JPH07330367A - 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法及び装置Info
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- JPH07330367A JPH07330367A JP12737494A JP12737494A JPH07330367A JP H07330367 A JPH07330367 A JP H07330367A JP 12737494 A JP12737494 A JP 12737494A JP 12737494 A JP12737494 A JP 12737494A JP H07330367 A JPH07330367 A JP H07330367A
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Materials Engineering (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバの中間製品であるガラス微粒子堆
積体を効率よく製造する方法及びその装置に関する。 【構成】 反応容器１２の中にガラス微粒子生成用バー
ナ１、回転する出発ロッド３及び出発ロッドの軸に沿っ
て複数個の排気口８が連続して設けられた排気装置とを
備え、ガラス微粒子生成用バーナ１には気体のガラス原
料、燃料ガス及び支燃ガスを供給し、火炎加水分解反応
あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生成し、該ガラ
ス微粒子を回転する出発ロッド３の外周に積層させ、同
時に該ガラス微粒子生成用バーナ１を該出発ロッド３の
軸方向に移動することにより出発ロッドの外周にガラス
微粒子の積層体４を合成する光ファイバ用母材の製造方
法であって、出発ロッドに沿って移動するガラス微粒子
用バーナ１に合わせて各排気口８の排気量を順次変化さ
せるのもである。
積体を効率よく製造する方法及びその装置に関する。 【構成】 反応容器１２の中にガラス微粒子生成用バー
ナ１、回転する出発ロッド３及び出発ロッドの軸に沿っ
て複数個の排気口８が連続して設けられた排気装置とを
備え、ガラス微粒子生成用バーナ１には気体のガラス原
料、燃料ガス及び支燃ガスを供給し、火炎加水分解反応
あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生成し、該ガラ
ス微粒子を回転する出発ロッド３の外周に積層させ、同
時に該ガラス微粒子生成用バーナ１を該出発ロッド３の
軸方向に移動することにより出発ロッドの外周にガラス
微粒子の積層体４を合成する光ファイバ用母材の製造方
法であって、出発ロッドに沿って移動するガラス微粒子
用バーナ１に合わせて各排気口８の排気量を順次変化さ
せるのもである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバの中間製品で
あるガラス微粒子堆積体を効率よく製造する方法及びそ
の装置に関する。
あるガラス微粒子堆積体を効率よく製造する方法及びそ
の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリカガラス管、あるいは光ファ
イバに好適に用いられるシリカガラスの製造方法とし
て、耐熱性の出発ロッドの外周にガラス微粒子堆積体を
合成し、これを加熱して透明なガラス物品とする方法が
知られている。即ち、ＳｉＣｌ4 等の原料をガラス微粒
子合成用バーナにより火炎加水分解反応あるいは酸化反
応させてガラス微粒子を生成し、これを回転する耐熱性
の出発ロッドの外周に堆積する方法である（例えば、特
公平５−８３４９９号公報、実開昭６２−９７１３８号
公報）。
イバに好適に用いられるシリカガラスの製造方法とし
て、耐熱性の出発ロッドの外周にガラス微粒子堆積体を
合成し、これを加熱して透明なガラス物品とする方法が
知られている。即ち、ＳｉＣｌ4 等の原料をガラス微粒
子合成用バーナにより火炎加水分解反応あるいは酸化反
応させてガラス微粒子を生成し、これを回転する耐熱性
の出発ロッドの外周に堆積する方法である（例えば、特
公平５−８３４９９号公報、実開昭６２−９７１３８号
公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような気相法によ
ってガラス微粒子堆積体を合成すると、バーナで生成さ
れたガラス微粒子が全てガラス微粒子堆積体として堆積
するのではなく、その一部は反応容器等に付着する。反
応容器内に浮遊した微粒子はバーナと対向する位置に設
けられた排気口から排気されるが、排気が十分でない場
合は一部はガラス微粒子堆積体に付着して透明化時に気
泡となって現われる。他の一部は一旦反応容器の内壁に
付着するが、やがてガラス微粒子堆積体に付着して気泡
となったりする。これらの問題を解決するために、排気
口に対向する位置から空気を送り込み、反応容器内のガ
スの流れを一様に制御する方法（特開昭６２−１７１９
３９号公報）、あるいは排気効率を向上させるために開
口度を調整する方法が試みられた（特開昭６０−１５５
５３８号公報）。しかし、こららは反応容器に占める排
気口の大きさが限られるために、排気効率を向上させる
には限界があった。そこで本発明は、かかる問題点を解
決して反応容器内浮遊するガラス微粒子を効果的に排気
する方法とその装置を提供することを目的とする。
ってガラス微粒子堆積体を合成すると、バーナで生成さ
れたガラス微粒子が全てガラス微粒子堆積体として堆積
するのではなく、その一部は反応容器等に付着する。反
応容器内に浮遊した微粒子はバーナと対向する位置に設
けられた排気口から排気されるが、排気が十分でない場
合は一部はガラス微粒子堆積体に付着して透明化時に気
泡となって現われる。他の一部は一旦反応容器の内壁に
付着するが、やがてガラス微粒子堆積体に付着して気泡
となったりする。これらの問題を解決するために、排気
口に対向する位置から空気を送り込み、反応容器内のガ
スの流れを一様に制御する方法（特開昭６２−１７１９
３９号公報）、あるいは排気効率を向上させるために開
口度を調整する方法が試みられた（特開昭６０−１５５
５３８号公報）。しかし、こららは反応容器に占める排
気口の大きさが限られるために、排気効率を向上させる
には限界があった。そこで本発明は、かかる問題点を解
決して反応容器内浮遊するガラス微粒子を効果的に排気
する方法とその装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる光ファイ
バ用母材の製造方法は、反応容器の中にガラス微粒子生
成用バーナ、回転する出発ロッド及び出発ロッドの軸に
沿って複数個の排気口が連続して設けられた排気装置と
を備え、ガラス微粒子生成用バーナには気体のガラス原
料、燃料ガス及び支燃ガスを供給し、火炎加水分解反応
あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生成し、該ガラ
ス微粒子を回転する出発ロッドの外周に積層させ、同時
に該ガラス微粒子生成用バーナを該出発ロッドの軸方向
に移動することにより出発ロッドの外周にガラス微粒子
の積層体を合成する光ファイバ用母材の製造方法であっ
て、出発ロッドに沿って移動するガラス微粒子用バーナ
に合わせて各排気口の排気量を順次変化させることを特
徴とする。
バ用母材の製造方法は、反応容器の中にガラス微粒子生
成用バーナ、回転する出発ロッド及び出発ロッドの軸に
沿って複数個の排気口が連続して設けられた排気装置と
を備え、ガラス微粒子生成用バーナには気体のガラス原
料、燃料ガス及び支燃ガスを供給し、火炎加水分解反応
あるいは酸化反応によりガラス微粒子を生成し、該ガラ
ス微粒子を回転する出発ロッドの外周に積層させ、同時
に該ガラス微粒子生成用バーナを該出発ロッドの軸方向
に移動することにより出発ロッドの外周にガラス微粒子
の積層体を合成する光ファイバ用母材の製造方法であっ
て、出発ロッドに沿って移動するガラス微粒子用バーナ
に合わせて各排気口の排気量を順次変化させることを特
徴とする。
【０００５】前記光ファイバ用母材の製造方法におい
て、各排気口は常に一定流量を排気し、併せて、ガラス
微粒子用バーナが移動したとき、該バーナに対抗する位
置の排気口を他の排気口の排気量に対して増加するこ
と、あるいは 他の排気口より排気量を増加する排気口
の数が２個以上であることを特徴とする。また、前記光
ファイバ用母材の製造方法において、ガラス微粒子用バ
ーナを出発ロッドの軸方向に少なくとも１回以上往復移
動してガラス微粒子の積層体を合成することを特徴とす
る。
て、各排気口は常に一定流量を排気し、併せて、ガラス
微粒子用バーナが移動したとき、該バーナに対抗する位
置の排気口を他の排気口の排気量に対して増加するこ
と、あるいは 他の排気口より排気量を増加する排気口
の数が２個以上であることを特徴とする。また、前記光
ファイバ用母材の製造方法において、ガラス微粒子用バ
ーナを出発ロッドの軸方向に少なくとも１回以上往復移
動してガラス微粒子の積層体を合成することを特徴とす
る。
【０００６】さらに、前記光ファイバ用母材の製造方法
において、出発ロッドの外周にコア及びクラッドからな
るガラス微粒子あるいは光ファイバ用母材を形成するた
めのガラス微粒子を積層することを特徴とする。
において、出発ロッドの外周にコア及びクラッドからな
るガラス微粒子あるいは光ファイバ用母材を形成するた
めのガラス微粒子を積層することを特徴とする。
【０００７】本発明に係わる光ファイバ用母材の製造装
置は、耐熱性の反応容器と、反応容器の中心部に設けら
れた回転する出発ロッドと、出発ロッドの軸方向に移動
するガラス微粒子用バーナと、出発ロッドの軸に沿って
複数個の排気口を連続して設けた排気装置とを備え、各
排気口について独立に排気量を調整できる機構及び移動
するガラス微粒子用バーナの位置に合わせて各排気口の
排気量を順次調整できる機構を有することを特徴とす
る。
置は、耐熱性の反応容器と、反応容器の中心部に設けら
れた回転する出発ロッドと、出発ロッドの軸方向に移動
するガラス微粒子用バーナと、出発ロッドの軸に沿って
複数個の排気口を連続して設けた排気装置とを備え、各
排気口について独立に排気量を調整できる機構及び移動
するガラス微粒子用バーナの位置に合わせて各排気口の
排気量を順次調整できる機構を有することを特徴とす
る。
【０００８】前記光ファイバ用母材の製造装置は、排気
量の調整機構が余剰空気を取り込むために各排気口の下
流に設けられたバルブ及び各排気通路の断面を調整する
バルブによって構成されたことを特徴とする。
量の調整機構が余剰空気を取り込むために各排気口の下
流に設けられたバルブ及び各排気通路の断面を調整する
バルブによって構成されたことを特徴とする。
【０００９】また、前記光ファイバ用母材の製造装置の
出発ロッドはその一端あるいは両端が把持され、該出発
ロッドは垂直又は水平方向に配置されたことを特徴とす
る。
出発ロッドはその一端あるいは両端が把持され、該出発
ロッドは垂直又は水平方向に配置されたことを特徴とす
る。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、ガラス微粒子の堆積体が
積層される位置と排気口との関係を常に一定の条件に保
つことができ均一のガラス微粒子堆積体を得ることがで
きる。また、排気量を調整することにより浮遊するガラ
ス微粒子を減少することができ、さらに、他の排気口よ
り排気量を増加する排気口の数を増やすことにより大型
のガラス微粒子堆積体の製造についても対応することが
できる。本装置の移動部分はガラス微粒子生成用バーナ
だけであり、排気口は固定しているので取り扱いが容易
である。
積層される位置と排気口との関係を常に一定の条件に保
つことができ均一のガラス微粒子堆積体を得ることがで
きる。また、排気量を調整することにより浮遊するガラ
ス微粒子を減少することができ、さらに、他の排気口よ
り排気量を増加する排気口の数を増やすことにより大型
のガラス微粒子堆積体の製造についても対応することが
できる。本装置の移動部分はガラス微粒子生成用バーナ
だけであり、排気口は固定しているので取り扱いが容易
である。
【００１１】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本発明に
係わる装置の構成を示す概略図である。パイレックスガ
ラス等の耐熱性反応容器１２の側面にはガラス微粒子生
成用バーナ１が矢印１４の方向に往復移動するトラバー
ス機構６に取付けられ、反応容器１２の中心部にはジル
コニア等の耐熱性の出発ロッド３を把持し、矢印１３の
方向に回転させる駆動機構５に取付けられ、ガラス微粒
子生成用バーナ１と対向する位置には出発ロッド３の軸
に沿って連続して設けられた複数個の排気口８1 ・・・
８n を有する排気装置が配置されている。
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本発明に
係わる装置の構成を示す概略図である。パイレックスガ
ラス等の耐熱性反応容器１２の側面にはガラス微粒子生
成用バーナ１が矢印１４の方向に往復移動するトラバー
ス機構６に取付けられ、反応容器１２の中心部にはジル
コニア等の耐熱性の出発ロッド３を把持し、矢印１３の
方向に回転させる駆動機構５に取付けられ、ガラス微粒
子生成用バーナ１と対向する位置には出発ロッド３の軸
に沿って連続して設けられた複数個の排気口８1 ・・・
８n を有する排気装置が配置されている。
【００１２】各排気口８1 ・・・８n の下流には外気を
吸入し、内外の圧力差を調節して排気量を制御するバル
ブ１１1 ・・・１１n 、及び排気通路の断面積を調節し
て排気量を制御するバルブ９1 ・・・９n が設けられ、
排気通路が合流したところに排気ブロア１０が配置され
ている。バルブ９及び１１の開閉はバーナのトラバース
機構６に取付けられた位置検出器７の情報によって調整
される。
吸入し、内外の圧力差を調節して排気量を制御するバル
ブ１１1 ・・・１１n 、及び排気通路の断面積を調節し
て排気量を制御するバルブ９1 ・・・９n が設けられ、
排気通路が合流したところに排気ブロア１０が配置され
ている。バルブ９及び１１の開閉はバーナのトラバース
機構６に取付けられた位置検出器７の情報によって調整
される。
【００１３】図１は出発ロッド３を垂直に配置し、その
両端を駆動機構５によって把持し、縦方向にガラス微粒
子を堆積する装置である。これに対して図２は出発ロッ
ド３を水平に配置し、その両端を駆動機構５によって把
持し、横方向にガラス微粒子を堆積する装置であり、図
３は出発ロッド３を垂直に配置し、その一端を駆動機構
５によって把持し、縦方向にガラス微粒子を堆積する装
置である。その他の点については図１の場合と原理的に
同じである。
両端を駆動機構５によって把持し、縦方向にガラス微粒
子を堆積する装置である。これに対して図２は出発ロッ
ド３を水平に配置し、その両端を駆動機構５によって把
持し、横方向にガラス微粒子を堆積する装置であり、図
３は出発ロッド３を垂直に配置し、その一端を駆動機構
５によって把持し、縦方向にガラス微粒子を堆積する装
置である。その他の点については図１の場合と原理的に
同じである。
【００１４】（実施例１）図１に示した装置を用いて出
発ロッド３の外周にガラス微粒子の堆積体を合成した。
内径３００ｍｍ、高さ１２００ｍｍの耐熱性の反応容器
１２内には直径１４ｍｍ，長さ１５００ｍｍの出発ロッ
ド３を配置した。バーナ１は石英製の４重管バーナを用
い、燃料ガスは水素ガス、支燃ガスは酸素ガスを用い燃
料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガスを流し
た。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は水素ガス
４０リットル／分、酸素ガス３５リットル／分、アルゴ
ンガス５リットル／分、ＳｉＣｌ4 ３リットル／分に設
定した。バーナ１は１５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で１００
０ｍｍの間を往復トラバースし、外径１２０ｍｍのガラ
ス微粒子堆積体４を合成した。
発ロッド３の外周にガラス微粒子の堆積体を合成した。
内径３００ｍｍ、高さ１２００ｍｍの耐熱性の反応容器
１２内には直径１４ｍｍ，長さ１５００ｍｍの出発ロッ
ド３を配置した。バーナ１は石英製の４重管バーナを用
い、燃料ガスは水素ガス、支燃ガスは酸素ガスを用い燃
料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガスを流し
た。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は水素ガス
４０リットル／分、酸素ガス３５リットル／分、アルゴ
ンガス５リットル／分、ＳｉＣｌ4 ３リットル／分に設
定した。バーナ１は１５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で１００
０ｍｍの間を往復トラバースし、外径１２０ｍｍのガラ
ス微粒子堆積体４を合成した。
【００１５】排気口８は縦１８０ｍｍ、横１００ｍｍの
もの７個を出発ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１の
移動に合わせてバルブ９、１１を調整し、排気量を制御
しながら合成した。その結果、反応容器１２内には若干
のガラス微粒子の付着がみられたが、均質のガラス微粒
子堆積体４を得ることができた。こうして得られたガラ
ス微粒子堆積体は出発ロッド３を引き抜いた後、電気炉
で１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、
気泡のない良好な石英パイプを得ることができた。
もの７個を出発ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１の
移動に合わせてバルブ９、１１を調整し、排気量を制御
しながら合成した。その結果、反応容器１２内には若干
のガラス微粒子の付着がみられたが、均質のガラス微粒
子堆積体４を得ることができた。こうして得られたガラ
ス微粒子堆積体は出発ロッド３を引き抜いた後、電気炉
で１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、
気泡のない良好な石英パイプを得ることができた。
【００１６】（実施例２）図２は本発明に係わる他の装
置の構成を示す概略図である。高さ４００ｍｍ、幅４０
０ｍｍ、横１１００ｍｍのパイレックスガラスの反応容
器１２を水平に配置し、ジルコニア製の出発ロッド３は
１６ｍｍφ、長さ１１００ｍｍのものを用いた。バーナ
は実施例１と同様石英製の４重管バーナを２本用い、バ
ーナはガラス微粒子を堆積する際４００ｍｍ離して配置
した。
置の構成を示す概略図である。高さ４００ｍｍ、幅４０
０ｍｍ、横１１００ｍｍのパイレックスガラスの反応容
器１２を水平に配置し、ジルコニア製の出発ロッド３は
１６ｍｍφ、長さ１１００ｍｍのものを用いた。バーナ
は実施例１と同様石英製の４重管バーナを２本用い、バ
ーナはガラス微粒子を堆積する際４００ｍｍ離して配置
した。
【００１７】燃料ガスは水素ガス、支燃ガスは酸素ガス
を用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガ
スを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は
水素ガス３０リットル／分、酸素ガス２０リットル／
分、アルゴンガス３リットル／分、ＳｉＣｌ4 ２リット
ル／分に設定した。バーナ１は片側方向に移動するとき
だけ原料ガスを供給し、１２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で８
５０ｍｍの間を往復トラバースして外径１３０ｍｍのガ
ラス微粒子堆積体４を合成した。
を用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガ
スを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は
水素ガス３０リットル／分、酸素ガス２０リットル／
分、アルゴンガス３リットル／分、ＳｉＣｌ4 ２リット
ル／分に設定した。バーナ１は片側方向に移動するとき
だけ原料ガスを供給し、１２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で８
５０ｍｍの間を往復トラバースして外径１３０ｍｍのガ
ラス微粒子堆積体４を合成した。
【００１８】排気口８は長さ２００ｍｍ、幅２００ｍｍ
のもの５個を出発ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１
の移動に合わせてバルブ９、１１を調整し、排気量を制
御しながら合成した。２本のバーナの間隔が４００ｍｍ
であるので、これに合わせて一つおきに２つの排気口を
他より多く排気した。その結果、反応容器１２内には殆
どガラス微粒子の付着がみられず、均質のガラス微粒子
堆積体４を得ることができた。こうして得られたガラス
微粒子堆積体は出発ロッド３を引き抜いた後、電気炉で
１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、気
泡のない良好な石英パイプを得ることができた。
のもの５個を出発ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１
の移動に合わせてバルブ９、１１を調整し、排気量を制
御しながら合成した。２本のバーナの間隔が４００ｍｍ
であるので、これに合わせて一つおきに２つの排気口を
他より多く排気した。その結果、反応容器１２内には殆
どガラス微粒子の付着がみられず、均質のガラス微粒子
堆積体４を得ることができた。こうして得られたガラス
微粒子堆積体は出発ロッド３を引き抜いた後、電気炉で
１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、気
泡のない良好な石英パイプを得ることができた。
【００１９】（実施例３）図３は本発明に係わる第３の
装置の構成を示す概略図である。幅４００ｍｍ、奥行４
００ｍｍ、高さ１２００ｍｍの冷却された金属製の反応
容器１２を垂直に配置し、水冷は金属板の側面に設けた
管に冷却水を流して行なった。出発ロッド３はＧｅＯ2
を添加した屈折率差０．３４％のコアとシリカガラスの
クラッドからなり、クラッド／コア比が４のものを用い
た。この出発ロッドは外径１４ｍｍφ、長さ１３００ｍ
ｍのものを用い、反応容器の上部に設置された駆動機構
５に取付けられた。バーナは石英製の８重管バーナを用
いて２重火炎を形式をとった。
装置の構成を示す概略図である。幅４００ｍｍ、奥行４
００ｍｍ、高さ１２００ｍｍの冷却された金属製の反応
容器１２を垂直に配置し、水冷は金属板の側面に設けた
管に冷却水を流して行なった。出発ロッド３はＧｅＯ2
を添加した屈折率差０．３４％のコアとシリカガラスの
クラッドからなり、クラッド／コア比が４のものを用い
た。この出発ロッドは外径１４ｍｍφ、長さ１３００ｍ
ｍのものを用い、反応容器の上部に設置された駆動機構
５に取付けられた。バーナは石英製の８重管バーナを用
いて２重火炎を形式をとった。
【００２０】燃料ガスは水素ガス、支燃ガスは酸素ガス
を用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガ
スを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は
水素ガス８０リットル／分、酸素ガス７５リットル／
分、アルゴンガス１５リットル／分、ＳｉＣｌ4 ６リッ
トル／分に設定した。バーナ１はガラス微粒子堆積体の
成長に合わせ、約８０ ｍｍ／ｈｒの速度で移動し、外
径１３５ｍｍのガラス微粒子堆積体４を合成した。排気
口８は長さ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのもの５個を出発
ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１の移動に合わせて
バルブ９、１１を調整し、排気量を制御しながら合成し
た。
を用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性のアルゴンガ
スを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。夫々の流量は
水素ガス８０リットル／分、酸素ガス７５リットル／
分、アルゴンガス１５リットル／分、ＳｉＣｌ4 ６リッ
トル／分に設定した。バーナ１はガラス微粒子堆積体の
成長に合わせ、約８０ ｍｍ／ｈｒの速度で移動し、外
径１３５ｍｍのガラス微粒子堆積体４を合成した。排気
口８は長さ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのもの５個を出発
ロッド３の軸方向に配置し、バーナ１の移動に合わせて
バルブ９、１１を調整し、排気量を制御しながら合成し
た。
【００２１】その結果、反応容器１２内には目立ったガ
ラス微粒子の付着がみられず、均質のガラス微粒子堆積
体４を得ることができた。こうして得られたガラス微粒
子堆積体は電気炉でヘリウム雰囲気中で１６００℃に加
熱して透明ガラス化した。その結果、外径７２ｍｍの気
泡を含まない良好なガラス母材を得ることができた。こ
の母材は線引炉で１２５μｍφにファイバ化され、２５
０μｍφまで樹脂を被覆した。伝送損失は１．３μｍの
波長で０．３４ｄＢ／ｋｍ，１．５５μｍの波長で０．
２ｄＢ／ｋｍと高品質のものが得られた。
ラス微粒子の付着がみられず、均質のガラス微粒子堆積
体４を得ることができた。こうして得られたガラス微粒
子堆積体は電気炉でヘリウム雰囲気中で１６００℃に加
熱して透明ガラス化した。その結果、外径７２ｍｍの気
泡を含まない良好なガラス母材を得ることができた。こ
の母材は線引炉で１２５μｍφにファイバ化され、２５
０μｍφまで樹脂を被覆した。伝送損失は１．３μｍの
波長で０．３４ｄＢ／ｋｍ，１．５５μｍの波長で０．
２ｄＢ／ｋｍと高品質のものが得られた。
【００２２】（実施例４）図１に示した装置でＧｅＯ2
を添加した屈折率差０．３４％のコアとシリカガラスの
クラッドからなり、クラッド／コア比が５のガラスロッ
ドを用いた。ガラスロッドは外径１８ｍｍ，長さ８００
ｍｍの両端に石英棒を接続し、この両端を反応容器の上
下に配置した駆動装置５に固定した。バーナ１は石英製
の４重管バーナを用い、燃料ガスは水素ガス、支燃ガス
は酸素ガスを用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性の
アルゴンガスを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。
を添加した屈折率差０．３４％のコアとシリカガラスの
クラッドからなり、クラッド／コア比が５のガラスロッ
ドを用いた。ガラスロッドは外径１８ｍｍ，長さ８００
ｍｍの両端に石英棒を接続し、この両端を反応容器の上
下に配置した駆動装置５に固定した。バーナ１は石英製
の４重管バーナを用い、燃料ガスは水素ガス、支燃ガス
は酸素ガスを用い燃料ガスと支燃ガスの間には不活性の
アルゴンガスを流した。原料はＳｉＣｌ4 を用いた。
【００２３】夫々の流量は水素ガス４０リットル／分、
酸素ガス３５リットル／分、アルゴンガス５リットル／
分、ＳｉＣｌ4 ３リットル／分に設定した。バーナ１は
１５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で１０００ｍｍの間を往復ト
ラバースし、外径１２５ｍｍのガラス微粒子堆積体４を
合成した。
酸素ガス３５リットル／分、アルゴンガス５リットル／
分、ＳｉＣｌ4 ３リットル／分に設定した。バーナ１は
１５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で１０００ｍｍの間を往復ト
ラバースし、外径１２５ｍｍのガラス微粒子堆積体４を
合成した。
【００２４】その結果、反応容器１２内にはガラス微粒
子の付着がみられず、均質のガラス微粒子堆積体４を得
ることができた。この母材を電気炉でヘリウム雰囲気中
で１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、
外径７８ｍｍの気泡を含まない良好なガラス母材を得る
ことができた。この母材は線引炉で１２５μｍφにファ
イバ化され、２５０μｍφまで樹脂を被覆した。伝送損
失は１．３μｍの波長で０．３４ｄＢ／ｋｍ，１．５５
μｍの波長で０．１９５ｄＢ／ｋｍと高品質のものが得
られた。
子の付着がみられず、均質のガラス微粒子堆積体４を得
ることができた。この母材を電気炉でヘリウム雰囲気中
で１６００℃に加熱して透明ガラス化した。その結果、
外径７８ｍｍの気泡を含まない良好なガラス母材を得る
ことができた。この母材は線引炉で１２５μｍφにファ
イバ化され、２５０μｍφまで樹脂を被覆した。伝送損
失は１．３μｍの波長で０．３４ｄＢ／ｋｍ，１．５５
μｍの波長で０．１９５ｄＢ／ｋｍと高品質のものが得
られた。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガラス微粒子の堆積体が積層される位置と排気口との関
係を常に一定の条件に保つことができ均一のガラス微粒
子堆積体を得ることができる。また、排気量を調整する
ことにより浮遊するガラス微粒子を減少することがで
き、さらに、他の排気口より排気量を増加する排気口の
数を増やすことにより大型のガラス微粒子堆積体の製造
についても対応することができる。本装置の移動部分は
ガラス微粒子生成用バーナだけであり、排気口は固定し
ているので取り扱いが容易である。
ガラス微粒子の堆積体が積層される位置と排気口との関
係を常に一定の条件に保つことができ均一のガラス微粒
子堆積体を得ることができる。また、排気量を調整する
ことにより浮遊するガラス微粒子を減少することがで
き、さらに、他の排気口より排気量を増加する排気口の
数を増やすことにより大型のガラス微粒子堆積体の製造
についても対応することができる。本装置の移動部分は
ガラス微粒子生成用バーナだけであり、排気口は固定し
ているので取り扱いが容易である。
【図１】本発明に係わる装置の構成を示す概略図であ
る。
る。
【図２】本発明に係わる装置の他の構成を示す概略図で
ある。
ある。
【図３】本発明に係わる装置のその他の構成を示す概略
図である。
図である。
１：バーナ ２：火炎 ３：出発ロッド ４：ガラス微粒子堆積体 ５：駆動機構 ６：トラバース機構 ７：位置検出器 ８：排気口 ９：バルブ １０：排気ブロア １１：バルブ １２：反応容器 １３：出発ロッドの回転方向 １４：バーナの移動方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 向後 隆司 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内
Claims (6)
- 【請求項１】 反応容器の中にガラス微粒子生成用バー
ナ、回転する出発ロッド及び出発ロッドの軸に沿って複
数個の排気口が連続して設けられた排気装置とを備え、
ガラス微粒子生成用バーナには気体のガラス原料、燃料
ガス及び支燃ガスを供給し、火炎加水分解反応あるいは
酸化反応によりガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子
を回転する出発ロッドの外周に積層させ、同時に該ガラ
ス微粒子生成用バーナを該出発ロッドの軸方向に移動す
ることにより出発ロッドの外周にガラス微粒子の積層体
を合成する光ファイバ用母材の製造方法であって、 出発ロッドに沿って移動するガラス微粒子用バーナに合
わせて各排気口の排気量を順次変化させることを特徴と
する光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項２】 各排気口は常に一定流量を排気し、併せ
て、ガラス微粒子用バーナが移動したとき、該バーナに
対抗する位置の排気口を他の排気口の排気量に対して増
加することを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用
母材の製造方法。 - 【請求項３】 他の排気口より排気量を増加する排気口
の数が２個以上であることを特徴とする請求項１ないし
２のいずれかに記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項４】 ガラス微粒子用バーナを出発ロッドの軸
方向に少なくとも１回以上往復移動してガラス微粒子の
積層体を合成することを特徴とする請求項１ないし３の
いずれかに記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項５】 耐熱性の反応容器と、反応容器の中心部
に設けられた回転する出発ロッドと、出発ロッドの軸方
向に移動するガラス微粒子用バーナと、出発ロッドの軸
に沿って複数個の排気口を連続して設けた排気装置とを
備え、 各排気口について独立に排気量を調整できる機構及び移
動するガラス微粒子用バーナの位置に合わせて各排気口
の排気量を順次調整できる機構を有することを特徴とす
る光ファイバ用母材の製造装置。 - 【請求項６】 排気量の調整機構が余剰空気を取り込む
ために各排気口の下流に設けられたバルブ及び各排気通
路の断面を調整するバルブによって構成されたことを特
徴とする請求項５に記載の光ファイバ用母材の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12737494A JP3498362B2 (ja) | 1994-06-09 | 1994-06-09 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12737494A JP3498362B2 (ja) | 1994-06-09 | 1994-06-09 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07330367A true JPH07330367A (ja) | 1995-12-19 |
| JP3498362B2 JP3498362B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=14958409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12737494A Expired - Fee Related JP3498362B2 (ja) | 1994-06-09 | 1994-06-09 | 光ファイバ用母材の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3498362B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003000609A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| JP2003531086A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | ヘレウス・テネボ・アクチェンゲゼルシャフト | 石英ガラス体を製造するための方法および装置 |
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| JP2021175695A (ja) * | 2020-05-01 | 2021-11-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
-
1994
- 1994-06-09 JP JP12737494A patent/JP3498362B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003531086A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | ヘレウス・テネボ・アクチェンゲゼルシャフト | 石英ガラス体を製造するための方法および装置 |
| WO2003000609A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| KR20030012749A (ko) * | 2001-08-04 | 2003-02-12 | 화이콤(주) | 광섬유용 유리모재 제조방법 및 제조장치 |
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
| JP2021175695A (ja) * | 2020-05-01 | 2021-11-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3498362B2 (ja) | 2004-02-16 |
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