JP2004063548A - 積層型正特性サーミスタの設計方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部電極3間に位置するセラミック層2の1層の厚みをX[μm]とし、セラミック層2を構成するBaTiO3 系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%]を(ドナー原子数/Ti原子数)×100で表わしたとき、5≦X≦20、かつ4≦X・Y≦10の条件を満たすようにする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層型正特性サーミスタおよびその設計方法に関するもので、特に、チタン酸バリウム系半導体セラミックを用いて構成される積層型正特性サーミスタおよびその設計方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
チタン酸バリウム(BaTiO3 )系半導体セラミックは、正特性サーミスタを構成するために広く用いられている。このような正特性サーミスタの用途拡大のため、その低抵抗化が積極的に進められている。低抵抗化を図るため、用いられるBaTiO3 系半導体セラミックについて、比抵抗のより低い材料の開発に加えて、正特性サーミスタを積層化する試みもなされている。
【0003】
図1は、この発明にとって興味ある正特性サーミスタを示す断面図である。図1には、積層化された、すなわち積層型の正特性サーミスタ1が示されている。
【0004】
図1を参照して、積層型正特性サーミスタ1は、正の抵抗温度特性を示すBaTiO3 系半導体セラミックからなる複数の積層されたセラミック層2と、セラミック層2間の複数の界面にそれぞれ沿って形成された内部電極3とからなる、積層構造を有する素子本体4を備えている。
【0005】
また、素子本体4の両端部には、外部電極5がそれぞれ形成されている。上述した内部電極3は、一方の外部電極5に電気的に接続されるものと他方の外部電極5に電気的に接続されるものとが積層方向に関して交互に配列されている。
【0006】
上述した積層型正特性サーミスタ1において、内部電極3は、多くの場合、ニッケルを含んでいる。なぜなら、ニッケルは比較的安価であるとともに、セラミック層2に対してオーミック性を与えることができるからである。
【0007】
また、外部電極5は、たとえば銀を導電成分として含んでいる。
【0008】
このような積層型正特性サーミスタ1を製造するため、次のような工程が実施される。
【0009】
まず、セラミック層2となるべきものであって、BaTiO3 系半導体セラミックのためのセラミック原料粉末を含むセラミックグリーンシートが用意される。
【0010】
次に、セラミックグリーンシート上に、内部電極3となるニッケルを含む導電性ペーストからなる膜が印刷法等によって形成される。
【0011】
次に、導電性ペースト膜が形成された複数のセラミックグリーンシートを積み重ねるとともに、その上下に、導電性ペースト膜が形成されていない保護用のセラミックグリーンシートを積み重ね、これらセラミックグリーンシートを圧着し、その後、必要に応じて、所定の寸法にカットされる。これによって、素子本体4の生の状態のものが得られる。
【0012】
次に、上述した内部電極3のための導電性ペースト膜に含まれるニッケルが酸化されない還元性雰囲気中で、生の素子本体4が焼成される。これによって、セラミック層2となるセラミックグリーンシートが焼結するとともに、内部電極3となる導電性ペーストが焼結される。
【0013】
次に、外部電極5を形成するため、焼結後の素子本体4の両端部上に、たとえば銀を含む導電性ペーストが付与され、大気中において、これが焼き付けられる。
【0014】
上述の焼付け工程は、焼結後の素子本体4に対する再酸化処理を兼ねるもので、これによって、セラミック層2にサーミスタ特性が与えられる。
【0015】
このようにして、積層型正特性サーミスタ1が得られる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような積層型正特性サーミスタ1によれば、素子本体4を積層構造とすることにより、セラミック層2の1層あたりの厚みが薄くなり、それによって、低抵抗化が図られる。
【0017】
しかしながら、従来、セラミック層2の各々の厚みを薄くしても、実際には、計算どおりに低抵抗化できないという問題に遭遇することがある。
【0018】
図1を参照しながら具体的に説明すると、平面寸法が2.0mm×1.2mmの素子本体4において、厚み100μmのセラミック層2を10層積層した場合に、2Ωの室温抵抗が得られたとする。これに対して、セラミック層2の厚みを1/5の20μmとし、5倍の50層積層した場合、計算上では、0.08Ωの室温抵抗が得られるはずであるが、実際には、0.28Ω程度しか得られないことがある。
【0019】
また、上述のように計算値からずれる傾向は、セラミック層2の厚みが20μm以下というように薄くなるほど顕著に現れる。そのため、セラミック層2を薄層化しても、低抵抗化されないことさえある。
【0020】
そこで、この発明の目的は、セラミック層の薄層化に伴い確実に低抵抗化でき、しかも積層構造から計算される抵抗値に近い抵抗値を得ることができる、積層型正特性サーミスタを提供しようとすることである。
【0021】
この発明の他の目的は、上述のような要望を満たし得る、積層型正特性サーミスタの設計方法を提供しようとすることである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
本件発明者は、積層型正特性サーミスタを製造するために実施される生の素子本体の焼成工程において、内部電極に含まれるニッケルが、内部電極の近傍においてセラミック層へと拡散し、この拡散したニッケルがアクセプターとして作用すること、ならびに、セラミック層が薄層化されればされるほど、内部電極近傍でのニッケルの拡散の影響が大きくなり、そのため、セラミック層が高抵抗化されることによって、積層型正特性サーミスタの低抵抗化が阻害されることを見出し、この発明をなすに至ったものである。
【0023】
この発明では、簡単に言えば、セラミック層を構成するチタン酸バリウム系半導体セラミックに含まれるドナーがニッケルのアクセプターとしての作用を打ち消すことに着目して、このドナー量を所定の範囲に規定することにより、低抵抗化を阻害する要因を取り除こうとしている。
【0024】
より詳細には、この発明は、正の抵抗温度特性を示すチタン酸バリウム系半導体セラミックからなる複数の積層されたセラミック層と、セラミック層間の複数の界面にそれぞれ沿って形成されかつニッケルを含む内部電極との積層構造を有する素子本体を備えた、積層型正特性サーミスタにまず向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【0025】
すなわち、内部電極間に位置するセラミック層の1層の厚みをX[μm]とし、チタン酸バリウム系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%]を(ドナー原子数/Ti原子数)×100で表わしたとき、5≦X≦20、かつ4≦X・Y≦10の条件を満たすことを特徴としている。
【0026】
この発明は、また、正の抵抗温度特性を示すチタン酸バリウム系半導体セラミックからなる複数の積層されたセラミック層と、セラミック層間の複数の界面にそれぞれ沿って形成されかつニッケルを含む内部電極との積層構造を有する素子本体を備えた、積層型正特性サーミスタの設計方法にも向けられる。
【0027】
この発明に係る積層型正特性サーミスタの設計方法は、セラミック層の厚みX[μm]を、5≦X≦20の条件を満たすように決定する工程と、チタン酸バリウム系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%](Y=ドナー原子数/Ti原子数)×100)をセラミック層の厚みXに応じて4≦X・Y≦10の条件を満たすように決定する工程とを備えることを特徴としている。
【0028】
【発明の実施の形態】
この発明を、その実施形態に従って説明するため、前述した図1を再び参照する。すなわち、図1は、この発明の一実施形態による積層型正特性サーミスタ1を示す図でもある。したがって、図1を参照して前述した積層型正特性サーミスタ1の構造および製造方法に関する説明は、基本的には、この発明の実施形態の説明において援用することができるので、重複する説明は省略する。
【0029】
図1を参照して、この発明は、まず、セラミック層2の1層の厚みX[μm]が5≦X≦20の条件を満たす場合に適用される。すなわち、セラミック層2の1層の厚みXが5μm以上かつ20μm以下の場合に適用される。
【0030】
上述のような積層型正特性サーミスタ1において、セラミック層2を構成するBaTiO3 系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%]を(ドナー原子数/Ti原子数)×100で表わしたとき、4≦X・Y≦10の条件を満たすようにされる。簡単に言えば、セラミック層2の厚みXを薄くするに従って、ドナー量Yを増すようにされる。
【0031】
上述した4≦X・Y≦10の条件は、後述する実験例によって得られた結果に基づいて求められたものである。この実験例からわかるように、4≦X・Y≦10の条件を満たすように、ドナー量Yを多めとすることによって、セラミック層に拡散したニッケルのアクセプターとしての作用を効果的に打ち消すことができ、セラミック層2の厚みXを20μm以下に薄くした場合に低抵抗化しにくくなるという問題を解決することができる。
【0032】
なお、4≦X・Y≦10の条件を外れて、ドナー量Yが過剰になると、セラミック層2においてサーミスタ特性すなわち抵抗が正の温度係数を持つという特性が低下してしまう。他方、ドナー量Yが4≦X・Y≦10の条件より少ないと、ニッケルのアクセプターとしての作用を十分に打ち消すことができず、低抵抗化が困難になる。
【0033】
なお、BaTiO3 系半導体セラミックに含まれるドナーとしては、たとえば、La、Smなどの希土類元素、あるいはNb、Sbなどの5価元素などがある。
【0034】
次に、この発明の範囲を求めるために実施した実験例について説明する。
【0035】
なお、この実験例では、Niを含む内層とAgを含む外層とからなる外部電極を備える積層型正特性サーミスタを作製した。
【0036】
まず、BaCO3 、TiO2 およびSm2 O3 の各粉末を出発原料として、種々のドナー量Yを有するBaTiO3 系半導体セラミックを得るため、(Ba1−Z SmZ )TiO3 における「Z」が、表1に示すように種々に異なる調合比をもって、上述した出発原料を調合した。
【0037】
表1では、上述の「Z」に対応する、(Sm原子数/Ti原子数)×100で表わされるドナー量Y[%]も示されている。
【0038】
次に、上述のように調合された各試料に係る出発原料粉末に、純水を加えて、ジルコニアボールとともに5時間混合粉砕処理を実施し、乾燥工程の後、各出発原料粉末を1150℃の温度で2時間仮焼した。
【0039】
次に、得られた仮焼粉に、有機バインダ、分散剤および水を加えて、ジルコニアボールとともに数時間混合処理を実施し、得られたスラリーをシート状に成形することによって、セラミックグリーンシートを得た。この工程において、セラミックグリーンシートとして、焼成後の厚みXが表1に示す値となるように、種々の厚みのものを作製した。
【0040】
次に、セラミックグリーンシート上に、印刷法によって、ニッケルを含む導電性ペーストを付与し、内部電極となる導電性ペースト膜を形成した。
【0041】
次に、導電性ペースト膜がセラミックグリーンシートを介して互いに対向するように、複数のセラミックグリーンシートを積み重ねるとともに、その上下に、内部電極となる導電性ペースト膜が形成されていない保護用のセラミックグリーンシートを積み重ね、これらを圧着し、次いで、焼成後の寸法で2.0mm×1.25mmとなるようにカットして、生の素子本体を得た。
【0042】
上述の生の素子本体を得る工程において、表1に示したすべての試料について、焼成後の厚みが1.2mmとなるように、各試料において用いられたセラミックグリーンシートの厚みに応じて積層数を変更した。
【0043】
次に、生の素子本体の両端部上に、ニッケルを含む導電性ペーストを付与し、乾燥させた。
【0044】
次に、生の素子本体を、H2 /N2 =3%の還元性雰囲気下において1200℃の温度で焼成した。これによって、生の素子本体を構成するセラミックグリーンシートおよび導電性ペースト膜が焼結し、セラミック層および内部電極からなる焼結後の素子本体が得られ、また、生の素子本体の両端部上に付与された導電性ペーストが焼結し、外部電極のための焼結後の内層が得られた。
【0045】
次に、焼結後の素子本体の両端部上に形成された外部電極のための内層上に、銀を含む導電性ペーストを付与し、乾燥させ、大気中において700℃の温度でこれを焼き付けた。これによって、外部電極のための外層が得られた。また、同時に、セラミック層が再酸化処理され、サーミスタ特性がセラミック層に与えられた。
【0046】
このようにして得られた各試料に係る積層型正特性サーミスタについて、表1に示すように、室温抵抗値およびサーミスタ特性を4端子法によってそれぞれ測定した。
【0047】
なお、表1には、室温抵抗値のほかに、室温抵抗の計算値および室温抵抗値の計算値に対する比も示されている。計算値は、表1に示した各試料のBaTiO3 系半導体セラミックの組成をもってセラミック層を厚み100μmというように十分に厚い層として積層した場合の比抵抗値から、各試料における厚みにした場合に得られる値を計算によって求めたものである。
【0048】
また、表1に示したサーミスタ特性は、250℃の温度下で測定した抵抗値R250 と25℃の温度下で測定した抵抗値R25との比率R250 /R25を求め、その対数log(R250 /R25)から、比率R250 /R25の桁数を求めたものである。
【0049】
【表1】
【0050】
表1において、試料番号に*を付したものは、この発明の範囲外のものである。
【0051】
表1において、室温抵抗値が0.5Ω以下であり、計算値との比が3.0より小さく、さらに、サーミスタ特性が3.0桁以上のものを、この発明の範囲内の試料としている。
【0052】
表1に示した結果から、いずれの試料であっても、室温抵抗値は計算値より高い値を示しているが、この発明の範囲内にある試料によれば、薄層化により、計算値により近い値をもって低抵抗化できることがわかる。
【0053】
また、試料14〜17の間で比較すると、これらはZすなわちドナー量Yが互いに同じであるが、厚みXについては、試料14では30μm、試料15では20μm、試料16では15μm、試料17では10μmというように、試料14〜17の順序でより薄層化されている。このような場合において、試料15以降のように、厚みXが20μm以下とされたとき、厚みXがより薄くなるほど、計算値との比がより大きくなり、室温抵抗値が計算値からより大きくずれる傾向がある。
【0054】
これに対して、試料9〜12のように、Zすなわちドナー量Yを増やしていくと、計算値との比を比較的低く保ちながら、薄層化に伴い、順調に低抵抗化することが可能になる。
【0055】
なお、厚みXが20μmを超えると、計算値との比を小さくすることができるが、たとえば試料7、8および14のように、室温抵抗値自体が0.5Ω以上となり、十分な低抵抗化が不可能であるという問題がある。また、厚みXが5μm未満になると、X・Yの値を4≦X・Y≦10の範囲内としても、たとえば試料13のように、良好なサーミスタ特性が得られなくなる。
【0056】
以上説明した実験例の結果から、セラミック層の1層の厚みX[μm]を5≦X≦20としたとき、セラミック層を構成するBaTiO3 系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%]が4≦X・Y≦10の条件を満たすようにすれば、セラミック層の薄層化に伴い確実に低抵抗化でき、しかも積層構造から計算される抵抗値に近い抵抗値を得ることができることがわかる。
【0057】
したがって、上述のような条件は、積層型正特性サーミスタを設計する場合にも利用することができる。
【0058】
すなわち、この設計方法において、セラミック層の厚みX[μm]を5≦X≦20の条件を満たす範囲で決定すれば、セラミック層を構成するBaTiO3 系半導体セラミックに含まれるドナー量[%]をセラミック層の厚みXに応じて4≦X・Y≦10の条件を満たすように決定すればよい。
【0059】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る積層型正特性サーミスタによれば、あるいはこの発明に係る設計方法に従って製造された積層型正特性サーミスタによれば、セラミック層の薄層化に伴い確実に低抵抗化でき、しかも積層構造から計算される抵抗値に近い抵抗値を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にとって興味ある積層型正特性サーミスタ1を示す断面図である。
【符号の説明】
1 積層型正特性サーミスタ
2 セラミック層
3 内部電極
4 素子本体
Claims (2)
- 正の抵抗温度特性を示すチタン酸バリウム系半導体セラミックからなる複数の積層されたセラミック層と、前記セラミック層間の複数の界面にそれぞれ沿って形成されかつニッケルを含む内部電極との積層構造を有する素子本体を備えた、積層型正特性サーミスタであって、
前記内部電極間に位置する前記セラミック層の1層の厚みをX[μm]とし、前記チタン酸バリウム系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%]を(ドナー原子数/Ti原子数)×100で表わしたとき、
5≦X≦20、かつ
4≦X・Y≦10
の条件を満たす、積層型正特性サーミスタ。 - 正の抵抗温度特性を示すチタン酸バリウム系半導体セラミックからなりかつ複数の積層されたセラミック層と、前記セラミック層間の複数の界面にそれぞれ沿って形成されかつニッケルを含む内部電極との積層構造を有する素子本体を備えた、積層型正特性サーミスタの設計方法であって、
前記セラミック層の厚みX[μm]を、5≦X≦20の条件を満たすように決定する工程と、
前記チタン酸バリウム系半導体セラミックに含まれるドナー量Y[%](Y=(ドナー原子数/Ti原子数)×100)を前記セラミック層の厚みXに応じて4≦X・Y≦10の条件を満たすように決定する工程と
を備える、積層型正特性サーミスタの設計方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043555A1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層型正特性サーミスタおよびその設計方法 |
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WO2007034830A1 (ja) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層型正特性サーミスタ |
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