JP5572105B2 - 除染方法、及び、その除染方法の実施に使用する除染システム - Google Patents

Description

本発明は、キャリア気体に過酸化水素蒸気を混合して過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを生成し、この除染用ガスを２室以上の除染対象室に並列的に分配供給して、それら除染対象室を同時に除染する除染方法、及び、その除染方法の実施に使用する除染システムに関する。

従来、除染方法に関して特許文献１には、過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを用途の異なる２室以上の除染対象室に並列的に分配供給して、それら用途の異なる２室以上の除染対象室を同時に除染する同時除染と、それら除染対象室の中から選択した１つの除染対象室にのみ除染用ガスを供給して、その１つの除染対象室のみを除染する単独除染とのいずれかを選択的に実施する除染方法が示されている。

この除染方法では、同時除染を選択した場合、先ず、空調機で所定温湿度に調整した調整用空気を用途の異なる２室以上の除染対象室に並列的に分配供給することで、それら除染対象室の室内を除染に好適な共通の温湿度状態（例えば、温度２５℃、相対湿度３０％）に調整する。

そして、この温湿度状態の調整後、それら２室以上の除染対象室に除染用ガスを並列的に分配供給して、それら除染対象室における室内の過酸化水素蒸気濃度を共通の目標濃度（例えば、３００ｐｐｍ）まで高め、これにより、それら用途の異なる２室以上の除染対象室を同時に除染する。

一方、単独除染を選択した場合、選択した１つの除染対象室にのみ所定温湿度の調整用空気を供給することで、その除染対象室の室内を除染に好適な上記共通の温湿度状態に調整し、その後、その１つの除染対象室にのみ除染用ガスを供給して、その除染対象室の室内過酸化水素蒸気濃度をその除染対象室の用途に応じた目標濃度（例えば、８００ｐｐｍ）まで高め、これにより、その除染対象室のみを単独に除染する。

特開２００８−１１９２６

ところで、過酸化水素蒸気を用いる除染には、大別して、除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を除染対象室の室内において凝縮させない乾式除染と、除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を除染対象室の室内において凝縮させる湿式除染とがあり、乾式除染は、室内物品の腐食を招き難い利点があるものの湿式除染に比べ除染効果が低く、一方、湿式除染は、高い除染効果を得られるものの室内物品の腐食を招き易い問題がある。

このことから、医薬品や食品の生産施設などにおいて過酸化水素蒸気を用いた除染を行なう場合、除染対象室の用途や構造などに応じて乾式除染か湿式除染かのいずれかを選択することが必要な場合が多く、例えば、種々の機器類や物品が存在する腐食トラブルの可能性の高い製造室などでは乾式除染が採用され、その乾式除染の実施において過酸化水素蒸気の室内凝縮が不測に生じないようにすることが要求される。

また、製造室に対する物品の搬出入に用いるパスボックスなどでは、外部からの製造室汚染を防止するため十分な除染が必要であるものの腐食トラブルの可能性は低いことから湿式除染が採用され、その湿式除染の実施において過酸化水素蒸気の室内凝縮が確実に生じるようにすることが要求される。

しかし、特許文献１に示される前述の除染方法において同時除染を採用した場合、用途の異なる２室以上の除染対象室を同時に除染し得ることで、施設全体としての除染管理を容易にする、あるいはまた、施設全体としての除染に要する時間を短縮し得るなどの利点が得られるものの、それら同時除染を行なう除染対象室の夫々について乾式除染を採用するか湿式除染を採用するかを個別に選択することができない制約が生じる。

そして、この制約の為、腐食トラブルの防止上、同時除染を行なう除染対象室の全てを除染効果の低い乾式除染で同時除染することが必要になり、そのことで、十分な除染が要求される一部の除染対象室（例えば、前記パスボックスなど）について除染が不十分になり易い、また結局は、その一部の除染対象室について単独除染の追加実施が必要になるなどの問題が生じ、この点、未だ同時除染について改善の余地があった。

この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、合理的な除染方法をもって同時除染を行なうことにより、上記の如き問題を効果的に解消する点にある。

本発明の第１特徴構成は除染方法に係り、その特徴は、
キャリア気体に過酸化水素蒸気を混合して過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを生成し、
この除染用ガスを２室以上の除染対象室に並列的に分配供給して、それら除染対象室を同時に除染する除染方法であって、
前記２室以上の除染対象室は、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させない乾湿除染を実施する乾式除染対象室と、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させる湿式除染を実施する湿式除染対象室とに組み分けし、
除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給するのに先立ち、温湿度調整された調整用空気を各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室の室内を除染に適した温湿度状態に調整する準備運転を実施し、
この準備運転では、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ難い乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、前記湿式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ易い湿式除染用の温湿度状態に調整し、
この準備運転の完了に続き、除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給する除染運転を実施し、
この除染運転では、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室において乾式除染状態を現出させるとともに、前記湿式除染対象室において湿式除染状態を現出させる点にある。

つまり、除染対象室の室内が高温低湿で過酸化水素蒸気の濃度が低いほど、過酸化水素蒸気の室内凝縮は生じ難く、逆に、除染対象室の室内が低温高湿で過酸化水素蒸気の濃度高いほど、過酸化水素蒸気の室内凝縮は生じ易い。

このことから、この除染方法では、温湿度調整した調整用空気を各除染対象室に並列的に分配供給する準備運転において、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで、乾式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じ難い温湿度状態に予め調整しておくとともに、湿式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じ易い温湿度状態に予め調整しておく。

そして、このように室内の温湿度状態を調整した上で、除染用ガスを各除染対象室に分配供給する除湿運転において、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、各除染対象室における過酸化水素蒸気の室内濃度を所要濃度まで高めて、乾式除染対象室では乾式除染状態を現出させ、また、湿式除染対象室では湿式除染状態を現出させる。

即ち、この除染方法によれば、２室以上の除染対象室の夫々について、その用途等に応じ乾式除染を採用するか湿式除染を採用するかを個別に選択して、それら２室以上の除染対象室を同時に除染することができ、これにより、十分な除染が要求される一部の除染対象室について除染が不十分になり易い、また結局は、その一部の除染対象室について単独除染の追加実施が必要になるなどの先述の問題を効果的に解消することができ、特許文献１に示される除染方法の同時除染に比べ、除染処理の確実性や機能性、施設状況に対する対応性、採用分野に対する汎用性などを一層高めることができる。

なお、準備運転において、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで各除染対象室の室内を所要の温湿度状態に調整するのに、各除染対象室に個別に装備した室内加熱手段や室内冷却手段あるいは室内加湿手段や室内除湿手段を併用するようにしてもよい。

本発明の第２特徴構成は、第１特徴構成による除染方法において、
過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の乾式除染濃度となる状態を目標乾式除染状態として設定するとともに、
過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の湿式除染濃度となる状態を目標湿式除染状態として設定し、
前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として、実験又はシミュレーションにより予め選定しておく点にある。

つまり、この除染方法では、準備運転において、乾式除染対象室の室内を乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、湿式除染対象室の室内を湿式除染用の温湿度状態に調整するのに、実験又はシミュレーションにより上記の如き乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態を予め選定しておく。

そして、準備運転において、乾式除染対象室の室内を乾式除染用の調整目標温湿度状態に調整するとともに、湿式除染対象室の室内を湿式除染用の調整目標温湿度状態に調整する。

従って、この準備運転に続く除染運転において、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整すれば、過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の乾式除染濃度となる目標乾式除染状態を乾式除染対象室において精度良く的確に現出させることができ、また、過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の湿式除染濃度となる目標湿式除染状態を湿式状態対象室において精度良く的確に現出させることができる。

即ち、この除染方法によれば、このように目標乾式除染状態及び目標湿式除染状態を精度良く的確に現出させ得ることで、乾式除染対象室において不測に過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じたり、また逆に、湿式除染対象室において過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じなかったりするなどの不都合を一層確実に防止することができ、除染処理の信頼性を一層高めることができる。

本発明の第３特徴構成は、第２特徴構成による除染方法において、
前記除染運転において、前記乾式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定乾式除染濃度に調整することで、前記目標乾式除染状態を現出させ、
前記湿式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定湿式除染濃度に調整することで、前記目標湿式除染状態を現出させる点にある。

つまり、この除染方法では、除染運転において、乾式除染対象室で目標乾式除染状態を現出させるとともに、湿式除染対象室で目標湿式除染状態を現出させるのに、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を所定乾式除染濃度や所定湿式除染濃度に調整することで、目標乾式除染状態や目標湿式除染状態を現出させるから、各除染対象室に対する除染用ガス供給量の過不足により実際の現出除染状態が目標乾式除染状態や目標湿式除染状態からずれたものになることを防止することができる。

即ち、この除染方法によれば、乾式除染対象室及び湿式状態対象室の夫々において目標乾式除染状態及び目標湿式除染状態を一層精度良く的確に現出させることができ、除染処理の信頼性をさらに高めることができる。

本発明の第４特徴構成は、第１特徴構成による除染方法の実施に使用する除染システムに係り、その特徴は、
キャリア気体に過酸化水素蒸気を混合して過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを生成する除染用ガス生成手段と、
この除染用ガス生成手段により生成した除染用ガスを２室以上の除染対象室に並列的に分配供給する除染用ガス給送手段と、
空調機により温湿度調整した調整用空気を前記２室以上の除染対象室に並列的に分配供給する調整用空気給送手段と、
前記調整用空気給送手段により調整用空気を各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室の室内を除染に適した温湿度状態に調整する準備運転、及び、この準備運転の完了に続き、前記除染用ガス給送手段により除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室を同時に除染する除染運転の夫々を自動的に実行する運転制御手段を備え、
前記２室以上の除染対象室は、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させない乾湿除染を実施する乾式除染対象室と、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させる湿式除染を実施する湿式除染対象室とに組み分けしてあり、
前記運転制御手段は、
前記準備運転において、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ難い乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、前記湿式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ易い湿式除染用の温湿度状態に調整し、
かつ、この準備運転の完了に続く前記除染運転において、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室において乾式除染状態を現出させるとともに、前記湿式除染対象室において湿式除染状態を現出させる構成にしてある点にある。

つまり、この除染システムによれば、運転制御手段に実施指令を付与するだけで、準備運転及びそれに続く除湿運転を運転制御手段に自動的に実行させて、第１特徴構成による除染方法を全自動的に容易かつ安定的な状態で実施することができる。

本発明の第５特徴構成は、第４特徴構成による除染システムにおいて、
過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の乾式除染濃度となる状態を目標乾式除染状態とするとともに、過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の湿式除染濃度となる状態を目標湿式除染状態とするのに対して、
前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として、前記運転制御手段に予め設定してある点にある。

つまり、この除染システムでは、準備運転において、乾式除染対象室の室内を乾式除染用の調整目標温湿度状態に調整するとともに、湿式除染対象室の室内を湿式除染用の調整目標温湿度状態に調整することを運転制御手段が自動的に実行する。

即ち、この除染システムによれば、第２特徴構成による除染方法を全自動的に容易かつ安定的な状態で実施することができる。

本発明の第６特徴構成は、第５特徴構成による除染システムにおいて、
前記運転制御手段は、前記除染運転において、
前記乾式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定乾式除染濃度に調整することで、前記目標乾式除染状態を現出させ、
前記湿式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定湿式除染濃度に調整することで、前記目標湿式除染状態を現出させる構成にしてある点にある。

つまり、この除染システムでは、除染運転において、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、乾式除染対象室で目標乾式除染状態を現出させるとともに、湿式除染対象室で目標湿式除染状態を現出させることを運転制御手段が自動的に実行する。

即ち、この除染システムによれば、第３特徴構成による除染方法を全自動的に容易かつ安定的な状態で実施することができる。

本発明の第７特徴構成は、第５又は第６特徴構成による除染システムにおいて、
前記乾式除染対象室については、その乾式除染対象室の前記目標乾式除染状態を入力情報として入力するとともに、前記湿式除染対象室については、その湿式除染対象室の前記目標湿式除染状態を入力情報として入力する入力手段と、
この入力手段に入力した入力情報に基づき、所定の演算プログラムに従って、前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を演算する演算手段と、
この演算手段による演算結果を所定の出力形態で出力する出力手段とを備える演算装置を装備してある点にある。

つまり、この除染システムであれば、目標乾式除染状態を乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態や、目標湿式除染状態を湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を実験やシミュレーションにより求めるのに比べ、入力手段に目標乾式除染状態や目標湿式除染状態を入力情報として入力するだけで、目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態や、目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を簡便に求めることができる。

従って、それら乾式除染対象室の必要温湿度状態や湿式除染対象室の必要温湿度状態を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として運転制御手段に設定することを容易にすることができる。

なお、この演算装置は、演算した乾式除染対象室の必要温湿度状態や湿式除染対象室の必要温湿度状態を運転制御手段に対して自動的に設定するものにしてもよい。

空調運転状態を示すシステム構成図 準備運転状態を示すシステム構成図 除染運転状態を示すシステム構成図 準備運転及び除湿運転の制御フローチャート 別実施形態を示す演算装置の構成図

図１は、無菌清浄雰囲気下での製造が要求される医薬品や食品などの製品の製造施設を示し、この製造施設には製品の製造を行なう製造室１と、この製造室１への入退室において通過するパスルーム２とが設けられている。

製造室１とパスルーム２との間には製造室１への入退室に用いるドア３が設けられ、パスルーム２と外部との間にはパスルーム２への外部からの入退室に用いるドア４が設けられており、これらドア３，４は製造室１及びパスルーム２の汚染を防止するため常閉式の気密ドアにしてある。

また、製造室１には、種々の製造用機器が配備されるとともに、特に清浄度の高い局所清浄域を製造室１内に形成するクリーンブース５が配備されている。

このクリーンブース５は、ブース内部５ａの空気ＲＡを床部の排気口５ｂから排出して、この排出空気ＲＡを循環ファン５ｃにより循環路５ｄを通じブース天井裏部のチャンバ部５ｅに送り、このチャンバ部５ｅに送り込まれた空気ＲＡをブース天井部の高性能フィルタ５ｆを通じてブース内部５ａに下向き層流状に吹き出しことで、ブース内部５ａを清浄度の高い局所清浄域にするものである。

製品の製造を行なう操業時間帯において製造室１及びパスルーム２の夫々を換気するとともに温湿度調整する空調システムについては、各室１，２の夫々に給気口６及び排気口７を設け、各室１，２の給気口６には高性能フィルタＦを装備し、これら給気口６は、空調機８から送出される空調用空気ＳＡを導く空調用の主給気路９に対して空調用の分岐給気路９ａを通じ並列的に接続してある。

一方、各室１，２の排気口７は、空調用の分岐排気路１０ａを通じて空調用の主排気路１０に並列的に接続してある。

空調用の主給気路９には空調用の給気ファン１１を介装し、空調用の主排気路１０には空調用の排気ファン１２を介装してあり、空調用主排気路１０の下流側部分からは空調用の還気路１３を分岐し、この空調用の還気路１３は空調用の外気導入路１４とともに空調機８の空気入口部に接続してある。

そして、各室１，２に対する空調用分岐給気路９ａの夫々には、各室１，２に対する空調用空気ＳＡの供給量ｑを調整する空調用の給気側風量調整ダンパ１５を介装し、各室１，２に対する空調用分岐排気路１０ａの夫々には、各室１，２から排出する室内空気ＲＡの排出量ｑ′を調整する空調用の排気側風量調整ダンパ１６を介装してある。

また、空調用の主給気路９及び空調用の主排気路１０には、それら空調用の主給気路９及び空調用の主排気路１０を遮断する気密ダンパ１７，１８を介装してある。

つまり、この空調システム（図１参照）では、気密ダンパ１７，１８を開いて、空調用の給排気ファン１１，１２及び空調機８を運転することで、空調用外気導入路１４を通じて外気ＯＡを空調機８に導入するとともに、空調用還気路１３を通じて各室１，２からの排出室内空気ＲＡの一部を還気空気ＲＡ′として空調機８に導入し、これら導入外気ＯＡと導入還気空気ＲＡ′との混合空気を空調機８で温湿度調整して所定温湿度（温度ｔｓ，ｒｓ）の空調用空気ＳＡを生成し、この空調用空気ＳＡを空調用主給気路９、空調用分岐給気路９ａを通じて各室１，２に対し並列に分配供給する。

そして、これら空調用空気ＳＡを給気口６から各室１，２の室内に供給する際に、給気口６に装備の高性能フィルタＦにより供給空気ＳＡを清浄化するとともに、各室１，２に供給する空調用空気ＳＡの供給量ｑを空調用の給気側風量調整ダンパ１５により調整し、これにより、各室１，２の室内清浄度を高めるとともに、各室１，２の室内を各室１，２について設定してある空調用の設定温湿度状態（温度ｔ１，湿度ｒ１），（温度ｔ２，湿度ｔ２）に調整する。

また、空調用空気ＳＡの供給に伴い排気口７を通じて各室１，２から排出される室内空気ＲＡの排出量ｑ′を空調用の排気側風量調整ダンパ１６により調整し、これにより、各室１，２の室圧ｐを各室１，２について設定してある設定室圧ｐ１，ｐ２に調整し、この設定室圧ｐ１，ｐ２として製造室１の設定室圧ｐ１をパスルーム２の設定室圧ｐ２より高くしておくことで、パスルーム２から製造室１への空気侵入による製造室１の汚染を防止する。

なお、空調用空気ＳＡの供給量調整については、空調用分岐給気路９ａに装備した風量センサの検出情報に基づき空調用給気側風量調整ダンパ１５の開度を自動調整して各室１，２に対する空調用空気ＳＡの供給量ｑを各室１，２について設定してある設定供給量ｑ１，ｑ２に調整する方式を採用する。

また、各室１，２の空調負荷の変動が比較的大きい場合は、各室１，２に装備した温湿度センサ１９の検出情報に基づき空調用給気側風量調整ダンパ１５の開度を自動調整して各室１，２に対する空調用空気ＳＡの供給量ｑを変更調整することで、各室１，２の室内温湿度状態（ｔ，ｒ）を各室１，２の空調用設定温湿度状態（ｔ１，ｒ１），（ｔ２，ｒ２）に調整する方式を採用してもよい。

一方、各室１，２の室圧調整については、各室１，２に装備した室圧センサの検出情報に基づき空調用排気側風量調整ダンパ１６の開度を自動調整して各室１，２の室内空気ＲＡの排出量ｑ′を微調整的に変更調整することで、各室１，２の室圧ｐを各室１，２の設定室圧ｐ１，ｐ１に調整する方式を採用する。

この製造施設には、上記の空調システムに加え除染システムを装備してあり、この除染システムにより製造室１及びパスルーム２の室内を定期的に除染処理する。

この除染システムによる除染処理では、先ず、所定温湿度の調整用空気ＳＡ′を各室１，２に対し並列的に分配供給して各室１，２の室内を除染に適した温湿度状態（温度ｔｘ，ｒｘ），（ｔｙ，ｒｙ）に調整する準備運転を実施し、この準備運転の完了に続いて、過酸化水素蒸気Ｖを含む除染用ガスＧを各室１，２に対し並列的に分配供給して各室１，２の室内を除染する除染運転を実施する。

除染システムは（図３参照）、キャリア気体生成手段と除湿用ガス生成手段とを備え、キャリア気体生成手段としては、外気ＯＡを除湿するとともに、その除湿に続き加熱（再熱）して所定温湿度に調整し、この調整外気をキャリア空気ＣＡ（キャリア気体）として送出する除染用空調機２０を装備してある。

そして、除染用ガス生成手段としては、過酸化水素水を蒸発させることでキャリア空気ＣＡに過酸化水素蒸気Ｖを混合して、過酸化水素蒸気濃度ｄが所定濃度の除染用ガスＧを生成する除染用ガス生成装置２１を装備してある。

また、除染システムは、準備運転において所定温湿度の調整用空気ＳＡ′を除染対象室としての製造室１及びパスルーム２に並列的に分配供給する調整用空気送給手段、及び、除染運転において除染用ガス生成装置２１で生成した除染用ガスＧを製造室１及びパスルーム２に並列的に分配供給する除染用ガス給送手段を備えており、調整用空気送給手段としては前述の空調システムを兼用利用する。

一方、除染用ガス送給手段については、各室１，２及びクリーンブース５の循環路５ｄにガス供給口２２を設け、これらガス供給口２２は、除染用ガス生成装置２１で生成した除染用ガスＧを導く除染用の主給気路２４に対して除染用の分岐給気路２４ａを通じ並列的に接続してある。

また、除染用の主排気路２５から並列的に分岐した除染用の分岐排気路２５ａを各室１，２に対する空調用分岐排気路１０ａの夫々に接続してある。

除染用主排気路２５の下流端は除染用主給気路２４の上流側端部に接続して、除染用主給気路２４と除染用主排気路２５とで除染用ガスＧの循環路を構成するようにしてあり、除染用の主給気路２４には循環ファン２６と高性能フィルタ２７を介装してある。

また、除染用主給気路２４の下流端と除染用主排気路２５の上流端とを接続するバイパス路２８を設け、このバイパス路２８には、このバイパス路２８を通じて除染用主給気路２４の側から除染用主排気路２５の側へバイパスさせる除染用ガスＧの風量を調整するバイパス風量調整弁２９を介装してある。

そして、各室１，２及びクリーンブース５に対する除染用分岐給気路２４ａの夫々には、各室１，２及びクリーンブース５に対する除染用ガスＧの供給量ｇを調整する除染用の給気側風量調整ダンパ３０を介装し、各室１，２に対する除染用分岐排気路２５ａの夫々には、各室１，２から排出する室内除染用ガスＶの排出量ｇ′を調整する除染用排気側風量調整ダンパ３１を介装してある。

この除染システムを用いた各室１，２の除染処理について、過酸化水素蒸気Ｖによる腐食トラブルの可能性がある製造室１は、室内に供給される除染用ガスＧに含まれる過酸化水素蒸気Ｖを室内で凝縮させない乾湿除染を実施する乾式除染対象室とし、一方、高い除染効果が要求されるとともに、過酸化水素蒸気Ｖによる腐食トラブルの虞のないパスルーム２は、室内に供給される除染用ガスＧに含まれる過酸化水素蒸気Ｖを室内で凝縮させる湿式除染を実施する湿式除染対象室とする。

そして、乾式除染対象室としての製造室１については、過酸化水素蒸気Ｖの室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度ｄが所定の乾式除染濃度ｄｄｒｙとなる状態を目標乾式除染状態Ｊｄｒｙとして設定し、この目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを製造室１において現出させるのに必要な製造室１の室内温湿度状態（温度ｔｘ，湿度ｒｘ）を実験やシミュレーションにより予め検証し、この検証により製造室１において目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを現出できることが確認された製造室１の室内温湿度状態（ｔｘ，ｒｘ）を，準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｘとして予め選定してある。

同様に、湿式除染対象室としてのパスルーム２については、過酸化水素蒸気Ｖの室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度ｄが所定の湿式除染濃度ｄｗｅｔとなる状態を目標湿式除染状態Ｊｗｅｔとして設定し、この目標湿式除染状態Ｊｗｅｔをパスルーム２において現出させるのに必要なパスルーム２の室内温湿度状態（温度ｔｙ，湿度ｒｙ）を実験やシミュレーションにより予め検証し、この検証によりパスルーム２において目標湿式除染状態Ｊｗｅｔを現出できることが確認されたパスルーム２の室内温湿度状態（ｔｙ，ｒｙ）を，準備運転時における湿式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｙとして予め選定してある。

３２は運転制御手段としての制御装置であり、この制御装置は、製造施設の操業時間帯には製造室１及びパスルーム２に対する空調運転において空調システムの運転制御を司り、一方、除染処理の実行指令が付与されると製造室１及びパスルーム２に対する除染処理を自動的に実行する。

具体的には図４に示すように、この制御装置３２は、除染処理の実行指令が付与されると、先ず、準備運転として図２に示す如く、空調運転と同様に、気密ダンパ１７，１８を開いて、空調用の給排気ファン１１，１２及び空調機８を運転することで、空調用外気導入路１４を通じて外気ＯＡを空調機８に導入するとともに、空調用還気路１３を通じて各室１，２からの排出室内空気ＲＡの一部を還気空気ＲＡ′として空調機８に導入し、これら導入外気ＯＡと導入還気空気ＲＡ′との混合空気を空調機８で温湿度調整して所定温湿度（ｔｓ′，ｒｓ′）の調整用空気ＳＡ′を生成し、この調整用空気ＳＡ′を空調用主給気路９、空調用分岐給気路９ａを通じて各室１，２に対し並列に分配供給する。

そして、この準備運転において、制御装置３２は、各室１，２に装備した温湿度センサ１９の検出情報に基づき、各室１，２に対する空調用給気側風量調整ダンパ１５の開度を調整して各室１，２に対する調整用空気ＳＡ′の供給量ｑを個別に調整することで、制御室１については、その室内を上記乾式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｘ（ｔｘ，ｒｘ）に調整し、また、パスルーム２については、その室内を上記湿式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｙ（ｔｙ，ｒｙ）に調整する。

なお、空調用の排気側風量調整ダンパ１６については空調運転時と同様、その開度の調整により各室１，２の室圧ｐを設定室圧ｐ１，ｐ２に調整する。

また、この準備運転では、空調用外気導入路１４に介装のダンパＤａ及び空調用主排気路１０に介装のダンパＤｂを閉じるとともに、空調用還気路１３に介装のダンパＤｃを開いた状態で、空調用の給排気ファン１１，１２及び空調機８を運転して、調整用空気ＳＡ′を全循環させるようにしてもよい。

この室内温湿度の調整で、製造室１の室内が乾式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｘ（ｔｘ，ｒｘ）になり、パスルーム２の室内が湿式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｙ（ｔｙ，ｒｙ）になったことが温湿度センサ１９により確認されると、制御装置３２は、空調用給排気ファン１１，１２及び空調機８の運転を停止して準備運転を終了する。

次に、制御装置３２は、気密ダンパ１７，１８を閉じて空調用の主給気路９及び空調用の主排気路１０を遮断し、その遮断状態において除染用空調機２０、除染用ガス生成装置２１、循環ファン２６を運転し、除染用ガス生成装置２１で生成した過酸化水素蒸気濃度ｄが所定濃度で所定温湿度の除染用ガスＧを除染用主給気路２４、除染用分岐給気路２４ａを通じてガス供給口２２から各室１，２及びクリーンブース５の循環路５ｄに対し並列的に分配供給する除染運転を開始する。

この除染運転において、制御装置３２は、各室１、２に装備した濃度センサ３３の検出情報に基づき、各室１，２及びクリーンブース５に対する除染用給気側風量調整ダンパ３０の開度及び各室１，２に対する除染用排気側風量調整ダンパ３１の開度を自動調整して、各室１，２及びクリーンブース５に対する除染用ガスＧの供給量ｇを調整する。

そして、このガス供給量の調整により、製造室１及びその内部のクリーンブース５については、過酸化水素蒸気Ｖの室内凝縮が生じない範囲で室内過酸化水素蒸気濃度ｄを前記所定乾式除染濃度ｄｄｒｙに調整し、これにより、準備運転で乾式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｘ（ｔｘ，ｒｘ）に調整した製造室１及びその内部のクリーンブース５において前記目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを現出させ、その目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを所定時間継続させる。

また、このガス供給量の調整により、パスルーム２については、室内過酸化水素蒸気濃度ｄを徐々に高めて、過酸化水素蒸気Ｖの室内凝縮を伴う状態で室内過酸化水素蒸気濃度ｄを前記所定湿式除染濃度ｄｗｅｔに調整し、これにより、準備運転で湿式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｙ（ｔｙ，ｒｙ）に調整したパスルーム２において前記目標湿式除染状態Ｊｗｅｔ現出させ、その目標湿式除染状態Ｊｗｅｔを所定時間継続させる。

つまり、この除染システムでは、製造室１の乾式除染とパスルーム２の湿式除染とを同時に行なうようにしてある。

除染運転が終了すると、制御装置３２は、除染用空調機２０、除染用ガス生成装置２１、循環ファン２６の運転を停止して各室１，２に対する除染用ガスＧの供給を停止した後、気密ダンパ１７，１８を開くとともに、空調用還気路１３に介装のダンパＤｃを閉じた状態で空調用給排気ファン１１，１２及び空調機８を運転して各室１，２の室内に残る除染用ガスＧを排除する希釈運転を実施する。

そして、この希釈運転において各室１，２の濃度センサ３３により各室１，２の室内過酸化水素蒸気濃度ｄが十分に低下したことが確認されると、希釈運転を終了して各室１，２に対する除染処理を完了し、製品の製造及び空調運転の実施が可能な状態に戻る。

なお、制御装置３２は除染処理の実行において、除染運転の開始前に、除染用ガス生成装置２１を停止し、かつ、各室１，２に対する除染用給気側風量調整ダンパ３０及び除染用排気側風量調整ダンパ３１を閉じた状態で、除染用空調機２０及び循環ファン２６を運転して、除染用空調機２０で生成した高温のキャリア空気ＣＡのみを除染用主給気路２４，バイパス路２８、除染用主排気路２５を通じて循環させる立ち上げ運転を所定時間だけ実施する。

即ち、この立ち上げ運転により、除染運転に先立ち除染用主給気路２４，バイパス路２８、除染用主排気路２５の路内温度を高めておくことで、除染運転の際に除染用ガスＧに含まれる過酸化水素蒸気Ｖが除染用主給気路２４やバイパス路２８あるいは除染用主排気路２５において凝縮してしまうことを防止する。

上記除染システムでは、制御装置３２に対する指令により、製造室１あるいはパスルーム２を単独に除染処理することも可能であり、また、制御装置３２に対する設定により各室１，２について、乾式除染を採用するか湿式除染を採用するかの選択も個別に行なうことができる。

〔別の実施形態〕
次に、別実施形態を列記する。

準備運転において乾式除染対象室１の室内温湿度状態を過酸化水素蒸気Ｖの凝縮が生じ難い乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、湿式除染対象室２の室内温湿度状態を過酸化水素蒸気Ｖの凝縮が生じる湿式除染用の温湿度状態に調整するのに、各除染対象室１，２に対する調整用空気ＳＡ′の供給量を個別に調整することに加え、各除染対象室１，２に個別装備した室内加熱手段や室内冷却手段あるいは室内除湿手段や室内加湿手段を併用するようにしてもよい。

前述の実施形態では、空調用空気ＳＡの給排路とは別に除染用ガスＧの専用給排路を設ける例を示したが、場合によっては、空調用空気ＳＡの給排路を除染用ガスＧの給排路に兼用するシステム構成を採用してもよい。

また、前述の実施形態では、準備運転及びそれに続く除染運転を運転制御手段３２により全自動的に実施する例を示したが、準備運転及び除染運転における一部を運転制御手段３２により自動的に行ない、他部を人為的な操作で行なうようにしたり、準備運転及び除染運転の全部を人為的な操作で行なうようにしてもよい。

前記した目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを乾式除染対象室１において現出させるのに必要な乾式除染対象室１の温湿度状態ｔｒｘ（乾式除染用の調整目標温湿度状態）や、前記した目標湿式除染状態Ｊｗｅｔを湿式除染対象室２において現出させるのに必要な湿式除染対象室２の温湿度状態ｔｒｙ（湿式除染用の調整目標温湿度状態ｔｒｙ）を求めるのに、実験やシミュレーションに代えて簡易には、それら必要温湿度状態ｔｒｘ、ｔｒｙを演算する演算装置を用いてもよい。

即ち、図５に示す如く、乾式除染対象室１については、その乾式除染対象室１の目標乾式除染状態Ｊｄｒｙを入力情報として所定の入力操作により入力し、また、湿式除染対象室２については、その湿式除染対象室２の目標湿式除染状態Ｊｄｒｙを入力情報として所定の入力操作により入力する入力手段３４ａと、この入力手段３４ａに入力した入力情報に基づき所定の演算プログラムに従って乾式除染対象室１の必要温湿度状態ｔｒｘ（ｔｘ，ｒｙ）や湿式除染対象室２の必要温湿度状態ｔｒｙ（ｔｙ，ｒｙ）を自動的に演算する演算手段３４ｂと、この演算手段３４ｂによる演算結果を所定の出力形態で出力する出力手段３４ｃとを備える演算装置３４を用いるようにしてもよい。

また、この演算装置３４は、演算した乾式除染対象室１の必要温湿度状態ｔｒｘ（ｔｘ，ｒｘ）や湿式除染対象室２の必要温湿度状態ｔｒｙ（ｔｙ，ｒｙ）を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として運転制御手段３２に対して自動的に設定するものにしてもよい。

乾式除染対象室１の乾式除染と湿式除染対象室２の湿式除染とを同時に行なうことにおいて、乾式除染対象室１として組み分けする除染対象室の室数、及び、湿式除染対象室２として組み分けする除染対象室の室数は夫々、一室に限られるものではなく、複数室であってもよい。

本発明による除染方法及び除染システムは、過酸化水素蒸気を用いた除染処理が必要な２室以上の除染対象室を有する施設であれば、各種分野における種々の用途の施設に対して適用することができる。

ＣＡ キャリア気体
Ｖ 過酸化水素蒸気
ｄ 過酸化水素蒸気濃度
Ｇ 除染用ガス
１ 乾式除染対象室
２ 湿式除染対象室
ＳＡ′ 調整用空気
ｑ 調整用空気の供給量
ｔｒｘ 乾式除染用の温湿度状態（調整目標温湿度状態）
ｔｒｙ 湿式除染用の温湿度状態（調整目標温湿度状態）
ｇ 除染用ガスの供給量
ｄｄｒｙ 所定の乾式除染濃度
Ｊｄｒｙ 目標乾式除染状態
ｄｗｅｔ 所定の湿式除染濃度
Ｊｗｅｔ 目標湿式除染状態
２１ 除染用ガス生成手段
２４，２４ａ 除染用ガス給送手段
２５，２５ａ 除染用ガス給送手段
２６ 除染用ガス給送手段
３０，３１ 除染用ガス給送手段
８ 空調機
９，９ａ 調整用空気給送手段
１０，１０ａ 調整用空気給送手段
１１，１２ 調整用空気給送手段
１５，１６ 調整用空気給送手段
３２ 運転制御手段

Claims (7)

1. キャリア気体に過酸化水素蒸気を混合して過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを生成し、
   この除染用ガスを２室以上の除染対象室に並列的に分配供給して、それら除染対象室を同時に除染する除染方法であって、
   前記２室以上の除染対象室は、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させない乾湿除染を実施する乾式除染対象室と、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させる湿式除染を実施する湿式除染対象室とに組み分けし、
   除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給するのに先立ち、温湿度調整された調整用空気を各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室の室内を除染に適した温湿度状態に調整する準備運転を実施し、
   この準備運転では、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ難い乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、前記湿式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ易い湿式除染用の温湿度状態に調整し、
   この準備運転の完了に続き、除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給する除染運転を実施し、
   この除染運転では、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室において乾式除染状態を現出させるとともに、前記湿式除染対象室において湿式除染状態を現出させる除染方法。
2. 過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の乾式除染濃度となる状態を目標乾式除染状態として設定するとともに、
   過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の湿式除染濃度となる状態を目標湿式除染状態として設定し、
   前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として、実験又はシミュレーションにより予め選定しておく請求項１の除染方法。
3. 前記除染運転において、前記乾式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定乾式除染濃度に調整することで、前記目標乾式除染状態を現出させ、
   前記湿式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定湿式除染濃度に調整することで、前記目標湿式除染状態を現出させる請求項２記載の除染方法。
4. 請求項１記載の除染方法の実施に使用する除染システムであって、
   キャリア気体に過酸化水素蒸気を混合して過酸化水素蒸気濃度が所定濃度の除染用ガスを生成する除染用ガス生成手段と、
   この除染用ガス生成手段により生成した除染用ガスを２室以上の除染対象室に並列的に分配供給する除染用ガス給送手段と、
   空調機により温湿度調整した調整用空気を前記２室以上の除染対象室に並列的に分配供給する調整用空気給送手段と、
   前記調整用空気給送手段により調整用空気を各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室の室内を除染に適した温湿度状態に調整する準備運転、及び、この準備運転の完了に続き、前記除染用ガス給送手段により除染用ガスを各除染対象室に並列的に分配供給して、各除染対象室を同時に除染する除染運転の夫々を自動的に実行する運転制御手段を備え、
   前記２室以上の除染対象室は、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させない乾湿除染を実施する乾式除染対象室と、室内に供給される除染用ガスに含まれる過酸化水素蒸気を室内で凝縮させる湿式除染を実施する湿式除染対象室とに組み分けしてあり、
   前記運転制御手段は、
   前記準備運転において、各除染対象室に対する調整用空気の供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ難い乾式除染用の温湿度状態に調整するとともに、前記湿式除染対象室の室内を過酸化水素蒸気の凝縮が生じ易い湿式除染用の温湿度状態に調整し、
   かつ、この準備運転の完了に続く前記除染運転において、各除染対象室に対する除染用ガスの供給量を個別に調整することで、前記乾式除染対象室において乾式除染状態を現出させるとともに、前記湿式除染対象室において湿式除染状態を現出させる構成にしてある除染システム。
5. 過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じない状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の乾式除染濃度となる状態を目標乾式除染状態とするとともに、過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じた状態で室内の過酸化水素蒸気濃度が所定の湿式除染濃度となる状態を目標湿式除染状態とするのに対して、
   前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を、準備運転時における乾式除染用の調整目標温湿度状態及び湿式除染用の調整目標温湿度状態として、前記運転制御手段に予め設定してある請求項４記載の除染システム。
6. 前記運転制御手段は、前記除染運転において、
   前記乾式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定乾式除染濃度に調整することで、前記目標乾式除染状態を現出させ、
   前記湿式除染対象室については、室内過酸化水素蒸気濃度の監視に基づき除染用ガスの供給量を調整して、室内過酸化水素蒸気濃度を前記所定湿式除染濃度に調整することで、前記目標湿式除染状態を現出させる構成にしてある請求項５記載の除染システム。
7. 前記乾式除染対象室については、その乾式除染対象室の前記目標乾式除染状態を入力情報として入力するとともに、前記湿式除染対象室については、その湿式除染対象室の前記目標湿式除染状態を入力情報として入力する入力手段と、
   この入力手段に入力した入力情報に基づき、所定の演算プログラムに従って、前記目標乾式除染状態を前記乾式除染対象室において現出させるのに必要な乾式除染対象室の温湿度状態、及び、前記目標湿式除染状態を前記湿式除染対象室において現出させるのに必要な湿式除染対象室の温湿度状態を演算する演算手段と、
   この演算手段による演算結果を所定の出力形態で出力する出力手段とを備える演算装置を装備してある請求項５又は６記載の除染システム。

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