JP2004075449A - 圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法および圧電セラミック部品 - Google Patents
圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法および圧電セラミック部品 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】この発明は、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とする圧電磁器組成物において、該一般式中のAをBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素とし、該一般式中のBをTiとし、該一般式中のB(=Ti)の一部を3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換させ、好ましくは該置換の割合xを0.005≦x≦0.040とすることにより上記課題を解決した。
【選択図】 なし
Description
【発明が属する技術分野】
この発明は、圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法および圧電セラミック部品に関し、特にたとえば、圧電発音体、圧電センサ、圧電アクチュエータ、圧電トランス、圧電超音波モータなどの圧電セラミック部品などの材料として有用な無鉛圧電磁器組成物、無鉛圧電磁器組成物の製造方法およびこの無鉛圧電磁器組成物を用いた圧電セラミック部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電体磁器組成物としては、二成分系で構成されるPZT(PbTiO3−PbZrO3)系磁器や三成分で構成されるPCM[PbTiO3−PbZrO3−Pb(Mg0.5Nb0.5)TiO3]系磁器が主に用いられてきた。
【0003】
しかし、これらの磁器組成物は、いずれも鉛を主成分とするもので、焼成時に揮発する酸化鉛などの鉛成分による環境面への影響が問題となる。
【0004】
従来、この代替として、ABO3のペロブスカイト構造を有する材料の中で、(Bi0.5Na0.5)TiO3、(Bi0.5K0.5)TiO3や(Bi,Na,K)TiO3、(Bi,Na,Ba)TiO3などのBiを含む複合ペロブスカイト構造をもつ材料(Biペロブスカイト)、これらの固溶体、および(Bi,Na,K)TiO3にFe2O3、Cr2O3、MnO2、NiO、Co2O3、La2O3、In2O3、Al2O3、BaCO3、Sb2O3、Nb2O5などを添加した無鉛圧電磁器組成物が提案されている。
【0005】
例えば、特開平11−171643、特公平04−60073、特開2001−151566、特開2001−48642、特開平11−217262、特開2000−22235、特開2000−272962には種々の無鉛圧電磁器組成物が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
Biペロブスカイトは、発音体、センサ、アクチュエータなど変位を利用する圧電セラミック部品としては圧電定数が低く、トランス、超音波モータなどパワー利用の圧電セラミック部品では、機械的品質係数Qmが低い。また、Biペロブスカイトは、成形後、焼成時に結晶粒が異常粒成長し、100μmを越えるような結晶粒と、数μmの細かい結晶粒が混在した不均一な組織(Duplex Structure)になり易く、組織を制御することが難しい。
【0007】
圧電磁器組成物を数μm〜数10μmの厚みでシート成形後、電極材料介して積層し同時焼成することで作成する圧電セラミック部品としては、結晶粒のサイズがシート厚みを越えてしまう磁器組成物は使用できない。したがって、PZTの代替で使用するには、材料特性の改善が不可欠である。
【0008】
従来技術のうち、特開平11−217262、特開2000−22235、特開2000−272962では、これらのBiペロブスカイトに、Fe2O3、Cr2O3、MnO2、Co2O3、La2O3、BaCO3、Sb2O3、Nb2O3などの酸化物を添加することで圧電特性が改善できることを提示している。
【0009】
しかし、実際には、従来技術のように合成する際にBiペロブスカイトにこれらの酸化物を添加した組成系では、反応合成時、焼結工程などの熱処理過程で、BiなどのBiペロブスカイトの構成元素と添加した酸化物が反応し、Biペロブスカイト以外の二次相が生成される。そのため、二次相により圧電特性が下がる効果と、添加した酸化物による特性向上作用が反駁し、示されているような改善は、安定して得られない。さらに、焼結体の微細組織は、二次相の生成が抑制できないことから、効果については触れられていない。
【0010】
この発明は、鉛を含まない化合物からなる、圧電特性の良い圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法および圧電セラミック部品を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る圧電磁器組成物は、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とするものである。
【0012】
この発明に係る圧電磁器組成物の製造方法は、原料化合物を仮焼する仮焼工程と、該仮焼工程で得られた仮焼粉を成形する成形工程と、該成形工程で得られた成形体を焼成する焼成工程とを備え、前記原料化合物が、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とするものである。
【0013】
この発明に係る圧電セラミック部品は、1又は2以上の圧電体と該圧電体を挟持する2以上の電極とを備え、該圧電体が、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とするものである。
【0014】
ここで、前記一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されている置換の割合は0.005≦x≦0.040が好ましい。置換の割合xの範囲を0.005≦x≦0.040としたのは、xが0.005未満になると粒径分布が不均一で、ポアが残り、xが0.040を越えると二次相が多くなり、分極不可になるが、0.005≦x≦0.040の範囲ではこのような不都合がなく、圧電特性(Qm,kr,d31)の良い、緻密な組成物が得られるからである。
【0015】
また、前記一般式ABO3を下式(1)又は(2)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物とすることができる。この場合、Mとしては3価の元素M(III)を使用することができる。
【0016】
Bi0.5(Na1−αKα)0.5Ti1−xMxO3……………(1)
【0017】
(Bi0.5Na0.5)1−βBaβTi1−xMxO3……………(2)
【0018】
ここで、αの範囲は0≦α≦1が、βの範囲は0<β<1が好ましい。
【0019】
また、前記一般式ABO3を下式(3)又は(4)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物とすることができる。この場合、Mとしては5価の元素M(V)を使用することができる。
【0020】
Bi0.5(Na1−αKα)0.5−xTi1−xMxO3………………(3)
【0021】
(Bi0.5−0.5βNa0.5−0.5β−x)BaβTi1−xMxO3………(4)
【0022】
ここで、αの範囲は0≦α≦1が、βの範囲は0<β<1が、xの範囲は0.005≦x≦0.020が好ましい。
【0023】
また、前記3価の元素M(III)としては、例えばMn、Cr、Fe又はCo、前記5価の元素M(V)としては、例えばNb、Sb、V又はTaとすることができる。
【0024】
また、上記説明においてペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とするとは、上記圧電磁器組成物の特性を害しない範囲で他の成分を含んでいても良いという趣旨である。
【0025】
また、圧電磁器組成物の製造方法において、仮焼粉の成形には、仮焼粉をプレスして成形する場合だけでなく、仮焼粉のスラリーを用いてシートを成形する場合や、仮焼粉のスラリーの塗布と電極の塗布を交互に行って積層体を形成する場合も含む。
【0026】
また、前記圧電セラミック部品は、例えば圧電発音体、圧電センサ、圧電アクチュエータ、圧電トランス又は圧電超音波モータを挙げることができるが、圧電磁器組成物を使用できる電気部品であればこれら以外のものに適用してもよい。
【0027】
【実施例】
実施例その1: まず、原料化合物としてBi2O3、Na2CO3、K2CO3、TiO2を式(1)(2)の複合酸化物が構成される割合で秤量した。
【0028】
Bi0.5(Na1−αKα)0.5Ti1−xM(III)xO3……………(1)
【0029】
Bi0.5(Na1−αKα)0.5−xTi1−xM(V)xO3……………(2)
【0030】
また、これらの式(1)(2)中、α=0〜1、M(III)は、MnO2、Cr2O3、Fe2O3、Co2O3を、M(V)は、Nb2O5、Sb2O3、V2O5、Ta2O5を表1、表2のx欄に示す割合で各々秤量した。
【0031】
次に、表1、表2の各試料条件で上記各原料化合物及び添加成分をエタノールとともにボールミルに入れ、湿式混合し、得られたスラリーを乾燥させ、これを750℃、3hで仮焼した。この仮焼によって各試料条件でのペロブスカイト型の複合酸化物が合成される。
【0032】
次に、この仮焼物をエタノールとともにボールミルに入れ、湿式粉砕し、得られたスラリーを乾燥させ、有機バインダ(PVA)を加えて乾式造粒した。
【0033】
次に、この造粒物を1軸プレスで10mmφ×0.5mmtの円板に成型し、これを1000〜1300℃、1〜4時間で焼成し、試料を作製した。
【0034】
次に、この試料について、X線回折装置(XRD)により生成相を同定し、走査型電子顕微鏡(SEM)により微細組織を観察・評価した。結果は、表1、表2に示す通りであった。
【0035】
また、シリコンオイルなどの絶縁油中で50〜150℃で2〜5kV/mmで分極させ、LCRメータにより1kHzでの誘電特性を測定し、インピーダンスで共振反共振法により圧電特性を測定した。結果は、表1、表2に示す通りであった。
【0036】
この実施例では、3価の元素M(III)をx=0.005〜0.04の範囲で置換させた場合、5価の元素M(V)をx=0.005〜0.02の範囲で置換させた場合、二次相の生成が抑制され、微細構造の均一な焼結体が形成された。圧電特性も良好で、後述する比較例のものと比較して、微細組織、圧電特性の良好な圧電磁器が得られた。典型的な特性として組成変態相境界(morphotoropic phase boundary)付近で圧電特性が高くなるα=0.07の場合の結果を表1、表2に示す。
【0037】
【表1】
【0038】
【表2】
【0039】
比較例: Bi2O3、Na2CO3、K2CO3、TiO2、を式(5)の複合酸化物が構成される割合で秤量した。
【0040】
(Bi0.5Na1−αKα)TiO3+添加物…………(5)
【0041】
また、式(5)中の添加成分として、Fe2O3、Cr2O3、MnO2、Co2O3、Sb2O3、Nb2O5を表3のx欄に示す割合で各々秤量した。
【0042】
これらの化合物を用い、実施例その1と同様にして試料を作成し、実施例その1と同様にしてXRDとSEMにより生成相の同定と微細組織を評価したところ、全ての試料について、添加物が構成元素と反応して形成された二次相が確認されるとともに、添加物の添加量の増加にともない、二次相の存在が顕著になった。微細組織は、二次相が局所的に偏析し、不均一であった。
【0043】
また、実施例その1と同様にして圧電特性を測定した。典型的な結果としてα=0.07の場合の結果を表1に示す。この例(比較例)によると、圧電特性は、添加物とBiペロブスカイトとの反応による二次相の影響で、わずかに向上する程度であった。
【0044】
【表3】
【0045】
実施例その2: まず、原料化合物としてBi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2を式(3)(4)の複合酸化物が構成される割合で秤量した。
【0046】
(Bi0.5Na0.5)1−βBaβTi1−xM(III)xO3……………(3)
【0047】
(Bi0.5−0.5βNa0.5−0.5β−x)BaβTi1−xM(V)xO3………(4)
【0048】
また、これらの式(3)(4)中、0<β<1、M(III)は、MnO2、Cr2O3、Fe2O3、Co2O3、M(V)は、Nb2O5、Sb2O3、V2O5、Ta2O5を表4、表5のx欄に示す割合で各々秤量した。
【0049】
これらの化合物を用い、実施例1と同様の方法で試料円板を作製し、特性を評価した。作製した円板は、3価の元素M(III)をx=0.005〜0.04の範囲で置換させた場合、5価の元素M(V)をx=0.005〜0.02の範囲で置換させた場合、二次相の生成が抑制され、微細構造の均一な焼結体が形成された。圧電特性も良好で、従来技術に比較して、微細組織、圧電特性の良好な圧電磁器が得られた。典型的な特性として組成変態相境界(morphotoropic phase boundary)付近で圧電特性が高くなるβ=0.06の結果を表4、表5示す。
【0050】
x=0.00では、図1に示す通り、異常粒成長が認められ、結晶粒の大きさが、1μm〜数100μmと極めて不均質であった。Qm=310、d31=37pm/V、kr=27%と圧電特性がハードとソフトの中間で実用化するには不十分であった。
【0051】
これに対し、3価の元素M(III)、x=0.01は、図2に示す通り、結晶粒が揃い均質であった。圧電特性は、Qm=〜1500、kr=〜30%とハード化。トランスなどへの応用が可能なレベルに圧電特性が向上した。
【0052】
5価の元素M(V)、x=0.01は、図3に示す通り、結晶粒が均質であった。圧電特性は、Qm=88、d31=70pm/Vと向上した。発音体、アクチュエータなどへの応用が可能なレベルに圧電特性が向上した。
【0053】
【表4】
【0054】
【表5】
【0055】
実施例その3: 実施例その2で評価した材料のうち、式(3)で、x=0.01、α=0.06、M(III)=Mn、の圧電磁器組成物を、エタノールなどの有機溶剤に分散し、PVBなどの有機バインダーを加えてスラリー化し、シート成形後、Ptなどの電極を介して積層し、400〜500℃で脱バインダーの熱処理を施し、前記と同様に焼成して図4のような圧電セラミックトランスを作製した。同図において、10は圧電体磁器、12は電極、14は入力側、16は出力側である。また、矢印は圧電体磁器10の分極方向である。
【0056】
そして、この圧電セラミックトランスの昇圧比、変換効率を評価したところ、表6に示す通りであった。比較のために、PZT系の代表的な、トランスの特性も表6中に挿入した。
【0057】
表6に見られる通り、代表的なPZTと同等の特性をもつトランスが得られた。したがって、この発明にかかる磁器組成物は、圧電セラミック部品として有用であることが検証できた。
【0058】
【表6】
【0059】
実施例その4: x=0.01、α=0.06、M(V)=Nbの圧電磁器組成物を、エタノールなどの有機溶剤に分散し、PVBなどの有機バインダーを加えてスラリー化、シート成形後、Ptなどの電極を介して積層し、400〜500℃で脱バインダーの熱処理を施し、前記と同様に焼成して圧電セラミック積層焼結体を形成し、図5のような発音体を作成した。同図において、10は圧電体磁器、12は電極、18は振動板である。
【0060】
そして、この発音体の音響特性を評価したところ、音圧レベルの周波数依存性は図6に示す通りであった。比較のために、PZT系の代表的な、音響特性の結果も図6中に挿入した。
【0061】
図6に見られる通り、代表的なPZTと同等の音圧特性をもつ発音体が得られた。したがって、この発明にかかる磁器組成物は、圧電セラミック部品として有用であることが検証できた。
【0062】
【発明の効果】
この発明にかかる磁器組成物は、Tiを置換した、M(III)=Mn、Cr、Fe、Coから選ばれる少なくとも1種の元素がアクセプタとして作用し、Tiを置換した、M(V)=Nb、Sb、V、Taから選ばれる少なくとも1種の元素がドナーとして作用する。また、かかる磁器組成物は、一般式で表されるとおり、化学量論組成であるので、従来技術のように二次相を誘発しない。さらに、前述の磁器組成物は、Tiのモル比が減るため、焼成時に、Tiリッチの低融点の液相生成が抑制される作用が生じる。
【0063】
この発明にかかる磁器組成物は、上記の作用により、二次相による圧電特性の低下が抑制される。その上で、M(III)=Mn、Cr、Fe、Coから選ばれる少なくとも1種の元素でTiを置換した場合、M(III)のアクセプタ作用により欠陥双極子が生じ、ドメインをピンニングしQmを向上させ、M(V)=Nb、Sb、V、Taから選ばれる少なくとも1種の元素でTiを置換した場合、M(V)のドナー作用により、Aサイトのアルカリ金属元素の欠陥が生じ格子が歪みやすくなり、圧電定数が向上する。さらに、Tiリッチの低融点相の生成しなくなる作用で異常粒成長が抑制され、M(III)で置換した場合は、結晶粒のサイズが10〜20μm、特に、M(V)で置換した場合では、結晶粒のサイズが10μm以下というように微細組織が均一化する。
【0064】
上記の結果として、圧電セラミック部品に有用な無鉛圧電磁器組成物が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例その2で形成した比較試料(x=0.00)の微細組織を示す説明図である。
【図2】実施例その2で形成した試料(M(III)、x=0.01)の微細組織を示す説明図である。
【図3】実施例その2で形成した試料(M(V)、x=0.01)の微細組織を示す説明図である。
【図4】実施例その3で制作された圧電セラミックトランスの説明図である。
【図5】実施例その4で制作された圧電発音体の説明図である。
【図6】周波数と音圧との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
10 圧電体磁器
12 電極
14 入力側
16 出力側
18 振動板
Claims (16)
- 一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とする圧電磁器組成物。
- 前記置換の割合xが0.005≦x≦0.040であることを特徴とする請求項1に記載の圧電磁器組成物。
- 前記一般式ABO3が下式(1)又は(2)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5Ti1−xMxO3………………(1)
(Bi0.5Na0.5)1−βBaβTi1−xMxO3……………(2)
該式(1)(2)中、Mが3価の元素M(III)、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電磁器組成物。 - 前記一般式ABO3が下式(3)又は(4)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5−xTi1−xMxO3…………………(3)
(Bi0.5−0.5βNa0.5−0.5β−x)BaβTi1−xMxO3………(4)
該式(3)(4)中、Mが5価の元素M(V)からなり、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1、xの範囲が0.005≦x≦0.020であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電磁器組成物。 - 前記3価の元素M(III)がMn、Cr、Fe又はCo、前記5価の元素M(V)がNb、Sb、V又はTaであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電磁器組成物。
- 原料化合物を仮焼する仮焼工程と、該仮焼工程で得られた仮焼粉を成形する成形工程と、該成形工程で得られた成形体を焼成する焼成工程とを備え、前記原料化合物が、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とする圧電磁器組成物の製造方法。
- 前記置換の割合xが0.005≦x≦0.040であることを特徴とする請求項6に記載の圧電磁器組成物の製造方法。
- 前記一般式ABO3が下式(1)又は(2)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5Ti1−xMxO3………………(1)
(Bi0.5Na0.5)1−βBaβTi1−xMxO3……………(2)
該式(1)(2)中、Mが3価の元素M(III)、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1であることを特徴とする請求項6又は7に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 前記一般式ABO3が下式(3)又は(4)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5−xTi1−xMxO3…………………(3)
(Bi0.5−0.5βNa0.5−0.5β−x)BaβTi1−xMxO3………(4)
該式(3)(4)中、Mが5価の元素M(V)からなり、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1、xの範囲が0.005≦x≦0.020であることを特徴とする請求項6又は7に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 前記3価の元素M(III)がMn、Cr、Fe又はCo、前記5価の元素M(V)がNb、Sb、V又はTaであることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の圧電磁器組成物の製造方法。
- 1又は2以上の圧電体と該圧電体を挟持する2以上の電極とを備え、該圧電体が、一般式ABO3で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物を主成分とし、該一般式中のAがBi、Na、K及びBaから選択された1種又は2種以上の元素からなり、該一般式中のBがTiからなり、該一般式中のB(=Ti)の一部が3価又は5価の元素M(III)(V)によって置換されていることを特徴とする圧電セラミック部品。
- 前記置換の割合xが0.005≦x≦0.040であることを特徴とする請求項11に記載の圧電セラミック部品。
- 前記一般式ABO3が下式(1)又は(2)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5Ti1−xMxO3………………(1)
(Bi0.5Na0.5)1−βBaβTi1−xMxO3……………(2)
該式(1)(2)中、Mが3価の元素M(III)、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1であることを特徴とする請求項11又は12に記載の圧電セラミック部品。 - 前記一般式ABO3が下式(3)又は(4)で表わされるペロブスカイト型の複合酸化物からなり、
Bi0.5(Na1−αKα)0.5−xTi1−xMxO3…………………(3)
(Bi0.5−0.5βNa0.5−0.5β−x)BaβTi1−xMxO3………(4)
該式(3)(4)中、Mが5価の元素M(V)からなり、αの範囲が0≦α≦1、βの範囲が0<β<1、xの範囲が0.005≦x≦0.020であることを特徴とする請求項11又は12に記載の圧電セラミック部品。 - 前記3価の元素M(III)がMn、Cr、Fe又はCo、前記5価の元素M(V)がNb、Sb、V又はTaであることを特徴とする請求項11〜14のいずれかに記載の圧電セラミック部品。
- 前記圧電セラミック部品が圧電発音体、圧電センサ、圧電アクチュエータ、圧電トランス又は圧電超音波モータであることを特徴とする請求項11〜15のいずれかに記載の圧電セラミック部品。
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