WO2013065373A1 - 半導体セラミックおよびそれを用いたｐｔｃサーミスタ - Google Patents

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西郷有民
青戸渉
崎慶伸
水戸賢吾
長尾吉高
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Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor ceramic having a positive resistance temperature characteristic (PTC characteristic), and more particularly to a barium titanate-based semiconductor ceramic and a PTC thermistor using the same.
  • PTC characteristic positive resistance temperature characteristic
  • barium titanate-based semiconductor ceramics having PTC characteristics of rapidly increasing resistance above a resistance change temperature (hereinafter referred to as Curie point) have been widely used for overcurrent protection components and color television degaussing components. It is used.
  • the semiconductor ceramic disclosed in Patent Document 1 is a semiconductor ceramic containing barium titanate as a main component so that nickel particles are contained as conductive particles, and has the PTC characteristics of the barium titanate semiconductor ceramic. It is said that the room temperature specific resistance can be further lowered while maintaining.
  • the particle size of barium titanate semiconductor ceramic particles and the particle size of nickel particles are not controlled, for example, as shown in FIG.
  • the particle diameter of the particles 51 is larger than the particle diameter of the barium titanate-based semiconductor ceramic crystal particles 52 (52a, 52b)
  • the nickel particles 51 straddle the grain boundaries of the semiconductor ceramic crystal particles 52a, 52b.
  • the current flows from one semiconductor ceramic crystal particle 52a to the other semiconductor ceramic crystal particle 52b through the nickel particle 51 without passing through the grain boundary of the semiconductor ceramic crystal particles 52a and 52b.
  • the current flows through such a path because the electric resistance is lower when passing between the semiconductor ceramic crystal particles 52 and the nickel particles 51 than when passing through the grain boundaries of the semiconductor ceramic crystal particles 52a and 52b. .
  • the nickel particles contain not only large particles but also small particles in a considerable proportion as compared to the semiconductor ceramic crystal particles, when viewed as a whole, the current flows between the semiconductor ceramic crystal particles.
  • the rate of passing through the grain boundaries decreases, the number of substantial grain boundaries between the electrodes decreases, and the withstand voltage decreases.
  • the present invention solves the above problems, and provides a barium titanate-based semiconductor ceramic having excellent PTC characteristics, low resistance at room temperature, and high withstand voltage performance, and a PTC thermistor using the same. With the goal.
  • the semiconductor ceramic of the present invention is Conductive particles made of nickel containing a metal part are dispersed in the barium titanate semiconductor ceramic, and The average particle diameter A of the ceramic crystal particles constituting the barium titanate semiconductor ceramic and the average particle diameter B of the conductive particles are expressed by the following formula (1).
  • a ⁇ B (1) It is characterized by satisfying this relationship.
  • the ceramic crystal particles have an average particle size A of 0.5 to 10 ⁇ m
  • the average particle size B of the conductive particles is 0.3 to 5 ⁇ m. It is preferable that it exists in the range. This is because when the average particle size A of the ceramic crystal particles is less than 0.5 ⁇ m, the room temperature resistance tends to increase, and when it exceeds 10 ⁇ m, the withstand voltage tends to decrease, and the conductive particles When the average particle size B is less than 0.3 ⁇ m, the effect of lowering the room temperature resistance tends to decrease, and when it exceeds 5 ⁇ m, the withstand voltage tends to decrease.
  • the ceramic crystal particles have an average particle size A of 0.5 to 1.5 ⁇ m,
  • the average particle size B of the conductive particles is 0.5 to 1.5 ⁇ m. More preferably, it is in the range.
  • the content of the conductive particles is preferably in the range of 0.1 to 5% by weight.
  • the content ratio of the conductive particles is less than 0.1% by weight, the effect of reducing the specific resistance of the obtained semiconductor ceramic tends to be insufficient, and if it exceeds 5% by weight, the withstand voltage performance is reduced. The improving effect tends to be hindered.
  • the PTC thermistor according to the present invention is characterized by using the above-described semiconductor ceramic according to the present invention as a thermistor element having a positive resistance temperature characteristic.
  • conductive particles made of nickel containing a metal portion are dispersed in a barium titanate semiconductor ceramic, and the average particle diameter of ceramic crystal particles constituting the barium titanate semiconductor ceramic Since A and the average particle size B of the conductive particles satisfy the relationship of A ⁇ B, a semiconductor ceramic having excellent PTC characteristics, low resistance at room temperature, and high withstand voltage performance is provided. Is possible.
  • the particle size of the ceramic crystal particles 2 (2a, 2b) is equal to or larger than the particle size of the conductive particles 1, for example, even if an electric current flows from the ceramic particles 2a to the conductive particles 1, Since the conductive particles 1 do not straddle the two ceramic crystal particles 2 (2a, 2b), the current returns to the ceramic crystal particles 2a again, passes through the grain boundary, and flows to the adjacent ceramic crystal particles 2b. The probability of flowing from one ceramic crystal particle 2a to the other ceramic crystal particle 2b through the conductive particles 1 (that is, without passing through the grain boundary) is reduced.
  • the conductive particles made of nickel containing a metal portion are particles having an oxidized thin layer on the surface and metallic nickel inside, and having conductivity.
  • the PTC thermistor of the present invention is a semiconductor ceramic used as a thermistor element having a positive resistance temperature characteristic, the PTC characteristic is good, the resistance is low, and the voltage resistance is high. It is possible to provide a PTC thermistor with high characteristics and high reliability.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a stacked PTC thermistor (positive characteristic thermistor) manufactured using the semiconductor ceramic according to the present invention.
  • a multilayer PTC thermistor 10
  • a plurality of internal electrode layers 13 13 (13 a, 13 b) are stacked inside a sintered multilayer ceramic body 11 via a ceramic layer (semiconductor ceramic layer) 12.
  • the external electrodes 14a and 14b are arranged on the end surfaces 11a and 11b of the multilayer ceramic body 11 so as to be electrically connected to the internal electrode layer 13a or 13b.
  • the ceramic constituting the multilayer ceramic body 11 of the multilayer PTC thermistor 10 is a barium titanate semiconductor ceramic.
  • the internal electrode layer 13 is an electrode (nickel internal electrode) formed by baking a nickel paste.
  • the external electrodes 14a and 14b are multi-layered electrodes formed by sputtering Cr, NiCu, and Ag in this order on the end faces 11a and 11b of the multilayer ceramic body 11, and on the surfaces thereof, An Sn electrolytic plating film is formed.
  • Nd is added as a semiconducting agent, but instead of Nd, it consists of Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu. It is also possible to use at least one rare earth element selected from the group. MnCO 3 is also used as a resistance-temperature coefficient improver.
  • Each of the above-mentioned raw materials weighed is prepared and wet-pulverized and mixed with pure water and zirconia balls for 16 hours in a polyethylene pot to produce a mixture slurry. Next, this mixture slurry is dehydrated and dried, and then calcined at 1100 ° C. for 2 hours to obtain calcined powder.
  • a nickel metal powder, an organic binder, a dispersant, and water are added to the calcined powder and mixed with zirconia balls for several hours to prepare a ceramic slurry.
  • the nickel metal powder was added at a ratio of 1 part by weight with respect to 100 parts by weight of the calcined powder.
  • the amount of nickel metal powder added is such that the proportion of conductive particles in the obtained semiconductor ceramic is about 1% by weight.
  • this ceramic slurry is formed into a sheet by the doctor blade method and dried to produce a ceramic green sheet.
  • the thickness of the ceramic green sheet was 25 ⁇ m.
  • a nickel metal powder and an organic binder were dispersed in an organic solvent to prepare a conductive paste for forming a nickel internal electrode.
  • the conductive paste for forming the nickel internal electrode is screen-printed on the main surface of the ceramic green sheet to produce an internal electrode printed ceramic green sheet having an internal electrode pattern on the surface.
  • the thickness of the internal electrode pattern was such that the thickness after sintering, that is, the thickness of the internal electrode at the product stage was 0.5 to 2 ⁇ m.
  • the internal electrode-printed ceramic green sheet prepared as described above and the ceramic green sheet on which the internal electrode is not printed are stacked so that there are 5 nickel internal electrodes and the distance between the internal electrodes is 100 ⁇ m. To do. Then, 12 ceramic green sheets on which no internal electrode is printed are further arranged on the upper and lower sides of the laminate, and are pressed. Then, the pressure-bonded body is cut to have a length (L dimension): 2.0 mm and a width (W dimension): 1.2 mm after firing to obtain an unsintered chip.
  • the green chip is degreased at 300 ° C. for 12 hours in the air, and then fired at 1180 ° C. to 1240 ° C. for 2 hours in a reducing atmosphere of H 2 / N 2 . Thereby, a sintered multilayer ceramic body is obtained.
  • the internal electrodes 13 (13a, 13b) are exposed on the end faces 11a, 11b of the multilayer ceramic body 11 facing each other, and then the end faces 11a, 11b are sputtered in the order of Cr, NiCu, Ag.
  • the external electrodes 14a and 14b are formed (see FIG. 2).
  • Sn plating is formed on the surfaces of the external electrodes 14a and 14b by electrolytic plating.
  • a stacked PTC thermistor 10 having a structure as shown in FIG. 2 is obtained.
  • the crystal grain size (particle size of ceramic crystal particles) A of the barium titanate semiconductor ceramic is controlled by the firing temperature, and the particle size B of nickel particles (conductive particles) is used as a raw material.
  • the particle size A of the ceramic crystal particles and the particle size B of the conductive particles were changed within the range shown in Table 1.
  • the particle diameter A of the ceramic crystal particles and the particle diameter B of the nickel particles (conductive particles) are both average particle diameters.
  • the particle diameter (average particle diameter) of the ceramic crystal particles is a value obtained by a method of observing the cross section of the element with SEM.
  • the particle diameter (average particle diameter) of nickel particles (conductive particles) is obtained by obtaining the area of each of 100 particles by image processing from the SEM photograph of the cross section of the element, and the diameter of a circle having the same area as that area is obtained. It is a value.
  • the particle size A of the ceramic crystal particles of Sample Nos. 1, 2, and 3 is 1.5 ⁇ m
  • the particle size A of the ceramic crystal particles and the particle size B of the conductive particles (nickel particles) are In the sample satisfying the relationship of A ⁇ B, it was confirmed that the withstand voltage increases as the particle size B of the conductive particles is smaller.
  • the particle size A of the ceramic crystal particles and the particle size B of the conductive particles are In the samples of sample numbers 4 and 5 that satisfy the relationship of A ⁇ B, it was confirmed that the withstand voltage is higher in the samples having a smaller particle size B of the conductive particles. However, in the case of the sample of the comparative example of sample number 7 in which the particle size B of the conductive particles (nickel particles) is larger than the particle size A of the ceramic crystal particles, it is confirmed that the withstand voltage performance is extremely lowered and is not preferable. It was done.
  • the ceramic crystal particle diameter A is 0.5 ⁇ m
  • the case where the content ratio of the conductive particles (nickel particles) in the ceramic semiconductor is about 1% by weight has been described, but at least the content ratio of the conductive particles (nickel particles) is 0.1%.
  • the range of ⁇ 5% by weight it has been confirmed that an effect equivalent to the case of the above embodiment, that is, an effect of improving the withstand voltage performance while maintaining the room temperature specific resistance in a practical range.
  • the characteristics when the particle diameters of the conductive particles (nickel particles) and the ceramic crystal particles are changed in the range of 0.5 ⁇ m to 1.5 ⁇ m are examined.
  • the diameter is in the range of 0.5 to 10 ⁇ m and the particle diameter of the conductive particles is in the range of 0.3 to 5 ⁇ m
  • the effect equivalent to the case of the above embodiment, that is, the room temperature specific resistance is in a practical range. It has been confirmed that the effect of improving the withstand voltage performance can be obtained while maintaining it.
  • a multilayer PTC thermistor has been described as an example of the PTC thermistor formed using the semiconductor ceramic of the present invention.
  • external electrodes are formed on both main surfaces of the flat semiconductor ceramic.
  • a so-called single plate type PTC thermistor is also possible.
  • the kind and amount of donors and additives can be changed within a general range, and the same effect can be obtained in that case.
  • the internal electrode constituting the PTC thermistor is a nickel electrode
  • an electrode material made of other materials such as nickel-silver
  • the external electrodes are not limited to those using Cr, NiCu, and Ag as described above, and electrodes having various configurations can be applied.
  • semiconductor ceramic and the PTC thermistor according to the present invention are not limited to the above embodiment in other points, and various applications and modifications can be made within the scope of the present invention.

Abstract

　室温比抵抗が低く、耐電圧性能の高い半導体セラミックおよびそれを用いたＰＴＣサーミスタを提供する。　チタン酸バリウム系半導体セラミック中に、金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子が分散し、かつ、チタン酸バリウム系半導体セラミックを構成するセラミック結晶粒子の平均粒径Ａと、導電性粒子の平均粒径Ｂとが、Ａ≧Ｂの関係を満たすようにする。　また、セラミック結晶粒子の平均粒径Ａを０．５～１０μｍ、導電性粒子の平均粒径Ｂを０．３～５μｍの範囲にする。　また、導電性粒子の含有割合を０．１～５重量％の範囲とする。

Description

半導体セラミックおよびそれを用いたＰＴＣサーミスタ
　本発明は、正の抵抗温度特性（ＰＴＣ特性）を有する半導体セラミックに関し、詳しくは、チタン酸バリウム系の半導体セラミックおよびそれを用いたＰＴＣサーミスタに関する。
　従来より、過電流保護部品やカラーテレビの消磁用部品には、抵抗変化温度（以下、キュリー点とする）以上で急激に高抵抗化するというＰＴＣ特性を有するチタン酸バリウム系の半導体セラミックが広く用いられている。
　このような用途に使用される半導体セラミックにおいて求められる課題の一つに、室温比抵抗を低くして、通電可能電流量をより増大させることがある。そして、この課題を解決するために、種々の試みが広くなされてきた。
　そのような半導体セラミックとして、チタン酸バリウムを主成分とする半導体材料中に金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子（表面に酸化された薄層を有し、その内実が金属ニッケルであって、導電性を有する）を分散させた半導体セラミックが提案されている（特許文献１参照）。
　そして、この特許文献１の半導体セラミックは、チタン酸バリウムを主成分とする半導体セラミックにニッケル粒子を導電性粒子として含有させるようにしたものであり、チタン酸バリウム系の半導体セラミックが有するＰＴＣ特性を維持しつつ、室温比抵抗をより低くすることができるとされている。
　しかしながら、特許文献１の半導体セラミックにおいては、チタン酸バリウム系の半導体セラミック粒子の粒径と、ニッケル粒子の粒径を制御していないため、例えば、図３に示すように、ニッケル粒子（導電性粒子）５１の粒子径の方が、チタン酸バリウム系の半導体セラミック結晶粒子５２（５２ａ，５２ｂ）の粒子径よりも大きい場合、ニッケル粒子５１が半導体セラミック結晶粒子５２ａ，５２ｂの粒界をまたいで存在することになり、電流は半導体セラミック結晶粒子５２ａと５２ｂの粒界を通過せずに、一方の半導体セラミック結晶粒子５２ａから、ニッケル粒子５１を経て，他方の半導体セラミック結晶粒子５２ｂに流れることになる。このような経路で電流が流れるのは、半導体セラミック結晶粒子５２ａと５２ｂの粒界を通過するよりも、半導体セラミック結晶粒子５２とニッケル粒子５１の間を通過する方が電気抵抗が低くなることによる。
　その結果、ニッケル粒子として、半導体セラミック結晶粒子よりも粒径の大きいものだけではなく、小さいものが相当な割合で含まれている場合にも、全体としてみた場合、電流が半導体セラミック結晶粒子どうしの粒界を通過する割合が減少し、実質的な電極間の粒界数が減少して、耐電圧が低下するという問題点がある。
特開平１１－１５７９２５号公報
　本発明は、上記課題を解決するものであり、ＰＴＣ特性に優れ、室温での抵抗が低く、かつ、耐電圧性能の高いチタン酸バリウム系の半導体セラミックおよびそれを用いたＰＴＣサーミスタを提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため、本発明の半導体セラミックは、
　チタン酸バリウム系半導体セラミック中に、金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子が分散しており、かつ、
　前記チタン酸バリウム系半導体セラミックを構成するセラミック結晶粒子の平均粒径Ａと、前記導電性粒子の平均粒径Ｂとが、下記の式(１)
　Ａ≧Ｂ　　……(１)
の関係を満たすこと
　を特徴としている。
　また、本発明の半導体セラミックにおいては、
　前記セラミック結晶粒子の平均粒径Ａが０．５～１０μｍ、
　前記導電性粒子の平均粒径Ｂが０．３～５μｍ
　の範囲にあることが好ましい。
　これは、セラミック結晶粒子の平均粒径Ａが０．５μｍを下回ると、室温抵抗が上昇する傾向があり、また、１０μｍを超えると、耐電圧が低下する傾向があること、および、導電性粒子の平均粒径Ｂが０．３μｍを下回ると、室温抵抗低下させる効果が減少する傾向があり、また、５μｍを超えると、耐電圧が低下する傾向があることによる。
　また、本発明の半導体セラミックにおいては、
　前記セラミック結晶粒子の平均粒径Ａが０．５～１．５μｍ、
　前記導電性粒子の平均粒径Ｂが０．５～１．５μｍ
　の範囲にあることがさらに好ましい。
　上記要件を満たすことにより、ＰＴＣ特性に優れ、室温での抵抗が低く、かつ、耐電圧性能の高い半導体セラミックをより確実に得ることができる。
　また、本発明の半導体セラミックにおいては、前記導電性粒子の含有割合が０．１～５重量％の範囲にあることが好ましい。
　導電性粒子の含有割合を０．１～５重量％の範囲とすることにより、比抵抗が低く、耐電圧性能の高い半導体セラミックをより確実に得ることが可能になる。
　なお、導電性粒子の含有割合が、０．１重量％を下回ると、得られる半導体セラミックの比抵抗を低下させる効果が不足する傾向があり、また、５重量％を超えると、耐電圧性能を向上させる効果が阻害される傾向がある。
　また、本発明のＰＴＣサーミスタは、上述の本発明の半導体セラミックを正の抵抗温度特性を有するサーミスタ素体として用いたことを特徴としている。
　本発明の半導体セラミックは、チタン酸バリウム系半導体セラミック中に、金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子が分散しており、かつ、チタン酸バリウム系半導体セラミックを構成するセラミック結晶粒子の平均粒径Ａと、導電性粒子の平均粒径Ｂとが、Ａ≧Ｂの関係を満たしているので、ＰＴＣ特性に優れ、室温での抵抗が低く、かつ、耐電圧性能の高い半導体セラミックを提供することが可能になる。
　すなわち、本発明の半導体セラミックの構成を模式的、概念的に示す図１を用いて説明すると、チタン酸バリウム系セラミック半導体を構成するセラミック結晶粒子２（２ａ，２ｂ）の粒径（平均粒径）が、導電性粒子１の粒径（平均粒径）と同等かそれより大きい場合、粒径の小さい導電性粒子１が２つのセラミック結晶粒子２（２ａ，２ｂ）をまたいで存在する確率が低くなり、電流がセラミック結晶粒子２ａ，２ｂの粒界を通過する確率が高くなる。
　つまり、セラミック結晶粒子２（２ａ，２ｂ）の粒径が、導電性粒子１の粒径と同等かそれより大きい場合、例えば、電流が、セラミック粒子２ａから導電性粒子１に流れても、導電性粒子１が２つのセラミック結晶粒子２（２ａ，２ｂ）をまたいでいないため、電流は再びセラミック結晶粒子２ａに戻り、粒界を通過して、隣接するセラミック結晶粒子２ｂに流れることになり、導電性粒子１を介して（すなわち、粒界を通過せずに）、一方のセラミック結晶粒子２ａから、他方のセラミック結晶粒子２ｂに流れる確率が低くなる。
　その結果、電流がセラミック結晶粒子どうしの粒界を通過する割合が増大し、実質的な電極間の粒界数が増加して、耐電圧が向上する。その結果、低比抵抗で高い耐電圧性能を有する半導体セラミックを得ることが可能になる。
　なお、本発明において、金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子とは、表面に酸化された薄層を有し、内部は金属ニッケルであって、導電性を有する粒子をいう。
　また、本発明のＰＴＣサーミスタは、正の抵抗温度特性を有するサーミスタ素体として用いられている半導体セラミックが、ＰＴＣ特性が良好で、抵抗が低く、高い耐電圧性能を有するものであることから、高特性で、信頼性の高いＰＴＣサーミスタを提供することが可能になる。
本発明にかかる半導体セラミックの構成を説明するための模式図である。 本発明にかかる半導体セラミックを用いて作製した積層型のＰＴＣサーミスタを示す断面図である。 従来の半導体セラミックの構成を説明するための模式図である。
　以下に本発明の実施の形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
　［実施形態１］
　図２は、本発明にかかる半導体セラミックを用いて作製した積層型のＰＴＣサーミスタ（正特性サーミスタ）を示す断面図である。
　この積層型のＰＴＣサーミスタ１０は、焼結済みの積層セラミック素体１１の内部に、セラミック層（半導体セラミック層）１２を介して、複数の内部電極層１３（１３ａ，１３ｂ）が積層され、交互に積層セラミック素体１１の互いに対向する端面１１ａ，１１ｂに引き出されるとともに、積層セラミック素体１１の端面１１ａ，１１ｂに、内部電極層１３ａあるいは１３ｂと導通するように外部電極１４ａ，１４ｂが配設された構造を有している。
　なお、この積層型のＰＴＣサーミスタ１０の積層セラミック素体１１を構成するセラミックは、チタン酸バリウム系の半導体セラミックである。
　また、内部電極層１３は、ニッケルペーストを焼き付けることにより形成された電極（ニッケル内部電極）である。
　また、外部電極１４ａ，１４ｂは、積層セラミック素体１１の端面１１ａ，１１ｂ上に、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、Ａｇの順でスパッタリングすることにより形成された複数層構造の電極であり、その表面には、Ｓｎ電解めっき膜が形成されている。
　次に、このＰＴＣサーミスタの製造方法について説明する。
　まず、半導体セラミックの出発原料として、ＢａＣＯ3、ＴｉＯ2、Ｎｄ2Ｏ3、ＭｎＣＯ3を用意し、下記の式(２)の組成となるように秤量する。
　（Ｂａ0.998Ｎｄ0.002）（Ｔｉ0.9995Ｍｎ0.0005）Ｏ3　　……(２)
　Ｎｄは半導体化剤として添加されるものであるが、Ｎｄの代わりに、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素を用いることも可能である。
　また、ＭｎＣＯ3は、抵抗－温度係数改良剤として用いられている。
　秤量した上記の各原料を調合し、ポリエチレン製ポット内で純水およびジルコニアボールとともに１６時間湿式粉砕混合し、混合物スラリーを作製する。
　次に、この混合物スラリーを脱水、乾燥した後、１１００℃で２時間仮焼し、仮焼粉を得る。
　それから、この仮焼粉にニッケル金属粉末、有機バインダー、分散剤、および水を加えて、ジルコニアボールとともに数時間混合することにより、セラミックスラリーを調製する。
　ここで、ニッケル金属粉末は、上記仮焼粉１００重量部に対して、１重量部の割合で添加した。なお、この場合のニッケル金属粉末の添加量は、得られる半導体セラミックにおける導電性粒子の割合が約１重量％となるような量である。
　それから、このセラミックスラリーを、ドクターブレード法によりシート状に成形し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作製する。なお、このときのセラミックグリーンシートの厚みは２５μｍとした。
　次に、ニッケル金属粉末と有機バインダーとを有機溶剤に分散させることにより、ニッケル内部電極形成用の導電性ペーストを作製した。
　それから、このニッケル内部電極形成用の導電性ペーストを、セラミックグリーンシートの主面上にスクリーン印刷することにより、表面に内部電極パターンを備えた内部電極印刷セラミックグリーンシートを作製する。
　なお、内部電極パターンの厚みとしては、焼結後の厚み、すなわち製品の段階における内部電極の厚みが０．５～２μｍとなるような厚みとした。
　次に、上述のようにして準備した、内部電極印刷セラミックグリーンシートと、内部電極を印刷していないセラミックグリーンシートとを、ニッケル内部電極が５枚、内部電極間距離が１００μｍとなるように積層する。
　そして、この積層体の上下に、さらに内部電極を印刷していないセラミックグリーンシートを各１２枚配置して圧着する。
　それから、この圧着体を、焼成後に長さ（Ｌ寸）：２．０ｍｍ、幅（Ｗ寸）：１．２ｍｍの寸法となるように切断して未焼成チップを得る。
　この未焼成チップを、大気中３００℃で１２時間の条件で脱脂した後、Ｈ2／Ｎ2の還元雰囲気下にて１１８０℃～１２４０℃で２時間焼成する。
　これにより、焼結済みの積層セラミック素体が得られる。
　そして、得られた焼結済みの積層セラミック素体にガラスコートを施し、大気雰囲気中、７００℃で熱処理することにより、耐雰囲気性や耐候性を向上させるためのガラス保護層を形成するとともに、積層セラミック素体を構成するチタン酸バリウム系セラミックの再酸化を行う。
　それから、バレル研磨して、内部電極１３（１３ａ，１３ｂ）を積層セラミック素体１１の互いに対向する端面１１ａ，１１ｂに露出させた後、端面１１ａ，１１ｂにＣｒ、ＮｉＣｕ、Ａｇの順でスパッタリングすることにより外部電極１４ａ，１４ｂを形成する（図２参照）。
　そして、この外部電極１４ａ，１４ｂの表面に電解めっきによりＳｎめっきを成膜する。
　これにより、図２に示すような構造を有する積層型のＰＴＣサーミスタ１０が得られる。
　なお、この実施形態では、チタン酸バリウム系の半導体セラミックの結晶粒径（セラミック結晶粒子の粒径）Ａを焼成温度にて制御し、ニッケル粒子（導電性粒子）の粒径Ｂを、原料として用いたニッケル金属粉末の粒径により制御することにより、表１に示すような範囲で、セラミック結晶粒子の粒径Ａおよび導電性粒子の粒径Ｂを変化させた。
　なお、表１におけるセラミック結晶粒子の粒径Ａおよびニッケル粒子（導電性粒子）の粒径Ｂは、いずれも平均粒径である。なお、セラミック結晶粒子の粒径（平均粒径）は、素子の断面をＳＥＭ観察する方法により求めた値である。
　また、ニッケル粒子（導電性粒子）の粒径（平均粒径）は、素子断面のＳＥＭ写真から、粒子１００個について画像処理により各々の面積を求め、その面積と同じ面積をもつ円の直径を値としたものである。
　［特性の評価］
　このようにして、セラミック結晶粒子の粒径Ａおよびニッケル粒子（導電性粒子）の粒径Ｂを変化させて作製した積層型のＰＴＣサーミスタ（試料）について、室温比抵抗および耐電圧を測定した。その結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、試料番号１，２，３の、セラミック結晶粒子の粒径Ａが１．５μｍで、セラミック結晶粒子の粒径Ａと導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂとが、Ａ≧Ｂの関係を満たす試料においては、導電性粒子の粒径Ｂが小さい試料ほど耐電圧が高くなることが確認された。
　また、試料番号４，５，７の、セラミック結晶粒子の粒径Ａが１．０μｍの試料のうち、セラミック結晶粒子の粒径Ａと、導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂとが、Ａ≧Ｂの関係を満たす、試料番号４および５の試料においては、導電性粒子の粒径Ｂが小さい試料の方が耐電圧が高くなることが確認された。
　しかしながら、導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂが、セラミック結晶粒子の粒径Ａより大きい、試料番号７の比較例の試料の場合、耐電圧性能が極端に低下し、好ましくないことが確認された。
　また、試料番号６，８，９の、セラミック結晶粒子の粒径Ａが０．５μｍの試料のうち、セラミック結晶粒子の粒径Ａと導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂとが同じ（Ａ＝Ｂ）である、試料番号６の試料においては、耐電圧が高くなることが確認されたが、導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂが、セラミック結晶粒子の粒径Ａより大きい試料（試料番号８，９の比較例の試料）の場合、耐電圧性能が極端に低下し、好ましくないことが確認された。
　また、表１に示すように、導電性粒子（ニッケル粒子）の粒径Ｂが小さくなると、室温比抵抗が高くなる傾向があるが、試料番号１～６の各試料の場合はいずれも、実用上問題のない範囲の室温比抵抗であることが確認された。
　なお、上記実施形態では、セラミック半導体中の導電性粒子（ニッケル粒子）の含有割合が約１重量％である場合について説明したが、少なくとも、導電性粒子（ニッケル粒子）の含有割合が０．１～５重量％の範囲では、上記実施形態の場合に準じるような効果、すなわち、室温比抵抗を実用可能な範囲に保ちつつ、耐電圧性能を向上させる効果が得られることが確認されている。
　また、上記実施形態では、導電性粒子（ニッケル粒子）およびセラミック結晶粒子の粒径を０．５μｍから１．５μｍの範囲で変化させた場合の特性を調べたが、少なくとも、セラミック結晶粒子の粒径が０．５～１０μｍ、導電性粒子の粒径が０．３～５μｍの範囲にある場合には、上記実施形態の場合に準じるような効果、すなわち、室温比抵抗を実用可能な範囲に保ちつつ、耐電圧性能を向上させる効果が得られることが確認されている。
　なお、上記実施形態では、本発明の半導体セラミックを用いて形成されるＰＴＣサーミスタとして、積層型のＰＴＣサーミスタを例にとって説明したが、平板状の半導体セラミックの両主面に外部電極を形成してなる、いわゆる単板型のＰＴＣサーミスタとすることも可能である。
　また、本発明の半導体セラミックにおいては、ドナーや添加物の種類や量を一般的な範囲で変更することが可能であり、その場合にも同様の効果を得ることができる。
　また、上記実施形態では、ＰＴＣサーミスタを構成する内部電極がニッケル電極である場合を例にとって説明したが、電極材料として、ニッケル－銀などの他の材料からなるものを用いることも可能である。
　また、外部電極についても、上述のようなＣｒ、ＮｉＣｕ、Ａｇを用いた構成のものに限らず、種々の構成の電極を適用することが可能である。
　また、本発明にかかる半導体セラミックおよびＰＴＣサーミスタは、その他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の応用、変形を加えることが可能である。
　１　　　　　　　　　　　　導電性粒子
　２（２ａ，２ｂ）　　　　　セラミック結晶粒子
　１０　　　　　　　　　　　ＰＴＣサーミスタ
　１１　　　　　　　　　　　積層セラミック素体
　１１ａ，１１ｂ　　　　　　積層セラミック素体の互いに対向する端面
　１２　　　　　　　　　　　半導体セラミック層
　１３（１３ａ，１３ｂ）　　内部電極層
　１４ａ，１４ｂ　　　　　　外部電極

Claims (5)

  1. 　チタン酸バリウム系半導体セラミック中に、金属部分を含むニッケルからなる導電性粒子が分散しており、かつ、
    　前記チタン酸バリウム系半導体セラミックを構成するセラミック結晶粒子の平均粒径Ａと、前記導電性粒子の平均粒径Ｂとが、下記の式(１)
    　Ａ≧Ｂ　　……(１)
    の関係を満たすこと
    　を特徴とする半導体セラミック。
  2. 　前記セラミック結晶粒子の平均粒径Ａが０．５～１０μｍ、
    　前記導電性粒子の平均粒径Ｂが０．３～５μｍ
    　の範囲にあることを特徴とする請求項１記載の半導体セラミック。
  3. 　前記セラミック結晶粒子の平均粒径Ａが０．５～１．５μｍ、
    　前記導電性粒子の平均粒径Ｂが０．５～１．５μｍ
    　の範囲にあることを特徴とする請求項２記載の半導体セラミック。
  4. 　前記導電性粒子の含有割合が０．１～５重量％の範囲にあることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の半導体セラミック。
  5. 　請求項１～４のいずれかに記載の半導体セラミックを正の抵抗温度特性を有するサーミスタ素体として用いたことを特徴とするＰＴＣサーミスタ。
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