JP2004088080A - β−ＦｅＳｉ２系熱電変換材料および熱電変換素子 - Google Patents

Abstract

【課題】β相への相転移が促進され、工業的に有用な程度にまで短時間でβ転移すると共に、素子の熱電変換効率が向上、特にゼーベック係数と比抵抗を変化させることなく、低い熱伝導率を有することによって、熱電変換効率が向上した、新規なβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料およびそれを用いた熱電変換素子の提供。
【解決手段】導電型決定元素ならびにＳｎおよび／またはＰｂを含むβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料および該熱電変換材料からなるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子。
【選択図】なし

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、β−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料およびそれを用いた熱電変換素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱エネルギーと電気エネルギーを可逆変換する熱電効果は、ゼーベック効果、ペルチェ効果およびトムソン効果に大別される。ゼーベック効果は、異種物質を接合して一方の接合部を低温にすると、２つの接合部の間の温度差に応じて熱起電力が発生する現象をいい、ペルチェ効果は、異種物質を接合して電流を流すと、一方の接合部では熱を吸収し他方の接合部では熱を発生する現象をいい、また、トムソン効果とは、均一な物質の一端を高温にし他端を低温にし、温度勾配に沿って直流電流を流すと電流の方向によって材料内部で熱の吸収または放出が起きる現象をいう。
【０００３】
これらの熱電効果を利用する熱−電気エネルギー直接変換装置は、振動、騒音、摩耗等を生じる可動部分がなく、構造が簡単で信頼性が高く、高寿命で保守が容易であるという特長を持ち、例えば、各種化石燃料等の燃焼によって直接的に直流電流を得たり、冷媒を用いないで温度制御したりするのに適している。また、宇宙探査衛星に搭載されているＲＴＧ（ラジオアイソトープ熱電発電機）、ごみ焼却炉廃熱利用の発電機（ゴミ発電機）、体温と外気温との温度差で発電して動作する時計などに利用されている。また電流の向きで吸熱・発熱を自由に切り替え、精密な温度制御ができることを生かして精密温度調整装置（半導体製造工場で使用）、冷温庫（スイッチの切り替えで冷蔵庫にも温蔵庫にも使える）等にも利用されている。
【０００４】
これらの熱電効果を利用する技術の中でも、特に、ゼーベック効果を利用して熱エネルギーから直接発電を行う技術は、熱エネルギーの有効利用、特に近年では炭酸ガス排出量削減、工場等での廃熱の回収、再利用等の観点から、実用化が期待されている。この熱電変換用材料として、種々の材料が知られているが、耐酸化性に優れ、原料が比較的安価なことなどから中温〜高温域の材料としてβ−ＦｅＳｉ_２系が注目されている。しかし、β−ＦｅＳｉ_２系材料は熱電変換効率が低く、実用化例はロウソクラジオなどに限られているのが現状である。
【０００５】
β−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料は、所定量のＦｅ、Ｓｉ、およびＭｎやＣｏなどの導電型を決定するドーパント（以下、「導電型決定元素」という）を溶解・凝固して得られる金属相（α相とε相の共晶合金）に長時間の熱処理を施し、半導体であるβ相に相転移して製造される。このβ相転移に際しては、周期律表において第１１族、あるいは第１０族元素の内、Ｃｕなどの一部の元素の添加が促進効果を有することが知られている。例えば、特許文献１には相転移促進材として、ＣｕまたはＡｕが記載されている。また、特許文献２にはポリビニルアルコールなどの樹脂にＣｕを均一分散させたバインダーを添加して成形・焼結・熱処理する方法が記載されている。Ｃｕなどの添加によって、β相への転移速度は５０倍以上に促進されており、相転移促進材として高い効果を発揮している。
【０００６】
しかし、これらの相転移促進材は、β−ＦｅＳｉ_２系材料の熱電変換効率の向上には何ら寄与しない。このことは、特許文献１に記載されているように、Ｃｕなどの促進材がβ−ＦｅＳｉ_２結晶に固溶するのではなく、β相結晶の粒界に金属Ｃｕとして存在するため、β−ＦｅＳｉ_２の半導体特性に何ら影響しないことから自明である。
【０００７】
また、特許文献３には、ＣｕまたはＡｕ化合物を添加することによって熱電特性が向上する旨の記載がある。しかし、特許文献３に記載の熱電特性の向上は、材料の焼結温度を高くして高密度とし、粒界に介在する促進材によって応力が緩和されたことによるもの、と考えられる。
【０００８】
さらに、特許文献４には、
【０００９】
【化１】

【００１０】
（ただし、−０．１＜ｚ＜０．１）なる組成にＧｅを含有させたことを特徴とする熱電変換材料が記載され、Ｇｅの添加によって比抵抗が低下し、電力因子（Ｗ／ｍ／Ｋ）が増大する旨記載されている。しかし、特許文献４に記載の熱電変換材料において、Ｇｅは導電性キャリアの供給源になっており、熱伝導率の内のキャリア成分が増大する結果、有効な発電出力の指標となる性能指数（電力因子／熱伝導率）は増大しないことになる。さらに、特許文献４にはβ相への相転移促進については何ら記載されていない。なお、特許文献４には、実施例として８００℃で１時間の結晶化熱処理を行った旨の記載があるが、これは、膜厚１μｍの薄膜材料であるために短時間で結晶化が達成されているに過ぎず、Ｇｅが相移促進効果を有することを示すものでは無いことが明らかである。
【００１１】
以上から明らかなように、β相への相転移を促進すると共に、熱電変換効率をも同時に向上させることができることについては、何ら知られていない。
【００１２】
【特許文献１】
特開平７−２１１９４４号公報
【特許文献２】
特開平８−１３９３６８号公報
【特許文献３】
特開平６−２４４４６５号公報
【特許文献４】
特開平７−４５８６９号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、β相への相転移が促進され、工業的に有用な程度にまで短時間でβ転移すると共に、素子の熱電変換効率が向上、特にゼーベック係数と比抵抗を変化させることなく、低い熱伝導率を有することによって、熱電変換効率が向上した、新規なβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料およびそれを用いた熱電変換素子を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、熱電変換材料にＳｎおよび／またはＰｂを添加すると、β相への相転移が著しく促進されることを見出した。さらに驚くべきことに、ＳｎまたはＰｂを添加したβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料は、ゼーベック係数と比抵抗は変化することなく、熱伝導率が著しく低下し、その結果、熱電変換効率が著しく向上することを見出し、本発明を完成した。
【００１５】
すなわち、本発明は、導電型決定元素ならびにＳｎおよび／またはＰｂを含むβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料を提供する。
【００１６】
また、好ましくは、本発明は、下記式（１）で表される元素組成を有し、かつ｛ｙｚ／（１＋ｚ）｝×１００で示される添加率が０．０３〜１０原子％であるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料である。
Ｆｅ_１−ｘＡ_ｘ（Ｓｉ_１−ｙＳｎ_ｙ）_ｚ　　……（１）
ここで、Ａは導電型決定元素、ｘは０．０１〜０．２５、ｚは１．５〜２．５である。
【００１７】
また、好ましくは、本発明は、下記式（２）で表される元素組成を有し、かつ｛ｙｚ／（１＋ｚ）｝×１００で示される添加率が０．０３〜５原子％であるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料である。
Ｆｅ_１−ｘＡ_ｘ（Ｓｉ_１−ｙＰｂ_ｙ）_ｚ　　……（２）
ここで、Ａは導電型決定元素、ｘは０．０１〜０．２５、ｚは１．５〜２．５である。
【００１８】
さらに好ましくは、前記導電型決定元素が、Ｍｎ、ＡｌおよびＣｒからなる群から選ばれる少なくとも１種またはＣｏおよびＮｉからなる群から選ばれる少なくとも１種である。
【００１９】
また、本発明は、前記β−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料からなるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子を提供する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料（以下、「本発明の熱電変換材料」ともいう）およびそれを用いた熱電変換素子について詳細に説明する。
【００２１】
本発明の熱電変換材料は、導電型決定元素と、Ｓｎおよび／またはＰｂを含むものであり、下記式（３）で表される元素組成を有するものである。
Ｆｅ_１−ｘＡ_ｘ（Ｓｉ_１−ｙＭ_ｙ）_ｚ　　　　（３）
ここで、Ａは導電型決定元素であり、具体的には、ｐ型の熱電変換材料の場合はＭｎ、Ａｌ、Ｃｒなどを、ｎ型の熱電変換材料の場合はＣｏ、Ｎｉなどを例示することができる。本発明の熱電変換材料は、導電型決定元素として単一の元素のみを含んでいてもよいが、導電型が同じグループ内であれば、例えば、ＭｎとＡｌのように、複数種の元素を含んでいてもよい。
ｘは、導電型決定元素の種類にもよるが、通常０．０１〜０．２５の範囲であり、好ましくは０．０３〜０．１の範囲である。
【００２２】
ｚの値は、１．５以上２．５以下が好ましく、１．８以上２．２以下が特に好ましい。１．５未満ではε−ＦｅＳｉの生成量が多くなり、β相への相転移促進効果が低下すると共に熱伝導率の低減効果も不十分となるため、好ましくない。ｚの値が２．５超えではβ相への相転移促進効果は高いものの、残留するＳｉにより比抵抗が高くなるため、好ましくない。
【００２３】
本発明の熱電変換材料の各成分の元素組成を表す式（３）に示すＭはＳｎおよび／またはＰｂであり、本発明の熱電変換材料は、ＳｎまたはＰｂをそれぞれ１種単独でまたは両元素を同時に含むものでもよい。Ｍを含むことによって、含まないものに比べて、β相への相転移速度が著しく速くなると共に、素子のゼーベック係数と比抵抗は変化せず、熱伝導率が著しく低下することによって熱電変換効率が高くなる。特に、添加元素数が多いと、工業的には必ずしも有利とは言えないことから、ＭとしてＳｎまたはＰｂを単独で添加することが好ましい。さらに、Ｐｂ化合物の毒性を考慮すると、Ｓｎを単独で添加することが特に好ましい。
【００２４】
本発明の熱電変換材料において、ＭとしてＳｎを含む場合、Ｓｎの添加率は０．０３〜１０原子％の範囲であることが好ましく、特に、０．３〜３原子％の範囲が好ましい。
本発明において、ＳｎまたはＰｂの添加率とは、前記式（１）、（２）または（３）に基づいて、下記式（４）で定義される値である。
添加率＝［ｙｚ／（１＋ｚ）］×１００　　（原子％）　　（４）
【００２５】
Ｓｎの添加率が０．０３原子％未満では、β相への相転移促進効果、素子の熱伝導率低減効果共に不十分であり、本発明の効果が得られない。Ｓｎの添加率が１０原子％を超えると、相転移促進効果は充分に高いものの、ＦｅＳｉ_２に固溶できないＳｎの量が多くなり、熱伝導率の低減効果が発現しなくなると共に素子の耐酸化性が低下するため、好ましくない。
【００２６】
また、本発明の熱電変換材料において、ＭとしてＰｂを添加する場合、Ｐｂの添加率が０．０３〜５原子％の範囲であることが好ましく、特に好ましくは０．２〜２原子％である。
【００２７】
Ｐｂの添加率が０．０３原子％未満では、β相への相転移促進効果、素子の熱伝導率低減効果共に不十分であり、本発明の効果が得られない。Ｐｂの添加率が５原子％を超えると、相転移促進効果は充分に高いものの、ＦｅＳｉ_２に固溶できないＰｂの量が多くなり、熱伝導率の低減効果が発現しなくなると共に素子の耐酸化性が低下するため、好ましくない。さらに、Ｐｂの添加率が５原子％を超えると、有毒なＰｂ化合物が析出する可能性もあるため、好ましくない。
【００２８】
本発明の好ましい態様の内、比較的低い添加率までは、ＳｎまたはＰｂはＦｅＳｉ_２に完全に固溶しているが、比較的高い添加率においては、本発明の好ましい態様の範囲内であっても、ＳｎまたはＰｂはＦｅＳｉ_２に完全には固溶しないことがある。しかし、固溶できないＳｎまたはＰｂの量は少なく、ＦｅＳｉ_２の粒界に均一に分散して存在できるため、本発明の効果を失うことはない。なお、ＳｎまたはＰｂが完全に固溶できなくなる添加率は、一般式（１）における導電型決定元素Ａの添加率ｘによっても変化するので、一概に決定することはできない。
【００２９】
本発明の熱電変換材料の製造は、特に制限されず、公知の方法にしたがって行うことができる。例えば、（ａ）原料を高周波溶解・急冷してε相とα相の共晶合金からなるインゴットを形成した後、粉砕し、粉砕物にバインダーを添加して造粒し、これを所望の形状に冷間プレス等により成形して脱脂した後、焼結して所望の形状の焼結体とし、さらに熱処理して焼結体を構成する共晶合金をβ相転移化する方法（例えば、特開平８−１３９３６８号公報（特許文献２）に記載の方法）、（ｂ）原料を高周波溶解して合金溶湯を形成し、この合金溶湯を不活性ガスを用いた高圧噴霧装置（ガスアトマイズ法）、あるいは高圧水を用いた噴霧装置（水アトマイズ法）によって容器内に噴霧冷却して微細な共晶合金粉末を得、この粉末にバインダー等を添加して造粒し、これを所望の形状に冷間プレス等により成形して脱脂した後、焼結して所望の形状の焼結体とし、さらに熱処理して焼結体を構成する共晶合金をβ相転移化する方法（例えば、特開平７−２１１９４４号公報（特許文献１）に記載の方法）、（ｃ）原料粉末を混合分散し、粉砕と圧着を機械的に繰り返して行い原子レベルでの混合状態とするメカニカルアロイング法により直接、共晶合金粉末を得、この粉末にバインダー等を添加して造粒し、これを所望の形状に冷間プレス等により成形して脱脂した後、焼結して所定の形状の焼結体とし、さらに熱処理して焼結体を構成する共晶合金のβ相転移を行う方法、（ｄ）ＧａやＩｎのような低融点金属融液に原料を溶解させ、溶液に温度差を設定することにより、低温部に本発明の熱電変換材料粉末結晶を得（例えば、鵜殿治彦「半導体シリサイドバルク結晶の溶液成長」材料科学、Ｖｏｌ．３７（Ｎｏ．１）３４−３８（１９９９）記載の溶液成長法）、その後、前記（ａ）〜（ｃ）のようなプレス成形・脱脂・焼結・熱処理からなる一連の工程によりβ相転移を行う方法などの各種の方法が適用できる。
【００３０】
メカニカルアロイングに用いられる混合機としては、例えば、転動式のボールミル、振動ボールミル、遊星型のボールミル、アトライター等の機械的衝撃力によって混合分散を行う装置が挙げられる。
【００３１】
また、焼結は、真空中、水素等の還元性ガス雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、加熱して焼結する方法、あるいは最初に粉体にパルス状の電流を流すことで粉体間に放電を生じさせ，その後直流通電により加熱焼結させるプラズマ活性化焼結（ＰＡＳ）法などが挙げられる。ＰＡＳ法は、短時間で比較的低温でも緻密な焼結体が得られる利点がある。
【００３２】
熱処理は、特に制限されず、電気炉等の常用の装置を用いて、空気中、不活性ガス雰囲気中または水素等の還元性ガス雰囲気中で行うことができる。このとき、本発明の熱電変換材料において、熱処理は、Ｓｎおよび／またはＰｂの添加によって、β層転移が促進され、従来の約１／２５〜１／５０程度の短時間でβ相転移を行うことができる。
【００３３】
さらに、本発明の熱電変換材料は、密度比等について、何ら制限されず、例えば、林宏爾「熱電変換素子用多孔質焼結体−ガス燃焼式多孔構造熱電発電装置用の熱電変換素子−」まてりあ、Ｖｏｌ．３５（Ｎｏ．９）９６５−９６８（１９９６）に記載されているような、多孔構造とすることもできる。
【００３４】
本発明の熱電変換材料の製造において、Ｆｅ、Ｓｉ、導電型決定元素、ならびにＳｎおよび／またはＰｂとして用いる原料は、特に制限されず、工業用低純度品（９８〜９９％程度）または高純度品（９９．９９％以上）のいずれを用いてもよく、例えば、西田勲夫「金属間化合物半導体ＦｅＳｉ_２の製造法とその熱電特性」鉄と鋼、Ｖｏｌ．８１（Ｎｏ．１０）Ｎ４５４−Ｎ４６０（１９９５）に記載されているもの、あるいは電解鉄や半導体用多結晶シリコンなどを用いることができる。また、原料の形状は、製造方法等に応じて、インゴットやその粗砕品、あるいは粉末等任意の形状のものを適宜用いることができる。
【００３５】
また、本発明は、本発明の熱電変換材料からなるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子（以下「本発明の熱電変換素子」ともいう）を提供する。この熱電変換素子の形状は、特に制限されず、例えば、西田勲夫「金属間化合物半導体ＦｅＳｉ_２の製造法とその熱電特性」鉄と鋼、Ｖｏｌ．８１（Ｎｏ．１０）Ｎ４５４−Ｎ４６０（１９９５）に示されているＵ字型素子、あるいはπ字型などの任意の形状を、使用目的、用途等に応じて選択することができる。
より具体的に用途と素子形状との関係を例示すると、ごみ焼却炉や焼成炉等の種々の工業炉から発生する廃熱を利用して熱電発電を行うような場合は、一般に、熱電発電設備の設置スペースに余裕があること、並びに熱源が１０００℃以上の高温であることから、π字型に比べて素子高さが高くなるものの、ｐ型材料とｎ型材料との一体成型・一体焼結が可能なＵ字型素子を選択することが好ましい。一方、自動車排気ガスの排熱から熱電発電を行うような場合は、熱電発電設備の設置スペースや重量が限られていること、熱源は炉用途よりも低温であることから、π字型素子を選択することが好ましい。
【００３６】
この素子の製造は、前記変換材料の焼結時に所定の形状に成形して行ってもよいし、焼結および熱処理後、所望の形状に成形して行ってもよい。共晶合金粉末に分散剤、溶剤などを混合し、スラリーを調整した後、ドクターブレード法などによってｐ型およびｎ型のシートを成形・積層し、所定の形状に切断した後、焼結してもよい。
【００３７】
なお、本発明のβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料から製造される、これらＵ字型、あるいはπ字型素子群から構成される熱電変換モジュールと、Ｂｉ−Ｔｅ系等の低温用熱電変換材料から成る熱電変換モジュールとを組合せて利用する、所謂カスケード型モジュールを作製することも可能である。この場合、本発明の熱電変換素子群から排出される低温熱源を利用してさらに熱電変換を行うため、単位面積あたりの発電出力が大きくなり、自動車等の設置スペースに制限がある用途には、特に好ましい。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の実施例および比較例によって、本発明を詳細に説明するが、本発明は実施例によって、限定されるものではない。
原料として、工業用鉄粉（純度９９％）、工業用金属シリコン（純度９９．５％）、および高純度金属試薬（Ｓｎ：純度９９．９９％、Ｐｂ：純度９９．９％、Ｍｎ：純度９９．９９％、Ｃｏ：純度９９．９％）を用いた。なお、鉄粉は直径２０ｍｍ、厚さ３ｍｍの円盤状に成形して用いた。
【００３９】
表１に示す組成となるよう各原料を秤量した後、高周波溶解炉によって高純度アルゴン雰囲気下、１８７３Ｋ以上の温度で溶解した。得られた溶製材を粉砕し、粒径５３μｍ以下の粉末を採取した。粉末の元素分析の結果、表１に示す仕込み組成は分析値と良く一致していた。
【００４０】
採取した粉末は、１，３−ブタンジオールのエタノール溶液（濃度５０質量％）をバインダーとして粒径１ｍｍ前後の粒状に造粒した後、１．１６×１０^２ＭＰａの圧力で冷間プレスして所定形状（２５ｍｍ×１０ｍｍ×厚さ４ｍｍおよび直径１１．５ｍｍ×厚さ８ｍｍ）に成形した。得られた圧粉体を１４４８Ｋ以上の温度で真空焼結（圧力０．５Ｐａ以下）し、密度比７０％以上の焼結体とした後、１１２３Ｋで所定時間熱処理してβ相化した。
【００４１】
β化した試料は、ゼーベック係数と抵抗測定用として３ｍｍ×３ｍｍ×１６ｍｍの試験片に、熱伝導率測定用として直径１０ｍｍ×厚さ１ｍｍの試験片に、Ｘ線回折測定用として８ｍｍ×３ｍｍ×１０ｍｍの試験片に、それぞれ加工した。ゼーベック係数と抵抗率の測定はアルバック理工（株）製の熱電特性評価装置を、熱伝導率の測定はアルバック理工（株）製のレーザフラッシュ法熱定数測定装置を使用して行った。
【００４２】
表１に本発明の実施例および比較例として作製したβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料の組成およびそれを用いた熱電変換素子ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料の、７７３Ｋにおける性能（ゼーベック係数、抵抗率、熱伝導率）測定値、β化時間をまとめて示す。ここで、密度比とは作製した各試験片の実測密度とβ−ＦｅＳｉ_２理論密度（４．９５）との比であり、β化時間とはβ相の組成が９０％以上になるために必要な熱処理時間を意味する。β相転移の確認は、Ｘ線回折法により行い、α相（ミラー指数ｈｋｌ＝１０２）、ε相（ミラー指数ｈｋｌ＝２１０）、ならびに、β相（ミラー指数ｈｋｌ＝２０２）のＸ線回折強度比からβ相組成を算出した。
【００４３】
【表１】

【００４４】
【表２】

【００４５】
注　性能指数＝（ゼーベック係数）^２／（抵抗率）／（熱伝導率）
熱電変換効率∝（性能指数）×（温度）
【００４６】
表１より明らかなように、本発明のβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子の熱伝導率はＳｎまたはＰｂを添加していない比較例（Ｆｅ_０．９２Ｍｎ_０．０８Ｓｉ_２、Ｆｅ_０．９７Ｃｏ_０．０３Ｓｉ_２）の熱伝導率の１／２未満を示し、顕著に低下しており、さらに、本発明の熱電変換素子のβ化時間は比較例におけるβ化時間の１／２５〜１／５０と著しく短縮されており、本発明が熱伝導率の低減とβ相への転移時間の短縮に顕著な効果を有することがわかる。本発明の熱電変換素子のゼーベック係数と抵抗率は比較例のゼーベック係数、抵抗率と実験誤差範囲内でほぼ一致していることから、本発明の熱電変換素子の性能指数は２倍以上に増大しており、熱電変換効率は著しく増大していることがわかる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の熱電変換材料は、β相への相転移速度が著しく促進されるため、その熱処理時間が短縮され、工業的生産において、生産時間の短縮、コストの低減等を得ることができ、生産性の向上に著しく有利である。また、本発明の熱電変換材料は、低い熱伝導率を有するため、著しく熱電変換効率が向上し、熱電変換性能に優れたβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子を得ることが可能であり、種々の熱電変換装置へ適用することができる。また、本発明の熱電変換材料は、ゼーベック効果に限定されず、ペルチェ効果およびトムソン効果を利用した各種素子の素材として有用である。
さらに、本発明の熱電変換素子は、熱電変換性能に優れるため、熱エネルギーから直接発電を行う装置に適用して、熱エネルギーの有効利用、特に近年では炭酸ガス排出量削減、工場や自動車等での廃熱の回収、再利用等に実用化が期待できる。

Claims (5)

1. 導電型決定元素ならびにＳｎおよび／またはＰｂを含むβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料。
2. 下記式（１）で表される元素組成を有し、かつ｛ｙｚ／（１＋ｚ）｝×１００で示される添加率が０．０３〜１０原子％であるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料。
   Ｆｅ_１−ｘＡ_ｘ（Ｓｉ_１−ｙＳｎ_ｙ）_ｚ　　……（１）
   ここで、Ａは導電型決定元素、ｘは０．０１〜０．２５、ｚは１．５〜２．５である。
3. 下記式（２）で表される元素組成を有し、かつ｛ｙｚ／（１＋ｚ）｝×１００で示される添加率が０．０３〜５原子％であるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料。
   Ｆｅ_１−ｘＡ_ｘ（Ｓｉ_１−ｙＰｂ_ｙ）_ｚ　　……（２）
   ここで、Ａは導電型決定元素、ｘは０．０１〜０．２５、ｚは１．５〜２．５である。
4. 前記導電型決定元素が、Ｍｎ、ＡｌおよびＣｒからなる群から選ばれる少なくとも１種またはＣｏおよびＮｉからなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１〜３のいずれかに記載のβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換材料からなるβ−ＦｅＳｉ_２系熱電変換素子。