JP2003518588A - 冷却式のスクリュ型真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、スクリュ型真空ポンプであって、２つの軸（７，８）と、該軸によって保持された各１つのロータ（３，４）とが設けられていて、該ロータ（３，４）が各１つの中空室（３１）を有しており、各中空室（３１）内に別の中空室（３２）が設けられていて、該別の中空室（３２）が、冷却媒体回路の一部であり、軸（７，８）が圧力側に向かって開放した孔（４１）を有していて、該孔（４１）を通して前記別の中空室（３２）に対する冷却媒体の供給・排出が行われる形式のものにおいて、ロータの冷却効果を改善することを目的として、本発明の構成では、軸（７，８）の開放した孔（４１）内に、流入する冷却媒体と流出する冷却媒体とを別個に案内するために働くガイド部材（４４）が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、スクリュ型真空ポンプであって、２つの軸と、該軸によって保持さ
れた各１つのロータとが設けられていて、該ロータが各１つの中空室を有してお
り、各中空室内に別の中空室が設けられていて、該別の中空室が、冷却媒体回路
の一部であり、軸が圧力側に向かって開放した孔を有していて、該孔を通して前
記別の中空室に対する冷却媒体の供給・排出が行われる形式のものに関する。

【０００２】 このような形式のスクリュ型真空ポンプはドイツ連邦共和国特許公開第１９８
２０５２３号明細書（図４）に基づいて公知である。冷却媒体は、軸に設けられ
た圧力側において開放した孔内に噴射される。吸込み側において軸は半径方向孔
を備えており、これらの半径方向孔を通して冷却媒体がロータ中空室内に達する
ようになっている。これらの中空室の外壁は円錐形に圧力側に向かって拡大する
ように構成されている。これによって、外壁に形成された冷却媒体膜は圧力側に
向かって流れる。つまり軸において圧力側に配置された半径方向孔を介して、冷
却媒体は軸に設けられたそれぞれ中央の孔に戻り、さらにこれらの孔を通して該
孔の開口に戻る。

【０００３】 この公知の解決策における欠点として次のことが挙げられる。すなわち公知の
構成では、冷たい冷却媒体の供給と高温の冷却媒体の流出とが、軸に設けられた
共通の孔を通して行われるようになっている。この場合冷却媒体の混合は避けら
れないので、これによって冷却効果は損なわれてしまう。さらに、ロータの冷却
を「向流（Gegenstrom）」において行うことは不可能である。冷却媒体はまず初
め、ロータの比較的冷たい側（吸込み側）に達し、その後で、排出すべき圧縮熱
が最高温度である圧力側へと流れる。さらにまた、この従来技術における構成は
、各ロータ中空室の円錐形状を前提としているが、このような形状は、面倒な手
間と高いコストをかけてしか製作することができない。

【０００４】 ゆえに本発明の課題は、冒頭に述べた形式のスクリュ型真空ポンプを改良して
、ロータ中空室への冷却媒体供給のみならず、冷却効果をも改善することができ
るスクリュ型真空ポンプを提供することである。

【０００５】 この課題を解決するために本発明の構成では、請求項１の特徴部に記載のよう
に構成した。

【０００６】 軸の中央もしくは中心に設けられた孔に挿入されたガイド部材を使用すること
によって、まず初めに、流入する冷たい冷却媒体を、戻りの高温の冷却媒体から
確実かつ効果的に隔てることができる。このことは特に、ガイド部材が熱伝導率
の低い材料から成っている場合に言える。ガイド部材を収容するために軸の中心
に設けられた孔は、比較的大きな直径を有することができる。このような孔は、
冷却媒体の供給通路及び排出通路のための個々の別個の深い孔に比べて、軸材料
自体に著しく簡単に製作することができる。さらにガイド部材は、ロータの冷却
を「向流」において行うことができる。それというのはこの場合、供給される冷
却媒体流と排出される冷却媒体流との障害のない交差が可能になるからである。
向流におけるロータの冷却にはさらに、均一な温度調整という利点があり、その
結果ロータ・ケーシング間隙を均一に小さく保つことができる。さらにまたガイ
ド部材はロータの冷却を次のように、すなわちロータ中空室内に存在していて冷
却媒体によって貫流されるすべての管路、間隙、室又はこれに類したものが、常
に流れる冷却媒体によって満たされているように、行うことができる。冷却効果
はこれによって著しく改善される。

【０００７】 本発明の別の有利な構成は、その他の請求項及び図１〜図７に示された実施例
に記載されている。

【０００８】 図１は、本発明によるスクリュ型真空ポンプを示す断面図である。

【０００９】 図２は、スクリュ型真空ポンプの片持ち式に支承された２つのロータのうちの
１つを示す断面図であって、ガイド部材の１実施例を示す図である。

【００１０】 図３は、スクリュ型真空ポンプの片持ち式に支承された２つのロータのうちの
１つを示す断面図であって、ガイド部材の別の実施例を示す図である。

【００１１】 図４は、冷却間隙を外方に向かって移動させる手段を備えたロータを示す断面
図である。

【００１２】 図５ａは、ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す縦断面図である。

【００１３】 図５ｂは、ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す横断面図である。

【００１４】 図６は、ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す斜視図である。

【００１５】 図７は、２つの区分から成るロータを備えた実施例を示す縦断面図である。

【００１６】 図１に示されたスクリュ型真空ポンプ（Schraubenvakuumpumpe）１は、ロータ
３，４を備えた圧縮室ケーシング（Schoepfraumgehaeuse）２を有している。ポ
ンプ１の入口５及び出口６は矢印によって略示されている。ロータ３，４は軸７
；８に固定されていて、これらの軸７，８はそれぞれ２つの軸受１１，１２；１
３，１４に支持されている。第１の軸受対１１，１３は軸受プレート１５に位置
しており、この軸受プレート１５は潤滑剤のない圧縮室を、伝動装置室１６から
切り離している。第２の軸受対１２，１４は圧縮室ケーシング２内に位置してい
る。伝動装置室１６のケーシング１７内には、軸７，８に取り付けられた同期歯
車１８，１９と、ポンプ１を駆動するために働く歯車対２１，２２が設けられて
おり、両歯車対２１，２２のうちの１つは、ポンプ１のそばに鉛直方向に配置さ
れた駆動モータ２３の軸と連結されている。さらに伝動装置室はオイル溜２０の
機能を果たす。

【００１７】 軸７，８の伝動装置室側の端部は、伝動装置ケーシング１７の底部における孔
２４，２５を貫通していて、オイルを収容する室２６内において終わっており、
この室２６はケーシング１７と該ケーシング１７に固定されたパン２７とによっ
て形成される。ロータ対３，４が両側において支承されている図示の実施例では
、オイル溜１６とオイルを収容する室２６との間の離隔はシール部材２８，２９
によって行われる。ロータ対３，４が片持ち式に支承されている場合には、第２
の軸受対１２，１４は孔２４，２５の領域に位置している。

【００１８】 図１から分かるように、ロータ３，４はそれぞれ中空室３１を有しており、こ
の中空室３１内に軸８が延びていて、中空室３１内には、冷却媒体によって貫流
される別の室３２が設けられている。ロータ４だけが部分的に断面されて示され
ているので、本発明についてはこのロータ４だけを参照して述べる。

【００１９】 図１に示された解決策では、冷却媒体によって貫流される室３２はリング間隙
区分として形成されていて、直接、軸８（もしくは７）とロータ４（もしくは３
）との間に位置している。そのためにロータ中空室３１の円筒形の内壁は、その
中央領域に旋削部３３を備えており、この旋削部３３の深さは冷却間隙３２の厚
さに相当している。吸込み側及び圧力側（もしくは吐出側）において、軸８は中
空室３１の内壁に密につまりシール作用をもって接触している。

【００２０】 冷却間隙３２への冷却媒体の供給は、軸８を介して行われる。この軸８には中
央の孔４１が設けられていて、この孔４１は軸８の下端部から冷却間隙３２の圧
力側端部にまで延びている。孔４１は室４３を形成しており、この室４３内には
、冷却媒体のためのガイド部材４４が設けられている。ガイド部材４４は軸８の
下端部から冷却間隙３２の圧力側端部を越えるまで延びている。冷却媒体の供給
は、ガイド部材４４における長手方向孔４５を介して行われ、この長手方向孔４
５は、互いに整合する横孔４６を介して、ガイド部材４４と軸８とを貫いて、冷
却間隙３２の圧力側端部と接続されている。

【００２１】 冷却間隙３２の吸込み側端部の高さに、軸８は単数又は複数の横孔４７を備え
ており、これらの横孔４７は、盲孔４１とガイド部材４４の端面とによって形成
された室４３に開口している。この室４３は、（ガイド部材４４における）長手
方向孔４８と（軸８における）互いに整合する横孔４９とを介して、伝動装置室
１６と接続されている。

【００２２】 冷却媒体の供給は、オイルを収容する室２６から、孔４５，４６を介して冷却
間隙３２内へと行われる。冷却媒体は冷却間隙３２を圧力側からロータ４の吸込
み側に貫流する。排出すべき熱は基本的にはロータ４の圧力側において発生する
ので、ロータ４は向流において冷却される。冷却媒体の排出はまず初めに、第２
の孔４７を介して軸８における室４３内へと行われ、次いで孔４８，４９を介し
て行われる。孔４８は冷却間隙３２の吸込み側から伝動装置室１６の高さにまで
延びている。横孔４８は孔４３と伝動装置室１６とを接続している。

【００２３】 ロータ３，４の確実な冷却は、冷却媒体が比較的狭い冷却間隙３２を比較的速
くかつ障害なしに（キャビテーション及び汚染物なしに）貫流する場合に、達成
される。従って、十分な吐出力のためには、冷却媒体を冷却するのみならず、濾
過すると有利である。そのために図１に示された実施例では、伝動装置室１６も
しくはオイル溜２０は管路５１を介して室２６と接続されており、この管路５１
内には冷却装置５２及びフィルタ５３の他に、例えば歯車ポンプとして形成され
たオイルポンプ５４が設けられている。このオイルポンプ５４は冷却媒体を必要
な圧力でキャビテーションなしに室２６から孔４３内に送り込むために働く。

【００２４】 オイルポンプ（遠心ポンプ、歯車ポンプ）を、軸７，８の下端部の領域に配置
することも可能である。しかしながらこの場合オイルポンプは、所望の圧送特性
に対する要求を満たすことができるように形成されていなくてはならない。

【００２５】 図２に示された解決策では、ガイド部材４４は３つの区分６１，６２，６３を
有しており、これらの区分６１，６２，６３は軸８内における中空室を３つの部
分室６４，６５，４３に分割しており、これらの部分室６４，６５，４３はそれ
ぞれ横孔４７，４６，４７の高さに位置している。区分６１，６２，６３におけ
る適宜な孔と、これらの孔を互いに接続する管路区分６７，６８とによって、冷
却間隙への冷却媒体の別個の供給・排出を実現することができる。

【００２６】 図３に示された構成では、冷却媒体の供給は孔４５を介して行われ、この孔４
５は、図１及び図２に示された構成とは異なり、ガイド部材４４の中心を貫通し
ている。遠心ポンプ７１によって孔４５内に圧送されるオイルは、盲孔４１とガ
イド部材４４とによって形成された中空室４３内に達し、次いで横孔４６を介し
て、冷却媒体によって貫流される室３２内に達する。図１及び図２に示された構
成とは異なり、この場合冷却媒体によって貫流される室３２は、比較的大容積の
リング室であり、このリング室は軸８とロータ中空室３１の内壁とによって形成
される。この内壁は、ロータ中空室３１がロータ３，４の圧力側に向かって円錐
形に拡大するように形成されているので、孔４６から室３２内に噴射される冷却
媒体は、ロータ圧力側に向かって搬送される。冷却媒体回路系（Kuehlmittelkre
islauf）の気泡のない又はキャビテーションのない運転は、不要である。冷却媒
体は、冷却媒体が例えば薄い膜の形でロータ中空室３１の内壁に沿って流れるよ
うに、調量されることができる。

【００２７】 出口孔４７はガイド部材４４における側部の長手方向溝７２（又は旋削部）と
接続されており、これらの長手方向溝７２は軸受プレート１５の高さにおいて伝
動装置室１６にまで延びていて、そこで横孔４９と接続されている。

【００２８】 図４に示された構成は、上に述べた構成と次の点で、すなわち軸８とロータ４
とが連続的に穿孔されていることによって、異なっている。中空室３１を形成す
るために、吸込み側に配置されたカバー７６が設けられており、このカバー７６
はねじ７７を用いてガイド部材４４と結合されている。ガイド部材４４は吸込み
側から堅固に挿入されている。ガイド部材４４はねじ７７及びカバー７６と一緒
に、ロータ４を軸方向において固定するために働く。圧力側において孔４１は小
さな直径を有している。

【００２９】 軸８は外側のスリーブ７７を備えており、このスリーブ７７はロータ４におけ
る中空室３１の内壁と一緒に、冷却間隙３２を形成している。この冷却間隙３２
はほぼロータ４の圧力側の高さにおいてしか延びていない。冷却間隙３２が半径
方向で外側に向かって設けられていることによって、冷却作用が改善される。冷
却媒体の供給は、ガイド部材４４における比較的短い長手方向溝区分７８（又は
旋削部、リング通路）だけを介して、軸８及びスリーブ７７を貫通している横孔
４６まで行われる。冷却媒体が長手方向溝７８内に進入するまでに、冷却媒体は
軸受プレート１５における孔７９，８０と滑りリングシール部材８３の軸受側の
室８２とを貫流し、そこで必要な遮断圧（Sperrdruck）を形成する。冷却媒体の
戻しは、横孔４７とガイド部材４４における中央の孔４５、及び軸８における孔
４１を介して行われる。

【００３０】 図５ａに示された解決策では、軸８はロータ中空室３１内にまでは延びていな
い。軸８は圧力側の高さにおいてロータ４と結合されている。ロータ中空室３１
におけるガイド部材４４は、拡大された直径を有する区分８４を有しており、こ
の区分８４は、ロータ４における中空室３１の内壁と一緒に冷却間隙３２を形成
している。区分８４に比べて小さな直径を有している第２の区分８５は、軸８に
おける孔４１を貫通している。

【００３１】 熱に関する理由から、ガイド部材４４における中央の孔４５を介した孔４１の
開放した側からの冷却媒体の供給を可能にするため、及び向流におけるロータ４
の冷却を可能にするためには、ガイド部材４４が冷却媒体流を交差させることが
必要である。これは、以下において詳しく説明する、ガイド部材４４における横
孔及び外側の溝区分を介して行われる（図５ａ、図５ｂ及び図６参照）。

【００３２】 盲孔４５を介して中央において供給された冷却媒体は、横孔８８を介して、互
いに反対側に位置している２つの溝区分８９に達し、さらに中空室３１（圧力側
）にまで達する。その後で冷却媒体は冷却間隙３２を貫流し、横孔４７を介して
、ガイド部材４４の中心に設けられた管路区分８９に達する。この管路区分８９
は、第１の横孔８８に対して吸込み側に設けられている第２の横孔９０にまで延
びている。両横孔８８，９０は互いにほぼ垂直になるように方向付けられている
。横孔９０は、互いに反対側に位置している溝区分９１に開口し、これらのみ俗
分９１は、溝区分８９に対してほぼ９０°ずらされている。これによって、戻る
冷却媒体をこれらの溝区分９１を通して伝動装置室１６の領域における横孔４９
にまで導くことができる。

【００３３】 図７に示された実施例ではロータ４は、互いに異なった螺条構成と各１つの中
空室３１′；３１′′とを備えた２つの区分４′，４′′を有している。軸８は
、圧力側のロータ区分４′′の中空室３１′′内にまで延びていて、これによっ
て冷却間隙３２′′を形成している。ガイド部材４４は、図５及び図６に示され
た実施例におけると同様に構成されている。ガイド部材４４は拡大された直径を
もつ区分８４を有しており、この区分８４はロータ区分４′の中空室３１′内に
位置していて、ロータ区分４′の内壁と一緒に冷却間隙３２′を形成している。
ガイド部材４４の、小さな直径を有する別の区分８５は、軸８内における中央の
孔４１を貫通している。ガイド部材４４は、ロータ４の吸込み側にまで延びてい
る中央の孔４５を備えている。

【００３４】 簡単にかつ見易くするために示された解決策では、冷却媒体は中央の孔４５を
介して供給され、区分８４内における横方向の孔４６′を介して吸込み側におい
て冷却間隙３２′内に流入する。旋削部７８′（又は長手方向溝）を介して及び
横孔４６′′を介して、冷却間隙３２′の圧力側の端部は冷却間隙３２′の吸込
み側の端部と接続されており、その結果両方の冷却間隙３２′，３２′′は相前
後して冷却媒体によって貫流される。別の旋削部７８′′を介して冷却間隙３２
′′の圧力側の流出開口４７′′は、伝動装置室１６の高さにおいて流出開口４
９と接続されている。この解決策においても、ガイド部材４４を同時に抗張部材
（Zuganker）として、つまりロータ区分４′を固定するために使用することがで
きる。

【００３５】 もちろん図９に示された構成においても、冷却媒体の供給管路及び排出管路を
次のように、すなわち冷却媒体が冷却間隙３２′，３２′′に別個に及び／又は
向流において供給されるように、構成することが可能である。

【００３６】 図５〜図７に示された解決策は特に、ロータ３，４が片持ち式に支承されてい
ると有利である。それというのはこのようになっていると、ガイド部材４４を例
えばプラスチックのような軽い材料から製造することができるからである。これ
によってロータの、軸受から離れている質量を小さく保つことができる。プラス
チック又はそれに類した材料を使用することには、さらにまた一般的に、流入す
る冷却媒体と流出する冷却媒体との間において熱伝導性の不良な材料が存在する
という、利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるスクリュ型真空ポンプを示す断面図である。

【図２】 スクリュ型真空ポンプの片持ち式に支承された２つのロータのうちの１つを示
す断面図であって、ガイド部材の１実施例を示す図である。

【図３】 スクリュ型真空ポンプの片持ち式に支承された２つのロータのうちの１つを示
す断面図であって、ガイド部材の別の実施例を示す図である。

【図４】 冷却間隙を外方に向かって移動させる手段を備えたロータを示す断面図である
。

【図５ａ】 ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す縦断面図である。

【図５ｂ】 ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す横断面図である。

【図６】 ガイド部材が冷却間隙を制限する実施例を示す斜視図である。

【図７】 ２つの区分から成るロータを備えた実施例を示す縦断面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H029 AA03 AA16 AA18 AB06 BB12 BB43 BB50 CC08 CC16 CC22 CC46 CC48

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スクリュ型真空ポンプであって、２つの軸（７，８）と、該
   軸によって保持された各１つのロータ（３，４）とが設けられていて、該ロータ
   （３，４）が各１つの中空室（３１）を有しており、各中空室（３１）内に別の
   中空室（３２）が設けられていて、該別の中空室（３２）が、冷却媒体回路の一
   部であり、軸（７，８）が圧力側に向かって開放した孔（４１）を有していて、
   該孔（４１）を通して前記別の中空室（３２）に対する冷却媒体の供給・排出が
   行われる形式のものにおいて、軸（７，８）の開放した孔（４１）内に、流入す
   る冷却媒体と流出する冷却媒体とを別個に案内するために働くガイド部材（４４
   ）が設けられていることを特徴とする、冷却式のスクリュ型真空ポンプ。
2. 【請求項２】 軸方向に延びている供給管路及び／又は排出管路が、中心に
   位置する孔又は偏心的に位置する孔として、側部における長手方向溝区分として
   、又は外側の旋削部（リング溝）として、ガイド部材に形成されている、請求項
   １記載のスクリュ型真空ポンプ。
3. 【請求項３】 軸方向及び半径方向の管路区分がガイド部材内に次のように
   、すなわち該管路区分が、供給される冷却媒体と排出される冷却媒体とを別個に
   交差させて案内できるように、配置されている、請求項１又は２記載のスクリュ
   型真空ポンプ。
4. 【請求項４】 長手方向溝又は長手方向溝対（８９）が、冷却媒体の供給の
   ために働き、かつ該長手方向溝又は長手方向溝対（８９）に対して９０°ずらさ
   れた長手方向溝又は長手方向溝対（９１）が、冷却媒体の排出のために働く、請
   求項３記載のスクリュ型真空ポンプ。
5. 【請求項５】 付加的な横孔（８８，９０）を用いて、冷却媒体流が互い違
   いに案内されている、請求項４記載のスクリュ型真空ポンプ。
6. 【請求項６】 軸方向に延びる供給管路及び排出管路が、ほぼ半径方向に延
   びる孔を介して中空室（３２）と接続されている、請求項１から５までのいずれ
   か１項記載のスクリュ型真空ポンプ。
7. 【請求項７】 ガイド部材が３つの区分（６１，６２，６３）から成ってお
   り、該区分（６１，６２，６３）が軸（８）における中空室を３つの部分室（６
   ４，６５，４３）に分割しており、これらの部分室（６４，６５，４３）がそれ
   ぞれ横孔（４６，４７，４９）の高さに位置しており、前記区分（６１，６２，
   ６３）における適宜な孔と、これらの孔を互いに接続する管路区分（６７，６８
   ）とによって、冷却媒体の別個の供給・排出が行われる、請求項１記載のスクリ
   ュ型真空ポンプ。
8. 【請求項８】 冷却媒体を排出するために働く管路が、伝動装置室（１６）
   に開口している、請求項１から９までのいずれか１項記載のスクリュ型真空ポン
   プ。
9. 【請求項９】 軸（７，８）の吸込み側端部が、ロータ（３，４）の圧力側
   端部と結合されており、ガイド部材（４４）がロータ中空室（３１）内にまで延
   びている、請求項１から８までのいずれか１項記載のスクリュ型真空ポンプ。
10. 【請求項１０】 ガイド部材（４４）が、軽い材料、有利にはプラスチック
    から成っている、請求項９記載のスクリュ型真空ポンプ。
11. 【請求項１１】 ロータ（３，４）が穿孔されており、ガイド部材（４４）
    が、軸（７，８）にロータ（３，４）を固定するために抗張部材の機能を果たし
    ている、請求項１から１０までのいずれか１項記載のスクリュ型真空ポンプ。
12. 【請求項１２】 ロータ中空室（３１）の内壁が別の中空室（３２）を制限
    していて、圧力側に向かって円錐形に拡大している、請求項１から１１までのい
    ずれか１項記載のスクリュ型真空ポンプ。
13. 【請求項１３】 別の中空室（３２）が、冷却媒体によって貫流される比較
    的狭い円筒形のリング間隙区分（３２）であり、該リング間隙区分（３２）が、
    組込み体とロータ中空室（３１）の各内壁との間においてかつロータ（３，４）
    の吸込み側と圧力側との間において延びている、請求項１から１１までのいずれ
    か１項記載のスクリュ型真空ポンプ。
14. 【請求項１４】 軸（８）が圧力側においてロータ（４）と結合されており
    、ガイド部材（４４）がロータ（４）内における中空室（３１）内を延びており
    、ガイド部材（４４）とロータ内壁とが冷却間隙（３２）を形成している、請求
    項９又は１３記載のスクリュ型真空ポンプ。
15. 【請求項１５】 リング間隙区分（３２）が直接、軸（７，８）とロータ中
    空室（３１）の内壁との間に位置している、請求項１３記載のスクリュ型真空ポ
    ンプ。
16. 【請求項１６】 軸（７，８）がスリーブ（８７）を備えていて、該スリー
    ブ（８７）の外側面がリング間隙（３２）を制限している、請求項１３又は１５
    記載のスクリュ型真空ポンプ。
17. 【請求項１７】 ロータ（４）が２つの区分（４′，４′′）から成ってお
    り、冷却液によって貫流される２つの室（３２′，３２′′）が設けられていて
    、両室（３２′，３２′′）にガイド部材（４４）における通路を介して冷却液
    が供給される、請求項１から１６までのいずれか１項記載のスクリュ型真空ポン
    プ。
18. 【請求項１８】 軸（７，８）がロータ（４）の圧力側の区分（４′′）を
    貫通しており、吸込み側の区分（４′）が軸（７，８）の圧力側端部と結合され
    ており、ガイド部材（４４）が、吸込み側のロータ区分（４′）の中空室内にま
    で延びていて、室（３２′）を制限している、請求項１７記載のスクリュ型真空
    ポンプ。
19. 【請求項１９】 冷却媒体の流れ方向は、室（３２）が圧力側から吸込み側
    に向かって貫流されるように選択されている、請求項１から１８までのいずれか
    １項記載のスクリュ型真空ポンプ。
20. 【請求項２０】 軸（７，８）の圧力側端部の領域に、冷却媒体ポンプが設
    けられている、請求項１から１９までのいずれか１項記載のスクリュ型真空ポン
    プ。