JP2008311365A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数枚のウエハ1を収納したカセット2からウエハ1を第一CVDモジュール40に搬送装置13によって搬入し、第一CVDモジュール40および搬送装置13を制御するメインコントローラ61が、操作ユニット80がウエハ1毎に割り当てたプロセスレシピをCVDモジュールにおいて実施する際に、操作ユニット80は搬送装置13がウエハ1を搬送している間に、プロセスレシピ情報をメインコントローラ61にダウンロードする。プロセスレシピに関する情報量の増加に伴うダウンロード待ち時間の増加に影響されないので、スループットの低下を防止できる。
【選択図】図4
Description
プロセスレシピはオペレータが操作部ユニットによって予め作成するとともに保存したものが、処理対象のウエハ毎に個別に割り当てられている。
したがって、処理モジュールを全体的に制御する制御部ユニットが成膜を実行するためには、操作部ユニットに保存されたプロセスレシピ情報を操作部ユニットからダウンロードする必要がある。
従来のマルチチャンバ型基板処理装置においては、プロセスレシピ情報のダウンロードは処理モジュールにウエハが搬入された後であって、プロセスレシピの実行直前に実施されている。
ICの高集積化や微細化等の技術革新の進展に伴って、マルチチャンバ型基板処理装置においては、より一層緻密で高度な制御を確保する必要上、プロセスレシピに関する情報(データ)量は膨大になって来ている。その結果、プロセスレシピ情報のダウンロード時間には長期間が必要になって来ている。
従来のマルチチャンバ型基板処理装置においては、プロセスレシピ情報のダウンロードは処理モジュールにウエハが搬入された後であってプロセスレシピの実行直前に実施されていることにより、実際のプロセスレシピの実行開始(成膜ステップ開始)は、ダウンロード完了後からになり、ダウンロード中は実行待ち状態になっている。
すなわち、処理モジュールに対するウエハの搬入から搬出までの総処理時間は、プロセスレシピのダウンロード時間と実際のプロセスレシピ実行時間(成膜ステップ実施時間)との和になる。
マルチチャンバ型基板処理装置においては、1回で成膜されるウエハは1枚または2枚と少数であるために、ウエハの処理モジュールに対する搬入搬出回数は多く、その度毎に、プロセスレシピのダウンロードが必要になる。
したがって、マルチチャンバ型基板処理装置においては、プロセスレシピに関する情報量の増加に伴うダウンロード待ち時間の増加が、スループット(単位時間当たりのウエハ生産枚数)に悪影響を及ぼしている。
(1)複数の基板を収納する収納容器と、前記基板に処理を施す処理モジュールと、前記収納容器と前記処理モジュールとの間で前記基板を搬送する搬送装置と、前記処理モジュールおよび前記搬送装置を制御する制御部と、前記基板毎にプロセスレシピを割り当てる操作部とを備えている基板処理装置であって、
前記操作部は前記搬送装置が前記基板を搬送している間に前記プロセスレシピ情報を前記制御部にダウンロードする基板処理装置。
(2)複数の基板を収納した収納容器から前記基板を処理モジュールに搬送装置によって搬入し、前記処理モジュールおよび前記搬送装置を制御する制御部が、操作部が前記基板毎に割り当てたプロセスレシピを前記処理モジュールにおいて実施する基板処理方法であって、
前記操作部は前記搬送装置が前記基板を搬送している間に前記プロセスレシピ情報を前記制御部にダウンロードする基板処理方法。
この連続処理装置はICの製造方法にあってウエハに所望の薄膜を堆積させる成膜工程に使用されるように構成されている。
なお、本実施の形態に係る連続処理装置においては、ウエハの収納容器(ウエハキャリア)としては、オープンカセット(以下、カセットという。)が使用される。
搬送室12の中央部には、ウエハを保持して搬送する搬送装置13が設置されており、搬送装置13は負圧下においてウエハ1を移載するように構成されている。搬送装置13はスカラ形ロボット(selective compliance assembly robot arm SCARA)によって構成されている。
第一予備室21の筐体(以下、第一予備室筐体という。)20および第二予備室31の筐体(以下、第二予備室筐体という。)30はいずれも、平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
第一予備室21内にはバッファ搬送装置25が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体30の側壁および搬送室筐体11の側壁には搬入搬出口32、33がそれぞれ開設されており、第二予備室31の搬入搬出口33にはゲートバルブ34が設置されている。
第二予備室31内にはバッファ搬送装置35が設置されている。
第一カセットテーブル26および第二カセットテーブル36に対しては、カセット2が図示しない工程内搬送装置(RGV)によって供給および排出される。
第一カセットテーブル26に対向する第一予備室筐体20の側壁には搬入搬出口27がそれぞれ開設されており、搬入搬出口27にはゲートバルブ28が設置されている。
第二カセットテーブル36に対向した第二予備室筐体30の側壁には搬入搬出口37が開設されており、搬入搬出口37にはゲートバルブ38が設置されている。
第一CVDモジュール40および第二CVDモジュール50はいずれも、枚葉式CVD装置(枚葉式コールドウオール形CVD装置)によってそれぞれ構成されている。
第一CVDモジュール40は筐体41を備えており、筐体41はウエハにCVD膜を形成する処理室(プロセスチャンバ)42を形成している。筐体41と対向する搬送室筐体11の側壁には搬入搬出口43が開設されており、搬入搬出口43にはゲートバルブ44が設置されている。
同様に、第二CVDモジュール50は筐体51を備えており、筐体51はウエハにCVD膜を形成する処理室(プロセスチャンバ)52を形成している。筐体51と対向する搬送室筐体11の側壁には搬入搬出口53が開設されており、搬入搬出口53にはゲートバルブ54が設置されている。
メインコントローラ61には制御ネットワーク62によって、搬送装置13を制御するサブコントローラ63と、第一予備室ゲートバルブ24を制御するサブコントローラ64と、第一バッファ搬送装置25を制御するサブコントローラ65と、第一カセットテーブルゲートバルブ28を制御するサブコントローラ66と、第一CVDモジュール40を制御するサブコントローラ67と、第一CVDモジュールゲートバルブ44を制御するサブコントローラ68と、第二予備室ゲートバルブ34を制御するサブコントローラ69と、第二バッファ搬送装置35を制御するサブコントローラ70と、第二カセットテーブルゲートバルブ38を制御するサブコントローラ71と、第二CVDモジュール50を制御するサブコントローラ72と、第二CVDモジュールゲートバルブ54を制御するサブコントローラ73と、が接続されている。
メインコントローラ61はこれらのサブコントローラ63〜73に対して、成膜プロセスの制御シーケンスを時間軸で示したプロセスレシピに基づく温度制御や圧力制御、流量制御および機械制御を指令するように構成されている。
操作ユニット80には、キーボードやマウス等の入力手段によって構成された入力装置81、テレビモニタ等の表示部(操作画面)によって構成された表示装置82、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置83等が接続されている。
操作ユニット80はグラフィカル・ユーザ・インタフェース(GUI)システム85を備えている。オペレータは表示装置82を見ながら入力装置81を操作することにより、プロセスレシピを作成ないし編集することができ、作成ないし編集したプロセスレシピを記憶装置83に保存することができる。
操作ユニット80には、プロセスレシピ先行ダウンロードプログラム(以下、ダウンロードプログラムという。)86が組み込まれている。ダウンロードプログラム86は後述するプログラムフローを実行するように構成されている。
図1に示されているように、搬送されて来たカセット2は第一カセットテーブル26の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。
この搬入作業中には、搬送室12側の搬入搬出口22、23はゲートバルブ24によって閉じられており、搬送室12の負圧は維持されている。
第一予備室21が設定された圧力値に減圧されると、搬送室12側の搬入搬出口22、23がゲートバルブ24によって開かれる。
第一CVDモジュール40の搬入搬出口43がゲートバルブ44によって開放されると、搬送装置13はウエハ1を第一CVDモジュール40の搬入搬出口43に搬送して、搬入搬出口43から第一CVDモジュール40の処理室42へ搬入(ウエハローディング)する。
続いて、第一バッファ搬送装置25はウエハ1を搬入搬出口27を通してカセット2に収納する。
処理済の25枚のウエハ1のカセット2への収納が完了すると、カセット2は第一カセットテーブル26の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
本実施の形態に係る制御システム60のダウンロードプログラム86は、このプロセスレシピのダウンロードを搬送装置13によるウエハ1の搬送後のプロセスレシピ実行直前ではなく、搬送装置13による搬送中に実行することにより、ダウンロード時間の待ち状態の発生を防止する。
ダウンロードプログラム86がプロセスレシピのダウンロードを開始させるタイミングは、次のCVDモジュールの状態に対応して分類することができる。
1) CVDモジュールにウエハが無い状態で、CVDモジュールがアイドル状態。
この場合には、いつでもダウンロードが可能である。
2) CVDモジュールにウエハが無い状態で、CVDモジュールが前処理プロセスレシピ実行中。
他のプロセスレシピ実行中はプロセスレシピのダウンロードは実行することができないために、搬送装置13がウエハ1を保持した状態でCVDモジュールの前で、前処理プロセスレシピの実行が終了するのを待つ必要がある。
このとき、ダウンロードを開始することができるのは、CVDモジュールへのウエハの搬入動作の開始時になる。
3) CVDモジュールに既にウエハが有る状態で、CVDモジュールがプロセスレシピを実行中。
前記2)と同様に、プロセスレシピ実行の終了を待つ必要がある。
このとき、ダウンロードの実行を開始することができるのは、CVDモジュールでのウエハの交換の開始時になる。
以上のタイミングの中で、最も搬送時間が短いのは2)の場合であるが、最大構成のプロセスレシピについてのダウンロード時間であっても、ダウンロードを完了することができる。
このことから、1)、2)の場合には、CVDモジュールへのウエハの搬入動作開始時にダウンロード実行を開始し、3)の場合には、CVDモジュールでのウエハの交換動作開始時にダウンロード実行を開始する。
図4(a)はプロセスレシピのダウンロードを搬送装置によるウエハの搬送後のプロセスレシピ実行直前に実行する場合を示している。
図4(b)はプロセスレシピのダウンロードを搬送装置による搬送中に実行する本実施の形態の場合を示している。
図4(a)のゲートバルブ開からダウンロード終了までの時間Taと、図4(b)のゲートバルブ開から搬出時のゲートバルブ開の終了までの時間Tbとの比較から明らかな通り、本実施の形態によれば、ゲートバルブ開からプロセスレシピ実行開始(成膜ステップ開始)までの時間を短縮することができるので、プロセスレシピに関する情報量の増加に伴うダウンロード待ち時間の増加によるスループットに悪影響を回避し、スループットを向上させることができる。
さらに、本発明はCVDに限らず、PVDや酸化膜形成、窒化膜形成、金属膜形成および半導体膜形成等の基板処理全般に適用することができる。
11…搬送室筐体、12…搬送室、13…搬送装置、
20…第一予備室筐体、21…第一予備室、22、23…搬入搬出口、24…第一予備室ゲートバルブ、25…第一バッファ搬送装置、26…第一カセットテーブル、27…搬入搬出口、28…第一カセットテーブルゲートバルブ、
30…第二予備室筐体、31…第二予備室、32、33…搬入搬出口、34…第二予備室ゲートバルブ、35…第二バッファ搬送装置、36…第二カセットテーブル、37…搬入搬出口、38…第二カセットテーブルゲートバルブ、
40…第一CVDモジュール(第一処理モジュール)、41…筐体、42…処理室(プロセスチャンバ)、43…搬入搬出口、44…第一CVDモジュールゲートバルブ、
50…第二CVDモジュール(第二処理モジュール)、51…筐体、52…処理室(プロセスチャンバ)、53…搬入搬出口、54…第二CVDモジュールゲートバルブ、
60…制御システム、61…メインコントローラ(制御部)、62…制御ネットワーク、63〜73…サブコントローラ、
74…操作ネットワーク、80…操作ユニット(操作部)、81…入力装置、82…表示装置、83…記憶装置、85…GUIシステム、86…プロセスレシピ先行ダウンロードプログラム(ダウンロードプログラム)。
Claims (1)
- 複数の基板を収納する収納容器と、前記基板に処理を施す処理モジュールと、前記収納容器と前記処理モジュールとの間で前記基板を搬送する搬送装置と、前記処理モジュールおよび前記搬送装置を制御する制御部と、前記基板毎にプロセスレシピを割り当てる操作部とを備えている基板処理装置であって、
前記操作部は前記搬送装置が前記基板を搬送している間に前記プロセスレシピ情報を前記制御部にダウンロードする基板処理装置。
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JP2007156729A JP2008311365A (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | 基板処理装置 |
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Citations (2)
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JPH11195573A (ja) * | 1998-01-05 | 1999-07-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 固体デバイス製造装置 |
JP2003332405A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
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2007
- 2007-06-13 JP JP2007156729A patent/JP2008311365A/ja active Pending
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