JP2003305637A

JP2003305637A - 脆性薄板の研磨用ホルダ

Info

Publication number: JP2003305637A
Application number: JP2002111885A
Authority: JP
Inventors: Susumu Shirasaki; 将白崎; Shinichi Kishida; 信一岸田
Original assignee: SHIRASAKI SEISAKUSHO KK; Ishida Co Ltd
Current assignee: SHIRASAKI SEISAKUSHO KK; Ishida Co Ltd
Priority date: 2002-04-15
Filing date: 2002-04-15
Publication date: 2003-10-28

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】研磨の際には半導体ウエハ等の、研磨用ホルダ
との接触面が回転運動等による負荷を受ける。従って、
かかる負荷により研磨用ホルダに比べて脆い材料で形成
される半導体ウエハ等の周縁の端部が損傷するという問
題があった。本発明は半導体ウエハ等の脆性薄板の研磨
の際の周縁の損傷を防止することを主目的とする。【解決手段】ホルダ本体と、ウエハ等の脆性薄板を保持
する脆性薄板保持部４０２とからなり、その脆性薄板保
持部が、保持すべき脆性薄板の端部との接触部がエラス
トマーを材料とするエラストマー部４０４を有する脆性
薄板の研磨用ホルダを利用する。つまり、エラストマー
部は緩衝材としての役割を果たす。また、エラストマー
部が研磨の際の負荷により変形して、脆性薄板に研磨ダ
レが生じないよう、断面の横の長さ／縦の長さが１以下
であるエラストマー部を利用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、脆性薄板、例えば
半導体ウエハの研磨用ホルダの発明に関する。

【０００２】

【従来技術及び発明が解決しようとする課題】半導体ウ
エハ等の脆性薄板を研磨する際に、半導体ウエハ等を保
持するキャリア等の研磨用ホルダが利用されている。

【０００３】また研磨の際には、研磨用ホルダに半導体
ウエハ等を保持し、かつ、研磨剤などがある面に押し付
けた状態で研磨用ホルダを回転運動等させて研磨を行な
っていた。しかし、研磨の際には半導体ウエハ等の、研
磨用ホルダとの接触面が回転運動等による負荷を受け
る。従って、かかる負荷により研磨用ホルダに比べて脆
い材料で形成される半導体ウエハ等の周縁の端部が損傷
するという問題があった。

【０００４】本発明は上記問題に鑑み、半導体ウエハ等
の脆性薄板の研磨の際に、脆性薄板の周縁の損傷を防止
すること、及び当該損傷により生じる脆性薄板の破片が
脆性薄板の被研磨面に与える損傷を防止することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、上記
課題を解決するために、ホルダ本体と、ウエハ等の脆性
薄板を保持する脆性薄板保持部とからなり、その脆性薄
板保持部が、保持すべき脆性薄板の端部との接触部がエ
ラストマーを材料とするエラストマー部を有する脆性薄
板の研磨用ホルダを利用する。つまり、エラストマー部
は緩衝材としての役割を果たす。

【０００６】しかし、単に緩衝材を介するという手段で
は、研磨の際にかかる負荷により緩衝材が変形して、半
導体ウエハ等と研磨用ホルダの接合強度を維持できず、
結果として脆性薄板と研磨用ホルダの間に隙間を生じさ
せる等の原因により、研磨の際に脆性薄板に研磨ダレが
生じるという問題等があった。

【０００７】本発明は、かかる問題点を解決するため
に、前記エラストマー部の断面の（横の長さ）／（縦の
長さ）の値が１以下であるエラストマー部を利用する。

【０００８】

【発明の実施の形態】（研磨用ホルダの全体の構成）

【０００９】以下、本発明の実施形態の一例を、図を用
いて説明する。

【００１０】図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ
本実施形態における脆性薄板の研磨用ホルダの、全体の
構成の一例を表す図である。同図（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）それぞれに示すように、本実施形態における脆性
薄板の研磨用ホルダは、円盤状に形成される脆性薄板の
研磨用ホルダであり、ホルダ本体１００脆性薄板を保持
する脆性薄板保持部１０１を一又は二以上有する。脆性
薄板保持部１０１は、保持すべき研磨の対象である脆性
薄板Ｚの端部との接触部１０２がエストラマーを材料と
するエストラマー部１０３を有する研磨用ホルダであ
る。

【００１１】（脆性薄板）

【００１２】「脆性薄板」とは、物体が外力による変形
を起こさないうちに、またはわずかに変形しただけで破
壊されてしまう性質を有する脆性材料により構成される
板状の構造体をいう。本実施形態では、半導体ウエハの
ように単結晶シリコンにより構成されるものの他、ガラ
ス、セラミック等により構成される構造体を含む。ま
た、脆性薄板の厚さは１ｃｍ以下のものを想定するが、
必ずしもこれに限定されない。またその形状は、矩形状
のもの、円盤状のもの等、様々な形状のものが含まれ
る。

【００１３】例えば、半導体ウエハでは、その表面にト
ランジスタなどの素子や回路パターンが形成される。従
ってその表面を平坦に整える必要があり、研磨する対象
である当該半導体ウエハを保持する保持部を有するテン
プレート等に嵌合して、当該半導体ウエハを研磨面等に
接触させつつ、テンプレートを回転運動等させることで
当該半導体ウエハの表面を平坦に研磨する。

【００１４】この際、テンプレート本体は研磨の対象で
ある半導体ウエハを保持し、回転運動を伝えるために一
定の強度が必要となるためエポキシガラス材料等により
構成されるが、回転の際に研磨の対象である当該半導体
ウエハの周縁が当該テンプレートの保持口に接触するこ
とで負荷がかかり損傷する場合がある。いわゆる、チッ
プ、クラックと呼ばれるものである。

【００１５】（ホルダ本体）

【００１６】「ホルダ本体１００」は、前記脆性薄板の
研磨用ホルダの本体部分であって、脆性薄板を脆性薄板
保持部により保持しながら、相対的に研磨面に対して回
転又は往復運動させる。

【００１７】また、ホルダ本体は、ガラスエポキシ材
料、ＳＫ鋼材料、ステンレス材料の等から構成される。
これらは、被研磨物である脆性薄板を研磨する際に、回
転運動や往復運動を脆性薄板に伝え、かつ、研磨面等と
の接触により容易に磨耗しない材料である。

【００１８】図２（ａ）に示すように、ホルダ本体２０
０は、周縁にギア部２００ａが構成されるものであって
もよい。回転盤Ｋを回転させることにより、回転盤Ｋの
ギア部Ｋ１とホルダ本体の周縁のギア部２００ａを噛み
合わせ、脆性薄板Ｚを脆性薄板保持部２０１により保持
しながら、相対的に研磨面に対して回転又は往復運動さ
せることができる。

【００１９】また、同図（ｂ）に示すように、ホルダ本
体２１０の央部に回転軸２１０ａが構成されるものであ
ってもよい。ホルダ本体２１０の央部の回転軸２１０ａ
を回転させることにより、脆性薄板Ｚを脆性薄板保持部
２１１により保持しながら、相対的に研磨面に対して回
転又は往復運動させることができる。

【００２０】（脆性薄板保持部の構成）

【００２１】上述したように、脆性薄板保持部は脆性薄
板を保持する部分で、保持する脆性薄板の端部との接触
部がエラストマーを材料とするエラストマー部を有す
る。脆性薄板はエストラマー部を介して脆性薄板を囲む
ように構成される。

【００２２】図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、脆性薄板
保持部の構成の一例をそれぞれ表した図である。なお、
同図のＺは脆性薄板保持部が保持する脆性薄板を示して
いる。

【００２３】同図（ａ）に示すように、脆性薄板保持部
３００ａは、全体がエラストマー部３００ｂである場合
がある。

【００２４】また、同図（ｂ）に示すように脆性薄板保
持部３０１ａは、エラストマー部３０１ｂを含み、かつ
ホルダ本体３０１の続きであって、ホルダ本体１００と
一体に形成されている場合がある。

【００２５】さらに、同図（ｃ）に示すように脆性薄板
保持部３０２ａは、エラストマー部３０２ｂを含み、か
つエラストマー部３０２ｂを保持する構造体３０２ｃか
らなる場合がある。かかる場合、当該構造体３０２ｃは
ホルダ本体３０２と同一の材料で形成されてもよく、ま
た別の材料により形成されてもよいが、エラストマー部
３０２ｂを保持できる強度を有する必要がある。

【００２６】（脆性薄板保持部のエストラマー部のエラ
ストマー）

【００２７】図４は、本実施形態の脆性薄板の研磨用ホ
ルダの断面の一例を表した斜視図である。同図に示すよ
うに、脆性薄板保持部４０２は、保持すべき脆性薄板Ｚ
の端部Ｚ１との接触部４０３がエストラマーを材料とす
るエストラマー部４０４を有する。

【００２８】「エストラマー」とは、本明細書では、弾
性の顕著な高分子物質により構成される材料をいい、狭
義ではいわゆる樹脂を含まないが、広義では樹脂を含
む。本発明においては、狭義の意味のエラストマーにお
いて顕著な効果を有するが、広義の意味のエラストマー
であっても効果を有する場合がある。狭義の意味のエラ
ストマーには、具体的には、シリコーンゴム、ウレタン
ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン‐ブ
タジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレン
ゴム、クロロスルフォン化ポリエチレン、エピクロルヒ
ドリンゴム、二トリルゴム、アクリルゴム、チオコール
（登録商標）、フッ素ゴム、天然ゴム等が含まれる。ま
たエラストマーの形体は、狭義・広義のいずれの場合も
発泡体として形成される場合がある。

【００２９】「シリコーンゴム」とは、高重合度の線状
のポリジメチルシロキサンあるいはその共重合体を中程
度に橋かけしてゴム状弾性を示すようにしたものをいう

【００３０】「ウレタンゴム」とは、ポリウレタンを、
さらに芳香族ジアミンや多価アルコールで処理するとこ
とで橋かけ構造をつくり，ゴム状弾性を示すようになっ
たものをいう。

【００３１】「イソプレンゴム」とは、イソプレンの立
体特異性重合によって天然ゴムと同じ構造をもつ合成ゴ
ムをいう。

【００３２】「ブタジエンゴム」とは、ブタジエンの重
合体を加硫して得られる合成ゴムをいう。

【００３３】「スチレンーブタジエンゴム」とは、ブタ
ジエン（75質量％）とスチレン（25質量％）のラジカル
共重合で得られる合成ゴムをいう。

【００３４】「ブチルゴム」とは、合成ゴムの1つでイ
ソブテン（イソブチレン）に少量のイソプレンを共重合
させてつくる。イソブチレン‐イソプレンゴムともい
う。

【００３５】「エチレンプロピレンゴム」とは、合成ゴ
ムの1つでエチレンとプロピレンとの共重合体である。
ふつう４０〜６０％のエチレンを含む。チーグラー‐ナ
ッタ重合で得られる。過酸化物で加硫することもある
が，多くの場合，加硫性を高めるために，非共役ジエン
をごく少量加えて共重合する。このゴムには不飽和結合
が少ないので耐酸化性，耐老化性にすぐれ，また耐水性
や電気的性質もよい。

【００３６】「クロロプレンゴム」とは、合成ゴムの1
つで，クロロプレンの重合体をいう。

【００３７】「クロロスルフォン化ポリエチレン」と
は、ポリエチレンをクロロスルフォン化したゴムで、優
れた耐候、耐オゾン性、耐化学薬品性と、良好な耐熱
性、耐油性電気絶縁性を持っている。

【００３８】「エピクロルヒドリンゴム」とは、合成ゴ
ムの１つで、エピクロルヒドリンの単独重合体、エチレ
ンオキサイド、アリルグリシジルエーテル等を共重合さ
せた共重合体をいう。

【００３９】「二トリルゴム」とは、合成ゴムの1つ
で，ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体をいう。

【００４０】「アクリルゴム」とは、アクリル酸エステ
ルとアクリロニトリルの共重合物で、特に高温における
耐油性に優れる。

【００４１】「チオコール（登録商標）」とは、アメリ
カのチオコールケミカル社の多硫化物系合成ゴムをい
う。

【００４２】「フッ素ゴム」とは、フッ素を含む合成ゴ
ムの総称をいい、主なものには，フッ化ビニリデン（フ
ッ化エテニリデン）とヘキサフルオロプロピレンとの共
重合体がある。

【００４３】「発泡体」とは、気泡剤を材料として形成
されるものをいい、ジアゾアメノベンゼン、炭酸水素ナ
トリウム、酢酸アルミニウム、酢酸アンモニウム等が用
いられたスポンジゴム、泡入り樹脂等が含まれる。

【００４４】（エラストマー部の構成について）

【００４５】「エラストマー部４０４」は、図４に示す
ように、脆性薄板保持部４０２が保持すべき脆性薄板Ｚ
の端部Ｚ１との接触部４０３がエラストマーを材料とす
る脆性薄板保持部の一部又は全部を成す部分である。エ
ラストマー部４０４は脆性薄板Ｚを囲むように配置さ
れ、その断面の横の長さ４０４ｂ／縦の長さ４０４ａは
１以下、又は０．５以下である。つまり、横の長さ４０
４ｂは、縦の長さ４０４ａと同じ長さ若しくは縦の長さ
４０４ａより短く構成される。また、横の長さ４０４ｂ
は、１ミリメートル以下であることが望ましい。

【００４６】（本実施形態の脆性薄板の研磨ホルダによ
る研磨方法とその効果）

【００４７】次に、本実施形態の脆性薄板の研磨ホルダ
を用いた脆性薄板の研磨方法ないし、研磨された脆性薄
板の製造方法の一例を説明する。

【００４８】まず、脆性薄板の研磨用ホルダ（図１の１
００参照）の脆性薄板保持部（図１の１０１参照）に、
研磨の対象である脆性薄板（図１のＺ参照）を保持す
る。さらに、前記工程で保持した脆性薄板の片面又は両
面に研磨装置の研磨面に接触させる。最後に、研磨面に
脆性薄板を接触させた状態で前記脆性薄板の研磨用ホル
ダを研磨面に対して相対的に回転又は往復運動させる。
以上の工程により、脆性薄板を脆性薄板保持部により保
持しながら、相対的に研磨面に対して回転又は往復運動
させて研磨を行い、又研磨された脆性薄板を製造する。

【００４９】図５（ａ）に示すように、研磨用ホルダ５
００の、研磨の対象である脆性薄板Ｚと接触する部分５
０１の材料が、脆性薄板Ｚに対して相対的に硬い材料、
例えばガラスエポキシ材料、ＳＫ鋼材、ステンレス材料
である場合は、研磨の際の負荷により脆性薄板Ｚの端部
Ｚａが損傷するという問題があった。また、同図（ｂ）
に示すように、当該脆性薄板の端部Ｚａが損傷して破片
となり、研磨面５０３と研磨の対象である脆性薄板Ｚの
間に入り込み、脆性薄板の被研磨面を損傷させるという
問題もあった。

【００５０】そこで、本実施形態の脆性薄板の研磨用ホ
ルダを利用する場合は、かかる５０１の部分にエラスト
マー部を有することから、エラストマー部の有する弾性
により、研磨の際の負荷による脆性薄板の端部の損傷を
防止できる。

【００５１】また、上記のような弾性を有するエラスト
マー部を介して研磨の対象である脆性薄板に回転運動を
伝える場合には、エラストマー部が研磨の際にかかる負
荷により変形して脆性薄板の研磨面等との接触にかかる
圧力が不均衡となることで被研磨面の研磨ダレを生じる
場合がある。

【００５２】図６は、エラストマー部が変形して、研磨
ダレを生じさせる一例を表した図である。

【００５３】図６（ａ）に示すように、エラストマー部
６０１の断面の（横の長さＷ１）／（縦の長さＨ１）の
値が１より大きい場合を考えてみる。同図が示すよう
に、研磨の際にかかる負荷によりエラストマー部６０１
は押しつぶされるように横幅が縮小し、縦幅が拡張する
ように膨らむことが考えられ、かかる場合研磨面６０２
と研磨の対象である脆性薄板Ｚとの間に隙間が生じ、研
磨ダレＤが生じることが考えられる。

【００５４】そこで本実施形態を利用した場合を考えて
みる。図６（ｂ）が示すように、エラストマー部６０２
の断面の（横の長さＷ２）／（縦の長さＨ２）の値が１
以下である。同図は、本実施形態の脆性薄板の研磨用ホ
ルダを利用した場合の一例を示している。同図が示すよ
うに、研磨の際に負荷がかかっても、横の長さＷ２が相
対的に縦の長さＨ２より短いため変形が生じにくいと考
えられ、同図（ａ）のように、研磨の対象である脆性薄
板Ｚと研磨面６０３との間に隙間は生じにくいことか
ら、研磨ダレも生じにくいと考えられる。例えば、脆性
薄板Ｚが半導体ウエハである場合は、強度等の関係から
大部分の半導体ウエハの断面の縦の長さは１ミリメート
ル以上であることから、半導体ウエハを保持する脆性薄
板保持部のエラストマー部の縦の長さも同様に１ミリメ
ートル以上であることが考えられる。この場合、エラス
トマー部の横の長さ／縦の長さの値が１以下となるよう
に、横の長さを１ミリメートル以下とすることで研磨の
際の負荷によるエラストマー部の変形を生じにくくし、
研磨の対象である半導体ウエハの研磨ダレを生じにくく
することができる。

【００５５】（脆性薄板保持部はめ込み部）

【００５６】図７は本実施形態の脆性薄板保持部を、ホ
ルダ本体に設けられた脆性薄板保持部と同形状の脆性薄
板はめ込み部にはめ込むことにより、脆性薄板保持部が
前記ホルダ本体に固定される構造の一例を表した図であ
る。

【００５７】同図に示すように、「脆性薄板保持部７０
１」は、ホルダ本体７００とは別に形成され、ホルダ本
体に設けられた脆性薄板保持部と同形状の脆性薄板はめ
込み部７００ａにはめ込むことで構成する場合がある。
ホルダ本体は、脆性薄板の研磨用ホルダを利用すべき研
磨装置に応じて複数種類有り、各ホルダ本体に設けられ
た脆性薄板保持部はめ込み部は同一形状である。従っ
て、前記脆性薄板はめ込み部を有する複数のホルダ本体
と、脆性薄板保持部はめ込み部にはめ込むことができる
複数の脆性薄板保持部とを利用した研磨用ホルダセット
として本実施形態を構成することもできる。

【００５８】脆性薄板保持部７０１をホルダ本体とは別
に形成することで、当該脆性薄板保持部をはめ込むこと
ができる脆性薄板はめ込み部を有する数の異なる複数の
ホルダ本体に対して使用することができる。

【００５９】ホルダ本体は、研磨する対象である脆性薄
板とともに、研磨面等に接触するため磨耗するが、脆性
薄板保持部がホルダ本体とは別に形成されていれば、当
該脆性薄板保持部のみを交換することでホルダ本体は交
換することなく脆性薄板の研磨に使用することができ、
ホルダ本体と一体的に形成されている場合に比して磨耗
の際の交換に要する費用が安価で済む。交換に要する費
用が安価で済むのは、ホルダ本体の交換に要する費用が
削減されることに加え、ホルダ本体を、ホルダ本体が装
着される研磨装置から取り外すことなく脆性薄板保持部
のみをホルダ本体にはめ込みの形式で脱着できれば、そ
の脱着に要する工賃も削減することが考えられるからで
ある。

【００６０】また、保持部は同図に示すように円形状で
構成されている場合の他、図示はしないが被研磨物であ
る脆性薄板の形状に応じて、四角形状、その他多角形状
により構成されていてもよい。

【００６１】（脆性薄板保持部を生成する方法の一例）

【００６２】図８は脆性薄板保持部を形成する方法の一
例を表す図である。

【００６３】同図（ａ）が示すように、脆性薄板保持部
の一部８０１に、エラストマー部を構成する材料である
エラストマーＥを貼付する。次に、同図（ｂ）に示すよ
うに当該エラストマーＥが貼付された状態で、脆性薄板
保持部の一部８０１を上下から型板８０２により挟み、
当該エラストマーＥを押圧して脆性薄板保持部の縦の長
さＨと同様の高さに形成する。最後に、同図（ｃ）に示
すように脆性薄板保持部の縦の長さＨと同様の高さに形
成したエラストマーＥを型抜８０３により切断する。以
上の工程により、保持する脆性薄板の端部との接触面が
エラストマーを材料とするエラストマー部８０１ａを有
する脆性薄板保持部を製造する。

【００６４】図９は脆性薄板保持部の製造方法の別の一
例を表す図である。

【００６５】同図（ａ）が示すように、脆性薄板保持部
の一部９０１のエラストマー部が形成される予定の空間
９０１ａを、型板９０２、９０３で囲み、エラストマー
Ｅを型板９０２により囲まれた、前記空間９０１ａ上の
空間に用意する。さらに、同図（ｂ）が示すように、器
具９０４を用いて前記エラストマーＥを、エラストマー
部が形成される予定の空間９０１ａに流入させる。最後
に同図（ｃ）に示すように、前記工程で流入させたエラ
ストマーＥを硬化させる。以上の工程により、保持する
脆性薄板の端部との接触面がエラストマーを材料とする
エラストマー部９０１ｂを有する脆性薄板保持部を製造
することもできる。

【００６６】上記図８，９で示した脆性薄板保持部のい
ずれの製造方法においても、エラストマーを固着する際
に、摂氏１００度ないし摂氏２００度にエラストマーの
前記脆性薄板の一部に接触する部位を加熱する場合があ
る。これは、エラストマーを、形成するエラストマー部
の形状に調整しやすいようにするためであるとともに、
形成したエラストマー部を脆性薄板保持部に固着させる
ためである。また、かかる脆性薄板保持部全体がエラス
トマー部である場合は、前記脆性薄板保持部の一部は、
ホルダ本体の一部である。従来、かかるエラストマー部
に相当する緩衝材を用いる技術もあったが、これを固着
等させるために温度条件が摂氏２００度ないし摂氏３０
０度であることを要する場合があり、かかる場合固着さ
せるホルダ本体、または脆性薄板保持部に歪を生じさせ
る等の問題があったが、本実施形態の温度条件（摂氏１
００度ないし摂氏２００度）ではそのような問題は生じ
にくい。

【００６７】（エラストマー部の形成方法）

【００６８】図１０は本実施形態の脆性薄板保持部の断
面の一例を表す図である。

【００６９】同図（ａ）に示すように、エラストマー部
１００１と、ホルダ本体１０００又は脆性薄板保持部の
一部の固着面１００１ａは平面である場合だけでなく、
同図（ｂ）に示すように、固着面１００２ａを非平面と
することで、平面とする場合より固着面積を増加したも
のである場合もある。

【００７０】同図（ｂ）のように、固着面１００２ａを
非平面とし、平面とする場合より固着面積を増加させれ
ば、固着の強度が増し、エラストマー部がホルダ本体ま
たは脆性薄板保持部から容易に剥離することを防止する
ことができる。

【００７１】かかる固着面１００１ａ、１００２ａにお
ける固着は、エラストマー部がホルダ本体又は／及び脆
性薄板保持部に対してプライマーを介して行なわれる場
合がある。具体的には、エラストマー部とプライマー、
ホルダ本体又は／及び脆性薄板保持部とプライマーの相
互の作用により固着される場合である。また、接着剤に
よりエストラマー部とプライマー、ホルダ本体又は／及
び脆性薄板保持部とプライマーとを相互に固着させるも
のであってもよい。

【００７２】「プライマー」とは、接着性及び／又はそ
の結合の耐久性の改善のために、接着剤を塗布する前
に、被着体の表面に塗布する塗膜、ないし、被着材と接
着剤又はシーリング材との接着性を向上させるために、
予め被着材表面に塗布する下地処理材料をいう。

【００７３】（脆性薄板の研磨用ホルダの製造方法の一
例）

【００７４】図１１は、本実施形態の脆性薄板の研磨用
ホルダの製造方法の一例を示すフローチャート図であ
る。同図を用いて本実施形態の脆性薄板の研磨用ホルダ
の製造方法の一例を説明する。

【００７５】まず、脆性薄板の研磨用ホルダのホルダ本
体を準備する（ホルダ本体準備工程１１０１）。そし
て、保持する脆性薄板の端部と接触すべき部分としての
エラストマー部を、前記ホルダ本体又は生成されるべき
脆性薄板保持部の一部にプライマーを介してエラストマ
ーを固着して、前記ホルダ本体準備工程にて準備された
ホルダ本体に脆性薄板保持部を生成する（脆性薄板保持
部を生成する工程１１０２）。また前記脆性薄板保持部
を生成する工程は、保持する脆性薄板の端部と接触すべ
き部分としてのエラストマー部を、前記ホルダ本体又は
生成されるべき脆性薄板保持部の一部にプライマーを介
してエラストマーを固着することにより形成する手順を
含む。

【００７６】（研磨用ホルダのギア部がエストラマー材
料）

【００７７】なお、エラストマー部に用いられる材料で
あるエラストマーを、図２（ａ）で示したホルダ本体２
００のギア部２０１の端部（ギアエラストマー部）にも
用いることで、当該ギア部２０１にかかる負荷によりギ
ア部２０１の端部の損傷を防止することも考えられる。

【００７８】

【効果】以上、詳述したように、本実施形態の脆性薄板
の研磨用ホルダを利用すれば、半導体ウエハ等の脆性薄
板の研磨の際の、脆性薄板の端部にかかる負荷による端
部の損傷を防止し、かつ、脆性薄板に生じうる研磨ダレ
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】脆性薄板の研磨用ホルダ全体の構成の一例を表
す図

【図２】ホルダ本体の構成の一例を表す図

【図３】脆性薄板保持部の構成の一例を表す図

【図４】脆性薄板の研磨用ホルダの断面の斜視図

【図５】研磨の際の負荷により脆性薄板の端部が損傷
し、端部の破片により脆性薄板の被研磨面が損傷する一
例を表した図。

【図６】エラストマー部が変形して脆性薄板が研磨ダレ
を生じさせる一例を表した図

【図７】脆性薄板保持部を、脆性薄板保持部はめ込み部
にはめ込むことにより、脆性薄板保持部がホルダ本体に
固定される構造の一例を表した図。

【図８】脆性薄板保持部を形成する方法の一例を表した
図

【図９】脆性薄板保持部を形成する方法の一例を表した
図

【図１０】脆性薄板保持部の断面の一例を表した図。

【図１１】脆性薄板の研磨用ホルダの製造方法の一例を
示すフローチャート図

【符号の説明】

１００ホルダ本体１０１脆性薄板保持部１０２接触部１０３エストラマー部４００研磨用ホルダ４０２脆性薄板保持部４０３接触部４０４エストラマー部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者岸田信一神奈川県逗子市池子２−３−70 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AB04 AB08 CB01 CB03 DA06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ホルダ本体と、脆性薄板を保持する脆性薄
板保持部と、からなり、前記脆性薄板保持部は、保持す
べき脆性薄板の端部との接触部がエラストマーを材料と
するエラストマー部を有する脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項２】前記エラストマー部は、前記脆性薄板を囲
むように配置され、その断面の（横の長さ）／（縦の長
さ）の値は、１以下である請求項１に記載の研磨用ホル
ダ。
【請求項３】前記エラストマー部は、前記脆性薄板を囲
むように配置され、その断面の（横の長さ）／（縦の長
さ）の値は、０．５以下である請求項１に記載の研磨用
ホルダ。
【請求項４】前記エラストマー部の横の長さは、１ミリ
メートル以下である請求項１又は２に記載の研磨用ホル
ダ。
【請求項５】前記エラストマーは、シリコーンゴム又は
／及び、ウレタンゴムを材料とするものである請求項１
に記載の脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項６】前記エラストマー部と、前記ホルダ本体又
は、前記脆性薄板保持部の一部との固着面は、非平面と
することで、そこを平面とする場合より固着面積を増加
したものであることを特徴とする請求項１に記載の脆性
薄板の研磨用ホルダ。
【請求項７】前記ホルダ本体又は、前記脆性薄板保持部
は、ガラスエポキシ材料、ＳＫ鋼材料、ステンレス材料
のいずれか一又は二以上からなり、前記エラストマー部
は、前記ホルダ本体又は／及び前記脆性薄板保持部に対
して接着剤を利用せずに固着されたものである請求項１
に記載の脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項８】前記ホルダ本体又は、前記脆性薄板保持部
は、ガラスエポキシ材料、ＳＫ鋼材料、ステンレス材料
のいずれか一又は二以上からなり、前記エラストマー部
は、前記ホルダ本体又は／及び前記脆性薄板保持部に対
してプライマーを介して固着されたものである請求項１
に記載の脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項９】前記脆性薄板保持部は、前記ホルダ本体に
設けられた脆性薄板保持部と同形状の脆性薄板保持部は
め込み部にはめ込むことにより前記脆性薄板保持部が前
記ホルダ本体に固定される構造である請求項１に記載の
脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項１０】複数のホルダ本体からなる研磨用ホルダ
セットであって、各ホルダ本体は、脆性薄板の研磨用ホ
ルダを利用すべき研磨装置に応じて複数種類あり、各ホ
ルダ本体に設けられた脆性薄板保持部はめ込み部は同一
の形状である、請求項９に記載の脆性薄板の研磨用ホル
ダを利用した研磨用ホルダセット。
【請求項１１】前記脆性薄板の研磨用ホルダは、その脆
性薄板の研磨用ホルダを利用すべき研磨装置のギアとの
噛み合い部を有し、その噛み合い部の前記ギアとの接触
面はエラストマーを材料とするギアエラストマー部を有
する請求項１に記載の脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項１２】前記脆性薄板は、半導体ウエハである請
求項１に記載の脆性薄板の研磨用ホルダ。
【請求項１３】脆性薄板の研磨用ホルダの製造方法であ
って、脆性薄板の研磨用ホルダのホルダ本体を準備する
ホルダ本体準備工程と、前記ホルダ本体準備工程にて準
備されたホルダ本体に脆性薄板保持部を生成する工程
と、からなり、前記脆性薄板保持部を生成する工程は、
保持する脆性薄板の端部と接触すべき部分としてのエラ
ストマー部を、前記ホルダ本体又は生成されるべき脆性
薄板保持部の一部にプライマーを介してエラストマーを
固着することにより形成する手順を含む、脆性薄板の研
磨用ホルダの製造方法。
【請求項１４】前記ホルダ本体又は／及び脆性薄板の一
部は、エポキシガラス、ステンレス、ＳＫ鋼材料のいず
れか一又は二以上の材料からなり、前記脆性薄板保持部
を生成する工程において、前記エラストマーは、シリコ
ーンゴム又は／及びウレタンゴムであり、前記エラスト
マーを固着する際に、摂氏１００度ないし摂氏２００度
にエラストマーであるシリコーンゴム又は／及びウレタ
ンゴムの前記ホルダ本体又は生成されるべき脆性薄板保
持部の一部に接触する部位を加熱する請求項１２記載の
脆性薄板の研磨用ホルダの製造方法。
【請求項１５】脆性薄板の研磨方法であって、前記請求
項１から１２のいずれかに記載の脆性薄板の研磨ホルダ
に脆性薄板を保持する工程と、前記工程で脆性薄板保持
部に保持した脆性薄板の片面又は両面に研磨面を接触さ
せる工程と、前記脆性薄板の研磨ホルダを前記研磨面に
対して、相対的に回転又は往復運動させる工程と、を含
む脆性薄板の研磨方法。
【請求項１６】研磨された脆性薄板の製造方法であっ
て、前記請求項１から１２のいずれかに記載の脆性薄板
の研磨ホルダに脆性薄板を保持する工程と、前記工程で
脆性薄板保持部に保持した脆性薄板の片面又は両面に研
磨面を接触させる工程と、前記脆性薄板の研磨ホルダを
前記研磨面に対して、相対的に回転又は往復運動させる
工程と、を含む研磨された脆性薄板の製造方法。
【請求項１７】請求項１から１２のいずれか一に記載の
脆性薄板の研磨ホルダを有する脆性薄板の研磨装置。