JP2003332405A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 被処理基板に所定の処理を施すための複数の処理部と、複数の前記処理部に所定の順序で前記被処理基板を搬送する搬送機構と、複数の前記処理部のうち最後に前記被処理基板の処理が行われた処理部を記憶し、次に処理を開始する際に、前記記憶された処理部の次の順序の処理部から前記被処理基板の搬送を開始するよう前記搬送機構を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする基板処理装置。
2. 被処理基板に所定の処理を施すための複数の処理部と、複数の前記処理部に前記被処理基板を搬送する搬送機構と、複数の前記処理部の積算処理時間を夫々記憶し、次に処理を開始する際に、前記記憶された積算処理時間の最も少ない処理部から前記被処理基板の搬送を開始するよう前記搬送機構を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする基板処理装置。
3. 請求項２記載の基板処理装置において、前記制御手段が、前記記憶された積算処理時間の少ない処理部の順に、前記被処理基板の搬送を行うよう前記搬送機構を制御することを特徴とする基板処理装置。
4. 被処理基板に所定の処理を施すための複数の処理部と、複数の前記処理部に前記被処理基板を搬送する搬送機構と、複数の前記処理部の積算処理枚数を夫々記憶し、次に処理を開始する際に、前記記憶された積算処理枚数の最も少ない処理部から前記被処理基板の搬送を開始するよう前記搬送機構を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする基板処理装置。
5. 請求項４記載の基板処理装置において、前記制御手段が、前記記憶された積算処理枚数の少ない処理部の順に、前記被処理基板の搬送を行うよう前記搬送機構を制御することを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項１〜５いずれか１項記載の基板処理装置において、前記制御手段は、前記被処理基板を搬送しようとする前記処理部が、所定時間経過しても前記被処理基板を受け入れ可能とならない場合に、前記被処理基板を受け入れ可能な処理部のうち最も優先度の高い処理部に前記被処理基板を搬送するよう制御することを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項１〜６いずれか１項記載の基板処理装置において、前記処理部が夫々ロードロック室を有し、前記搬送機構が、前記ロードロック室に前記被処理基板を搬送するよう構成されていることを特徴とする基板処理装置。
8. 請求項１，２，４いずれか１項記載の基板処理装置において、前記複数の処理部が同一の処理を施すことを特徴とする基板処理装置。
9. 被処理基板に所定の処理を施すための複数の処理部と、複数の前記処理部に所定の順序で前記被処理基板を搬送する搬送機構とを具備した基板処理装置を用いた基板処理方法において、
   複数の前記処理部の積算処理時間を夫々記憶し、次に処理を開始する際に、前記記憶された積算処理時間の最も少ない処理部から前記被処理基板の搬送を開始することを特徴とする基板処理方法。
10. 請求項９記載の基板処理方法において、
    前記記憶された積算処理時間の少ない処理部の順に、前記被処理基板の搬送を行うことを特徴とする基板処理方法。
11. 請求項１０記載の基板処理方法において、
    前記被処理基板を搬送しようとする前記処理部が、所定時間経過しても前記被処理基板を受け入れ可能とならない場合に、前記被処理基板を受け入れ可能な処理部のうち最も優先度の高い処理部に前記被処理基板を搬送することを特徴とする基板処理方法。
12. 請求項９記載の基板処理方法において、
    前記処理部がロードロック室を有し、前記搬送機構が、前記ロードロック室に前記被処理基板を搬送することを特徴とする基板処理方法。
13. 請求項９記載の基板処理方法において、
    前記複数の処理部が同一の処理を施すことを特徴とする基板処理方法。