JP2004253771A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 露光および現像処理を用いたセラミックグリーンシートの製造方法であって、
   前記露光処理に用いる光を透過可能な基台に対して、その表面上に、所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な感光性材料を付着させる工程と、
   前記基台の裏面より、前記感光性材料に対して前記光を照射し、前記感光性材料が前記基台から所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行う工程と、
   前記露光処理後の前記感光性材料に対して前記現像処理を施す工程とを含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
2. 露光および現像処理を用いたセラミックグリーンシートの製造方法であって、
   前記露光処理に用いる光を透過可能な基台に対して、その表面上に、所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な第一の感光性材料を付着させ、
   前記基台の裏面より、前記第一の感光性材料に対して前記光を照射し、前記第一の感光性材料が前記基台から第一の所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行い、
   前記露光処理後の前記第一の感光性材料に対して前記現像処理を施す工程と、
   前記現像処理後の前記第一の感光性材料の表面に、前記露光処理に用いる光を透過しない部材からなる遮光部を形成する工程と、
   前記現像処理後の前記第一の感光性材料および前記遮光部の表面上に、所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な第二の感光性材料を付着させ、
   前記基台の裏面より前記第二の感光性材料に対して前記光を照射し、前記第二の感光性材料が前記第一の感光性材料の表面から第二の所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行い、
   前記露光処理後の前記第二の感光性材料に対して前記現像処理を施す工程とを含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
3. 前記第一の感光性材料を前記基台に付着させ、これを露光し且つ現像する工程を行う前に、前記基台表面上に前記露光処理に用いる光を透過しない部材からなる前記遮光部とは異なる他の遮光部を形成する工程が為されることを特徴とする請求項２記載の製造方法。
4. 前記第一の感光性材料が露光される第一の所定厚さは、前記他の遮光部の厚さと略等しいことを特徴とする請求項３記載の製造方法。
5. 前記第二の感光性材料が露光される第二の所定厚さは、前記遮光部の厚さと略等しいことを特徴とする請求項２あるいは３記載の製造方法。
6. 露光および現像処理を用いたセラミックグリーンシートの製造方法であって、
   前記露光処理に用いる光を透過可能な部分を有する、被シート形成面を表面とする、異なる材料からなる領域を有する部材の表面上の所定領域に対して、前記光を透過しない遮光部材を所定厚さ形成する工程と、
   前記部材の表面および前記遮光部材の表面に対して、所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な感光性材料を付着させる工程と、
   前記部材の裏面より、前記感光性材料に対して前記光を照射し、前記感光性材料が前記部材から所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行う工程と、
   前記露光処理後の前記感光性材料に対して前記現像処理を施す工程とを含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
7. 露光および現像処理を用いたセラミックグリーンシートの製造方法であって、
   前記露光処理に用いる光を透過しない材料にて、前記光を透過可能な基台の表面に所定のパターンを形成し、
   前記基台および前記材料の上に所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な感光性材料を付着させ、
   前記基台の裏面より、前記感光性材料に対して前記光を照射し、前記感光性材料が前記基台から所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行い、
   前記露光処理後の前記感光性材料に対して前記現像処理を施す工程を含み、
   前記感光性材料の付着厚さは、前記パターンを形成する材料厚さと略等しく、且つ前記露光処理によって露光される前記感光性材料の所定厚さは前記パターンを形成する材料の厚さと略等しいことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
8. 積層型セラミック電子部品の製造方法であって、
   請求項１乃至７記載のセラミックグリーンシートの製造方法により形成されたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層し、
   積層された前記セラミックグリーンシートを、その厚さ方向に加圧して積層体を形成することを特徴とするセラミック型電子部品の製造方法。
9. 露光および現像処理を用いたセラミックグリーンシートの製造方法であって、
   前記露光処理に用いる光を透過可能な部分を有する、被シート形成面を表面とする、異なる特性を有する複数の層からなる領域を有する部材の表面上に対して、所定の電気特性を有する粉体を含み、且つ前記光により露光可能な感光性材料を付着させる工程と、
   前記部材の裏面より、前記感光性材料に対して前記光を照射し、前記感光性材料が前記部材の表面から所定厚さ露光される露光量にて前記露光処理を行う工程と、
   前記露光処理後の前記感光性材料に対して前記現像処理を施す工程とを含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
10. 前記部材の表面に前記感光性材料を付着させる工程の前に、前記部材の表面の所定領域に対して前記光を透過不可能な材料からなる遮光部を形成する工程が行われることを特徴とする請求項９記載の製造方法。
11. 前記所定厚さは、前記遮光部の厚さと略等しいことを特徴とする請求項１０記載の製造方法。
12. 前記部材は、その表面からの前記セラミックグリーンシートの剥離を容易にするための離型処理が施されていることを特徴とする請求項９記載の製造方法。
13. 前記部材は、前記セラミックグリーンシートから剥離除去される部分と前記セラミックグリーンシートの一部を形成する部分とを有することを特徴とする請求項９記載の製造方法。
14. 前記セラミックグリーンシートの一部は、前記感光性材料とは異なる材料からなる層であることを特徴とする請求項１３記載の製造方法。
15. 前記セラミックグリーンシートの一部は、前記感光性材料を露光して得られる材料と、前記光を透過不可能な材料とからなることを特徴とする請求項１３記載の製造方法。
16. 前記部材表面に前記遮光部を形成する工程、前記感光性材料を付着させる工程、前記感光性材料を露光する工程、および前記感光性材料を現像する工程を行った後に、得られたシートの最表面に更なる遮光部を形成する工程、更なる感光性材料を付着させる工程、前記更なる感光性材料を前記部材の裏面より露光する工程、および前記更なる感光性材料を現像する工程が施されることを特徴とする請求項１０記載の製造方法。
17. 積層型セラミック電子部品の製造方法であって、
    請求項９乃至１６記載のセラミックグリーンシートの製造方法により形成されたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層し、
    積層された前記セラミックグリーンシートを、その厚さ方向に加圧して積層体を形成することを特徴とするセラミック型電子部品の製造方法。