JPH1160262A

JPH1160262A - 光ファイバ母材の製造装置

Info

Publication number: JPH1160262A
Application number: JP22134997A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Yamamoto; 哲也山本; Masataka Kin; 正高金
Original assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Priority date: 1997-08-18
Filing date: 1997-08-18
Publication date: 1999-03-02

Abstract

(57)【要約】【課題】多重管バーナの把持を確実にし、さらに、多
重管バーナの取付位置の正確な再現性を得る。【解決手段】多重管バーナ５に固定ナット３とスリー
ブボス２とを通しておき、多重管バーナに対してスリー
ブ１を挿入させるようにする。スリーブに対して、スリ
ーブボスを外嵌させるようにし、固定ナットをスリーブ
のねじ部１ｃに対してねじ込むと、スリーブボスの内周
テーパ面２ａがスリーブの外周テーパ面１ａを押しつけ
るようになり、スリーブの内周面が多重管バーナに圧着
して、スリーブ、スリーブボス、及び、固定ナット３を
多重管バーナに対して固定した状態になる。スリーブボ
スの拡径部２ｃがバーナホルダー４の壁面に当接するま
で、スリーブボスをバーナホルダーの取付孔４ａに挿入
する。スリーブボスの位置決め凹部２ｆの位置をバーナ
ホルダーのクランプノブ４ｄの位置に合わせる。バーナ
ホルダーの締め付けボルト４ｂを締めて、多重管バーナ
をバーナホルダーに対して固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にＶＡＤ（vape
r-phase axial deposition）法によって光ファイバ用母
材を形成するために用いられる光ファイバ母材の製造装
置に関し、特にバーナの取付手段に係る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光ファイバ母材の製造装置と
してＶＡＤ法を用いるものが知られている。このＶＡＤ
法では、図７に示すように、保護管６が被せられた反応
容器７に対し、その上部から出発棒８を挿入するように
し、上記反応容器７の下部から多重管で構成されたバー
ナ５を挿入してこの多重管バーナ５の先端を上記出発棒
８の下端に向けるようにしている。この多重管バーナ５
はバーナ把持具４０に把持されて取付部９に取り付けら
れており、このバーナ把持具４０による把持位置の調節
により上記多重管バーナ５の上記出発棒８に対する位置
が設定されている。そして、上記多重管バーナ５の基端
部分の分岐管５ａより原料ガス（例えばSiCl₄，GeCl
₄等）を流入させ、この原料ガスが酸水素火炎中に導入
されて加水分解反応によりガラス微粒子を形成してい
る。この火炎中で生成された微粒子は、回転する上記出
発棒８の下端に吹き付けられ、付着堆積して光ファイバ
母材を形成するようにしている。

【０００３】このような光ファイバ母材の製造に用いら
れる多重管バーナ５を把持するバーナ把持具４０として
は、一般に図８に示すようにＶ溝４１ａが設けられた下
部ブロック４１と、凹溝４２ａが設けられた上部ブロッ
ク４２とを備えたものであり、上記Ｖ溝４１ａ内に上記
多重管バーナ５を置き、この状態で上記上部ブロック４
２を締め付けボルト４３，４３，…で締め付けて、上記
多重管バーナ５を固定するような構造になっている。そ
して、上記多重管バーナ５は石英製であるため、上記Ｖ
溝４１ａにはシリコーンゴムのシートを貼り、上記多重
管バーナ５の破損を防止するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ＶＡＤ
法による光ファイバ母材の製造においては、多重管バー
ナ５先端の出発棒８に対する位置が、コアロッドの比屈
折率差、及び、クラッド・コア比に密接に関係すること
になる。そのため、光ファイバ母材の製造時には、上記
多重管バーナ５の位置を０．１ｍｍ単位の精度で調整し
て製造条件を決定し、製造するようにしている。ところ
が、光ファイバ母材の製造中に、上記多重管バーナ５の
先端にスートと呼ばれるシリカ粉が付着堆積することが
起きる。このスートは、上記光ファイバ母材に吹き付け
られるガラス微粒子の流れを変化させてしまい、そのま
まにしておくと上記比屈折率差、及び、クラッド・コア
比を変化させてしまうことになる。そこで、上記スート
が付着堆積した場合には、上記多重管バーナ５をバーナ
把持具４０から取り外し、フッ化水素酸等で洗浄した
後、再びバーナ把持具４０に取り付けて光ファイバ母材
の製造を続けるようしている。

【０００５】ところが、上記従来のバーナ把持具４０に
おいては、多重管バーナ５に強い締め付け力を加えるこ
とができないこと、及び、上記Ｖ溝４１ａにシリコーン
ゴムが貼られていること等により、多重管バーナ５の固
定を十分には行うことができない上に、その固定位置の
微調整が不能であるという問題がある。このため、上記
のように多重管バーナ５の着脱を行うと、再度取り付け
た際に上記多重管バーナ５の位置が微妙に変化してしま
い、上記比屈折率差、及び、クラッド・コア比が着脱前
の製造条件からずれてしまうという問題がある。

【０００６】さらに、多重管バーナはその製作誤差によ
り、ガスの流れが周方向に異なる場合もあり、この場合
にはバーナの再取り付けの際に、バーナの周方向位置も
正確に元と同じ位置に取り付けないと、着脱前の製造条
件からずれてしまうことになる。

【０００７】一方、多重管バーナをモールド把持具によ
り把持し、このモールド把持具を下部ブロックに取り付
けるようにしたバーナ把持具も提案されているが（例え
ば、実開昭６２−７５０３４号公報参照）、このものに
おいては、多重管バーナを把持するモールド材が収縮す
る際の収縮力により、多重管バーナが破損するおそれが
ある。また、モールド把持具を設けるにあたって、多重
管バーナにモールド材を複数回に分けてモールドし、モ
ールド材を徐々に固着させるようにして、モールド材の
収縮力の影響を和らげるようにすることも提案されてい
る（例えば、特開昭６２−２２６８３３号公報参照）。
しかしながら、このバーナ把持具においても、モールド
形成が煩雑であるという不都合がある上に、周方向の位
置調節が困難になる。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、多重管バーナ
の把持を確実にし、さらに、単純な構造で多重管バーナ
の取付位置の正確な再現性を得ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、出発棒に対し原料ガスを燃
焼させてガラス微粒子を吹き付ける管状バーナと、この
バーナをバーナ取付対象に対し着脱可能に取り付ける取
付手段とを備えた光ファイバ母材の製造装置を前提とし
ている。このものにおいて、上記取付手段を、上記バー
ナをその周囲から把持する中間ホルダーと、この中間ホ
ルダーを把持して上記取付対象に取り付けるバーナホル
ダーとを備えたものとする。そして、上記中間ホルダー
を、上記バーナに対しバーナの管軸方向一側から抜き差
し可能に外挿されてそのバーナの外周面に密着する筒状
スリーブと、このスリーブに対し上記管軸方向他側から
外嵌されて上記スリーブの外周面に密着するスリーブボ
スとを備えたものとする。また、上記スリーブを、横断
面形状を周方向一部において有端となるよう上記管軸方
向に延びる割り溝を有する一方、外周面に上記管軸方向
の他側から一側に向かい外径が徐々に大きくなる外周テ
ーパ面を形成するものとする。さらに、上記スリーブボ
スを、内周面に上記管軸方向の一側から他側に向かい内
径が上記外周テーパ面に対応して徐々に小さくなる内周
テーパ面を形成する構成とするものである。

【００１０】上記の構成の場合、上記スリーブのバーナ
に対する位置を固定し、上記スリーブボスを上記スリー
ブに対し管軸方向他側から一側に向けて前進させること
により、内周テーパ面が外周テーパ面を径方向内側に押
圧することになる。この結果、上記バーナを破損させる
ことなく、上記スリーブがその内周面の全面で上記バー
ナの外周面の全面を強固に把持することが可能になる。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、中間ホルダーを、先端がスリーブボスに対
しバーナの管軸方向に当接した状態でスリーブの外周面
に対し上記管軸方向に進退調節可能にねじ込まれた固定
ナットを備えた構成とするものである。

【００１２】上記の構成の場合、上記スリーブのバーナ
に対する位置を固定し、上記固定ナットを前進させて上
記スリーブボスを上記スリーブに対し上記管軸方向他側
から一側に向けて前進させることにより、外周テーパ面
が内周テーパ面を径方向内側に押圧することになり、こ
の結果、上記スリーブがその内周面の全面でバーナの外
周面の全面を強固に把持することが可能になる。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、中間ホルダーを構成するスリーブ、スリー
プボス、及び、固定ナットを耐熱性を有する合成樹脂に
より形成する構成とするものである。

【００１４】上記の構成の場合、合成樹脂が有する柔軟
性のため、石英製のバーナを破損させることなく把持す
ることが可能になる。また、耐熱性を有するため中間ホ
ルダーが高温になっても中間ホルダーの変形等を防止す
ることが可能になる。さらに、上記バーナの洗浄の際
に、フッ化水素酸等の洗浄液により腐食するおそれがな
いため、スリーブ、スリープボス、及び、固定ナットを
上記バーナに固定した状態で洗浄すれば、上記バーナと
中間ホルダーとの相対位置関係は変化することがないた
め、上記バーナをバーナホルダーに対して、正確に元ど
おりの位置に取り付けることが容易になる。

【００１５】また、請求項４記載の発明は、請求項１記
載の発明において、スリーブボスとバーナホルダーとの
一方又は双方には、バーナの管軸方向に直交する方向に
突出してバーナホルダーに対するスリーブボスの管軸方
向への移動を阻止する突出部を形成する構成とするもの
である。

【００１６】上記の構成の場合、上記スリーブボスを上
記突出部により阻止されるまで上記バーナホルダーに対
し移動させ、固定するようにすれば、常に同じ軸方向位
置で固定されることになるため、バーナのバーナホルダ
ーに対する軸方向位置の正確な再現性を得ることが可能
になる。

【００１７】さらに、請求項５記載の発明は、請求項１
または請求項４記載の発明において、バーナホルダーが
バーナの管軸方向に直交する方向に進退するクランプノ
ブを備え、スリーブボスの外周面には、上記クランプノ
ブの先端が挿入される位置決め凹部を形成する構成とす
るものである。

【００１８】上記の構成の場合、上記スリーブボスの位
置決め凹部と、上記クランプノブとの位置を合わせて固
定するようにすれば、バーナホルダーに対して常に同じ
周方向位置で固定されることになるため、バーナのバー
ナホルダーに対する周方向位置の再現性を得ることが可
能になる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基いて説明する。

【００２０】図１及び図２は、本発明の実施形態に係る
バーナ把持具を示し、１は多重管バーナ５を把持するス
リーブ、２はこのスリーブ１を把持するスリーブボス、
３は上記スリーブ１とスリーブボス２と一体にして固定
する固定ナット、４は上記スリーブボス２を把持するバ
ーナホルダー、５は原料ガスを出発棒に吹き付ける多重
管バーナである。

【００２１】上記スリーブ１は、円筒状に形成され、そ
の外周面には、管軸Ｘ方向の他側（図１のＬ側）から一
側（Ｒ側）に向かって、外径が徐々に大きくなる外周テ
ーパ面１ａが形成されており、他側部分の外周面には、
ねじ部１ｂが形成されている。また、上記スリーブ１
は、上記多重管バーナ５の外径とほぼ同じ、もしくは、
上記多重管バーナ５の外径よりも僅かに大きい内径を有
し、その内周面１ｃは管軸Ｘ方向全長にわたり同一の内
径になっている。さらに、図３に示すように、このスリ
ーブ１の上部には微小幅の割り溝１ｄが形成されてお
り、この割り溝１ｄにより上記スリーブ１の内径が大き
くなるため、上記多重管バーナ５を上記スリーブ１内に
容易に挿入することができるようになっている。このよ
うなスリーブ１は、上記多重管バーナ５が高温になるた
め、耐熱性を有し、かつ、熱膨張係数の低い素材により
形成するのが好ましく、さらに、上記多重管バーナ５は
石英製であるため、この多重管バーナ５が破損すること
のないように柔軟性を有する素材により形成するのが好
ましい。このような素材として、耐熱性を有する合成樹
脂、例えばフッ素樹脂があり、中でもテフロン（商品
名；ポリテトラフルオロエチレン）を採用すればよい。

【００２２】上記スリーブボス２は、円筒状に形成さ
れ、その内周面には、管軸Ｘ方向の一側（図１のＲ側）
から他側（Ｌ側）に向かい内径が上記外周テーパ面１ａ
に対応して徐々に小さくなる内周テーパ面２ａが形成さ
れている。そして、その外周面２ｂには、その径方向外
方に突出した突出部としての拡径部２ｃが形成され、さ
らに、他端部分には外径が縮径された縮径部２ｄが形成
されている。上記拡径部２ｃと縮径部２ｄとの間には上
記管軸Ｘ方向に面する段差面２ｅが形成されており、こ
の段差面２ｅに上記固定ナット３の先端面３ａが当接す
るようになっている。また、上記拡径部２ｃ及び縮径部
２ｄを除く上記外周面２ｂは同一外径を有するように形
成されている。加えて、図４に示すように、上記スリー
ブボス２の外周面２ｂには位置決め凹部２ｆが形成され
ている。このようなスリーブボス２は、上記スリーブ１
と同様の素材により形成すればよい。

【００２３】上記固定ナット３は、上記スリーブ１のね
じ部１ｂに対して螺合するようになっている。上記固定
ナット３の内周面には、図５に示すように、ねじ部３ｂ
より大きい内径を有する凹部３ｃが形成されており、上
記スリーブボス２の縮径部２ｃが挿入されるようになっ
ている。そして、上記ナット３の先端面３ａがスリーブ
ボス２の段差面２ｅに当接した状態でスリーブ１のねじ
部１ｂに対しねじ込まれて、上記スリーブボス２をスリ
ーブ１に対して相対的に上記管軸Ｘ方向の一側（Ｒ側）
に移動させることができるようになっている。このよう
な固定ナット３は、上記スリーブ１と同様の素材により
形成すればよい。

【００２４】上記バーナホルダ４は、微動機構１０を介
装させた状態で取付対象としての取付部９に固定される
ようになっている。そして、図６に示すように、このバ
ーナホルダ４には、上記スリーブボス２の外周面２ｂの
外径より僅かに大きい内径を有する取付孔４ａが形成さ
れている。また、上記バーナホルダ４の側面から上記取
付孔４ａに向かってスリット４ｂが形成されており、上
記スリーブボス２を上記取付孔４ａに挿入して、上記ス
リット４ｂ位置の上部から締め付けボルト４ｃを締める
ことにより、上記スリーブボス２を上記バーナホルダ４
に対して固定することができるようになっている。さら
に、上記バーナホルダ４の上面から下方に向かってクラ
ンプノブ４ｄが取り付けられており、その先端が上記バ
ーナホルダ４の取付孔４ａの内周面から内方に突出する
ようになっている。上記クランプノブ４ｄの先端は、上
記スリーブボス２の位置決め凹部２ｆに挿入可能になっ
ている。

【００２５】つぎに、上記実施形態の作用・効果を説明
する。

【００２６】まず、多重管バーナ５に固定ナット３とス
リーブボス２とを上記多重管バーナ５の他側（図１のＬ
側）から固定ナット３、スリーブボス２の順番になるよ
うに通しておき、上記多重管バーナ５に対してスリーブ
１を外挿させて、所定の管軸Ｘ方向位置に仮止めするよ
うにする。このとき、上記スリーブ１に設けられたスリ
ット１ｃにより、上記スリーブ１の内径を若干大きくす
ることが可能であるため、容易に上記多重管バーナ５を
上記スリーブ１に外挿させることができる。また、上記
のスリーブ１の内径が若干大きくなることから、上記多
重管バーナ５は、上記スリーブ１に対して自由に軸方向
の移動、及び、回転させることができる。このため、上
記多重管バーナ５の軸方向、さらに、周方向位置の調整
を容易に行うことが可能になる。

【００２７】次いで、上記スリーブ１に対して、上記ス
リーブボス２を外嵌させるようにし、上記固定ナット３
を上記スリーブ１のねじ部１ｃに対してねじ込んで管軸
Ｘ方向一側へ前進させると、上記固定ナット３の先端面
３ａが上記スリーブボス２の段差面２ｄを押圧してこの
スリーブボス２を一側へ前進させる結果、上記スリーブ
ボス２の内周テーパ面２ａが上記スリーブ１の外周テー
パ面１ａを押しつけるようになる。このため、上記スリ
ーブ１の内周面１ｃの全面が多重管バーナ５の外周面の
全面に対して圧着して、上記多重管バーナ５を破損させ
ることなく、上記スリーブ１が上記多重管バーナ５を強
固に把持するようになる。これにより、上記スリーブ
１、スリーブボス２、及び、固定ナット３が上記多重管
バーナ５に対して固定された状態にすることができる。

【００２８】さらに、上記スリーブボス２をその拡径部
２ｃの側壁がバーナホルダー４の後面に当接するまで、
上記バーナホルダー４の取付孔４ａに他側から一側方向
に挿入させるようにする。このとき、上記スリーブボス
２の拡径部２ｃにより、上記スリーブボス２のバーナホ
ルダー４に対する軸方向位置を常に一定にすることがで
きる。また、上記スリーブボス２の位置決め凹部２ｆの
位置を上記バーナホルダー４のクランプノブ４ｄの位置
に合わせるようにすると、上記スリーブボス２のバーナ
ホルダー４に対する周方向位置を常に一定にすることが
できる。そして、上記バーナホルダー４に取り付けられ
た締め付けボルト４ｃを締めることにより、上記多重管
バーナ５をバーナホルダー４に対して固定することがで
きる。

【００２９】このものにおいて、上記多重管バーナ５を
バーナ把持具から取り外して洗浄する際には、まず、上
記バーナホルダー４のクランプノブ４ｄを緩めてこのク
ランプノブ４ｄの先端を上記スリーブボス２の位置決め
凹部２ｆから抜くようにする。次いで、上記バーナホル
ダー４の締め付けボルト４ｃをゆるめて、上記スリーブ
ボス２をバーナホルダー４から取り外すようにする。そ
して、上記スリーブ１、スリーブボス２、及び、固定ナ
ット３が上記多重管バーナ５に対して固定された状態で
洗浄を行うようにする。このとき、上記スリーブ１、ス
リーブボス２、及び、固定ナット３は合成樹脂製である
ため、フッ化水素酸等による洗浄でも腐食することがな
いようになっている。そして、洗浄後は、上記スリーブ
１、スリーブボス２、及び、固定ナット３が固定された
状態の多重管バーナ５を上記バーナホルダー４の取付孔
４ａに挿入して、このバーナホルダー４に固定するよう
にする。このとき、上記スリーブボス２の拡径部２ｃに
より軸方向位置を、また、上記スリーブボス２の位置決
め凹部２ｆと上記バーナホルダー４のクランプノブ４ｄ
とにより周方向位置をそれぞれ取り外し前と同じにする
ことができる。

【００３０】＜他の実施形態＞なお、本発明は上記実施
形態に限定されるものではなく、その他種々の実施形態
を包含するものである。すなわち、上記実施形態では、
バーナホルダー４にスリット４ｂを形成しているが、こ
れに限らず、例えば、上記バーナホルダ４を上部ブロッ
クと下部ブロックとの２つに分かれたもののようにして
もよい。

【００３１】また、上記スリーブ１、スリーブボス２、
及び、バーナホルダー４のそれぞれの接触面を研削加工
するようにしてもよい。この場合、スリーブ１の外周テ
ーパ面１ａ及びスリーブボス２の内周テーパ面２ａを研
削加工すれば、より一層強固に多重管バーナ５を把持す
ることができる。また、スリーブボス２の外周面２ｂ及
びバーナホルダー４の取付孔４ａの内周面等を研削加工
すれば、より一層精度よく多重管バーナ５位置の再現性
を得ることができる。

【００３２】さらに、上記実施形態では、スリーブ１、
スリーブボス２、及び、固定ナット３を取り外すことな
くそのままの状態で洗浄し、多重管バーナ５をバーナホ
ルダー４に再取り付けするようにしているが、これに限
らず、例えば、上記スリーブ１、スリーブボス２、及
び、固定ナット３を取り外して洗浄し、その後に、多重
管バーナ５に対して上記スリーブ１、スリーブボス２、
及び、固定ナット３を取り付けて、上記多重管バーナ５
を上記バーナホルダー４に再取り付けするようにしても
よい。この場合においても、上記スリーブ１の多重管バ
ーナ５に対する位置を元どおりにすれば、上記スリーブ
１、スリーブボス２、及び、固定ナット３により上記多
重管バーナ５を強固に把持することができるため、中間
ホルダーが上記多重管バーナ５に対して移動するような
ことはなく、多重管バーナ５位置の再現性を得ることが
できる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明における光ファイバ製造装置によれば、多重管バーナ
を破損させることなく、確実に把持することができる。

【００３４】請求項２記載の発明によれば、上記請求項
１記載の発明による効果に加えて、固定ナットを前進さ
せることで、スリーブがその内周面の全面でバーナの外
周面の全面を強固に把持することができる。

【００３５】請求項３記載の発明によれば、上記請求項
２記載の発明による効果に加えて、多重管バーナを破損
することなく把持することができる。また、熱による中
間ホルダーの変形を防止することが可能になる。さら
に、上記多重管バーナの洗浄の際にフッ化水素酸等の洗
浄液による腐食を防止できるため、中間ホルダーを上記
多重管バーナに固定したまま着脱・洗浄することができ
る。この結果、多重管バーナをバーナホルダーに対し
て、元どおりの位置に取り付けることを容易に実現し得
る。

【００３６】また、請求項４記載の発明によれば、上記
請求項１記載の発明による効果に加えて、多重管バーナ
のバーナホルダーに対する軸方向位置の再現性を得るこ
とができる。

【００３７】さらに、請求項５記載の発明によれば、上
記請求項１または請求項４記載の発明による効果に加え
て、多重管バーナのバーナホルダーに対する周方向位置
の再現性を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す断面図である。

【図２】本発明の実施形態を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施形態のスリーブを示す斜視図であ
る。

【図４】本発明の実施形態のスリーブボスを示す破砕斜
視図である。

【図５】本発明の実施形態の固定ナットを示す破砕斜視
図である。

【図６】本発明の実施形態のバーナホルダーを示す側面
図である。

【図７】ＶＡＤ法による光ファイバ母材製造状態を示す
説明図である。

【図８】従来の多重管バーナの把持具を示す分解斜視図
である。

【符号の説明】

１スリーブ２スリーブボス３固定ナット４バーナホルダー５多重管バーナ（バーナ）８出発棒１ａ外周テーパ面１ｄ割り溝２ａ内周テーパ面２ｃ拡径部（突出部）２ｆ位置決め凹部４ｄクランプノブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】出発棒に対し原料ガスを燃焼させてガラ
ス微粒子を吹き付ける管状バーナと、このバーナをバー
ナ取付対象に対し着脱可能に取り付ける取付手段とを備
えた光ファイバ母材の製造装置において、上記取付手段は、上記バーナをその周囲から把持する中
間ホルダーと、この中間ホルダーを把持して上記取付対
象に着脱可能に取り付けるバーナホルダーとを備え、上記中間ホルダーは、上記バーナに対しバーナの管軸方
向一側から抜き差し可能に外挿されてそのバーナの外周
面に密着する筒状スリーブと、このスリーブに対し上記
管軸方向他側から外嵌されて上記スリーブの外周面に密
着するスリーブボスとを備え、上記スリーブは、横断面形状が周方向一部において有端
となるよう上記管軸方向に延びる割り溝を有する一方、
外周面に上記管軸方向の他側から一側に向かい外径が徐
々に大きくなる外周テーパ面が形成され、上記スリーブボスは、内周面に上記管軸方向の一側から
他側に向かい内径が上記外周テーパ面に対応して徐々に
小さくなる内周テーパ面が形成されていることを特徴と
する光ファイバ母材の製造装置。
【請求項２】請求項１において、中間ホルダーは、先端がスリーブボスに対しバーナの管
軸方向に当接した状態でスリーブの外周面に対し上記管
軸方向に進退調節可能にねじ込まれた固定ナットを備え
ていることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
【請求項３】請求項２において、中間ホルダーを構成するスリーブ、スリーブボス、及
び、固定ナットが耐熱性を有する合成樹脂により形成さ
れていることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
【請求項４】請求項１において、スリーブボスとバーナホルダーとの一方又は双方には、
バーナの管軸方向に直交する方向に突出してバーナホル
ダーに対するスリーブボスの管軸方向への移動を阻止す
る突出部が形成されていることを特徴とする光ファイバ
母材の製造装置。
【請求項５】請求項１または請求項４において、バーナホルダーはバーナの管軸方向に直交する方向に進
退するクランプノブを備え、スリーブボスの外周面には、上記クランプノブの先端が
挿入される位置決め凹部が形成されていることを特徴と
する光ファイバ母材の製造装置。