JP2003531086A - 石英ガラス体を製造するための方法および装置 - Google Patents

石英ガラス体を製造するための方法および装置

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Abstract

(57)【要約】 石英ガラス体を製造する既知の方法において、複数の環状ギャップノズル（７〜９）を有し、多数の石英ガラス管（２〜５）の同軸配置により形成される回転対称堆積用バーナー（１）に、ガラス原料および燃料ガスが供給される。かかるガラス原料はバーナー炎内でＳｉＯ2粒子を形成し、このＳｉＯ2粒子は、回転マンドレル（１２）の長手方向軸に沿っての堆積用バーナー（１）の前後方向の動きにより、略円筒形の多孔質ブランクの形成中に該回転マンドレル上に堆積される。労力および費用面に多大な負担をかけずにこの堆積用バーナーの交換を可能にするため、本発明の方法は、環状ギャップノズル（７〜９）は最大０．１ｍｍの寸法偏差のあるギャップ幅を有する堆積用バーナー（１）の使用を提案し、この堆積用バーナー（１）が、該バーナーの外面（３５）と嵌合している心合せ装置（２７；３２）によって同軸に包囲され、かつ所定の空間方向に心合せされると共に、この心合せ装置（２７；３２）が、該心合せ装置を水平面内に位置付けるシフト装置（２８）に接続されることを特徴とする。この方法を実施するための適切な装置では、堆積用バーナー（１）が最大でも０．１ｍｍのギャップ幅偏差のある環状ギャップノズル（７〜９）を備えるように製造され、該バーナーの外面（３５）が、心合せ装置（２７；３２）によって同軸に嵌合され、該心合せ装置は少なくとも第１の水平面で旋回可能であり、第２の水平面内に位置付け可能であるシフト装置（２８）に接続されている（図２）。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は石英ガラス体を製造する方法に関し、この方法では、複数の環状ギャ
ップノズルを有し、多数の石英ガラス管の同軸配置によって形成されている回転
対称堆積用バーナーに、ガラス原料および燃料ガスが供給され、該ガラス原料は
バーナー炎内でＳｉＯ2粒子を形成し、このＳｉＯ2粒子は、回転マンドレルの長
手方向軸に沿っての堆積用バーナーの前後方向の動きにより、略円筒形の多孔質
ブランクの形成中に該回転マンドレル上に堆積される。
【０００２】 本発明はかかる方法を実施する装置にも関するものであり、この装置は、複数
の環状ギャップノズルを有し、複数の石英ガラス管の同軸配置によって形成され
、保持装置に接続されている回転対称堆積用バーナーからなる。
【０００３】 いわゆるＯＶＤ法（外付け気相堆積法）により石英ガラス体を製造する方法で
は、１つまたは複数の堆積用バーナーを用いて、円筒形の多孔質石英ガラスブラ
ンク（以下、「スート体」と称する場合もある）を効果的に形成する回転マンド
レルの外面上にＳｉＯ2粒子を堆積する。かかる堆積用バーナーは、通常石英ガ
ラスまたは金属からなるが、石英ガラス体へのバーナー内の剥離による汚染を大
幅に回避するという点で石英ガラス堆積用バーナーが有利である。
【０００４】 この種の石英ガラス製バーナーは、ＤＥ−Ａ１ １９５ ２７ ４５１により
公知である。この公報記載のバーナーは、中心ノズルおよび全部で３つの環状ギ
ャップノズルを形成している同心円配置の石英ガラス管からなる。原料であるＳ
ｉＣｌ4および燃料ガス、水素および酸素が、それぞれ中心および外側の環状ギ
ャップノズルに供給される。中心および外側のノズル間にバッファガスノズルが
据え付けられ、そのバッファガスノズルを通って酸素流が供給され、バッファガ
スノズルは初めに、ＳｉＣｌ4流と燃料ガス流とを分離する。バッファガスノズ
ルは、ノズルオリフィスの方向に先細りになっており、したがって、バッファガ
スに集束効果を及ぼす。
【０００５】 公知の石英ガラス製バーナーの製造は、達成可能な寸法精度に一定の限界があ
るガラス製造産業の伝統的な原理に従っている。すべての石英ガラス製バーナー
は特有のものであり、その結果、ＯＶＤ法のプロセスパラメータが、用いられる
堆積用バーナーの特性に適合するべき必要がある。石英ガラス製バーナーの交換
の際に、例えばガラス化前の密度（green destiny）またはドープ剤の分布のよ
うな石英ガラス体の本質的な特性が変化することがよく見られるため、プロセス
パラメータは、多大な時間と材料をかけて、新しい石英ガラス製バーナーに適合
されなければならない。このことは、隣接している堆積用バーナーの個々の特性
も影響力を持つようになるため、バーナー群となって配置されている一連のバー
ナーから１つの堆積用バーナーを交換する際に最も明らかである。
【０００６】 したがって本発明は、バーナーを容易かつ安価に交換できる、１つまたは複数
の石英ガラス製バーナーにより石英ガラス体を製造するための方法を提供すると
いう課題、および該方法を実施するために適した装置に関する。
【０００７】 この課題は、環状ギャップノズルを有し、そのギャップ幅が最大でも０．１ｍ
ｍの寸法偏差を示すバーナーであって、該バーナーの外面を嵌合している心合せ
装置によって保持され、所定の空間方向に向けられ、かつかかる心合せ装置によ
り、水平面内に該心合せ装置を位置付けするシフト装置に接続されるバーナーを
用いることによる上記方法に基づく本発明において解決される。
【０００８】 本発明の方法は、以下の３つの異なる相互依存的な手段からなる。即ち、 １． 環状ギャップノズルのギャップ幅の寸法精度が０．１ｍｍを超えない規定
された寸法精度の堆積用バーナーを設ける手段、 ２． 堆積用バーナーの外面を嵌合する心合せ装置によって、所定の空間方向に
堆積用バーナーを心合せし、ひいてはバーナーの心合せを正確に導く手段、 ３． 心合せ装置を水平面にシフトすることにより、堆積用バーナーを所定位置
に位置付ける手段、からなる。
【０００９】 本発明は、上記手段を組み合わせることによってのみ懸案の技術的課題を解決
することができるという見解に基づいている。堆積用バーナーが該バーナーの外
側に嵌合している心合せ装置によって心合せされ、再現的に位置付けされない限
り、堆積用バーナーに必要とされる寸法精度が単に備わるだけでは問題を解決す
るためには不十分である。同様に、石英ガラス製バーナーの正確な心合せおよび
再現的な位置付けは、環状ギャップノズルのギャップ幅の寸法精度が少なくとも
必要値に相当していない限り、問題を解決するには不十分である。
【００１０】 ２つの隣接した同軸のガラス管の間に配置されている環状ギャップノズルのギ
ャップ幅は、内側石英ガラス管の外壁と、外側石英ガラス管の内壁との間の距離
として定義される。ギャップ幅の寸法偏差は、公称ギャップ幅値の前後の許容値
間の差として規定される。公称ギャップ幅との偏差は、石英ガラス管の何らかの
形状の許容差（例えば、直径および厚さ偏差、ならびに円形誤差）、または位置
許容差（例えば偏心配置）のいずれかの結果である。堆積用バーナーの個々の環
状ギャップノズルは、上記の必要とされる最大の寸法精度値を満たしていなけれ
ばならない。上述した０．１ｍｍの寸法精度値は、０．５〜５ｍｍのギャップ幅
を有するバーナー用に定められる。おそらく、これほど寸法精度値が厳密でなく
とも、より大きなギャップ幅を有するバーナーを伴う許容可能な結果を依然とし
てもたらすことだろう。
【００１１】 堆積用バーナーの心合せには、回転軸を中心とするバーナーの回転が伴う場合
があり、バーナーの位置付けにはシフト運動が伴う。
【００１２】 好ましくは、堆積用バーナーは、それぞれ１つの可撓性の同軸リングを備えた
、間隔を置いた少なくとも２つの保持部材からなる心合せ装置により心合せされ
る。保持部材は、バーナーの外面の異なる地点で嵌合し、そのため、堆積用バー
ナーの軸方向への案内をもたらす。同軸リングが可撓性であるため、堆積用バー
ナーは心合せ中に損傷を受けず、バーナーの外径の変化をなくさせる。堆積用バ
ーナーの中心ノズルを、心合せのために適切な基準線として用いることができる
。
【００１３】 投影検査機を用いて、組立面上の石英ガラス管の同軸配置を測定することが有
利である。この投影検査機は、堆積用バーナー口を形成している石英ガラス管の
前面を探知するため、環状ギャップノズルの寸法精度の決定を行うことが可能と
なる。
【００１４】 この方法のさらなる改善では、バーナー炎に面している石英ガラス管の前面か
ら堆積物を取り除くことにより石英ガラス管の前面を効果的に研磨し、石英ガラ
ス管の寿命を延長させる。例えばフッ化水素酸中に浸漬することによる化学的エ
ッチングは、エッジを削って平滑化し、その部分からのガス流を改善する機能を
果たす。機械研磨はその研磨結果の再現性を改善するので、火炎研磨よりも好ま
しい。
【００１５】 堆積用バーナーをまず垂直方向に心合せし、次に心合せ装置によって、堆積用
バーナーの長手方向軸がマンドレルの長手方向軸と交差するようにマンドレルの
下の望ましい位置に移動する場合に、本発明の方法を実施することが特に簡単と
なる。この配置は、マンドレルの適所に補助線を使用することにより実施するこ
とができ、このマンドレルに沿ってバーナーが心合せされる。自明のこととして
、バーナーの長手方向軸は、中心のバーナーノズルの長手方向軸と同一である。
堆積用バーナーとマンドレルの下端との間の距離を調節するためにゲージが用い
られる。
【００１６】 本発明の方法を実施するための適切な装置に関して、上記に述べた課題は、環
状ギャップノズルのギャップ幅が最大値０．１ｍｍを超えないように環状ギャッ
プノズルを設計することにより、かつ同軸配置で堆積用バーナーの外面を包囲し
ており、第１および第２の旋回軸を中心に旋回することができ、水平面内にシフ
トすることができる位置付け装置に接続される心合せ装置として保持装置を設計
することによる上記記載の装置に基づいて解決される。
【００１７】 本発明による装置は、以下の３つの主要部品からなる。すなわち、 １． 堆積用バーナーの各環状ギャップノズルのギャップ幅の寸法精度が０．１
ｍｍを超えない規定された寸法精度を有する堆積用バーナー、 ２． ２つの旋回軸を中心に旋回することができ、バーナーの外面上を嵌合して
、バーナーの正確な案内、および所定の空間方向に心合せをもたらす心合せ装置
、 ３． 心合せ装置に接続しており、水平面内に該心合せ装置をシフトすることに
より所定位置に堆積用バーナーを位置付ける機能を果たす位置付け装置、からな
る。
【００１８】 解決されるべき技術的課題に対するこれらの部品の効果の詳細、ならびに「ギ
ャップ幅」および「寸法精度」の用語の定義については、上記に提供した本発明
による方法の説明を参照されたい。
【００１９】 バーナーの外面上の異なる地点で嵌合し、そのため、堆積用バーナーの正確な
案内をもたらすそれぞれ１つの可撓性の同軸リングを備えた間隔を置いた少なく
とも２つの保持部材からなるように心合せ装置を設計することが有利である。同
軸リングが可撓性であるため、堆積用バーナーは心合せ中に損傷を受けず、バー
ナーの外径の変化をなくさせる。
【００２０】 本発明の装置の大変良好な実施形態では、石英ガラス管の前面を研磨して化学
的エッチングにより平滑化する。高い寸法精度を得るために、機械研磨が火炎研
磨よりも好ましい。例えばフッ化水素酸を用いた化学的エッチングの後では、シ
リンダの前面および外面の間の両端は、十分に輪郭がくっきりと丸められた円弧
を有する。
【００２１】 石英ガラス管の長手方向軸に対して直角に切断した石英ガラス管から堆積用バ
ーナーを製造することは、バーナーの堆積特性の再現性を改善するので好ましい
。
【００２２】 図１は、堆積用バーナーのギャップ幅および寸法偏差を求めるために適した方
法を示している。この概略図は、回転対称堆積用バーナー１の前面の上面図を示
す。堆積用バーナー１は、同軸配置された少なくとも４つの石英ガラス管２、３
、４、５からなる。中心の石英ガラス管２は中心ノズル６を包囲し、バッファガ
スノズル７は隣接している石英ガラス管２および３の間に位置し、石英ガラス管
３および４は燃料ガスノズル８を包囲し、石英ガラス管４および５は外側ノズル
９を包囲している。
【００２３】 以下に、例としてバッファガスノズル７を用いてギャップ幅の寸法偏差を求め
るための方法を説明する。例示目的のために、石英ガラス２〜５を、例えば不均
一な壁厚、非円形断面および偏心配置のような形状及び位置の誤差を有するよう
に描いている。
【００２４】 理想的な例が、バーナー１の長手方向軸１４に同軸に延びている、２つの破線
で描かれた同心線１２および１３によって示されている。外径ＲA2を有する同心
線１２は石英ガラス管２の外壁を包囲しており、内径Ｒi3を有する同心線１３は
、石英ガラス管３の内面に接線方向に沿って接している。同心線１２および１３
はどちらも長手方向軸１４に対して同心であるため、これらの同心線間のギャッ
プ幅は、すべての場所で一定である。
【００２５】 図示されている実施形態のバッファガスノズル７の公称ギャップ幅は、０．８
ｍｍである。隣接している石英ガラス管２および３の偏心距離、壁の厚さと直径
との変化および偏心配置は、上記に述べた公称ギャップ幅との偏差をもたらす。
参照符号１０は実際の最大ギャップ幅を表しており、参照符号１１は実際の最小
ギャップ幅を表している。寸法偏差を求める第１のステップは、以下の式により
環状ギャップ幅を計算することである。 Ｓ＝（外側の石英ガラス管３の内径）−（内側の石英ガラス管２の外径）
【００２６】 ２つの石英ガラス管はそれぞれ寸法偏差を被るので、最大許容値、Ｓmax（最
大の偏差）およびＳmin（最小の偏差）が計算される。図示した実施形態では、
石英ガラス管３の内径の最大値は、４．７ｍｍ＋０．０５ｍｍ＝４．７５ｍｍで
あり、石英ガラス管２の外径の最小値は、３．１ｍｍ−０．０５ｍｍ＝３．０５
ｍｍである。これらの値から最大の偏差Ｓmaxを計算すると、（４．７５ｍｍ−
３．０５ｍｍ）／２＝０．８５ｍｍが求まる。
【００２７】 同様の計算により石英ガラス管３の内径の最小値を求めると、４．７ｍｍ−０
．０５ｍｍ＝４．６５ｍｍとなり、石英ガラス管２の外径の最大値を求めると、
３．１ｍｍ＋０．０５ｍｍ＝３．１５ｍｍとなる。これらの値から、最小の偏差
Ｓmaxを求めると、（４．６５ｍｍ−３．１５ｍｍ）／２＝０．７５ｍｍとなる
。
【００２８】 本発明の目的について定義するように、寸法精度を最小および最大の偏差の差
として計算する。すなわち、 Ｓmax−Ｓmin＝０．８５ｍｍ−０．７５ｍｍ＝０．１ である。次に燃料ガスノズル８および外側ノズル９の寸法偏差を、これに従って
計算する。環状ギャップノズルのいずれの寸法偏差も、０．１ｍｍの許容値を超
えない。
【００２９】 図２は、本発明の方法を実施するのに適した装置を示している。この装置は、
堆積用バーナー１、スライドテーブル２７、およびシフトテーブル２８からなる
。
【００３０】 堆積用バーナー１は、図１に示したバーナー口３１の概略上面図に示したよう
に、４つのノズルを有するバーナーである。以下、堆積用バーナー１の同等の構
成部品のすべての参照を図１の参照符号を用いて行う。
【００３１】 堆積用バーナー１は、該堆積用バーナー１の長手方向軸１４を中心に本質的に
回転対称である。バーナーは、同軸配置された４つの石英ガラス管２、３、４、
５から成り、バーナーの中心ノズル６は、同軸配置された３つの環状ギャップノ
ズル（バッファガスノズル７、燃料ガスノズル８、および外側ノズル９）によっ
て包囲されている。中心ノズル６、バッファガスノズル７、燃料ガスノズル８、
および外側ガスノズル９の断面は、それぞれ、比１：５：１５：４０に相当する
。
【００３２】 各ノズル（６〜９）は、ガス供給口３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄを備えて
いる。バーナー口３１の近くにある上部の石英ガラス管の前面は研磨され、両端
をフッ化水素酸エッチングにより平滑化されている。
【００３３】 堆積用バーナー１は、ブラケット３２を嵌合している心合せ装置により垂直心
合せしてぶら下げられている。ブラケット３２は穿孔２５を有し、この穿孔２５
を通って堆積用バーナー１が延びている。穿孔２５の上部および下部領域は、堆
積用バーナー１を包囲するために、ひいては嵌合するために、それぞれねじ山を
有するように設計されている。ユニオンナット３４をねじ山２４にねじ込むこと
により、ユニオンナット３４の内側の切断円錐形状面２３は、可撓性の同軸リン
グ３３がブラケット３２の前面２２、および堆積用バーナー１の外面３５に押し
つけられるように、該リングに押しつけられる。２つのユニオンナット３４をき
つく締めることによって、堆積用バーナー１の外面３５は、２つの箇所で中心を
つり下げられて保持され、軸方向の案内をもたらす。
【００３４】 長手方向軸１４に対し垂直に延びており、シフトテーブル２８上の軸受けで作
動する旋回軸２１は、ブラケット３２の中央に嵌合する。旋回軸２１を中心とし
た回転により、堆積用バーナー１を旋回角「β」（参照符号３６；図示する紙面
に対して直角）だけ旋回させる。固定ねじ２０を固定することは、所定位置に旋
回軸２１を固定する役割を果たし、その一方、スライドテーブル２７に作用する
調整ねじ１９を調整することにより、軸３７を中心として堆積用バーナー１を旋
回角「α」（参照符号３８）だけ旋回することが容易になる。軸３７は、工業用
シフトテーブル２８に取り付けられた軸受けブロック２６にスライドテーブル２
７を接続する。スピンドル３９は、伸張アーム４０にねじ係合されるシフトテー
ブル２８に線形運動を提供する。
【００３５】 以下に、本発明の方法を、光ファイバのプリフォームの例に関して図２に示す
装置に基づいて説明する。
【００３６】 第１の方法ステップは、適切に選択され慎重に製造された石英ガラス管を用い
るガラス製造産業の周知の方法による堆積用バーナー１の製造からなる。続いて
、図１に示す３つの環状ギャップノズルの寸法偏差を求めるためにバーナー口３
１の寸法を投影検査機を用いて測定する。図示した実施形態では、寸法偏差値は
、内側から外側にかけての３つのノズルについて、それぞれ０．１ｍｍ、０．０
０６ｍｍ、０．０７ｍｍである。したがって、堆積用バーナー１は、燃料ガスノ
ズルのいずれについても、必要とされる最大の偏差がわずか０．１ｍｍのギャッ
プ幅という条件を満たしている。
【００３７】 その後、堆積用バーナー１は、穿孔２５内へ持ち上げられてブラケット３２に
取り付けられ固定され、このような配置によって、該バーナーの外面３５に嵌合
している可撓性の同軸リング３３により堆積用バーナー１の正確な軸方向の案内
が確実となる。旋回軸２１および軸３７を用いることにより、堆積用バーナー１
は、長手方向のバーナー軸１４が垂直位置にあるように心合せされる。
【００３８】 固定され心合せされた堆積用バーナー１は、次に、堆積用バーナー１の長手方
向軸１４がマンドレル１２の長手方向軸（図２ではマンドレル１２の長手方向軸
は図示する紙面に直角に延びている）に交差するまで、シフトテーブル２７によ
って水平面にシフトされる。
【００３９】 製造、心合せ、および位置付けの後の堆積用バーナー１は特有であるが、再現
可能なバーナー特性を示す。これらの特性は、本発明の方法により、代替のバー
ナーが製造され、心合せされ、位置付けされると、堆積用バーナー１に代わる該
代替のバーナーに再現されるため、プロセスパラメータの調整に多大な労力と費
用をかける必要がない。このことはまた、堆積用バーナー１が、バーナー群をな
している一連の堆積用バーナーのうちの１つである場合にもあてはまる。
【００４０】 ＯＶＤ法により、ＧｅＯ2をドープされたコア層を製造するために、スート粒
子を、長手方向軸を中心に回転するマンドレル１２に沿って堆積用バーナー１を
前後方向に動かすことにより堆積する。このために、ＳｉＣｌ4、ＧｅＣｌ4、お
よびキャリヤガス酸素を、堆積用バーナー１の中心ノズル６に供給する。この２
つの種成分（ＳｉＣｌ4＋ＧｅＣｌ4）、およびキャリヤガス酸素の流体を、モル
比１：１で供給する。バッファガス酸素、水素、および燃料ガス酸素は、それぞ
れバッファガスノズル７、燃料ガスノズル８、および外側ノズル９を通って供給
される。４つのガス流体、すなわちＳｉＣｌ4＋ＧｅＣｌ4＋キャリヤガス酸素、
バッファガス酸素、水素、および燃料ガス酸素は、それぞれ体積比１：１：１０
：５で供給される。
【００４１】 コア層が公称サイズまで達すると、第１のＳｉＯ2被覆層がコア層上に堆積さ
れる。このために、ＧｅＣｌ4を堆積用バーナー１に供給することをやめ、その
ため、ドープされていないＳｉＯ2粒子が被覆ガラス層の形成中に堆積される。
【００４２】 最後に、マンドレル１２を取り除き、連続形成された素地を洗浄し、焼結し、
かつ周知の方法を用いてコア・ロッドに中実化させる。光ファイバ製品のプリフ
ォームの製造を仕上げるために、その後に続いてコア・ロッドを追加の被覆ガラ
ス層で被覆する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 堆積用バーナーのバーナー口の上面図である。
【図２】 本発明による装置の一実施形態を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ０３Ｂ 37/018 Ｃ０３Ｂ 37/018 Ｚ Ｆ２３Ｄ 14/56 Ｆ２３Ｄ 14/56 Ｄ (72)発明者 ルペルト、クラウス ドイツ連邦共和国、63477 マインタール、 ビュッヘルタールストラーセ 16 (72)発明者 クロック、ヴォルフガング ドイツ連邦共和国、63526 エルレンゼー、 テオドール−ホイス−ストラーセ 11 (72)発明者 クラインゾルゲ、ペーター ドイツ連邦共和国、63571 ゲルンハウゼ ン、アルテ・シュミートガッセ ３ (72)発明者 クリスチアンセン、ウーヴェ ドイツ連邦共和国、63571 ゲルンハウゼ ン、レーンストラーセ 107 (72)発明者 カイルホルツ、アンドレアス ドイツ連邦共和国、63546 ハムメルスバ ッハ、ビューディンガー・ストラーセ ７ Ｆターム(参考） 3K017 CA10 CB05 CF03 CG03 CH02 4G014 AH14 AH16 AH23 4G021 EA03 EB14 EB15 EB23 EB26 4G059 AA20 AB03 AB09 AB11 AC03 BB14 【要約の続き】 は、堆積用バーナー（１）が最大でも０．１ｍｍのギャ ップ幅偏差のある環状ギャップノズル（７〜９）を備え るように製造され、該バーナーの外面（３５）が、心合 せ装置（２７；３２）によって同軸に嵌合され、該心合 せ装置は少なくとも第１の水平面で旋回可能であり、第 ２の水平面内に位置付け可能であるシフト装置（２８） に接続されている（図２）。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の環状ギャップノズル(７〜９)を有し、多数の石英ガラ
    ス管（２〜５）の同軸配置によって形成されている回転対称な堆積用バーナー（
    １）に、ガラス原料および燃料ガスが供給され、該ガラス原料はバーナー炎内で
    ＳｉＯ2粒子を形成し、該ＳｉＯ2粒子は、回転マンドレル（１２）の長手方向軸
    に沿った、前記堆積用バーナー（１）の前後方向の動きにより、略円筒形の多孔
    質ブランクの形成中に回転マンドレル上に堆積される石英ガラス体を製造する方
    法であって、 堆積用バーナー（１）は、最大０．１ｍｍの寸法偏差のあるギャップ幅を有す
    る前記環状ギャップノズル（７〜９）を用いており、かつ、前記堆積用バーナー
    （１）は同軸上に包囲され、外面（３５）を把持する心合せ装置（２７；３２）
    により所定方向に心合せされ、該心合せ装置（２７；３２）は、該心合せ装置（
    ２７；３２）を水平位置にもたらすシフト装置(２８)に接続されることを特徴と
    する石英ガラス体を製造する方法。
  2. 【請求項２】 前記堆積用バーナーは、それぞれ１つの可撓性同軸リング（
    ３３）を備え、間隔を置いた少なくとも２つのホルダ部材（３４）を有する心合
    せ装置（２７；３２）により心合せされることを特徴とする請求項１に記載の方
    法。
  3. 【請求項３】 前記石英ガラス管（２〜５）の前記同軸配置は、投影検査機
    により両端部で測定され、前記環状ギャップノズル（７〜９）の前記寸法偏差は
    、得られた結果から求められることを特徴とする請求項１または２に記載の方法
    。
  4. 【請求項４】 前記石英ガラス管（２〜５）は、前記両端部で研磨された後
    に化学的エッチングにより平滑化されることを特徴とする請求項１ないし３のい
    ずれか１項に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記堆積用バーナー（１）は、前記心合せ装置（２７；３２
    ）により垂直に心合せされることを特徴とする請求項１ないし４に記載のいずれ
    か１項に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記堆積用バーナー（１）は、前記シフト装置（２８）によ
    り、該堆積用バーナー（１）の長手方向軸（１４）が前記マンドレル（１２）の
    前記長手方向軸を交差するように、該マンドレルの下に配置されることを特徴と
    する請求項５に記載の方法。
  7. 【請求項７】 複数の環状ギャップノズル（７〜９）を有し、多数の石英ガ
    ラス管（２〜５）の同軸配置によって形成されており、ホルダ部材に接続される
    回転対称堆積用バーナー（１）を備える請求項１ないし６のいずれか１項に記載
    の方法を実現するための装置であって、前記環状ギャップノズルは最大０．１ｍ
    ｍの寸法偏差のあるギャップ幅を有すると共に、前記ホルダ部材は、前記堆積用
    バーナー（１）の外面（３５）を同軸に包囲し、かつ第１の旋回軸（２１）およ
    び第２の旋回軸（３７）を中心に旋回する心合せ装置（２７；３２）として設け
    られ、水平移動するシフト装置（２８）に接続されていることを特徴とする請求
    項１ないし６のいずれか１項に記載の方法を実現するための装置。
  8. 【請求項８】 前記心合せ装置（２７；３２）は、それぞれ１つの可撓性の
    同軸リング（３３）を備え、間隔を置いた少なくとも２つのホルダ部材（３４）
    を有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
  9. 【請求項９】 前記石英ガラス管（２〜５）は、該石英ガラス管の両端部で
    研磨され、化学的エッチングにより平滑化されることを特徴とする請求項７ない
    し８のいずれか１項に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 バーナー炎に面している前記石英ガラス管（２〜５）の各
    端部は、直角に前記管の長手方向軸を交差することを特徴とする請求項７ないし
    ９のいずれか１項に記載の装置。
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