹 또는 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함한 유기절연물질 그룹 중 선택하여 단층 또는 이중층으로 절연층을 형성한다. 절연층의 재료는 상기 예시된 것으로만 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서, 상기 e) 단계에서는 상기 드레인 전극에 연결된 화소 전극을 형성한다. 예컨대, 스퍼터링법을 통해 은 또는 은합금 단일막, 및 은 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 증착하고, 본 발명의 식각액 조성물로 식각하여, 화소 전극을 형성한다. 상기 산화인듐막을 증착하는 방법은 스퍼터링법으로만 한정되는 것은 아니다.
이하, 본 발명을 실시예 및 실험예를 이용하여 더욱 상세하게 설명한다. 그러나 하기 실시예 및 실험예는 본 발명을 예시하기 위한 것으로서 본 발명은 하기 실시예 및 실험예에 의해 한정되지 않고 다양하게 수정 및 변경될 수 있다.
실시예
1 내지 4 및
비교예
1 내지 4
하기 [표 1]에 기재된 성분 및 조성비로 식각액 조성물을 10kg가 되도록 제조하였다.
| |
인산(H3PO4 ) | 황산(H2SO4) | 과황산염 (SPS) | 유기산 (아세트산) |
물 |
| 실시예1 | 20 | 7.0 | 3.0 | 20.0 | 50.0 |
| 실시예2 | 18 | 7.0 | 3.0 | 20.0 | 52.0 |
| 실시예3 | 21 | 7.0 | 3.0 | 20.0 | 49.0 |
| 실시예4 | 20 | 7.0 | 2.0 | 20.0 | 51.0 |
| 비교예1 | 17 | 7.0 | 3.0 | 20.0 | 53.0 |
| 비교예2 | 22 | 7.0 | 3.0 | 20.0 | 48.0 |
| 비교예3 | 20 | 7.0 | 1.0 | 20.0 | 52.0 |
| 비교예4 | 20 | 7.0 | 6.0 | 20.0 | 47.0 |
(단위: 중량%)
실험예
1:
식각
특성 평가
기판상에 a-ITO/Ag/a-ITO 삼중막을 형성하고 다이아몬드 칼을 이용하여 10×10mm로 절단하여 시편을 준비하였다.
분사식 식각 방식의 실험장비 (SEMES사 제조)내에 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 4의 식각액 조성물을 넣고 온도를 40℃로 설정하여 가온한 후, 온도가 40±0.1℃에 도달하였을 때 식각 공정을 수행하였다. 총 식각 시간은 엔드포인트 검출(End Point Detection, EPD)을 기준으로 하여 오버 에치(Over Etch) 50%를 주어 실시하였다.
상기 기판들을 식각이 이루어진 후에 꺼내어 탈이온수로 세정한 후, 열풍(熱風)건조장치를 이용하여 건조하고, 포토레지스트(PR) 박리기(stripper)를 이용하여 포토레지스트를 제거하였다. 세정 및 건조 후 전자주사현미경(SEM; HITACHI사 제조, 모델명: S-4700)을 이용하여 사이드 에칭(Side Etch) 및 식각 잔류물의 발생 정도의 식각 특성을 평가하였다.
실험예
2: 하부 데이터 배선 손상 평가
기판상에 Mo/Al/Mo 삼중막을 형성하고 다이아몬드 칼을 이용하여 10×10mm로 절단하여 시편을 준비하였다.
분사식 식각 방식의 실험장비 (SEMES사 제조)내에 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 4의 식각액 조성물을 넣고 온도를 40℃로 설정하여 가온한 후, 온도가 40±0.1℃에 도달하였을 때 식각 공정을 수행하였다. 총 식각 시간은 5분 동안 실시하였다.
상기 기판들을 상기 공정이 이루어진 후에 꺼내어 탈이온수로 세정한 후, 열풍(熱風)건조장치를 이용하여 건조하고, 포토레지스트(PR) 박리기(stripper)를 이용하여 포토레지스트를 제거하였다. 세정 및 건조 후 전자주사현미경(SEM; HITACHI사 제조, 모델명: S-4700)을 이용하여 하부 데이터 배선 손상 발생 정도의 식각 특성을 평가하였다.
식각 특성 시험 결과는 하기 표 2와 같다.
| 조성물 | Side Etch(㎛) | 하부 데이터 배선 손상 | 은 잔사 | |
| 시험예1 | 실시예1 | 0.53 | 무 | 무 |
| 시험예2 | 실시예2 | 0.37 | 무 | 무 |
| 시험예3 | 실시예3 | 0.87 | 무 | 무 |
| 시험예4 | 실시예4 | 0.51 | 무 | 무 |
| 비교시험예1 | 비교예1 | 0.00 | 유 | 유 |
| 비교시험예2 | 비교예2 | 1.10 | 유 | 유 |
| 비교시험예3 | 비교예3 | 0.00 | 유 | 유 |
| 비교시험예4 | 비교예4 | 1.40 | 유 | 유 |
상기 표 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 실시예 1 내지 4의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/a-ITO 기판을 식각한 경우 사이드 에치 및 은잔사 발생에서 양호한 식각 특성을 나타내었고, Mo/Al/Mo 기판을 식각한 경우 하부 데이터 배선 손상에서 양호한 식각 특성을 나타내었다.
상기 실시예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각한 후의 SEM 사진을 도 1에 첨부하였다. 또한 상기 실시예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진을 도 2에 첨부하였다.
비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각한 후의 SEM 사진을 도 3에 나타냈으며, 비교예 1의 식각액 조성물을 사용하여 a-ITO/Ag/ITO 삼중막을 식각하고, 포토레지스트를 스트립한 후의 기판 표면에 대한 SEM 사진을 도 4에 나타내었다.
표 2에서 확인할 수 있는 바와 같이, 실시예 1과 비교예 1의 경우, 인산의 함량 변화에 따라 하부 데이터 배선의 침식 유무를 확인 할 수 있었다.
Claims (7)
- 조성물의 총 중량에 대하여,
인산 18.0 ~ 21.0 중량%;
황산 6.0 ~ 10.0 중량%;
과황산염 2.0 ~ 5.0 중량%;
유기산 18.0 ~ 22.0 중량%; 및
잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물. - 청구항 1에 있어서, 상기 과황산염은 과황산칼륨, 과황산나트륨 및 과황산암모늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물.
- 청구항 1에 있어서, 상기 유기산은 아세트산(acetic acid), 부탄산(butanoic acid), 시트르산(citric acid), 포름산(formic acid), 글루콘산(gluconic acid), 글리콜산(glycolic acid), 말론산(malonic acid), 메탄술폰산(methanesulfonic acid), 펜탄산(pentanoic acid) 및 옥살산(oxalic acid)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는, 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 또는 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막의 식각액 조성물.
- (i) 기판 상에 은(Ag) 또는 은합금의 단일막, 및 은(Ag) 또는 은합금의 단일막과 산화인듐막으로 구성되는 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수 개의 막을 형성하는 단계; 및
(ii) 상기에서 형성된 하나 또는 다수 개의 막을 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항의 식각액 조성물로 식각하는 단계를 포함하는 금속 패턴의 형성방법. - 청구항 4에 있어서, 상기 형성된 하나 또는 다수 개의 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 금속 패턴의 형성방법.
- a) 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;
b) 상기 게이트 전극을 포함한 기판 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계;
c) 상기 게이트 절연층 상에 반도체층을 형성하는 단계;
d) 상기 반도체층 상에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및
e) 상기 드레인 전극에 연결된 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법에 있어서,
상기 a) 단계, d)단계 및 e)단계 중 어느 한 단계 이상이, 은 또는 은합금 단일막, 및 은 또는 은합금 단일막과 산화인듐막으로 구성된 다층막 중에서 선택되는 어느 하나 또는 다수개의 막을 형성하는 공정 및 이를 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항의 식각액 조성물로 식각하여 각각의 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법. - 청구항 6에 있어서, 상기 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판은 박막트랜지스터(TFT) 어레이 기판인 것을 특징으로 하는 유기발광디스플레이(OLED)용 어레이 기판의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120151760A KR20140082186A (ko) | 2012-12-24 | 2012-12-24 | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120151760A KR20140082186A (ko) | 2012-12-24 | 2012-12-24 | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20140082186A true KR20140082186A (ko) | 2014-07-02 |
Family
ID=51733171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020120151760A KR20140082186A (ko) | 2012-12-24 | 2012-12-24 | 은 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160097754A (ko) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 동우 화인켐 주식회사 | 은 식각액 조성물 및 이를 이용한 표시 기판 |
| KR20170112314A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 동우 화인켐 주식회사 | 은 또는 은합금을 포함하는 단일막 또는 다층막의 습식 식각 방법, 및 은 또는 은합금을 포함하는 단일막 또는 다층막의 식각액 조성물, 및 박막트렌지스터의 제조방법 및 박막트랜지스터 |
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| KR20180000899A (ko) * | 2016-06-24 | 2018-01-04 | 동우 화인켐 주식회사 | 식각액 조성물 및 이를 이용한 표시 장치용 어레이 기판의 제조방법 |
| CN109811345A (zh) * | 2017-11-21 | 2019-05-28 | 三星显示有限公司 | 蚀刻剂和通过利用该蚀刻剂制造显示装置的方法 |
| KR20200060962A (ko) * | 2018-11-23 | 2020-06-02 | 주식회사 이엔에프테크놀로지 | 식각액 조성물 |
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2012
- 2012-12-24 KR KR1020120151760A patent/KR20140082186A/ko not_active Application Discontinuation
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