JP2010215418A - 圧電セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくともPb化合物、Mn化合物、Nb化合物、Zr化合物及びTi化合物を含むセラミック素原料を、Mnの配合モル比αとNbの配合モル比βとの比α/βが0.50を超えるように調合し、焼結後の主成分が一般式Pb{(Mn,Nb),Zr,Ti}O3で表されるセラミック原料粉末を作製する原料作製工程と、前記セラミック原料粉末を成形加工してセラミック成形体を作製する成形工程と、酸素分圧が0.25Pa以下の還元雰囲気下で前記セラミック成形体を焼成する焼成工程とを含んでいる。
【選択図】なし
Description
セラミック素原料として、Pbを含有したPb化合物、Mnを含有したMn化合物、Nbを含有したNb化合物、Zrを含有したZr化合物、及びTiを含有したTi化合物を用意する。
このセラミック原料粉末を解砕した後、ポリビニルアルコール樹脂などの有機バインダを添加し、再び粉砕媒体の内有されたボールミルに投入して十分に湿式で粉砕し、スラリーを作製する。
このセラミック成形体を酸素分圧PO2が0.25Pa以下の還元雰囲気下、1050℃未満の低温で焼成する。そしてこれにより内部電極2が埋設されると共に、Mn及びNbがPZTのBサイト((Zr,Ti)サイト)に固溶し、PMN−PZTを主成分としたセラミック焼結体が作製される。
このセラミック焼結体の両主面にAgやCuをターゲットにしてスパッタリングし、分極処理用電極を形成する。次いで、150℃の絶縁オイル中で両主面間に所定電圧の直流電圧を印加して分極処理を行い、その後分極処理用電極をエッチング除去し、これにより内部電極2が埋設された圧電セラミック素体1を得る。
Claims (2)
- 少なくともPb化合物、Mn化合物、Nb化合物、Zr化合物及びTi化合物を含むセラミック素原料を、Mnの配合モル比αとNbの配合モル比βとの比α/βが0.50を超えるように調合し、焼結後の主成分が一般式Pb{(Mn,Nb),Zr,Ti}O3で表されるセラミック原料粉末を作製する原料作製工程と、
前記セラミック原料粉末を成形加工してセラミック成形体を作製する成形工程と、
酸素分圧が0.25Pa以下の還元雰囲気下で前記セラミック成形体を焼成する焼成工程とを含むことを特徴とする圧電セラミック電子部品の製造方法。 - Cu、及びPdの含有量が10重量%以下のAg−Pd合金のうちのいずれかを一方の導電性材料を主成分とする導電性ペーストを作製する導電性ペースト作製工程と、前記セラミック成形体に前記導電性ペーストを塗布して導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記導電膜の形成されたセラミック成形体を積層する積層工程とを含み、
前記焼成工程は、前記積層されたセラミック成形体を焼成することを特徴とする請求項1記載の圧電セラミック電子部品の製造方法。
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