JP2006026844A - ポリッシングパッド、それを備えた研磨装置及び貼り付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨部材2には、複数の突起2b及び溝2aが形成されている。溝2aは格子状に形成されている。溝2a及び突起2bが形成された部分(研磨部3)の平面形状は実質的に円となっている。研磨部3の周囲には、高さが一定の外周部4が設けられている。外周部4の高さは、溝2aの底部の高さと同一となっている。各溝2aの端部は外周部4まで延在し、溝2a内に浸入したスラリー等は外周部4を介して外部に流れ出る構造となっている。このように構成されたポリッシングパッドを定盤10に貼り付ける際には、基部材1の裏面に接着剤を塗布するか両面テープを貼り付けた後、定盤10の上にポリッシングパッドを配置する。次に、上方から研磨部3を定盤10に押し付け、続いて、上方から外周部4を定盤10に押し付ける。
【選択図】 図1
Description
研磨対象物に接する複数の突起、及び前記複数の突起の間に形成された溝を備えた研磨部と、
前記研磨部の周囲に設けられ、その表面の高さが前記凸部の頂部の高さよりも低い外周部と、
を有することを特徴とするポリッシングパッド。
前記外周部の表面の高さは、前記溝の底部の高さ以下であることを特徴とする付記1に記載のポリッシングパッド。
前記外周部の表面の高さは、前記溝の底部の高さよりも高く、
前記外周部には、前記溝と連通する補助溝が形成されていることを特徴とする付記1又は2に記載のポリッシングパッド。
前記外周部の表面は、裏面と平行であることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
化学的機械的研磨装置に装着されることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
原料として、発泡ウレタンを含有することを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
前記外周部の表面は、外側ほど低くなる傾斜面を有することを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
前記複数の突起の高さは、実質的に一定であることを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
前記溝の深さは、実質的に一定であることを特徴とする付記1乃至8のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
前記複数の溝は、前記研磨部に格子状に形成されていることを特徴とする付記1乃至9のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
付記1乃至10のいずれか1項に記載のポリッシングパッドを備えたことを特徴とする研磨装置。
研磨対象物に接する複数の突起、及び前記複数の突起の間に形成された溝を備えた研磨部と、前記研磨部の周囲に設けられ、その表面の高さが前記凸部の頂部の高さよりも低い外周部と、を備えたポリッシングパッドを研磨装置の定盤に貼り付ける貼り付け装置であって、
前記外周部に当接する治具と、
前記治具を、前記ポリッシングパッドの表面に垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、
を有することを特徴とする貼り付け装置。
前記治具手段を、前記ポリッシングパッドの表面に平行な方向に移動させる平行移動手段を有することを特徴とする付記12に記載の貼り付け装置。
前記垂直移動手段は、前記治具を、前記外周面に押し付ける際の圧力を調節することを特徴とする付記12又は13に記載の貼り付け装置。
前記垂直移動手段は、シリンダを有することを特徴とする付記12乃至14のいずれか1項に記載の貼り付け装置。
前記平行移動手段は、
モータと、
前記モータと前記治具とを連結するアームと、
を有することを特徴とする付記12乃至15のいずれか1項に記載の貼り付け装置。
2:研磨部材
2a:溝
2b:突起
3:研磨部
4:外周部
10:定盤
11:モータ
12:貼り付け治具
13:シリンダ
14:アーム
15:支持具
Claims (10)
- 研磨対象物に接する複数の突起、及び前記複数の突起の間に形成された溝を備えた研磨部と、
前記研磨部の周囲に設けられ、その表面の高さが前記凸部の頂部の高さよりも低い外周部と、
を有することを特徴とするポリッシングパッド。 - 前記外周部の表面の高さは、前記溝の底部の高さ以下であることを特徴とする請求項1に記載のポリッシングパッド。
- 前記外周部の表面の高さは、前記溝の底部の高さよりも高く、
前記外周部には、前記溝と連通する補助溝が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のポリッシングパッド。 - 前記外周部の表面は、裏面と平行であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
- 化学的機械的研磨装置に装着されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
- 前記複数の突起の高さは、実質的に一定であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
- 前記溝の深さは、実質的に一定であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
- 前記複数の溝は、前記研磨部に格子状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のポリッシングパッド。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のポリッシングパッドを備えたことを特徴とする研磨装置。
- 研磨対象物に接する複数の突起、及び前記複数の突起の間に形成された溝を備えた研磨部と、前記研磨部の周囲に設けられ、その表面の高さが前記凸部の頂部の高さよりも低い外周部と、を備えたポリッシングパッドを研磨装置の定盤に貼り付ける貼り付け装置であって、
前記外周部に当接する治具と、
前記治具を、前記ポリッシングパッドの表面に垂直な方向に移動させる垂直移動手段と、
を有することを特徴とする貼り付け装置。
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