JP2004086702A - 振動抑制フィルタの自動設定方法 - Google Patents
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| JP2004086702A true JP2004086702A (ja) | 2004-03-18 |
| JP2004086702A5 JP2004086702A5 (enExample) | 2005-10-20 |
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| JP2002248699A Pending JP2004086702A (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 振動抑制フィルタの自動設定方法 |
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| JP (1) | JP2004086702A (enExample) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005026859A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 振動抑制フィルタの自動設定方法 |
| JP2006003953A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Yaskawa Electric Corp | 機械振動抑制装置および機械振動周波数検出方法 |
| JP2006288113A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Yaskawa Electric Corp | 振動抑制フィルタの設定方法 |
| JPWO2005124475A1 (ja) * | 2004-06-16 | 2008-04-17 | 株式会社安川電機 | 振動抑制フィルタの自動設定方法及び振動抑制フィルタの自動設定装置 |
| JP2008185545A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Asmo Co Ltd | 異物検出センサ |
| JP2008258613A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| CN112305996A (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-02 | 兄弟工业株式会社 | 数值控制装置和控制方法 |
| JP7633112B2 (ja) | 2021-07-20 | 2025-02-19 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | モータ制御装置及びモータ制御方法 |
Citations (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202383A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-08 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスク装置 |
| JPS62187904A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | オ−トチユ−ニング調節計 |
| JPS62187903A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | オ−トチユ−ニング調節計 |
| JPS62226317A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | Hitachi Ltd | 機械振動抑制装置 |
| JPS62269203A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 位置決め制御系のノツチフイルタ調整方法 |
| JPS631389A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-06 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 電動機械の防振制御装置 |
| JPH01235082A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | Matsushita Commun Ind Co Ltd | 光ディスクドライブ装置のサーボ装置 |
| JPH02228282A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-11 | Yokogawa Electric Corp | フィルタ |
| JPH0491689A (ja) * | 1990-08-01 | 1992-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 電動機の速度制御装置 |
| JPH0519858A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Yokogawa Electric Corp | サ―ボアクチユエ―タ |
| JPH05346813A (ja) * | 1992-06-16 | 1993-12-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Nc制御装置 |
| JPH06253564A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Ckd Corp | モータ共振周波数減衰用フィルタの定数値設定方法 |
| JPH07281709A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 制御装置の制御パラメータの調整方法 |
| JP2000278990A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モータの制御装置 |
| WO2000070739A1 (fr) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servocommande |
| JP2001249703A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | Pid制御器 |
| JP2001290506A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | 制御対象の同定方法およびその同定結果を利用する制御装置 |
| JP2001293638A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-10-23 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
-
2002
- 2002-08-28 JP JP2002248699A patent/JP2004086702A/ja active Pending
Patent Citations (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202383A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-08 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスク装置 |
| JPS62187904A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | オ−トチユ−ニング調節計 |
| JPS62187903A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | オ−トチユ−ニング調節計 |
| JPS62226317A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | Hitachi Ltd | 機械振動抑制装置 |
| JPS62269203A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 位置決め制御系のノツチフイルタ調整方法 |
| JPS631389A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-06 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 電動機械の防振制御装置 |
| JPH01235082A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | Matsushita Commun Ind Co Ltd | 光ディスクドライブ装置のサーボ装置 |
| JPH02228282A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-11 | Yokogawa Electric Corp | フィルタ |
| JPH0491689A (ja) * | 1990-08-01 | 1992-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 電動機の速度制御装置 |
| JPH0519858A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Yokogawa Electric Corp | サ―ボアクチユエ―タ |
| JPH05346813A (ja) * | 1992-06-16 | 1993-12-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Nc制御装置 |
| JPH06253564A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Ckd Corp | モータ共振周波数減衰用フィルタの定数値設定方法 |
| JPH07281709A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 制御装置の制御パラメータの調整方法 |
| JP2000278990A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モータの制御装置 |
| WO2000070739A1 (fr) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servocommande |
| JP2001293638A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-10-23 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
| JP2001249703A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | Pid制御器 |
| JP2001290506A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | 制御対象の同定方法およびその同定結果を利用する制御装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005026859A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 振動抑制フィルタの自動設定方法 |
| JP2006003953A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Yaskawa Electric Corp | 機械振動抑制装置および機械振動周波数検出方法 |
| JPWO2005124475A1 (ja) * | 2004-06-16 | 2008-04-17 | 株式会社安川電機 | 振動抑制フィルタの自動設定方法及び振動抑制フィルタの自動設定装置 |
| JP4720744B2 (ja) * | 2004-06-16 | 2011-07-13 | 株式会社安川電機 | サーボ制御装置 |
| JP2006288113A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Yaskawa Electric Corp | 振動抑制フィルタの設定方法 |
| JP2008185545A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Asmo Co Ltd | 異物検出センサ |
| US7714595B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-05-11 | Asmo Co., Ltd. | Foreign object detection sensor |
| JP2008258613A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| CN112305996A (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-02 | 兄弟工业株式会社 | 数值控制装置和控制方法 |
| JP7633112B2 (ja) | 2021-07-20 | 2025-02-19 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | モータ制御装置及びモータ制御方法 |
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