KR20040093186A - 광섬유의 제조방법 및 광섬유 - Google Patents

Abstract

광섬유를 제조하는 공지된 방법에서, 코어 로드와 외부 재킷 튜브를 포함하는 동축 배열이 신장되고, 동축 배열은 가열 구역에 수직 배향으로 공급되고, 그 내부 구역에서 하부단으로부터 연화되고, 광섬유가 그 연화된 부분에서 하방으로부터 인출되고, 이에 의해 코어 로드와 재킷 튜브 사이에 존재하는 환상의 갭이 붕괴된다. 그로부터 시작하여, 최소한의 컬과 낮은 비용으로 광섬유를 제조하는 것을 가능하게 하는 방법을 제공하기 위해, 본 발명은 최종 치수로 기계적으로 처리되고, 적어도 100㎜의 외경을 갖는 석영 글라스 실린더가 재킷 튜브로서 사용되는 것을 제안한다. 상기 방법에 의해 얻어진 광섬유는 외부 힘의 작용 없이 6m의 곡률 반경을 갖는다는 점을 특징으로 한다.

Description

광섬유의 제조방법 및 광섬유{METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL FIBER AND AN OPTICAL FIBER}

데이터 전송을 위한 광섬유의 사용은 과거 20년 사이 경제적 중요성을 증가시켰다. 그 광학적 감쇄와 섬유의 강도에 관하여 광섬유가 처음 개선된 후, 현재의 주요 역점은 비용 감소에 있다. 가능한 접근법은 광섬유당 전송량을 증가시키고, 광섬유의 생산비용을 감소시키는 것이다. 일반적으로 지금까지 광섬유를 굴절율을 증가시키는 도펀트를 갖는 석영유리코어와 그 코어를 둘러싸고(cladding) 굴절율이 보다 낮은 재킷으로 이루어지며, 그 단면을 가로질러 방사상 굴절율 프로필이 제공되는 모재(preform)를 연신(drawing)하여 제조되어 왔다.

상업적 적용을 위한 소위 단일-모우드 광섬유 모재를 공지의 OVD(외부 중착, outside vapor deposition), MCVD(변형 화학 중착, modified chemical vapor deposition), PCVD(플라즈마 화학 중착, ;plasma chemical vapor deposition)와 VAD(축 중착, vapor axial deposition)법에 따라 제조된다. 이들 방법에서는, 먼저 코어 로드(코어로드, core rode)가 제조되며, 이를 코어와 나중에 단일-모드 광섬유의 재킷부를 포함한다. "재킷 물질(jacket material)"이라 명명되는 석영 글라스를 코어 로드에 적용한다. 전술한 재킷 물질의 품질은 광섬유의 기계적 강도에는 중요하나 광학적 특성에 미치는 영향은 그리 중요하지 않다.

EP-A 10 309 027은 석영 글라스의 큰 체적 모재로부터 연신하여 광학 모노모드 섬유를 제조하는 방법을 개시한다. 상기 모재는 기질 튜브의 내벽에 코어 물질을 부착시켜 생산되고, 상기 기질 튜브는 코어 물질의 블랭크 형성 하에 결국 붕괴되며, 그후 상기 코어 물질 블랭크는 로드-인-튜브(rod-in-tube) 기술에 의해 오버클래드된다. 직경이 다른 두개의 석영 글라스 튜브가 코어 로드를 오버클래드하기 위해 사용되며, 큰 것은 외경이 52㎜이고, 내경이 27㎜이다. 나아가 플루오르를 포함하는 대기 하에서 플라즈마 에칭 수단에 의해 세정 처리를 시작하기 전에 코어물질 블랭크와 오버클래드 튜브의 연결이 에칭, 세척 및 건조되어야 한다는 것을 기술하고 있다.

EP-A 598 349도 두꺼운 벽의 석영 글라스 실린더를 사용하여 큰 체적의 모재로부터 연신하여 광섬유를 제조하는 방법을 개시하고 있다. 석영 글라스 실린더를 제조하기 위한 몇 가지 방법을 제시하고 있다. 첫번째 방법은 두 단계로 구성되어 있다. 제 1단계로, 원통형 석영 글라스 블랭크가 제공된다. 제 2단계로는, 보어를제조하기 위해 코어드릴을 사용하거나 고온 업셋법으로 상기 블랭크를 처리하는 것에 의해 중심 보어를 형성하기 위해 기계적으로 상기 블랭크를 드릴링한다. 두번째 방법은 OVD법으로 시작하는데, 여기서는 다공성 SiO2 수트(soot)를 내열성 맨드럴(mandrel) 물질상에 부착시키고, 그 후에 상기 맨드럴 물질을 제거하고, 부착된 수트를 유리질화 하에서 탈수 및 용융시킨다. 세번째 방법은 VAD법에 의해 직접적으로 다공성 수트물질을 형성하고, 최종적으로 용융에 의해 탈수된 부착물을 유리질화하는 것을 포함한다.

비용상의 이유로, 섬유가 연신되는 동안에 직접적으로 재킷부를 적용하는 것이 점점더 일반화 되고 있다. 섬유를 연신하는 동안 소위 코어 로드 상에 재킷 튜브가 붕괴된다. 상기 언급한 형태의 방법과도 일치하고, 이후에서 "ODD법"(overclad during drawing)으로 명명되는 방법과 같은 실시예가 EPA 1 129 999에 기재되어 있다. 거기에는 내부 재킷 글라스 튜브와 외부 재킷 글라스 튜브를 갖는 코어 로드를 동시에 오버클래드하는 것이 제시되어 있다. 내부와 외부 재킷 글라스 튜브 내에 코어 로드를 고정시키기 위해, 압축부위를 갖는 하부 말단부에 외부 재킷 글라스 튜브를 제공한다. 외부 재킷 튜브가 수직으로 배향되고, 재킷 튜브의 내부 보어 내의 상부에서 홀딩 링을 삽입하고, 후자는 압축부의 직경보다 조금 더 큰 외부 직경을 가지며, 따라서 홀딩링은 압축부 영역 상에 기대게 된다. 정확하게 수평 배향되고, 그리고 상기 홀딩링의 중심 보어 때문에, 첫번째 내부 재킷 튜브가 홀딩링에 머무는 동안 이것이 원추형의 하단이 제공된 코어 로드의 정지를 가능하게 한다. 결과적으로, 재킷 튜브와 코어 로드의 동축 배열은 로에 수직 배향으로공급되고, 상호간 용해된 성분과 함께 그 안에서 지역적으로 연화되고, 외부 재킷 튜브의 내부 보어에서 진공을 형성하고 유지한다.

섬유 품질의 평가를 위한 중요한 파라미터는 힘의 작용없이 자유롭게 유동하는 섬유로 간주되는 섬유 보우(bow)와 섬유 컬(curl)이다. 상기 섬유 컬은 모재에서나 또는 ODD법에 따른 성분의 동축 배열에서 이상적인 원통형 대칭으로부터의 편차에 의해 만들어진다. 특히 모재이나 ODD법에서 사용된 성분에서 이미 만들어진 벤딩(굴곡)은 섬유 컬에 영향을 미친다. 왜냐하면 섬유연신동안 로의 중심에 정확히 위치시키고 , 이렇게 연신되는 성분 주위로 균질이고 원통으로 대칭인 온도분포가 어렵기 때문이다. 양질의 광섬유를 위해 약 4m의 곡률반경(섬유 컬)이 현재 허용된다. 상기한 방법으로 그와 같은 조건은 성분을 제조하는 동안 최대한의 주의와 연신 로에서 매우 정확한 위치 선정에 의해서만 충족될 수 있다. 그러나, 섬유컬을 보다 감소시키는 것이 요구되는데, 특히 섬유 컬이 섬유의 접합(스플라이스,splice), 그 중에서도 섬유 번들 또는 섬유 리본의 접합을 더 어렵게 하기 때문이다.

본 발명은 동축 배열을 신장시켜, 코어 로드와 외부 재킷 튜브를 포함하는, 광섬유를 제조하는 방법에 관한 것이며, 이 방법에 의하면, 상기 동축 배열은 수직 배향으로 가열부에 이송하여 그 안에서 하단부터 시작하여 지역적으로 연화되며, 이에 따라 코어 로드와 재킷 튜브 사이에 존재하는 환상의 갭이 붕괴된다.

또한, 본 발명은 코어 및 그 코어를 둘러싼 재킷을 포함하는 광섬유에 관한 것이다.

그러므로 본 발명의 목적은 최소한의 컬을 갖는 광섬유를 저렴하게 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 특히 섬유 스플라이스의 형성 중에, 용이한 공정처리를 특징으로 하는 광섬유를 제공하는 것이다.

상기 방법에 관하여는, 최종 치수까지 기계적으로 처리되고, 최소한 100㎜의외경을 갖는 석영 글라스 실린더가 재킷 튜브로 사용되는 본 발명에 의해 상기 언급된 방법으로부터 출발하는 본 발명의 목적이 달성된다.

본 발명에 따른 방법은 3가지 본질적인 측면에 의해 특징된다.

1. 한편으로는, 최종 치수로 기계적으로 처리되는 석영 글라스 실린더가 재킷 튜브로서 사용된다. 이것은 종래 공지된 ODD법과 종래 알려진 모재를 이용하는 인장법 양자에 대하여 본질적 차이를 보여준다.

지금까지 소위 재킷 튜브는 ODD법에서 코어 튜브를 오버클래드하기 위해 사용되었다. 사용된 재킷 튜브의 내경과 외경은 사용된 코어 로드가 제조되는 섬유에 적용되었다.

세공에 의해 표준화된 치수를 갖는 석영 글라스 실린더가 필요한 재킷 튜브 치수로 신장되는 수직 연신 공정에서 의도된 용도로 기하학이 채택된다. 이 수직 연신공정에서는, 다른 고온 성형과정에서와 같이, 기하학적 치수 정밀도는 사용된 석영 글라스 실린더와 비교하여 저하되게 되어있다. 왜냐하면 실린더는 1/100㎜의 범위 내에서의 높은 치수 정확성을 갖기 위해 드릴링, 호닝, 연삭과 같은 기계적 처리로 세공될 수 있기 때문이다.

고온 성형과정, 특히 또한 재킷 튜브 생산용 수직 연신공정은 이상적인 즉, 실린더-대칭의 연신 조건에서 최소한의 편차인 경우라도 인출된 성분의 벤딩에 영향을 준다는 것이 발견되었다. 최종적인 치수로 기계적으로 처리된 본 발명의 실린더의 발명의 사용에 의해 고온 성형과정에서 야기되는 추가적인 휨(bow)을 방지한다.

EP-A 598 349는 또한 최종적인 치수로 기계적으로 처리된 높은 기하학적 정밀도의 석영 글라스 실린더의 사용을 제안한다. 그러나 이 문헌은 광섬유용 모재(프리폼)를 제조하는데 상기 실린더의 사용을 제안하고 있으나, 신장에 의해 직접적으로 광섬유를 제조하기 위해 사용하는 것은 제안하지 않았다. 그러나, 놀랍게도 이 방법은 바람직한 치수 정밀도와 섬유의 작은 컬을 발생시키지 않는다. 그 이유는 후에 광섬유가 연신되는 모재(예비성형물)를 얻기 위한 코어 로드상의 중간 단계에서 기하학적으로 정밀한 석영 글라스 실린더가 붕괴되기 때문이다. 수직 연신공정에 대하여 상기한 바와 같이, 그러나 상기 코어 로드상에서 석영 글라스 실린더를 붕괴시키는 고온성형 단계는 이 방법으로 생산된 성분, 즉 모재의 벤딩을 초래한다. 보우(bow, 휨)는 연신 장치의 기하학적 오차와 인장 축과의 편차에 의해 발생되게 되어있다. 축으로 고정된 연신 장치에서, 글라스 섬유의 보우의 경우에 연신 벌브 영역 내로 레버작용에 의해 큰 힘이 전달되고 이들 힘은 더 변형을 일으키며, 이에 따라 연신벌브 내로 모재의 연신된 부분의 "작용"이 기존에 존재하는 보우를 "증대시킨다". 적어도 벤딩된 모재는 섬유가 연신되는 동안 섬유 연신 로에서 방사형으로 불균일한 온도 분포의 결과를 가져오며, 이같은 불균일한 온도 분포는 섬유의 컬을 증가시킨다. 마찬가지로 열과 연신 처리에 의해 재킷 튜브의 벽 두께에 이미 존재하는 치수 편차가 증가되고, 그에 의해 상기 편차가 증가된다.

이들 문제점들은 신장에 의해 얻어지는 재킷 튜브나 모재가 아닌 석영 글라스 블랭크로부터 기계적 연마에 의해 얻어지는 석영 글라스 실린더를 사용하는 본발명의 방법에 따라 해결될 수 있다. 기계적 처리(특히 드릴링, 호닝, 연삭)에 의해, 그리고 공지의 호닝과 연삭법 및 이에 적당한 상업적 장치의 사용에 의해, 외경이 100㎜ 이상이고, 길이가 2m 이상인 석영 글라스 블랭크를 정확한 원형 단면과 1/100㎜의 범위 내의 작은 치수 편차를 갖는 완전하게 곧은 실린더로 가공할 수 있다.

본 발명에 따라 최종적인 치수로 기계적 처리된 실린더는 그 표면이 정화되고, 그 후의 화학적 처리(에칭)로 또는 불 세공에 의해 평탄해지는 실린더를 의미한다. 왜냐하면, 에칭공정과 불 광택은 석영 글라스 실린더의 보우에 영향을 주지 않기 때문이다. 이들 치수와 기계적 처리의 관점에서, EP-A 598,349에 공지된 석영 글라스 실린더는 외경이 최소한 100㎜인 조건하에서 본 발명의 방법에 사용되기에 적합하다. 이 자료는 본 발명에서 참고자료로 채택된다.

2. 본 발명의 두번째 본질적인 측면은 석영 글라스 실린더가 외경이 최소한 100㎜를 갖는다는 점에 있다. "재킷 튜브"의 사용과 비교하여, 큰 부피를 갖는 석영 글라스 실린더의 사용은 두가지 본질적인 장점, 즉 비용적 측면의 이익과 치수 정밀도의 향상을 가져온다.

비용의 이익은 더 큰 체적과 이에 따라 섬유 연신공정에서 보다 긴 섬유장을 얻을 수 있게 함으로써 경제적인 대량 생산을 실현할 수 있다.

치수 정밀도에 관한 향상은 섬유가 연신하는 동안 이상적인 실린더 대칭으로부터의 석영 글라스 실린더의 편차가 더 작은 섬유 직경으로 정확한 비율로 줄어들게되고, 그러므로 보다 작은 실제 스케일 감소의 경우, 예를 들면 보다 작은 직경을 갖는 공지의 재킷 튜브에 기초한 경우 보다 덜 인지된다는 사실에 기인한다.

기계적 처리 후에 잔존하는 기하학적 흠(flaw)은 도구의 정밀성과 과정의 기술적 측정 한계에 의해 정해진다. 이들 "잔존하는 흠"은 석영 글라스 실린더가 가능한 한 두꺼운 벽 두께를 가질 때 그 영향을 최소화할 수 있다. 일정한 비율로 줄어들기 때문에 섬유에 생기는 상대적인 흠은 더 작아지게 된다.

사용되고 있는 큰 체적의 석영 글라스 실린더가 종종 제조 공정에서 기인되는 코어 로드의 열악한 치수 안정성을 보완할 수 있다는 사실에서 본 발명의 다른 본질적인 측면을 알 수 있다. 코어 로드는 고온 공정에서 자동적으로 제조되고, 그러므로 항상 이상적인 기하학과는 어느 정도 편차가 있게 마련이다. 후에 코어 로드를 기계적 처리함은 단지 재킷과 코어 물질의 비율에 변화를 유도하고, 그리하여 오염으로 이어진다. 가능한 한 두꺼운 벽을 갖는 석영 글라스 실린더를 제공함으로써 코어 로드의 기하학적 흠의 영향을 최소화할 수 있다. 이에 의해 코어 로드의 상대적인 흠 기여는 감소된다.

본 발명의 방법에 의하면, 최종적인 치수로 기계적으로 처리된 석영 글라스 실린더에 부가하여 재킷 튜브로 코어 로드를 오버클래드하는 것이 가능하다. 상기 기술한 이유 때문에 이들은 최종적인 치수로 기계적으로 처리된 재킷 튜브가 바람직하다.

본 발명의 이점은 서브클레임에 의한다.

석영 글라스 실린더의 외경이 클수록, 그리고 내경이 작을수록 석영 글라스 실린더에 의해 제공된 석영 글라스의 체적은 더 커지고, 그로부터 얻어지는 섬유의치수 정확성에 대한 이점이 더 커진다.

석영 글라스 실린더 벽의 두께 또한 중요한 역할을 한다. 바람직하게는, 석영 글라스 실린더와 코어 로드를 사용하며, 여기서 석영 글라스 실린더의 방사상 단면적 CSA(C)(cross-sectional area)과 코어 로드의 방사상 단면적 CSA(R)의 비 CSA(C)/CSA(R)는 5~100 사이의 범위이고, 보다 바람직하게는 10~80 사이이다. 석영 글라스 실린더의 벽 두께가 클수록 광섬유를 보다 정밀하게 제조할 수 있다. 왜냐하면, 실린더의 벽 두께가 증가함에 따라 절대적인 기하학적 플로우(벽 두께와 석영 글라스 실린더의 외경과는 독립적이다)는 섬유가 연신하는 동안 보다 큰 범위로 감소한다. 석영 글라스 실린더의 외경은 최소한 100㎜이다.

본 발명에 따른 방법은 최소 2m의 길이, 보다 바람직하게는 최소 3m의 길이를 갖는 석영 글라스 실린더의 사용을 가능하게 한다. 상기 방법에서 경제적으로 유리한 효과를 갖는 최대한의 길이를 가지는 석영 글라스 실린더를 사용하는 것은 기계적인 최종적인 처리에 의해서만 가능하게 되는데, 이는 기계적으로 마무리되지 않고, 고온성형 단계에서 최종 치수를 얻은 석영 글라스 튜브에서는 일정한 결함이 항상 발견되기 때문이다. 이로 인해 코어 로드를 삽입하는 것이 더 어렵게 되며, 그래서 코어 로드의 동일한 외경에서 튜브의 길이를 증가시키는 것은 존재하는 결함을 고려할 때 내경증대를 필요로 한다. 따라서 상기 실린더의 길이는 코어 로드와 튜브의 내부 벽과의 갭의 폭 증대를 수반하는데, 이것은 튜브가 붕괴하는 동안 기하학적 편차를 일으킨다. 이점에서 본 발명에 따른 방법은 또한 특히 긴 석영 글라스 실린더의 경우에 치수 정확성을 향상시킨다.

사용된 석영 글라스 실린더는 바람직하게는 길이 미터당 0.3㎜ 이하의 보우, 바람직하게는 길이 미터당 0.1㎜ 이하의 보우, 특히 바람직하게는 0.05㎜ 이하의 보우를 갖는다. 이들의 벽 두께 편차는 길이미터당 0.3㎜ 이하이고, 바람직하게는 0.1㎜ 이하이며, 특히 바람직하게는 0.05㎜ 이하이다. 상기 석영 글라스 실린더의 타원성은 길이 미터당 최대 0.3㎜ 이고, 바람직하게는 길이 미터당 최대 0.1㎜ 이며, 특히 바람직하게는 타원성이 길이 미터당 최대 0.05㎜ 이다.

상기 사용된 석영 글라스 실린더는 다공성 수트 물질로 만드는 것이 바람직하다. 다공성 수트 물질은 후에 정련, 탈수 및 도핑을 가능하게 한다. 그래서 OH-기 농도와 반사율과 같은 글라스 특성을 사용되는 코어 로드에 대한 수요에 맞게 조절하고, 적용할 수 있다.

석영 글라스 실린더가 소위 OVD법에 따라 제조될 때 특별한 이익이 있는 것으로 알려져 있다. 이 외측 퇴적법(outside deposition method)은 제조공정에 따라 유리화후 작은 기계적 마무리 단계를 필요로 하는 정확한 내부 보어를 갖는 튜브상 본체를 제조할 수 있게 한다.

코어 로드와 외부 재킷 튜브간의 환상의 갭의 폭이 0.6㎜ 이하, 바람직하게는 0.3㎜ 이하일 때 특별한 이익이 있는 것을 알았다.

코어 로드와 외부 재킷 튜브 사이의 갭 사이즈는 정확한 섬유 기하학적 구조의 관점에서 중요한 파라메터이다. 사이의 갭이 작을수록 섬유의 기하학적 구조가 더 좋아진다. 이것은 코어 로드상에서 재킷 튜브가 붕괴되는 동안 감소된 수축 거리에 의해 알 수 있다. 상기 수축은 매우 제한되지만, 여전히 기하학적 구조에 오류를 일으킬 수 있는 중요한 물질 흐름이다. 그러므로 갭 사이즈를 제한하여 가능한 한 상기 효과를 감소시키는 것이 유리하다.

반면에 큰 갭 사이즈를 설치하는 것이 유익할 수 있다. 이 방법의 바람직한 구체화에 있어서, 환상 갭의 폭은 2㎜ 이상이고, 바람직하게는 5㎜ 이상, 특히 10㎜ 이상인 것이 바람직하다. 코어 로드와 실린더간의 갭이 클수록 붕괴 단계동안 발생된 경계면의 질이 더 좋아진다. 이것은 코어 로드상에서 실린더가 붕괴하는 동안 수축 거리가 더 커지는 것으로 이해할 수 있다. 상기 거리가 더 크다는 것은 기계적으로 처리된 실린더의 표면과 코어 로드가 접촉하기 전에 가열 시간이 보다 길게 되는 결과를 낳는다. 이 강한 가열은 가공표면의 결함을 완전하게 용융시키고, 이러한 방법으로 표면은 보다 평탄해지게 한다. 서로 접촉하기 전에 표면이 더 평탄하고 더 부드러울수록 경계면의 질은 더 좋아진다. 그러므로 상기 갭 사이즈를 증가시킴으로써 이러한 효과를 유지하는 것이 경계면의 질에 보다 이익적이다.

광섬유에 관하여, 상기 나타낸 기술적 목적은 힘의 작용없이 섬유가 최소 6m의 곡률 반경이라고 가정하는 성상에 의해 본 발명에 의해서 달성된다.

자유 곡률, 예를 들어 섬유에 외부 힘의 작용이 없는 경우에 6m 및 그 이상의 곡률반경을 나타내는 섬유는 특히 스플라이스의 생산을 용이하게 한다. 상기 섬유 생산은 상기 방법에 따라 이루어진다.

이하 본 발명을 실시예에 따라 보다 상세하게 설명한다.

광섬유는 섬유연신 동안 석영 글라스 실린더로서 코어 로드를 오버클래드 하는 것에 의해 ODD법에 따라 제조되어 있다. 상기 섬유는 내부 재킷 글라스층과 외부 재킷 글라스층으로 둘러싸인 코어 부분을 갖는다. 상기 코어부분은 게르마늄 디옥사이드 5중량%로 균일하게 도핑된 석영 글라스로 구성된다. 상기 재킷 글라스층은 도핑되지 않은 석영 글라스로 구성되는데, 그 일부에는 코어 로드의 재킷이 제공되고, 일부는 기계적으로 처리된 석영 글라스 실린더가 제공된다.

실시예1

이하, 먼저 석영 글라스 실린더의 제조에 대하여 보다 상세하게 설명한다.

VAD법에 따라서 큰 체적의 다공성 수트체를 옥시하이드로겐 가스 버너에서 SiCl4 를 연소 가수분해하고 회전하는 석영 로드에서 형성된 SiO2 수트입자를 퇴적시켜 제조하였다. 상기 수트체는 He과 Cl2의 혼합가스 내에서 탈수되고, 그 후에 1550℃에서 구역 용융 공정에서 유리화 되었다. 큰 원통형 석영 글라스 블록을 얻었다.

상기 석영 글라스 블록의 외표면을 원하는 외경으로 #80의 연마석을 갖는 외주 연마기로 연마하고, 석영 글라스 블록의 내측 부분은 #80의 연마석이 갖추어진 코어 드릴에 의해 결과적으로 천공시켰다. 그리하여 합성 석영 글라스 튜브를 얻었다.

고정밀 가공의 목적을 위해, 상기 튜브의 내부 벽을 호닝기계로 재처리하고, 수직축 방향으로 신장하고, 정확하게 원형 단면을 갖는 직선 동공을 형성하였다. 상기 튜브를 닦고, #800 미세도의 연마수단에 의해 마무리 공정이 수행되었다. 상기 튜브의 외부 부분을 그 후에 NC 외주 연마기를 사용하여 외경의 중심축이 내경의 중심축과 일치되도록 하는 방식으로 연마하였다. 상기 실린더가 2%의 공차로 원하는 벽 두께로 가공된 후, 외측부를 #140으로 가공하였다. 그리고 나서 상기 튜브를 표면 장력을 감소시키고, 표면처리에 의해 생긴 상처를 제거하기 위해 농도 5~30%의 하이드로플루오르산 욕조에서 에칭하였다.

이와 같은 방법(표1에서 시료 No.1)으로 얻은 예비처리된 실린더는 외경 120㎜, 내경 16㎜, 및 길이 2500㎜ 이었다. 벽 두께에서 상기 치수 편차 Δ(Dmax-Dmax)는 최대 0.05㎜이고, 상기 보우는 0.05㎜/길이 diameter 이하이며, 그리고 타원성은 0.04㎜ 이하인 것으로 측정되었다. 나아가, 수직축 방향에서 8㎜ 거리에 걸쳐 조도 측정기구를 이용하여 조도에 대해 조사하였고, 내부표면에서 4.8㎛의 Rmax값과 외부표면에서 53㎛의 Rmax의 값을 알게 되었다.

또한, 소위 코어 로드를 OVD법으로 제조하였다. 이 목적을 위해, SiCl4와 GeCl4가 퇴적 버너에 공급하여 SiO2와 GeO2를 얻기 위해 산소의 존재 하에 버너 연소로 가수분해시키면서, 수트입자를 퇴적 버너를 왕복시켜 그 수직축에 대해 회전하는 캐리어 상에 층으로 퇴적시켰다. SiCl4와 GeCl4의 비율을 예정된 균질한 GeO2 농도 5㏖%가 전술한 슈트 튜브의 벽 두께 부분에 걸쳐 얻어지도록 내부 층의 퇴적 중에 세팅하였다. 수트층을 놓자마자 그것은 코어 로드의 코어 지역을 형성하였고, 퇴적 버너에 대한 GeCl4의 공급을 중단하였으며, 도핑되지 않은 SiO2의 첫번째 내부 재킷 글라스 층이 코어 부위에 퇴적되었다.

퇴적법의 종결과 캐리어의 제거 후에 수트 튜브를 얻었고, 그것은 제조 공정에서 도입된 하이드록실기를 제거하기 위해 탈수 처리를 받았다. 이를 위해 상기수트 튜브는 탈수 로에 수직배향으로 삽입되고, 먼저 염소 포함 대기 내에서 800℃에서 1000℃의 온도 범위로 처리되었다. 상기 처리는 6시간동안 계속하였다. 이에 따라서 하이드록실기 농도 100중량ppb 미만으로 되게 하였다.

이와 같은 방법으로 처리된 상기 수트 튜브는 약 1350℃ 범위의 온도에서 유리질화 로에서 유리화되었다. 그리고, 내부 보어가 이 과정에서 붕괴되고, 그 결과 원하는 굴절률 프로필을 갖는 코어 로드로 되었다. 이에 따라 두개의 코어 로드는 표1(시료 No.1 및 시료 No.2)의 외경과 내경을 가지고 제조되었다.

상기 코어 로드는 방사상 단면에 걸쳐 0.004 중량ppm의 균질한 OH 함량을 가졌다.

125㎛의 외경으로 제조되는 광섬유에서 표1에 따른 코어 로드 각각은 약 8.5㎛의 직경을 갖는 코어 부위를 형성한다.

시료No.	석영 글라스 실린더	코어 로드
	외경(㎜)	내경(㎜)	보우(㎜/m)	타원도(㎜)	ΔD(㎜)	외경(㎜)	코어직경(mm)
1	120	16	0.05	0.04	0.05	14.0	8.3
2	150	22	0.06	0.05	0.06	20.0	10.3
3	200	50	0.08	0.07	0.07	48.0	13.8
4	180	60	0.07	0.06	0.08	58.0	12.4
6	150	22	0.06	0.05	0.06	21.5	10.3
7	150	52	0.06	0.05	0.06	26.0	10.3
8	120	45	0.06	0.05	0.06	24.0	10.3

나아가 본 발명에 따라 섬유의 외부 재킷 글라스 층을 형성하는 재킷 물질이 석영 글라스 실린더의 형상으로 본 발명에 의해 제공되지만, 상기 석영 글라스 실린더는 ODD법에서 섬유가 신장하는 동안 코어 로드 상에서 붕괴되었다.

섬유 제조를 위해 코어 글라스 로드(길이:2450㎜)를 석영 글라스 실린더 내에 삽입하고, 그 안에 그 중심축이 실린더의 중심축과 일치되게 고정하였다. 상기 결과로서 생긴 복합 구조의 두 말단은 석영 글라스 홀더에 연결되었고, 상기 복합 구조는 상측으로부터 수직하게 배향되고 전기적으로 가열된 섬유 신장 로 내부로 삽입되고 2180℃ 부근 온도에서 지역적으로 저단부터 연화되었으며 125㎛의 외경을 갖는 섬유가 그 영역으로부터 연신되었다. 이 과정에서 부압 범위 200~100㎜Aq가 코어 로드와 석영 글라스 실린더 사이에 남아있는 약 1㎜의 갭에서 지속되었다. 상기 복합체가 로의 중심을 정확하게 맞게, 그리고 원통형으로 대칭적인 온도 분배가 연신로 내부에서 얻도록 특히 조심하였다.

이에 의해 얻어진 125㎛의 직경을 갖는 상기 광섬유는 1.245㎛의 절단 파장 Ic, 1.3㎛의 파장에서 0.334 dB/㎞dml 광학적 감쇠, 0.12㎛의 코어 편심을 달성할 수 있는 고품질의 섬유인 것으로 판명되었다. 또한, 그것은 5.5m의 반경에서 작은 섬유 컬을 보여주었다.

실시예2

도펀트를 첨가하지 않고 상기 코어 로드를 제조하는 것과 유사한 표준 OVD법에 따라 외부 퇴적에 의해 큰 다공성 수트체를 제조하였다. 캐리어를 제거한 후에 상기 탈수 처리 및 유리질화 된 수트튜브를 얻었다. 합성 석영 글라스에서 이와 같은 방법으로 제조된 관형상의 석영 글라스 블랭크의 두 말단부를 절단하고, #80의 연마석을 구비한 구형의 연삭기를 사용하여 거칠게 상기 외부 벽을 연마하여, 예정된 원하는 외경을 대체적으로 얻었다. #80의 연마석을 구비한 호닝기를 사용하여 그 결과 얻은 튜브의 내면을 전체적으로 광택처리하였다. 연마석을 교체하면서 계속적으로 광택도를 향상시켰다. 최종처리는 #800의 연마석으로 수행하였다.

그리고 곧 수직축 방향으로 50㎜의 경로에 걸쳐 초음파 두께 측정장치를 가이드하여 상기 방법으로 처리된 튜브의 벽 두께의 차이를 체크하였다. 외주면에 8개 지점을 측정점으로 결과를 얻었다. 그리고 나서 NC구형 연마기를 사용하여 상기 튜브의 외면을 연마하였다. 예정된 오차범위 내의 벽 두께를 갖는 상기 튜브를 제조한 것을 확인한 후에, 짧은 기간동안 하이드로플루오르산을 포함하는 에칭용액에서 상기 튜브를 에칭하였다.

이에 따라 벽 두께에서 최대 편차 Δ가 60㎛인 외경 150㎜와 내경 22㎜를 갖는 큰 체적의 합성 석영 글라스 실린더를 얻었다. 보우는 0.06㎜/길이m 이하이고, 타원성은 0.05㎜ 이하로 측정되었다. 이 예비처리된 튜브의 표면 거칠기Rmax는 내면에서 3.5㎛, 외면에서 77㎛인 것이 확인되었다(표1의 시료 No.2).

표2의 시료 No.2에 따른 코어 로드를 결과물인 석영 글라스 실린더에 삽입하고 그 내부에 고정하였다. 그 코어 로드는 2450㎜의 길이를 가졌다. 그 후에 결과물인 복합구조체를 수직하게 배향하고, 전기적으로 가열된 섬유 연신 로에 2000~2400℃의 범위까지 가열하였으며, 상기 복합물은 하부말단에서부터 용융되고 연화되었으며, 그 연화로부터 외경 125㎛ ±0.5㎛를 갖는 광섬유를 얻었다. 코어 로드와 석영 글라스 실린더 간의 환상의 갭(1㎜)에서 200~1000㎜Aq 범위의 진공이 얻어졌다.

이러한 방법으로 얻은 광섬유는 섬유 코어의 편심반경이 0.11㎛이하, 절단 파장Ic 1.27㎛, 파장 1.3㎛에서 광학적 감쇠 0.338dB/㎞, 1.38㎛의 파장에서 OH기에 의한 감쇠 0.65dB/㎞인 고품질 섬유인 것이 판명되었다. 또한, 6.1m의 반경에서 적은 섬유 컬을 나타내었다.

실시예3

증기상으로부터 외부 퇴적에 의해 제조된 큰 다공성 수트체를 실시예 2에서와 같은 방법으로 제조하였으며, 탈수, 반사율 조절용 처리, 및 유리질화하여 합성 석영 글라스 실린더를 얻었다. 결과물인 석영 글라스 실린더의 내부와 외부 벽을 실시예1을 참조하여 설명한 바와 같이 기계적으로 연마하였다.

고정밀화 호닝기를 사용하여 상기 결과물인 실린더의 내경을 50㎜의 값까지 가공하고, 외부 벽을 외경 200㎜로 연마하였다(표1의 시료 No.3). 그 결과물인 석영 글라스로 된 큰 체적 실린더의 벽 두께는 전체 3500㎜에 걸쳐 최대 편차 0.07㎜를 보였다. 보우는 0.08㎜/길이m 이하였고, 타원성은 최대 0.07㎜로 측정되었다. 선처리 튜브의 표면 거칠기Rmax는 내면이 3.5㎛였고 외면은 77㎛인 것으로 밝혀졌다.

나아가, 실시예 1에서 기술한 방법에 따라 코어 로드를 제조하였다(외경=20㎜). 상기 코어 로드에 48㎜의 외경까지 부가적인 재킷 물질을 첨가하기 위하여, 코어 로드 상에서 재킷 튜브가 붕괴되었다. SiO2 입자의 형성 하에 SiCl4를 연소 가수분해하고, 회전 맨드렐 상에 그 SiO2 입자를 축상 퇴적시켜 제조하였다.

소결에 앞서, 염소 함유 대기 하에서 도핑되지 않은 다공성 석영 글라스로구성된 재킷 튜브를 건조하였다. 소결 후에 상기 재킷 튜브는 내경이 약 22㎜, 외경이 약 49㎜이었다. 그리고 평균 OH함유량은 중량당 0.05ppm이었으며, 재킷 튜브의 벽 두께에 걸쳐 균일하였다. 그후, 상기 재킷 튜브를 최종 치수로 기계적으로 처리하고 나서, 코어 로드 상에서 붕괴시켰다. 이를 위해 코어 로드를 재킷 튜브 내에 동축으로 배열하였다. 그리고 코어 로드와 재킷 튜브 사이의 환상의 갭을 이루는 표면을 약 1000℃ 온도에서 염소를 함유하는 대기 하에서 정화, 및 탈수하였다. 다음에 2150℃ 온도(로 온도)로 전기적으로 가열된 로내에서 지역적으로 가열되는 배열에 의해 코어 로드 상에서 재킷 튜브를 용해하였다. 그래서 표1의 실시예 No.3으로 나타낸 치수를 갖는 코어 로드를 얻었다.

붕괴 후에 상기 재킷 튜브는 코어 로드 상에 2차 외부 재킷 글라스 층을 형성한다. 이와 같은 방법으로 얻은 석영 글라스 로드는 광 가이던스에 기여하는 재킷(소위 광학 클래드) 뿐 아니라 다음의 광섬유에서 상기 섬유 코어를 나타낸다. 코어 글라스 구역은 전형적으로 1.4585의 반사율 “nm1"을 갖는 도핑되지 않은 석영 글라스의 재킷에 의해 둘러쌓여 있다. 상기 재킷은 내부 재킷글라스 층과 외부 재킷 글라스 층에 의해 형성된다.

길이 3.3m인 이와 같은 방법으로 제조된 상기 코어 로드를 표1의 시료 No.3에 따라 석영 글라스 실린더에 삽입하여 고정하였다. 그 후 수직으로 배향되고 전기적으로 가열된 섬유 신장 로에서 온도 범위 2000~2400℃ 까지 상기 결과물인 복합 구조를 가열하였으며, 상기 복합물은 하부 말단에서부터 용해, 및 연화되고, 그 연화부위로부터 외경 125㎛±0.5㎛를 갖는 광섬유를 연신하였다. 코어 로드와 석영글라스 실린더 사이의 환상의 갭(1㎜) 내에서 200~1000㎜Aq 사이의 진공 범위를 유지하였다.

이와 같은 방법으로 얻은 상기 광섬유는 0.10㎛ 이하의 이심률, 1.270㎛의 절단 파장 Ic, 파장 1.3㎛에서 광학감쇠 0.334dB/㎞를 갖는 양질의 섬유인 것으로 판명되었다. 또한 그것은 반경 6.2m의 작은 섬유 컬을 보여주었다.

실시예4

실시예3에서 기술된 공정을 변경하여(기하학적 치수를 유지하면서), 기계적으로 최종 치수로 처리하고, 표면을 부드럽게 한 재킷 튜브를 상기 방법의 분리 단계에서 코어 로드 상에서 붕괴하지 아니하고, ODD 과정에서 실린더와 코어 로드와 함께 동축 배열로 광섬유 로에서 직접 연신하였다.

그 결과물인 광섬유는 0.08㎛ 이상에서 섬유 코어의 이심률, 1.270㎛의 절단 파장 Ic, 파장 1.3㎛에서 광학감쇠 0.330dB/㎞를 갖는 대단히 높은 양질의 섬유로 판명되었다. 또한, 그것은 반경 6.8m의 특히 작은 섬유 컬을 보여주었다.

실시예5

실시예 3에 따라서 표1의 시료 No.4에서 나타낸 치수로 큰 체적의 다공성 수트체를 제조하였다. 실시예1과 관련하여 상기에서 설명한 바와 같이 상기 석영 글라스 실린더의 내부와 외부 벽을 기계적으로 연마하였다.

결과물인 석영 글라스로 된 적 실린더의 벽 두께는 전체 길이 3000㎜에서 최대 0.08㎜의 편차를 보였다. 보우는 0.07㎜/길이m 이하였고, 타원성 0.06㎜이하인 것으로 측정되었다.

나아가, 상기 실시예1에서 기술한 방법에 따라 외경 58㎜, 코어 직경 12.4㎜, 및 길이 2.9m인 코어 로드를 제조하고, 표1의 시료 No.4에 따라 석영 글라스 실린더에 삽입하고 고정하였다.

그 후에 수직으로 배향되고 전기적으로 가열된 섬유 연신 로에서 온도 범위 2000~2400℃까지 상기 결과물인 복합구조체를 가열하였으며, 그 구조체는 하부 말단으로부터 용해하고, 연화되었으며, 그 연화부로부터 외경 125±0.5㎛의 외경을 갖는 광섬유를 연신하였다.

그 결과물인 광섬유는 0.10㎛이하의 섬유 코어 이심율, 절단 파장 Ic 1270㎛, 파장 1.3㎛에서 0,334dB/㎞의 광학 감쇠를 갖는 양질의 섬유로 판명되었다. 또한 6.0㎜의 반경에서 작은 섬유컬을 나타내었다.

실시예6

실시예2(표1의 시료 No.5)에 따라 석영 글라스 실린더를 제조하고 처리하였다.

표1의 시료 No.5에 따라 석영 글라스 실린더의 보어 길이에 거의 완전하게 맞는, 길이 2450㎜와 외경 20.9㎜를 갖는 코어 로드를 제조하였다.

상기 코어 로드를 석영 글라스 실린더에 삽입하고 고정하였다. 상기 코어 로드와 석영 글라스 실린더 사이의 환상의 갭은 이 경우 0.6㎜ 이하이다. 그 후에 수직으로 배향되고 전기적으로 가열된 섬유 연신 로에서 상기 결과 복합구조를 가열하고, 상기 실시예 2에서 기술한 바와 같이 섬유를 연신하였다.

이와 같은 방법으로 얻은 상기 광섬유는 0.06㎛ 이하의 섬유 코어의 이심률,1.27㎛의 절단 파장Ic, 파장 1.3㎛에서 0.338dB/㎞의 광학 감쇠, 1.38㎛의 파장에서 OH기에 의해 0.65dB/㎞로 되는 감쇠를 갖는 양질의 섬유로 판명되었다. 또한 7.0m의 반경에서 작은 섬유 컬을 보였다.

실시예 7

실시예 2에 따라 석영 글라스 실린더를 제조하고 처리하여 그 결과 표1의 시료 No.6에 의한 실린더를 얻었다.

석영 글라스 실린더에 거의 완벽하게 맞는 길이 2450㎜, 외경 21.5㎜를 갖는 특별한 코어 로드를 제조하였다(표1의 시료 No.6).

작은 갭 사이즈에 필요로 하는 코어 로드의 매우 정확한 기하학적 구조를 얻기 위해 코어 로드의 기계적 처리가 필요하였다. 이와 같은 기계적 처리는 역으로 코어와 클래드 물질간에 직경 관계에 악영향을 줄 수 있으며, 그러므로 낮은 레벨로 유지하고, 직경 변화만을 제거해야 한다. 이 경우 코어 로드는 초기 직경 24㎜이하로 제조하였다.

그 후에 21.8㎜의 직경으로 정밀하게 연마하였고, OH 불순물이 없는 매우 매끈한 표면 질을 얻고, 직경 21.5㎜의 최종 직경으로 코어 로드 직경을 감소시키기 위해 최종적으로 플라즈마 연소에 의해 광택 처리하였다. 상기 정밀한 연마단계에 의해 표준 코어 로드(MCVD,VAD, 또는 OVD)에서 발생하는 모든 기하학적 오류가 확실히 교정될 수 있다.

상기 코어 로드를 석영 글라스 실린더에 삽입하고 고정시켰다. 이 경우에 코어 로드와 석영 글라스 실린더 간의 환상의 갭은 0.3 이하이다. 그 후에 수직으로배향되고 전기적으로 가열된 섬유 연신 로에서 상기 결과 복합체 구조를 가열하고, 실시예 2에서 기술한 것처럼 섬유를 연신하였다.

이와 같은 방법으로 얻어진 상기 광섬유는 0.04㎛ 이하의 섬유 이심률, 1270㎛의 절단파장 Ic, 1.3㎛의 파장에서 0.338dB/㎞의 광학 감쇠, 1.38㎛의 파장에서 OH기에 의해 0.65dB/㎞로 되는 감쇠를 갖는 양질의 섬유로 판명되었다. 또한 8.5m의 반경에서 작은 섬유 컬을 보였다.

실시예 8 및 9

섬유 질을 보다 향상시키기 위해 코어 로드와 실린더 간의 갭 사이즈에 관한 실험을 수행하였으며, 갭 사이즈가 아주 중요한 파라미터라는 것을 알게 되었다. 코어 로드와 실린더 간의 갭 폭이 클수록 붕괴 단계 중에 발생한 경계면의 질이 더 우수하다.

그러므로 실시예 2에 기술된 방법에 따라 석영 글라스 실린더를 제조하고 처리하였으며, 그 결과 표 1에서 시료 6 및 7에 각각 주어진 치수를 갖는 2개의 중공실린더를 얻었다. 그 실린더의 내부 직경은 각각 52㎜, 및 45㎜이었다.

길이 2450㎜와 외경 26.0㎜를 갖는 상기 시료 7의 코어 로드를 제조하였다. 시료 8의 코어 로드는 24.0㎜ 외경을 갖는다.

위에서 언급된 바와 같이 석영 글라스 실린더 속에 각 코어 로드를 삽입하여 고정하였다. 실린더와 코어 로드의 외표면 간의 환상의 갭 폭은 각각 약13㎜(표 1의 시료 No. 7)와 10.5㎜(표 1의 시료 No. 8)이었다. 그 결과물인 복합체 구조를 수직으로 배향되고 전기적으로 가열된 섬유 연신 로에서 가열하였으며, 섬유를 실시예 2에서 기술한 바와 같이 연신하였다.

상기 실린더와 코어 로드 간의 큰 환상의 갭은 더 큰 수축거리를 낳고, 그러므로 기계적으로 처리된 실린더와 코어 로드가 상호 접촉하기 전에 더 긴 붕괴시간의 결과로 된다. 이러한 강력한 가열은 기계적으로 평탄화된 표면의 결함이 완전하게 용해되고, 이러한 방법으로 표면은 매우 매끄러워지는 것을 보장한다.

보다 긴 가열시간과 표면 평탄화 효과를 평가하기 위해 석영 글라스 실린더에 삽입하기 전에 미세도 #800의 연마수단을 이용하여 시료 8의 코어 로드를 광택 처리시켰다. 이러한 코어 로드의 처리는 통상 표준 코어 로드에서 발생하는 기하학적 오류를 바로 잡는 부가적인 이익을 갖는다.

이와 같은 방법으로 얻어진 상기 광섬유는 양질의 섬유임이 판명되었다. 섬유의 광학적, 기계적 특성은 실시예 6의 섬유에서 보고된 것들과 유사하다. 상기 섬유에 대하여 경계면 브레이크와 에어라인에 관하여 추가적으로 시험하고 분석하였다. 양쪽의 경우에서, 그러한 결점을 발견할 수 없었다. OVD법에 의해 광섬유용 합성 석영 글라스를 제조하기 위한 본 발명에 관한 방법과 장치에 대해 상세한 기술은 다음의 공보에서 얻을 수 있다; US-A5,788,730은 균질한 방사상 밀도분포를 갖는 수트체를 제조하기 위한 방법 및 적어도 3개의 링-형태 노즐을 갖는 석영 글라스의 디포지션 버너에 대해 기술하고 있으며; DE-A1 197 25 955는 액체 글라스 출발물질을 공급하기 위해 버너를 사용함을 가르쳐준다; DE-A1 195 91 733은 압력 보충 용기를 이용하여 여러개의 디포지션 버너에 가스를 균질하고 동시에 공급하는 장치에 대하여 기술하고 있으며: 수트 디포지션의 효과를 늘리기 위해, DE-A1 19629 170은 디포지션 버너와 수트체 사이에 정전기장의 적용을 제안하며; DE-A1 196 28 958과 DE-A1 198 27 945는 진동으로 이동된 버너 세트를 사용하여 수트 디포지션을 균질화시키는 수단을 가르키고 있으며: DE-A1 197 51 919와 DE-A1 196 49 935는 디포지션 공정 중 및 후에 수트체를 취급하는 방법과 장치를 알려주며; 유리화 중에 수트체를 지지하는 수단이 US-A5,665,132, US-A5,738,702와 DE-A1 197 36 949에 나타나 있으며, 플루오르와 보론으로 석영 글라스를 도핑하는 기술이 EP-A582 070에 기술되어 있고; US-A5,790,736은 코어의 점성과 섬유의 재킷 물질을 적합시키기 위한 내용을 알려주며; DE 198 52 704는 MCVD법에 따라 도핑된 기질 튜브를 사용하여 광섬유를 제조하는 방법에 관한 것이다. US-A5,643,069에는 특별한 드릴을 사용하여 유리화된 석영-글라스 중공 실린더의 후처리를 기술하고 있다. US-A5,785,729는 로드-인-튜브 기술을 사용하여 큰 체적 모재의 제조를 가르치며; DE-A1 199 15 509는 상기 기술을 수행하기에 적합한 드로-업(draw-up) 장치를 기술하고 있다. EP-A1 767 149와 DE-A1 196 29 169는 수직 연신법에 의해 치수적으로 정확한 석영 글라스 튜브의 제조에 관련되어 있다.

Claims (16)

1. 코어 로드와 외부 재킷 튜브를 포함하고, 동축 배열은 가열 구역에 수직 배향으로 공급되고, 그 구역에서 하부말단부터 연화되며, 광섬유가 그 연화된 부분에서 하방으로 인출되며, 이에 의해 코어 로드와 재킷 튜브 사이에 존재하는 환상의 갭이 붕괴되는, 동축 배열을 신장시켜 광섬유를 제조하는 방법에 있어서, 상기 재킷튜브로서 외경이 적어도 100㎜인 최종 치수까지 기계적으로 처리된 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   외경이 최소 150㎜, 바람직하게는 최소 200㎜인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
3. 제 1항 또는 2항 중 어느 한 항에 있어서,

   내경이 70㎜ 이하, 바람직하게는 50㎜ 이하인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
4. 제 3항에 있어서,

   내경이 40㎜ 이하, 바람직하게는 30㎜ 이하인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
5. 제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서,

   석영 글라스 실린더의 방사상의 단면적 CSA(C)와 코어 로드의 방사상의 단면적 CSA(R)의 비 CSA(C)/CSA(R)이 5~100, 바람직하게는 10~80의 범위에 있는 석영 글라스 실린더와 코어 로드를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
6. 제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   길이가 적어도 2m, 바람직하게는 적어도 3m인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
7. 제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서,

   보우가 0.3㎜/길이m 이하, 바람직하게는 0.1㎜/길이m 이하, 특히 바람직하게는 0.05㎜/길이m 이하인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
8. 제 1항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   벽 두께 편차가 0.3㎜ 이하, 바람직하게는 0.1㎜ 이하, 특히 바람직하게는 0.05㎜ 이하인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
9. 제 1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서,

   타원성이 0.3㎜ 이하, 바람직하게는 0.1㎜ 이하, 특히 바람직하게는 0.3㎜ 이하인 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
10. 제 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 있어서,

    OVD법에 따라 제조된 석영 글라스 실린더를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
11. 제 1항 내지 10항 중 어느 한 항에 있어서,

    환상의 갭의 폭이 0.6㎜보다 작은 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
12. 제 11항에 있어서,

    환상의 갭의 폭이 0.3㎜보다 작은 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
13. 제 1항 내지 10항 중 어느 한 항에 있어서

    환상의 갭의 폭이 2㎜보다 큰 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
14. 제 13항에 있어서,

    환상의 갭의 폭이 5㎜보다 큰 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
15. 제 13항에 있어서,

    환상의 갭의 폭이 10㎜보다 큰 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 방법.
16. 힘의 작용없이 곡률 반경이 적어도 6m인 것을 특징으로 하는, 코어와 상기 코어를 클래드하는 재킷을 포함하는 광섬유.