JP2003509165A - 蒸気相殺菌を行うための方法および装置 - Google Patents
蒸気相殺菌を行うための方法および装置Info
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Abstract
Description
用するチャンバ内部を殺菌するための方法および装置に関する。
内容物を含めてチャンバの内部を殺菌するための用途は多数ある。多数の化合物
が殺菌剤として使用されてきたが、その内のあるものは部分的に有効であり、ほ
かのものは重大な副作用を持つ。何故なら、これらのものは、毒性があったり、
腐食性を持っていたり、または他の環境に対する悪影響を持っているからである
。ホルムアルデヒドは、長い間、コストの安い非常に有効な殺菌剤として使用さ
れてきたが、その安全性について疑惑を持たれていて、環境に対する長い残留性
のために継続的に使用することができない。過酸化水素は、殺菌効果の高い、簡
単でコストの易い化合物である。その主な利点は、全く無害な生成物である水と
酸素に分解できることである。蒸気相の場合には、過酸化水素は、安全キャビネ
ットからクリーン・ルームまでの広さの作業領域を処理するために使用すること
ができる。すべての気相殺菌の場合には、汚染の深い部分は効果的に殺菌されず
、気相殺菌の予備的殺菌として優れた清掃手順が必要である。
設計されてきたので、還流システムおよび再循環システムを通る両方の蒸気の流
れの濃度特に水の濃度が露点以下になるように構成されている。欧州特許EP0
486623B1号、英国特許2217619B号、WO89/06140号お
よび英国特許2308066A号が、このようなシステムを開示している。
殺菌および汚染除去の場合には、過酸化水素のような気相汚染除去剤および水蒸
気の混合物の凝縮が必要不可欠であることを証明している。現在では、過酸化水
素によるガス状表面殺菌は、凝縮プロセスであると考えられているので、凝縮プ
ロセスの利点を使用する目的で、それを最適化する方法をチェックするために、
このプロセスを検討するのは十分理由のあることであると思われる。この知見は
、過酸化水素ガスを使用する殺菌プロセスばかりでなく、その活性のために凝縮
に依存する殺菌ガスの他の混合物にも適用することができる。
スの混合物は、殺菌対象の密封したチャンバを通して循環し、次に、ガス混合物
を生成し、制御するために装置を通る。装置に戻るガスからは、すべての過酸化
水素が除去され、もっと多くの水蒸気、および過酸化水素ガスが添加される前に
乾燥が行われる。この清掃および乾燥プロセスは無駄である場合が多い。何故な
ら、循環ガスから除去される蒸気を置換しなければならないので、凝縮が密封チ
ャンバ内で発生する場合があるからである。これらの蒸気を除去する唯一の理由
は、過酸化水素ガスの濃度が分解のために減少している場合があるからである。
水素内で報告されているように、高温の時だけに発生することが、現在では分か
っている。WALTER C.SCHUMB、CHARLES N. SATT
ERFIELD、RALPH L.WENTWORTH、AMERICAN C
HEMICAL協会、モノグラフ・シリーズ、カタログ・カード番号55−78
07、8章。しかし、分解は、触媒的に表面で起こるが、その量は非常に少ない
ように見える。現在まで、どの観察者も、酸素濃度の測定できるほどの増大を観
察していないし、測定した過酸化水素ガスの濃度は、空気の流れ内に蒸発する元
の水溶液の飽和蒸気圧と非常によく一致する。それ故、すべての現象は、過酸化
水素の蒸気相分解の量は非常に少ないことを示している。
パラメータは、この凝縮を達成することができる速度である。密封エンクロージ
ャ内で凝縮のために使用することができる過酸化水素蒸気の量は、チャンバに供
給される蒸気濃度と、チャンバから出てゆく濃度により異なる。これら2つの量
の違いは、凝縮のフィルムを形成するのに使用することができる過酸化水素の量
である。
の流れの温度により異なる。水性殺菌溶液の凝縮液は、ガスの流れ内に蒸発して
、ガスの全水量になる。全システムを通して殺菌蒸気を送るために使用される、
通常は、空気であるキャリヤガスは、乾燥システムを通過した後でも、決して完
全な乾燥状態にならない。キャリヤガス内のこの追加の水分は、過酸化水素を少
し希釈し、この追加の水分は、ガスが運ぶことができる過酸化水素の量を低減す
る。密封チャンバから出てゆく蒸気の濃度は、安定した状態になった後では、密
封チャンバの出口のところの状態に対する飽和蒸気圧により決まる。それ故、僅
かな量の分解だけが起こったと仮定した場合には、凝縮速度は、チャンバに供給
されるガスの濃度、およびチャンバから出ていくガスの温度により異なる。
の最も重要な要因は、確実にプロセスを成功させることであり、第2の要因は、
できるだけ短時間の間に殺菌を行うことである。確実に殺菌を行うために最もよ
く使用される方法は、あるサイクルを開発し、生物学的インジケータにより性能
を試験するという方法である。このサイクルの開発は、殺菌サイクルの各相の最
適化を含む。これは複雑な問題である。何故なら、ガス濃度および流れの明白な
考慮対象の他に、最適化プロセス中に考慮しなければならないパラメータが多数
存在するからである。もっとハッキリしない考慮対象としては、相対湿度の初期
値、すべての微生物の水分、凝縮速度、およびすべての微生物を殺菌するために
、凝縮液が掛けることができる時間の長さ等がある。このサイクルの終わりに殺
菌ガスを除去するために使用する方法も、全サイクル時間にハッキリした影響を
持つ。
により固定されるが、例えば、サイクルの効果に影響を持つ外部温度のような、
変化するかもしれない任意の外部要因は考慮に入れない。
のあるものが変化すると、正しく開発した場合でも、うまくいかなくなる場合が
あることである。この問題を克服する最もよい方法は、同一のサイクルを実行す
るために、一組の所定の要因を使用するのではなく、実際に殺菌を行うこれらパ
ラメータを測定し、サイクルを制御するためにこれらの測定値を使用することで
ある。サイクルを制御するために上記測定値を使用する上記方法は、プロセスを
取巻く状況の任意の変化に対抗するために、サイクルの詳細な点を変更しなけれ
ばならなくなる。
点を持つ。何故なら、上記プロセスは、効果がそれ以上に大きくならない点まで
進行するからである。確実に効果をあげるために、サイクルに大きな安全のため
の余裕を与える必要はない。何故なら、効果のある点が、測定値から分かるから
である。
クルの重要な殺菌段階中に、水蒸気および殺菌ガスの混合物を除去するステップ
を必要としない再循環システムを提供することである。
に、エンクロージャ内の相対湿度を約30〜40%に低減するステップと、エン
クロージャにキャリヤガスを循環させるステップと、循環ガスの温度を周囲温度
以上に上昇させるステップと、ガスを本質的に飽和させるのに十分な循環キャリ
ヤガスに、1種類の殺菌蒸気または複数の種類の殺菌蒸気を供給し、それにより
、エンクロージャ内の温度が下がった場合に、エンクロージャ内の表面上に、殺
菌蒸気の凝縮液が形成されるステップと、エンクロージャのすべての表面上に、
確実に凝縮液が形成されるように、エンクロージャ全体を通して、ガス/蒸気を
分配するステップと、エンクロージャの表面上に形成された凝縮液の量を測定し
、エンクロージャ内に必要な量の凝縮液が形成されるまで、ガス/蒸気を継続的
に循環させ、所定の時間の間、上記表面上に凝縮液を維持するために、飽和ガス
/蒸気を継続的に循環させながら、また、最後にキャリヤガスから殺菌蒸気を抽
出しながら、また、エンクロージャから凝縮液を抽出するために、エンクロージ
ャを通してキャリヤガスを継続的に循環させながら、キャリアガスに対する殺菌
蒸気の供給を終了するステップを含む。
ガスから殺菌蒸気を抽出することが好ましい。
。この場合、循環ガスと一緒に、チャンバから抽出した過酸化水素に対して、過
酸化水素を水蒸気および酸素に分解するために触媒作用が行われる。水蒸気は、
ガスがエンクロージャを通して再循環する前に、ガスから抽出される。
キャリヤガスを循環し、チャンバの外部で、循環ガスから水蒸気を抽出すること
により実行することができる。
さらに、エンクロージャは、エンクロージャ内の表面を確実に乾燥させるために
、エンクロージャの大きさおよびガスの流速により、ある時間の間上記の低減し
た相対湿度に保持することができる。
クロージャ、およびエンクロージャへの入り口およびエンクロージャからの出口
を持つ流れ経路を通してキャリヤガスを循環するステップを含み、この場合、上
記流れ経路は、平行な複数のブランチを持ち、およびその中の一方のブランチ内
において、上記ガスの流れ内のすべての殺菌剤が廃棄するのに適したものになり
、ガス内のすべての水蒸気が減少し、他方のブランチ内においては、キャリヤガ
スが加熱され、ガスに殺菌剤が添加される方法であって、該方法は、さらに、最
初に、キャリヤガスを上記一方のブランチを通して循環させるステップと、エン
クロージャ内のガスの水分を監視し、エンクロージャの上記表面が比較的乾燥し
た状態になるように、エンクロージャ内の相対湿度が、所定のレベルに低減した
場合に、上記一方のブランチを通してのキャリヤガスの流れを停止するステップ
と、上記他方のブランチを通してキャリヤガスの流れをスタートさせ、殺菌剤の
凝縮がエンクロージャ内で起こるまで上記他方のブランチを通過するガスに、1
種類の殺菌蒸気または複数の種類の殺菌蒸気を添加するステップと、キャリヤガ
スへの殺菌剤の供給を停止するステップと、上記他のブランチを通る流れがそこ
で終わるエンクロージャを確実に殺菌するために、所定の時間の間、殺菌蒸気で
実質的に飽和したキャリヤガスを継続的に循環させるステップと、キャリヤガス
の相対湿度を低減するために、殺菌剤を廃棄するのに適した形にする目的で、ガ
ス・エンクロージャから殺菌剤を抽出するために、上記一方のブランチを通るキ
ャリヤガスの流れの向きを変えるステップとを含む。
の入り口を閉じた状態で、他方のブランチへの入り口を開けることもできるし、
その逆を行うこともできる。例えば、弁手段により、一方のブランチに流れを供
給し、他方のブランチに流れを供給しないようにすることもできるし、その逆を
行うこともできる。
内の平行なブランチの一方または他方に沿ってガスを流すこともできる。
、殺菌対象の上記エンクロージャを、エンクロージャと閉回路を形成するように
接続することができるキャリヤガスを流すための回路と、エンクロージャを含む
上記回路を通してキャリヤガスを循環させるための手段と、エンクロージャおよ
びその表面を乾燥させるために、循環ガスから水蒸気を除去するための手段と、
循環ガスの温度を周囲温度以上に上昇させるための手段と、エンクロージャ内の
温度が下がった場合に、エンクロージャ内の上記表面上に、凝縮液が形成するた
めに、上記循環ガスに1種類の殺菌蒸気または複数の種類の殺菌蒸気を供給する
ための手段と、エンクロージャ内のすべての表面上に確実に凝縮液が形成される
ように、エンクロージャ全体を通してガス/蒸気を分配するための手段と、エン
クロージャの上記表面上に形成された凝縮液の量を測定し、必要なレベルの凝縮
液が形成された場合に、キャリヤガスへの殺菌剤の蒸気の供給を停止するための
手段とを備え、エンクロージャから凝縮液を抽出するために、キャリヤガスの循
環が継続して行われる。
は、1種類のガスまたは複数の種類のガスを流すための回路を備え、該回路は、
それと閉回路を形成するために、回路内に殺菌対象のエンクロージャを収容し、
接続するための手段と、回路およびエンクロージャを通してガスを循環させるた
めのものであって、回路内に平行な複数のブランチを持つ手段とを備え、その場
合、その内の一方のブランチが、上記回路を通して流れるキャリヤガスに添加さ
れる殺菌剤を不活性化する手段と、ガスから湿気を除去するための手段とを備え
、他方のブランチが、ガスを加熱する手段と、ガスに1種類の殺菌蒸気または複
数の種類の殺菌蒸気を供給するための手段とを含み、上記装置が、さらに、平行
な複数のブランチの内のどれをガスが流れるのかを決定するための制御手段を備
え、該制御手段が、相対湿度が所定のレベル以下に下がるまで開いている上記一
方のブランチ通路流れる流れを維持し、次に、そのブランチ通る流れを停止し、
上記他方のブランチ内の流れをスタートさせるために、エンクロージャから出て
くるガスの相対湿度を測定するための手段と、必要な量の凝縮液がエンクロージ
ャ内で形成された場合に、上記他方のブランチ内の流れを停止し、上記一方のブ
ランチ内の流れをスタートさせるために、エンクロージャ内の凝縮液を測定する
ための手段とを含む。
殺菌速度が達成され、20%溶液の場合には、殺菌速度がさらに早くなることが
分かっている。ガス状表面殺菌は、マクロな凝縮プロセスであると考えるので、
このプロセスは、P.スオートリングおよびB.リンドグレン、J.デアリーレ
ス(1968)年35,423の、「異なる温度および濃度での過酸化水素のバ
チラス・サブチリスの胞子に対する殺菌効果」に記載されている研究に類似して
いると見なすことができる。この文献は、ガス状凝縮プロセスにより達成するこ
とができる予想結果の優れたガイドブックである。
、殺菌を行うことができることを示唆している。実際には、このような分解は、
ガス濃度データが示すように非常に少量である。
に説明する。
通気のための二重回路を内蔵する、全体を参照番号11で示す内蔵装置を備える
。キャリヤガス、すなわち、空気および1種類の殺菌ガスまたは複数の種類の殺
菌ガスは、チャンバを装置に流体により接続している密封接続部を通して、密封
チャンバから装置内に導入される。
測定デバイス15を含むガス流れ回路12を備える。ガス・モニタは、ガス濃度
に比例する信号を発生する電気機械セルであるが、近赤外線分光光度計も使用す
ることができる。適当な温度および湿度センサ14は、通常、単体の市販の道具
として入手することができ、過酸化水素の蒸気に腐食されない上記任意のデバイ
スならこの用途に適している。最も適当で、コスト・パフォーマンスもいい流れ
測定システム15は、通常は、オリフィス・プレートであり、流れの中の制限素
子の両端の圧力差の測定に基づいている。
ムは、容易に入手できないが、形成された凝縮液の質量を示すチャンバ内の表面
の反射率の変化に依存するいくつかの方法が開発されている。測定装置を含む他
の方法は、チャンバの外側に装着される。
に別れている。各ブランチは、1つのファン18、19を持ち、各ファンは、関
連する逆止弁21を持つ。システムの周囲で、循環ガスを強制的に運動させるの
に必要な圧力は、通常大きな圧力ではないので、このような用途の場合には、標
準可変速度遠心ファンで十分である。逆止弁は、間違った方向に流れを逆流させ
ないために必要なものである。この用途の場合には、簡単なフラップ・デバイス
だけで十分である。第1の平行ブランチ17内においては、キャリヤガスから1
種類の殺菌ガスまたは複数の種類の殺菌ガスを不活性化し、除去するためのシス
テムが22位置していて、またガスの流れから湿気を除去するためのもう1つの
システム23も位置している。湿気除去システムの下流には、循環ガスの温度を
上昇させるために、ヒータ24が位置している。殺菌ガス用の不活性化システム
は、蒸気を無害な成分に分解する触媒床を備える。過酸化水素に対する適当な触
媒としては、ガスを水蒸気と酸素に分解する不活性ペレット上のルテニウムがあ
る。
方法は、冷蔵システムによりガス温度を下げる方法である。温度が下がると、分
解生成物と一緒に水蒸気が凝縮する。結果として得られる凝縮液および分解生成
物は、ポンプで除去される。湿気を除去した後で、循環ガス温度を上昇させるこ
とが必要であり、電気ヒータ24または他の加熱手段が、その目的のために湿気
除去装置の下流に設置される。
26に入る前に、ガス温度を上昇させるためのヒータ25が設置されている。液
体殺菌剤供給源27は、蒸発装置への液体の流れを制御する。
は、液体殺菌剤が、重力下で、液体の流れを加熱面に滴下することにより蒸発す
るフラッシュ蒸発装置である。殺菌剤供給源からの液体の流れは、流れ測定シス
テムにより制御される可変速度ポンプにより、選択された速度で加熱面に送られ
る。密封チャンバ10に入るガス温度は、標準温度プローブにより28のところ
で測定される。チャンバ10へのガスの流入は、チャンバのすべての部分に高温
、高速でガスを噴出する回転ノズル装置を含むガス分配システム29を通して行
われる。さらに、圧力を上げたり、下げたりするために、回路内のガス圧を制御
するためのシステムを設置する必要がある。
じ参照番号がついている。図2の場合には、1種類のガスまたは複数の種類のガ
スが、ポンプ30の1つのファンにより、システムの周囲を駆動される。ファン
またはポンプからのガスまたはガス混合物は、ポートAを接続ポートCに接続す
ることにより、第1の平行ブランチの方向、またはポートAをポートBに接続す
ることにより、第2の平行ブランチの方向に流れを向ける三方弁31に送られる
。上記弁は、通常、電気駆動三方ボール弁である。
湿度を下げるステップと、次に、1種類の殺菌ガスまたは複数の種類の殺菌ガス
の水蒸気を含むキャリヤガスを循環させるステップと、最後に、1種類の殺菌ガ
スまたは複数の種類の殺菌ガスを除去するステップとを含む。
乾燥状態にするために、必要不可欠なものである。第2の段階中、1種類の殺菌
ガスまたは複数の種類の殺菌ガスは、密封チャンバ内にできるだけ多くの殺菌剤
を導入するために、高温で密封チャンバに送られる。第3の段階で、最後の段階
は、1種類の活性ガスまたは複数の種類の活性ガスを除去するために、密封チャ
ンバ内にクリーンで乾燥しているガスを通過させることにより、1種類の殺菌ガ
スまたは複数の種類の殺菌ガスを除去する段階である。
1のステップは、相対湿度を予め選択した数値に低減するためのものであり、第
2のステップは、密封チャンバが安定した状態になるように、相対湿度をその数
値に維持するためのものである。
合の第2の段階も2つのステップから成る。第1のステップは、濃度を高くし、
表面上に必要なレベルの凝縮液を生成するためのものであり、第2の滞留ステッ
プは、凝縮液が、微生物に、働きかけることができるようにするためのものであ
る。凝縮液のレベルは、第2の段階の第1のステップ中に測定され、必要なレベ
ルを達成した場合、1種類の殺菌ガスまたは複数の種類の殺菌ガスの供給は停止
するが、関連する飽和蒸気を含むキャリヤガスは引き続き循環を続ける。循環飽
和蒸気は、凝縮液の層の蒸発を防止し、液体フィルムは、微生物に働き掛けるこ
とができる。
の種類の殺菌ガスと一緒にキャリヤガスが、活性ガスを無害にするために、シス
テムを通って循環し、その結果、上記ガスを除去することができ、同時に、湿気
除去装置内の水蒸気が除去される。次に、キャリヤガスは、密封チャンバに戻り
、そこで、もっと多くの1種類の活性ガスまたは複数の種類の活性ガスを回収し
、そのため、さらに、活性成分のレベルが低下する。このプロセスは、活性成分
が許容レベルに低下するまで継続して行われる。 1.相対湿度(RH)は、殺菌サイクルの始めのところで制御しなければなら
ない。我々は、最適値を30〜40%の範囲に確立した。RHの初期値について
考慮しなければならない点が2つある。第1の点は、可能な最短のサイクルを入
手することであり(そうするためには、RHを約35%に低減しなければならな
い)、第2の点は、再現可能なサイクルを達成することである。再現性は、相対
湿度の同じ最初の数値を使用することにより異なり、この始動数値は、当然局所
的条件により35%より高くしなければならない。相対湿度に対して35%の初
期値を達成するのは、何時でもできることではないので、同じ初期値を何時でも
使用することが非常に重要なことである。相対湿度の数値が高いと、殺菌を行う
ために必要な時間が長くなる。何故なら、表面に形成される凝縮液が、存在する
全部の水により希釈されるからである。 2.凝縮液の量も重要である。多すぎると、殺菌後の表面層を除去する時間が
長くなる。何故なら、表面を乾燥させるのに時間が掛かるからである。凝縮液の
形成量が不十分な場合には、殺菌が行われない。この表面層の正確な測定は、こ
のプロセスにとって必要不可欠なものである。 3.上記のソートリング等の研究により、凝縮液を効果のあるものにするため
には、ある長さの「浸漬」時間が必要であることは明らかである。この「浸漬」
時間は、滞留時間として殺菌サイクルに組み込まれるが、確実に完全に殺菌を行
うためには、この滞留時間内に、安全のための余裕を含ませる必要がある。この
時間的な長さは、通常、安全のための余裕を含めて数分間程度である。 4.チャンバ内に流入する高温ガスの分配も重要である。ガスがチャンバに入
ると、ガスが急速に冷却し始め、凝縮液を形成し始める。ガスがチャンバに入る
時に、完全に混合しないと、凝縮のムラがある場所ができる。このような事態が
発生すると、チャンバ内の他の領域の凝縮液の量が少なくなり、すべての領域内
を完全に殺菌するには、過剰な量のガスが必要になる。この過剰なガスは、不均
等に分配され、チャンバを通常の使用状態に戻す必要がある場合には、サイクル
の終わりに、除去するのにもっと長い時間が掛かる。 5.チャンバから出てくるガスの濃度および温度の測定値から、システム内の
蒸気圧が飽和状態になったことが分かる。これは重要なパラメータではないが、
凝縮液の形成を示す。濃度が低すぎ、凝縮液が形成されない場合には、サイクル
を中止しなければならないし、測定値によりそれを確認できる。
表面を確実に平衡状態にするためには、チャンバをこのレベルに数分間維持しな
ければならない。 2.1種類の殺菌ガスまたは複数の種類の殺菌ガスおよび水蒸気を高温でチャ
ンバ内に導入し、凝縮液の平らな層が形成されるように分配する。凝縮液の量を
測定し、十分な量になった場合には、水蒸気ゼネレータをオフにする。 3.殺菌を行うために、十分長い時間の間、1種類の凝縮ガスまたは複数の種
類の凝縮ガスおよび水を表面上に維持する。 4.滞留時間の終わりに、チャンバに、表面の凝縮液を蒸発させ、それにより
チャンバから消失するクリーンで乾燥した空気を導入する。
内容物を殺菌するためのチャンバに接続している密封チャンバと、2つのポンプ
またはファンを持つ殺菌回路の略図である。
内容物を殺菌するためのチャンバに接続している密封チャンバと、1つのポンプ
またはファンを持つ回路のもう1つの形態の略図である。
Claims (22)
- 【請求項1】 密封可能なエンクロージャの殺菌方法であって、最初に、エ
ンクロージャ内の相対湿度を約30〜40%に低減するステップと、前記エンク
ロージャにキャリヤガスを循環させるステップと、前記循環ガスの温度を周囲温
度以上に上昇させるステップと、ガスを本質的に飽和させるのに十分な前記循環
キャリヤガスに、1種類の殺菌蒸気または複数の種類の殺菌蒸気を供給し、それ
により、エンクロージャ内の温度が下がった場合に、前記エンクロージャ内の表
面上に、前記殺菌蒸気の凝縮液が形成されるステップと、前記エンクロージャの
すべての表面上に、確実に前記凝縮液が形成されるように、前記エンクロージャ
全体を通して、前記ガス/蒸気を分配するステップと、前記エンクロージャの表
面上に形成された凝縮液の量を測定し、前記エンクロージャ内に必要な量の凝縮
液が形成されるまで前記ガス/蒸気を継続的に循環させ、所定の時間の間、前記
表面上に前記凝縮液を維持するために、前記飽和ガス/蒸気を継続的に循環させ
ながら、また、最後に前記キャリヤガスから前記殺菌蒸気を抽出しながら、また
、前記エンクロージャから凝縮液を抽出するために、前記エンクロージャを通し
て前記キャリヤガスを継続的に循環させながら、前記キャリアガスに対する殺菌
蒸気の供給を終了するステップとを含む方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の方法において、前記蒸気を廃棄することがで
きる成分に分解することにより、前記キャリヤガスから前記殺菌蒸気が抽出され
る方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の方法において、前記殺菌蒸気
が、過酸化水素および水蒸気である方法。 - 【請求項4】 請求項3記載の方法において、前記循環ガスと一緒に、前記
チャンバから抽出した前記過酸化水素に対して、過酸化水素を水蒸気および酸素
に分解するために触媒作用を行い、前記水蒸気が、前記ガスが前記エンクロージ
ャを通して再循環する前に、前記ガスから抽出される方法。 - 【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法において
、前記エンクロージャ内の前記相対湿度を低減する前記最初のステップが、前記
チャンバを通して前記キャリヤガスを循環させ、前記チャンバの外部で、前記循
環ガスから水蒸気を抽出することにより実行される方法。 - 【請求項6】 前記請求項のいずれか1項に記載の方法において、前記エン
クロージャ内の相対湿度を約35%に低減する方法。 - 【請求項7】 前記請求項のいずれか1項に記載の方法において、前記エン
クロージャ内の前記表面を確実に乾燥させるために、前記エンクロージャの大き
さおよびガスの流速により、ある時間の間、前記エンクロージャを前記低減した
相対湿度に保持する方法。 - 【請求項8】 前記請求項のいずれか1項に記載の方法において、前記表面
を確実に殺菌するために、所定の時間の間、前記凝縮液を前記エンクロージャ内
の前記表面上に維持する方法。 - 【請求項9】 密封可能なエンクロージャの殺菌方法であって、前記エンク
ロージャ、および前記エンクロージャへの入り口および前記エンクロージャから
の出口を持つ流れ経路を通してキャリヤガスを循環するステップを含み、前記流
れ経路は、平行な複数のブランチを持ち、およびその中の一方のブランチ内にお
いて、前記ガスの流れ内のすべての殺菌剤が、廃棄するのに適したものになり、
前記ガス内のすべての水蒸気が減少し、他方のブランチ内においては、前記キャ
リヤガスが加熱され、前記ガスに殺菌剤が添加される方法であって、さらに、最
初に、前記キャリヤガスを前記一方のブランチを通して循環させるステップと、
前記エンクロージャ内の前記ガスの水分を監視し、前記エンクロージャの前記表
面が比較的乾燥した状態になるように、前記エンクロージャ内の相対湿度が、所
定のレベルに低減した場合に、前記一方のブランチを通してのキャリヤガスの流
れを停止するステップと、前記他のブランチを通して前記キャリヤガスの流れを
スタートさせ、前記殺菌剤の凝縮が前記エンクロージャ内で起こるまで、前記他
のブランチを通過する前記ガスに、1種類の殺菌蒸気または複数の種類の殺菌蒸
気を添加するステップと、前記キャリヤガスへの殺菌剤の供給を停止するステッ
プと、前記他方のブランチを通る流れがそこで終わる前記エンクロージャを確実
に殺菌するために、所定の時間の間、殺菌蒸気で実質的に飽和した前記キャリヤ
ガスを継続的に循環させるステップと、前記キャリヤガスの相対湿度を低減する
ために、前記殺菌剤を廃棄するのに適した形にする目的で、前記ガス・エンクロ
ージャから前記殺菌剤を抽出するために、前記一方のブランチを通るキャリヤガ
スの流れの向きを変えるステップとを含む方法。 - 【請求項10】 請求項9記載の方法において、前記ブランチの一方または
他方を通して流れを供給するために、一方のブランチへの入り口を閉じた状態で
、他方のブランチへの入り口を開け、またその逆を行う方法。 - 【請求項11】 請求項10記載の方法において、弁手段により、一方のブ
ランチ内に流れることができ、他方のブランチ内に流れることができないように
したり、またその逆を行うこともできる方法。 - 【請求項12】 請求項10記載の方法において、前記キャリヤガスを循環
させるために、前記流れ経路内でポンプ手段を使用する方法。 - 【請求項13】 請求項10記載の方法において、ポンプ手段が前記複数の
平行なブランチ内に設置され、前記流れ経路内の前記複数の平行ブランチの一方
または他方に沿ってガスを流すために使用される方法。 - 【請求項14】 請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の方法にお
いて、前記水蒸気を凝縮させるために前記ガスを冷却し、結果として得られる凝
縮液を除去することにより、前記一方のブランチ内の前記ガスから水蒸気を除去
する方法。 - 【請求項15】 請求項14記載の方法において、前記一方のブランチ内で
冷却した前記ガスが、前記冷却ステップの後で加熱される方法。 - 【請求項16】 密封可能なエンクロージャの殺菌装置であって、殺菌対象
の前記エンクロージャを、前記エンクロージャと閉回路を形成するように接続す
ることができるキャリヤガスを流すための回路と、前記エンクロージャを含む前
記回路を通してキャリヤガスを循環させるための手段と、前記エンクロージャお
よびその表面を乾燥させるために、前記循環ガスから水蒸気を除去するための手
段と、前記循環ガスの温度を周囲温度以上に上昇させるための手段と、前記エン
クロージャ内の温度が下がった場合に、前記エンクロージャ内の前記表面上に、
凝縮液が形成するために、前記循環ガスに、1種類の殺菌蒸気または複数の種類
の殺菌蒸気を供給するための手段と、前記エンクロージャ内のすべての表面上に
、確実に凝縮液が形成されるように、前記エンクロージャ全体を通して前記ガス
/蒸気を分配するための手段と、前記エンクロージャの前記表面上に形成された
凝縮液の量を測定し、必要なレベルの凝縮液が形成された場合に、前記キャリヤ
ガスへの殺菌剤の蒸気の供給を停止するための手段とを備え、前記エンクロージ
ャから凝縮液を抽出するために、キャリヤガスの循環が継続して行われる装置。 - 【請求項17】 請求項16記載の装置において、前記エンクロージャから
抽出した前記殺菌剤を廃棄することができる成分に分解するための手段を備える
装置。 - 【請求項18】 請求項17記載の装置において、殺菌剤が過酸化水素およ
び水蒸気であり、前記殺菌剤を分解するための手段が、過酸化水素を水蒸気と酸
素に分解するために、過酸化水素に作用する触媒手段を備える装置。 - 【請求項19】 請求項16から請求項18のいずれか1項に記載の装置に
おいて、前記循環キャリヤガスの相対湿度を低減するための前記手段が、凝縮に
より、そこから湿気を抽出するために、前記ガスを冷却するための冷蔵手段と、
前記凝縮プロセスの後で、前記ガスを周囲温度以上に加熱するための手段とを備
える装置。 - 【請求項20】 密封可能なエンクロージャの殺菌装置であって、1種類の
ガスまたは複数の種類のガスを流すための回路であって、前記回路が、それと閉
回路を形成するために、前記回路内に殺菌対象のエンクロージャを収容し、接続
するための手段と、前記回路およびエンクロージャを通してガスを循環させるた
めのものであって、前記回路内に平行な複数のブランチを持つ手段とを備え、そ
の内の一方のブランチが、前記回路を通して流れる前記キャリヤガスに添加され
る殺菌剤を不活性化する手段と、ガスから湿気を除去するための手段とを備え、
他方のブランチが、前記ガスを加熱する手段と、前記ガスに1種類の殺菌蒸気ま
たは複数の種類の殺菌蒸気を供給するための手段とを含み、前記装置が、さらに
、平行の複数のブランチの内のどれをガスが流れるのかを決定するための制御手
段を備え、前記制御手段が、前記相対湿度が、所定のレベル以下に下がるまで開
いている前記一方のブランチ通路を流れる流れを維持し、次に、そのブランチを
通る流れを停止し、前記他方のブランチ内の流れをスタートさせるために、前記
エンクロージャから出てくる前記ガスの前記相対湿度を測定するための手段と、
必要な量の凝縮液が前記エンクロージャ内で形成された場合に、前記他方のブラ
ンチ内の流れを停止し、前記一方のブランチ内の流れをスタートさせるために、
前記エンクロージャ内の凝縮液を測定するための手段とを含む装置。 - 【請求項21】 請求項20記載の装置において、前記回路を周囲を通して
ガスを流すために、前記エンクロージャと前記回路の前記平行な複数のブランチ
との間の、前記回路内に1つのファンが設置され、前記ブランチの一方または他
方を通して流れることができるように、選択的に動作することができる前記第1
のブランチおよび第2のブランチの入り口のところに弁手段が設置されている装
置。 - 【請求項22】 請求項20記載の装置において、前記ブランチの一方また
は他方を通してガスを流すために、選択的に動作することができる複数のファン
が、前記回路内の両方のブランチ内に設置されている装置。
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