JP2003302078A - フィルタ発塵処理機能を持つ熱処理装置 - Google Patents
フィルタ発塵処理機能を持つ熱処理装置Info
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- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
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- F27B17/0016—Chamber type furnaces
- F27B17/0083—Chamber type furnaces with means for circulating the atmosphere
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- F27B17/0016—Chamber type furnaces
- F27B17/0025—Especially adapted for treating semiconductor wafers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンオーブンのパッキン部から発生する
パーティクルを熱処理室内に入れることなく処理しその
清浄度を良好に維持する。 【解決手段】 クリーンオーブンは、入口枠１にパッキ
ン２を介してフィルタ３を取り付けて送風機４を備えた
熱処理用の気体の循環経路５からフィルタ３を通過させ
て気体を熱処理室６に入れるようにした装置であり、パ
ッキンの室内側にできる隙間部分７１を仕切る出口枠７
及び送風機４の吸込側に通じている抽気口８を有する。 【効果】 出口枠７とフィルタ３の周囲枠３１との間か
ら室内気体が常時隙間部分７１に入って抽気口８から循
環経路５を通って送風機４に吸入されていて、昇降温時
に受ける応力によってパッキン２が発塵したときに、そ
れが隙間部分から排出されて槽内に持ち込まれることが
なく、室内の清浄度が維持される。
パーティクルを熱処理室内に入れることなく処理しその
清浄度を良好に維持する。 【解決手段】 クリーンオーブンは、入口枠１にパッキ
ン２を介してフィルタ３を取り付けて送風機４を備えた
熱処理用の気体の循環経路５からフィルタ３を通過させ
て気体を熱処理室６に入れるようにした装置であり、パ
ッキンの室内側にできる隙間部分７１を仕切る出口枠７
及び送風機４の吸込側に通じている抽気口８を有する。 【効果】 出口枠７とフィルタ３の周囲枠３１との間か
ら室内気体が常時隙間部分７１に入って抽気口８から循
環経路５を通って送風機４に吸入されていて、昇降温時
に受ける応力によってパッキン２が発塵したときに、そ
れが隙間部分から排出されて槽内に持ち込まれることが
なく、室内の清浄度が維持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、構造部材にシール
部材を介してフィルタを取り付けて送風機を備えた熱処
理用の気体の循環経路から前記フィルタを通過させて前
記気体を熱処理室に入れるようにした熱処理装置に関
し、特にクリーンな環境条件で熱処理する必要のある液
晶ガラス基板等の半導体製品を含む電気・電子部品を高
い温度で熱処理する熱処理装置として好都合に利用され
る。
部材を介してフィルタを取り付けて送風機を備えた熱処
理用の気体の循環経路から前記フィルタを通過させて前
記気体を熱処理室に入れるようにした熱処理装置に関
し、特にクリーンな環境条件で熱処理する必要のある液
晶ガラス基板等の半導体製品を含む電気・電子部品を高
い温度で熱処理する熱処理装置として好都合に利用され
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶ガラス基板等の半導体製品は、その
品質保持上、微小ダストであるパーティクルの発生を極
力少なくする必要があるため、熱処理するときには、ク
リーンオーブンと称される恒温槽において、通常ＨＥＰ
Ａフィルタと称される高性能フィルタを介して熱処理用
の循環空気を熱処理室に供給するようにしている。
品質保持上、微小ダストであるパーティクルの発生を極
力少なくする必要があるため、熱処理するときには、ク
リーンオーブンと称される恒温槽において、通常ＨＥＰ
Ａフィルタと称される高性能フィルタを介して熱処理用
の循環空気を熱処理室に供給するようにしている。
【０００３】その結果、図８に一例を示す如く、従来の
通常の３００℃程度までの熱処理温度の装置では、１０
０℃位までの予熱温度から３００℃位の熱処理温度まで
の昇温運転中（Ｔ1 ）及び昇温到達後の３００℃一定温
度運転中（Ｔ2 ）におけるパーティクルの粒子数を１０
０個以下にし、一応要求される清浄度を満たしていた。
なお、上記１００個は、熱処理室内の１cf( ｆｔ3 )
（約２８リットル）の容積中の粒径０．５μｍ以上の粒
子の個数である。
通常の３００℃程度までの熱処理温度の装置では、１０
０℃位までの予熱温度から３００℃位の熱処理温度まで
の昇温運転中（Ｔ1 ）及び昇温到達後の３００℃一定温
度運転中（Ｔ2 ）におけるパーティクルの粒子数を１０
０個以下にし、一応要求される清浄度を満たしていた。
なお、上記１００個は、熱処理室内の１cf( ｆｔ3 )
（約２８リットル）の容積中の粒径０．５μｍ以上の粒
子の個数である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近で
は、電子部品の生産ラインや試験・研究用のクリーンオ
ーブンとして５００℃程度の熱処理温度の高いものが製
造されてきていて、そのようなクリーンオーブンでは、
熱処理室の清浄度が満たされなくなってきていることが
分かった。
は、電子部品の生産ラインや試験・研究用のクリーンオ
ーブンとして５００℃程度の熱処理温度の高いものが製
造されてきていて、そのようなクリーンオーブンでは、
熱処理室の清浄度が満たされなくなってきていることが
分かった。
【０００５】即ち、このようなクリーンオーブンでは、
プロセス時間を短縮するために温度上昇時の速度を従来
の４〜５℃／min からその２倍の８〜１０℃／min にす
ることがあり、熱処理温度自体が高温であると共に昇温
速度が速くなるため、図６の従来のクリーンオーブンの
図中に示す如く、昇降温過程では、高性能のフィルタ３
の周囲枠３１とクリーンオーブンの入口枠１との間に介
在するパッキン２の部分において、両枠の熱変形量に差
が生じ、パッキン２に図示のような圧縮力Ｐや幅方向及
び長さ方向（図において紙面に直角な方向）の剪断力Ｔ
等の変動する外力が加わり、圧縮応力や剪断応力及びこ
れらに伴うひずみが生じ、特にガラス繊維をバインダー
で固着したものなどの各種パッキンが発塵し、それによ
って矢印Ａの如く熱処理室６にパーティクルが持ち込ま
れ、全粒子数が目標値を超えることが判明した。
プロセス時間を短縮するために温度上昇時の速度を従来
の４〜５℃／min からその２倍の８〜１０℃／min にす
ることがあり、熱処理温度自体が高温であると共に昇温
速度が速くなるため、図６の従来のクリーンオーブンの
図中に示す如く、昇降温過程では、高性能のフィルタ３
の周囲枠３１とクリーンオーブンの入口枠１との間に介
在するパッキン２の部分において、両枠の熱変形量に差
が生じ、パッキン２に図示のような圧縮力Ｐや幅方向及
び長さ方向（図において紙面に直角な方向）の剪断力Ｔ
等の変動する外力が加わり、圧縮応力や剪断応力及びこ
れらに伴うひずみが生じ、特にガラス繊維をバインダー
で固着したものなどの各種パッキンが発塵し、それによ
って矢印Ａの如く熱処理室６にパーティクルが持ち込ま
れ、全粒子数が目標値を超えることが判明した。
【０００６】発明者等の実験によれば、図７に示す如
く、熱処理温度４１０℃に対して、熱処理室の中央部分
から採取したサンプル空気の昇温時及び降温時のパーテ
ィクルの発生個数は、粒径０．３μｍ以上のもので１０
０個を超え、目的とする清浄度が得られないという結果
になった。
く、熱処理温度４１０℃に対して、熱処理室の中央部分
から採取したサンプル空気の昇温時及び降温時のパーテ
ィクルの発生個数は、粒径０．３μｍ以上のもので１０
０個を超え、目的とする清浄度が得られないという結果
になった。
【０００７】そこで本発明は、従来技術における上記問
題を解決し、熱処理室に持ち込まれるパーティクルの量
を低減させ熱処理室の清浄度を良好に維持できる熱処理
装置を提供することを課題とする。
題を解決し、熱処理室に持ち込まれるパーティクルの量
を低減させ熱処理室の清浄度を良好に維持できる熱処理
装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、構造部材にシール部材
を介してフィルタを取り付けて送風機を備えた熱処理用
の気体の循環経路から前記フィルタを通過させて前記気
体を熱処理室に入れるようにした熱処理装置において、
前記シール部材を含み前記熱処理室側に生ずる隙間部分
を前記熱処理室から仕切る仕切部材と、前記隙間部分の
気体を取り出し可能にする隙間気体取り出し手段と、を
有することを特徴とする。
するために、請求項１の発明は、構造部材にシール部材
を介してフィルタを取り付けて送風機を備えた熱処理用
の気体の循環経路から前記フィルタを通過させて前記気
体を熱処理室に入れるようにした熱処理装置において、
前記シール部材を含み前記熱処理室側に生ずる隙間部分
を前記熱処理室から仕切る仕切部材と、前記隙間部分の
気体を取り出し可能にする隙間気体取り出し手段と、を
有することを特徴とする。
【０００９】請求項２の発明は、上記に加えて、前記隙
間気体取り出し手段は前記隙間部分の気体を前記循環経
路に導入可能にする隙間気体導入手段であることを特徴
とする。
間気体取り出し手段は前記隙間部分の気体を前記循環経
路に導入可能にする隙間気体導入手段であることを特徴
とする。
【００１０】請求項３の発明は、上記に加えて、前記隙
間気体導入手段は前記気体を前記循環経路のうちの前記
送風機の吸入側に導入可能にすることを特徴とする。
間気体導入手段は前記気体を前記循環経路のうちの前記
送風機の吸入側に導入可能にすることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明を適用した熱処理装
置としてのクリーンオーブンの構成例を示す。クリーン
オーブン１００は、構造部材としての入口枠１にシール
部材であるパッキン２を介してフィルタ３を取り付けて
送風機４を備えた熱処理用の気体の循環経路５からフィ
ルタ３を通過させて気体を熱処理室６に入れるようにし
た装置であり、仕切部材としての出口枠７及び隙間気体
取り出し手段であり隙間気体導入手段である抽気口８を
有する。熱処理室６及び循環経路５は断熱壁の内側壁面
になっているケーシング１０１で囲われていて、循環経
路５には熱処理用の加熱器９が配設されている。
置としてのクリーンオーブンの構成例を示す。クリーン
オーブン１００は、構造部材としての入口枠１にシール
部材であるパッキン２を介してフィルタ３を取り付けて
送風機４を備えた熱処理用の気体の循環経路５からフィ
ルタ３を通過させて気体を熱処理室６に入れるようにし
た装置であり、仕切部材としての出口枠７及び隙間気体
取り出し手段であり隙間気体導入手段である抽気口８を
有する。熱処理室６及び循環経路５は断熱壁の内側壁面
になっているケーシング１０１で囲われていて、循環経
路５には熱処理用の加熱器９が配設されている。
【００１２】又、本例のクリーンオーブンは５００℃ま
で昇温可能な高温用のものであり、図示しないダンパで
切換可能にされた室内急冷用の冷却器１０が設けられて
いる。加熱され熱処理のために循環される気体として
は、空気や不活性ガス雰囲気として窒素富化空気等が熱
処理される対象物や熱処理温度等に対応して使用され
る。
で昇温可能な高温用のものであり、図示しないダンパで
切換可能にされた室内急冷用の冷却器１０が設けられて
いる。加熱され熱処理のために循環される気体として
は、空気や不活性ガス雰囲気として窒素富化空気等が熱
処理される対象物や熱処理温度等に対応して使用され
る。
【００１３】フィルタ３は、その周囲が周囲枠３１で囲
われていて、その縁３１ａ部分を除いた中央部分を矢印
のように循環気体が通過するようになっている。パッキ
ン２は、周囲枠の縁３１ａの全周に対応する入口枠１と
の間に介装されている。
われていて、その縁３１ａ部分を除いた中央部分を矢印
のように循環気体が通過するようになっている。パッキ
ン２は、周囲枠の縁３１ａの全周に対応する入口枠１と
の間に介装されている。
【００１４】出口枠７は、パッキン２を含み熱処理室６
側に生ずる隙間部分７１を熱処理室６から仕切るように
構成されている。即ち、パッキン２は熱処理室６とその
入口側の循環経路５の部分との間をシールするので、熱
処理室６側にも隙間部分ができるが、本例では、この隙
間部分７１は、パッキン２、これに直接接触する入口枠
１及びフィルタ３の周囲枠３１の縁３１ａ、周囲枠３
１、クリーンオーブン１００のケーシング１０１及び熱
処理室６と循環経路５との間の仕切板１０２、等によっ
てフィルタ３の主として上下左右部分の周囲に形成され
ていて、出口枠７はこの部分を仕切るように囲ってい
る。従って、この部分と熱処理室６との間は気密にはな
らないが、導通部分は狭くなっている。
側に生ずる隙間部分７１を熱処理室６から仕切るように
構成されている。即ち、パッキン２は熱処理室６とその
入口側の循環経路５の部分との間をシールするので、熱
処理室６側にも隙間部分ができるが、本例では、この隙
間部分７１は、パッキン２、これに直接接触する入口枠
１及びフィルタ３の周囲枠３１の縁３１ａ、周囲枠３
１、クリーンオーブン１００のケーシング１０１及び熱
処理室６と循環経路５との間の仕切板１０２、等によっ
てフィルタ３の主として上下左右部分の周囲に形成され
ていて、出口枠７はこの部分を仕切るように囲ってい
る。従って、この部分と熱処理室６との間は気密にはな
らないが、導通部分は狭くなっている。
【００１５】なお、仕切部材は、必ずしも図１に示す出
口枠１の位置に設けられる必要はなく、パッキン２を含
む隙間部分を仕切るものであれば、より狭く仕切るよう
な部材であってもよい。
口枠１の位置に設けられる必要はなく、パッキン２を含
む隙間部分を仕切るものであれば、より狭く仕切るよう
な部材であってもよい。
【００１６】抽気口８は、隙間部分７１の気体を取り出
し可能にする隙間気体取り出し手段であり導入手段とし
て、本例では、隙間部分の気体を取り出して循環経路５
のうち送風機４の吸入側に導入するように形成されてい
る。即ち、本例のクリーンオーブン１００では、隙間部
分７１の一部分が仕切板１０２側に形成されていて、そ
の部分が送風機４の吸入側に面しているので、隙間気体
取り出し兼導入手段を最も簡単な構成として単なる開口
からなる抽気口８にしている。
し可能にする隙間気体取り出し手段であり導入手段とし
て、本例では、隙間部分の気体を取り出して循環経路５
のうち送風機４の吸入側に導入するように形成されてい
る。即ち、本例のクリーンオーブン１００では、隙間部
分７１の一部分が仕切板１０２側に形成されていて、そ
の部分が送風機４の吸入側に面しているので、隙間気体
取り出し兼導入手段を最も簡単な構成として単なる開口
からなる抽気口８にしている。
【００１７】なお、この部分の大きさを調整できるよう
に二点鎖線で示すような絞り機能を持つスライド板８１
を設けてもよい。そのようにすれば、送風機吸入側への
戻し気体の量を調整し、最小量の気体でパッキン２から
発生するパーティクルを相当の確率で吸い込むことがで
きる。
に二点鎖線で示すような絞り機能を持つスライド板８１
を設けてもよい。そのようにすれば、送風機吸入側への
戻し気体の量を調整し、最小量の気体でパッキン２から
発生するパーティクルを相当の確率で吸い込むことがで
きる。
【００１８】以上のようなクリーンオーブン１００は次
のように運転され、その作用効果を発揮する。熱処理室
６内には、図において二点鎖線で示すように、熱処理さ
れる対象物として液晶ガラス基板等からなる基板Ｗが枠
組み構造のカセット２００に多段に積載されて入れられ
る。そして、送風機４及び加熱器９が運転され、空気又
は濃度調整された窒素富化ガス等の気体が循環経路５か
らフィルタ３を経由し熱処理室６を通過するように循環
される。又、熱処理が終了すると、加熱器９の運転が停
止されて冷却器１０が運転される。
のように運転され、その作用効果を発揮する。熱処理室
６内には、図において二点鎖線で示すように、熱処理さ
れる対象物として液晶ガラス基板等からなる基板Ｗが枠
組み構造のカセット２００に多段に積載されて入れられ
る。そして、送風機４及び加熱器９が運転され、空気又
は濃度調整された窒素富化ガス等の気体が循環経路５か
らフィルタ３を経由し熱処理室６を通過するように循環
される。又、熱処理が終了すると、加熱器９の運転が停
止されて冷却器１０が運転される。
【００１９】このように運転中における熱処理室６内の
温度は、通常プログラム制御される。即ち、この運転で
は、例えば図２及び図７に示す如く、１００℃程度まで
の予熱、これから４００℃程度の熱処理温度への昇温、
昇温到達後の熱処理温度での基板Ｗの加熱、２００℃程
度以下の温度への冷却、等の各運転が適当な昇降温速度
及び温度維持時間のもとに行われる。
温度は、通常プログラム制御される。即ち、この運転で
は、例えば図２及び図７に示す如く、１００℃程度まで
の予熱、これから４００℃程度の熱処理温度への昇温、
昇温到達後の熱処理温度での基板Ｗの加熱、２００℃程
度以下の温度への冷却、等の各運転が適当な昇降温速度
及び温度維持時間のもとに行われる。
【００２０】このように加熱気体が循環されると、昇温
及び降温時には、熱処理装置を構成する各機器や部材で
は、その形状や寸法や熱容量や気体の当たり具合等の相
違により、温度変化の状態がまちまちになり、又、これ
らの部材がステンレス系の材料でできているもののそれ
ぞれの部分に適した材料が選択されているためその種類
が異なって熱膨張係数も相当程度異なるため、それぞれ
変形量が異なり、それぞれの部分で相対変位が生ずる。
及び降温時には、熱処理装置を構成する各機器や部材で
は、その形状や寸法や熱容量や気体の当たり具合等の相
違により、温度変化の状態がまちまちになり、又、これ
らの部材がステンレス系の材料でできているもののそれ
ぞれの部分に適した材料が選択されているためその種類
が異なって熱膨張係数も相当程度異なるため、それぞれ
変形量が異なり、それぞれの部分で相対変位が生ずる。
【００２１】その結果、パッキン２の部分では、これに
接触する入口枠１とフィルタ３の周囲枠３１との間でも
不等変形が起こり、パッキン２には前述の如く圧縮力や
剪断力等がかかり、その内部にそれらに対応した応力及
び歪みが生じ、パッキン２からその微細成分がパーティ
クルとなって飛散することになる。
接触する入口枠１とフィルタ３の周囲枠３１との間でも
不等変形が起こり、パッキン２には前述の如く圧縮力や
剪断力等がかかり、その内部にそれらに対応した応力及
び歪みが生じ、パッキン２からその微細成分がパーティ
クルとなって飛散することになる。
【００２２】このとき、本例の装置では隙間部分７１に
対して抽気口８を設けているので、隙間部分７１では、
その中の気体が常時熱処理室６から循環経路５の送風機
吸入側に流れる気体流が生じていて、パーティクルが発
生したときには、それが気体流によって隙間部分７１か
ら抽気口８を通って出て行き、送風機４で送出されて再
びフィルタ３に通される。その結果、パーティクルはフ
ィルタ３で捕捉される。そして、隙間部分７１から熱処
理室６側に排出されることがない。
対して抽気口８を設けているので、隙間部分７１では、
その中の気体が常時熱処理室６から循環経路５の送風機
吸入側に流れる気体流が生じていて、パーティクルが発
生したときには、それが気体流によって隙間部分７１か
ら抽気口８を通って出て行き、送風機４で送出されて再
びフィルタ３に通される。その結果、パーティクルはフ
ィルタ３で捕捉される。そして、隙間部分７１から熱処
理室６側に排出されることがない。
【００２３】図２は、以上のようなクリーンオーブン１
００の運転試験をしてパーティクルの発生状態を測定し
た結果を示す。この試験で使用したクリーンオーブンは
次の仕様のものである： 基板処理方式 ；バッチ式 処理能力 ；２０枚／１回 最高熱処理温度 ；５００℃ 加熱器出力 ；５４．６Ｗ フィルタ形式 ；耐熱特殊フィルター パッキン材質 ；無機質系繊維 抽気口８の大きさ ；直径８０ｍｍ×４個 このクリーンオーブンは抽気口８を備えている点を除い
て図７に運転結果を示すものと同じである。図２及び図
７の測定結果によれば、抽気口８を設けない通常の構造
のものでは、粒径０．３μｍ以上のパーティクルでは、
昇温時Ｔ1 及び降温時Ｔ3 に１cf当たり５０個を大幅に
超えていて、粒径０．５μｍ以上のパーティクルも５０
個近くまであり、更に粒径１．０μｍ以上のパーティク
ルも相当数あったのに対して、本発明を適用した本例の
抽気口８を設けた装置では、粒径０．３μｍ以上のパー
ティクルであっても、その数が５０個以下になり、全体
的にパーティクルの個数が図７の場合の半分程度又はそ
れ以下に低下している。
００の運転試験をしてパーティクルの発生状態を測定し
た結果を示す。この試験で使用したクリーンオーブンは
次の仕様のものである： 基板処理方式 ；バッチ式 処理能力 ；２０枚／１回 最高熱処理温度 ；５００℃ 加熱器出力 ；５４．６Ｗ フィルタ形式 ；耐熱特殊フィルター パッキン材質 ；無機質系繊維 抽気口８の大きさ ；直径８０ｍｍ×４個 このクリーンオーブンは抽気口８を備えている点を除い
て図７に運転結果を示すものと同じである。図２及び図
７の測定結果によれば、抽気口８を設けない通常の構造
のものでは、粒径０．３μｍ以上のパーティクルでは、
昇温時Ｔ1 及び降温時Ｔ3 に１cf当たり５０個を大幅に
超えていて、粒径０．５μｍ以上のパーティクルも５０
個近くまであり、更に粒径１．０μｍ以上のパーティク
ルも相当数あったのに対して、本発明を適用した本例の
抽気口８を設けた装置では、粒径０．３μｍ以上のパー
ティクルであっても、その数が５０個以下になり、全体
的にパーティクルの個数が図７の場合の半分程度又はそ
れ以下に低下している。
【００２４】これらの図２及び図７の運転では、昇温速
度及び外気を導入することなく冷却器１１を使用して急
冷したときの降温速度が共に約８℃／min であり、図８
に示す従来の通常温度の運転における昇温速度約６℃／
min の１．３倍以上になっていて、パーティクルの発生
量が多くなる条件になっていたが、本例の装置では上記
の如く試験室内の粒子数を十分低い値にすることができ
た。従って、本発明を適用した図１の装置によれば、極
めて簡単な構成の下に、昇降温速度の速いクリーンオー
ブンであっても、熱処理室６へのパーティクルの持ち込
み量を低減し、その清浄度を良好な状態に維持すること
ができる。又、通常の熱処理温度のものでは、その清浄
度を更に余裕のある低いレベルまで下げることができ
る。
度及び外気を導入することなく冷却器１１を使用して急
冷したときの降温速度が共に約８℃／min であり、図８
に示す従来の通常温度の運転における昇温速度約６℃／
min の１．３倍以上になっていて、パーティクルの発生
量が多くなる条件になっていたが、本例の装置では上記
の如く試験室内の粒子数を十分低い値にすることができ
た。従って、本発明を適用した図１の装置によれば、極
めて簡単な構成の下に、昇降温速度の速いクリーンオー
ブンであっても、熱処理室６へのパーティクルの持ち込
み量を低減し、その清浄度を良好な状態に維持すること
ができる。又、通常の熱処理温度のものでは、その清浄
度を更に余裕のある低いレベルまで下げることができ
る。
【００２５】なお、隙間部分７１では、フィルタ３の周
囲枠３１と出口枠７との隙間を小さくしているため、８
０ｍｍという比較的大きい口径の抽気口８を設けている
が、これを通過する気体流量は約２〜３ｍ3/min であ
り、循環空気量の約３〜５％で十分少量であった。従っ
て、このような気体戻し系を設けても、クリーンオーブ
ンの性能に影響を与えることはない。
囲枠３１と出口枠７との隙間を小さくしているため、８
０ｍｍという比較的大きい口径の抽気口８を設けている
が、これを通過する気体流量は約２〜３ｍ3/min であ
り、循環空気量の約３〜５％で十分少量であった。従っ
て、このような気体戻し系を設けても、クリーンオーブ
ンの性能に影響を与えることはない。
【００２６】図３は本発明を適用したクリーンオーブン
の他の例を示す。本例のものは、図１のものに較べて、
抽気口８の位置の上流側に送風機４が配置されていて、
その吸込側まで抽気口８から管８２を導設している点が
異なる。本例のものでも、図１のものと全く同様の作用
効果を得ることができる。
の他の例を示す。本例のものは、図１のものに較べて、
抽気口８の位置の上流側に送風機４が配置されていて、
その吸込側まで抽気口８から管８２を導設している点が
異なる。本例のものでも、図１のものと全く同様の作用
効果を得ることができる。
【００２７】図４は本発明を適用したクリーンオーブン
の更に他の例を示す。本例のものでは、図１、３に示す
抽気口８の位置から送風機４が離れているため、隙間部
分７１の気体を循環経路５のうちの送風機４の吸入側に
は戻し難いため、抽気口８を上方のケーシング１０１に
設けて、管８３及び戻し送風機８４を配設し、隙間部分
７１の気体を循環経路のうちフィルタ３の上流側に戻す
ようにしている。本例のものでは、戻し送風機８４が必
要になるが、これは十分小容量のものでよいので、電力
消費や装置コストへの影響は軽微である。
の更に他の例を示す。本例のものでは、図１、３に示す
抽気口８の位置から送風機４が離れているため、隙間部
分７１の気体を循環経路５のうちの送風機４の吸入側に
は戻し難いため、抽気口８を上方のケーシング１０１に
設けて、管８３及び戻し送風機８４を配設し、隙間部分
７１の気体を循環経路のうちフィルタ３の上流側に戻す
ようにしている。本例のものでは、戻し送風機８４が必
要になるが、これは十分小容量のものでよいので、電力
消費や装置コストへの影響は軽微である。
【００２８】図５は本発明を適用したクリーンオーブン
の更に他の例を示す。本例のものでは、隙間部分７１の
気体をもう一度循環経路５に戻すのではなく、図４の装
置と同様に上方のケーシング１０１に排気口１１及びこ
れから排気管１２を導設し、通常クリーンオーブンが設
置されるクリーンルーム又はこれから更に配管を延ばし
て外の大気中に放出するようにしている。なお、熱処理
室６内は通常ある程度正圧になっているので、外から気
体が流入することはないが、より完全に排気するため
に、図において二点鎖線で示すように、排気送風機１３
を設けるようにしてもよい。この排気送風機も同様に小
容量のものでよい。
の更に他の例を示す。本例のものでは、隙間部分７１の
気体をもう一度循環経路５に戻すのではなく、図４の装
置と同様に上方のケーシング１０１に排気口１１及びこ
れから排気管１２を導設し、通常クリーンオーブンが設
置されるクリーンルーム又はこれから更に配管を延ばし
て外の大気中に放出するようにしている。なお、熱処理
室６内は通常ある程度正圧になっているので、外から気
体が流入することはないが、より完全に排気するため
に、図において二点鎖線で示すように、排気送風機１３
を設けるようにしてもよい。この排気送風機も同様に小
容量のものでよい。
【００２９】本例の装置によれば、循環気体として放出
した量に見合う気体を取り入れることになるので、僅か
であるが熱損失は生ずる。但し、液晶ガラス基板等の熱
処理対象物では、基板上に回路形成をするために使用さ
れたフォトレジストや各種溶剤等から発生する昇華性ガ
ス等の濃度低下のために常時換気する場合もあり、その
ような装置では、抽気口８からの排気をそのような換気
気体の一部として使用することも可能である。
した量に見合う気体を取り入れることになるので、僅か
であるが熱損失は生ずる。但し、液晶ガラス基板等の熱
処理対象物では、基板上に回路形成をするために使用さ
れたフォトレジストや各種溶剤等から発生する昇華性ガ
ス等の濃度低下のために常時換気する場合もあり、その
ような装置では、抽気口８からの排気をそのような換気
気体の一部として使用することも可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、熱処理装置の構造部材にシール部材を
介してフィルタを取り付け、送風機を備えた熱処理用の
気体の循環経路からこのフィルタを通過させて気体を熱
処理室に入れるようにした熱処理装置において、シール
部材を含み熱処理室側に生ずる隙間部分を熱処理室から
仕切る仕切部材を設けるので、隙間部分と熱処理室との
間で気体の自由な導通を防止することができる。
発明においては、熱処理装置の構造部材にシール部材を
介してフィルタを取り付け、送風機を備えた熱処理用の
気体の循環経路からこのフィルタを通過させて気体を熱
処理室に入れるようにした熱処理装置において、シール
部材を含み熱処理室側に生ずる隙間部分を熱処理室から
仕切る仕切部材を設けるので、隙間部分と熱処理室との
間で気体の自由な導通を防止することができる。
【００３１】そして、隙間部分の気体を取り出し可能に
する隙間気体取り出し手段を設けるので、これにより、
仕切部材によって隙間部分から仕切られた熱処理室から
小量の気体が入りつつ隙間部分の気体を取り出すことが
できる。即ち、隙間部分を換気することができる。
する隙間気体取り出し手段を設けるので、これにより、
仕切部材によって隙間部分から仕切られた熱処理室から
小量の気体が入りつつ隙間部分の気体を取り出すことが
できる。即ち、隙間部分を換気することができる。
【００３２】一方、隙間部分がシール部材を含んでいる
ので、熱処理装置が運転され、運転状態が昇温過程や降
温過程になると、熱処理装置の構造部材やフィルタの構
造材が不等変形してシール部材に各種の応力及び歪みを
発生させ、シール部材からダスト成分であるパーティク
ルを発生させることになり、それが隙間部分に入る。こ
のとき、上記の如く隙間部分を換気することができるの
で、換気によってこのようなパーティクルを隙間部分か
ら排除することができる。その結果、熱処理室内の清浄
度を良くすることができる。そして、クリーン環境の求
められる半導体製品等を許容される清浄度の環境で良好
に熱処理することができる。
ので、熱処理装置が運転され、運転状態が昇温過程や降
温過程になると、熱処理装置の構造部材やフィルタの構
造材が不等変形してシール部材に各種の応力及び歪みを
発生させ、シール部材からダスト成分であるパーティク
ルを発生させることになり、それが隙間部分に入る。こ
のとき、上記の如く隙間部分を換気することができるの
で、換気によってこのようなパーティクルを隙間部分か
ら排除することができる。その結果、熱処理室内の清浄
度を良くすることができる。そして、クリーン環境の求
められる半導体製品等を許容される清浄度の環境で良好
に熱処理することができる。
【００３３】請求項２の発明においては、隙間気体取り
出し手段を、気体を循環経路に導入可能にする隙間気体
導入手段にするので、この気体を再びフィルタを通過さ
せて熱処理室に入れることができる。その結果、パッキ
ンから発生し隙間部分に入ったパーティクルをフィルタ
で捕捉することができる。そして、熱処理室をクリーン
な環境に維持することができる。この場合、隙間部分か
ら取り出された気体は循環経路に回収されるので、熱的
損失が生じないと共に、気体を補給する必要もない。そ
の結果、熱処理装置の熱効率に影響することなく、又簡
単な構造により、パッキンから発生するパーティクルを
処理することができる。
出し手段を、気体を循環経路に導入可能にする隙間気体
導入手段にするので、この気体を再びフィルタを通過さ
せて熱処理室に入れることができる。その結果、パッキ
ンから発生し隙間部分に入ったパーティクルをフィルタ
で捕捉することができる。そして、熱処理室をクリーン
な環境に維持することができる。この場合、隙間部分か
ら取り出された気体は循環経路に回収されるので、熱的
損失が生じないと共に、気体を補給する必要もない。そ
の結果、熱処理装置の熱効率に影響することなく、又簡
単な構造により、パッキンから発生するパーティクルを
処理することができる。
【００３４】請求項３の発明においては、上記の隙間気
体導入手段を、気体を循環経路のうちの送風機の吸入側
に導入可能にするように構成するので、隙間部分の気体
を送風機の吸込力によって循環経路に戻すことができ
る。その結果、上記作用効果に加えて、隙間部分に送風
機の吸入側と導通する導通口を設けたり導通させるため
の管を設ける程度の極めて簡単な構造のものにすること
ができる。
体導入手段を、気体を循環経路のうちの送風機の吸入側
に導入可能にするように構成するので、隙間部分の気体
を送風機の吸込力によって循環経路に戻すことができ
る。その結果、上記作用効果に加えて、隙間部分に送風
機の吸入側と導通する導通口を設けたり導通させるため
の管を設ける程度の極めて簡単な構造のものにすること
ができる。
【図１】本発明を適用した熱処理装置であるクリーンオ
ーブンの全体構成の一例を示す説明図である。
ーブンの全体構成の一例を示す説明図である。
【図２】上記クリーンオーブンの運転におけるパーティ
クルの測定結果を示す説明図である。
クルの測定結果を示す説明図である。
【図３】上記クリーンオーブンの全体構成の他の例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】上記クリーンオーブンの全体構成の更に他の例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】上記クリーンオーブンの全体構成の更に他の例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図６】従来の高温用のクリーンオーブンの全体構成の
一例を示す説明図である。
一例を示す説明図である。
【図７】上記クリーンオーブンの高温運転におけるパー
ティクルの測定結果を示す説明図である。
ティクルの測定結果を示す説明図である。
【図８】従来の通常の熱処理温度のクリーンオーブンの
プログラム運転時の試験室内の清浄度を示す説明図であ
る。
プログラム運転時の試験室内の清浄度を示す説明図であ
る。
１ 入口枠（構造部材）
２ パッキン（シール部材）
３ フィルタ
４ 送風機
５ 循環経路
６ 熱処理室
７ 出口枠（仕切部材）
８ 抽気口（隙間気体取り出し手段、隙間
気体導入手段） １１ 排気口（隙間気体取り出し手段） １２ 排気管（隙間気体取り出し手段） １３ 排気送風機（隙間気体取り出し手段） ７１ 隙間部分 82、83 管（隙間気体取り出し手段、隙間気体
導入手段） ８４ 戻し送風機（隙間気体取り出し手段、
隙間気体導入手段） １００ クリーンオーブン（熱処理装置）
気体導入手段） １１ 排気口（隙間気体取り出し手段） １２ 排気管（隙間気体取り出し手段） １３ 排気送風機（隙間気体取り出し手段） ７１ 隙間部分 82、83 管（隙間気体取り出し手段、隙間気体
導入手段） ８４ 戻し送風機（隙間気体取り出し手段、
隙間気体導入手段） １００ クリーンオーブン（熱処理装置）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/324 Ｈ０１Ｌ 21/324 Ｒ
Ｆターム(参考） 3L058 BD01 BE02 BF02 BF05
4D058 KC62 QA01 QA03 QA21 QA25
QA30 SA04 UA01
4K063 AA05 BA12 CA03 DA22 DA26
Claims (3)
- 【請求項１】 構造部材にシール部材を介してフィルタ
を取り付けて送風機を備えた熱処理用の気体の循環経路
から前記フィルタを通過させて前記気体を熱処理室に入
れるようにした熱処理装置において、 前記シール部材を含み前記熱処理室側に生ずる隙間部分
を前記熱処理室から仕切る仕切部材と、前記隙間部分の
気体を取り出し可能にする隙間気体取り出し手段と、を
有することを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項２】 前記隙間気体取り出し手段は前記隙間部
分の気体を前記循環経路に導入可能にする隙間気体導入
手段であることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装
置。 - 【請求項３】 前記隙間気体導入手段は前記気体を前記
循環経路のうちの前記送風機の吸入側に導入可能にする
ことを特徴とする請求項２に記載の熱処理装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109748A JP3949494B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | フィルタ発塵処理機能を持つ熱処理装置 |
| TW091118684A TW539843B (en) | 2002-04-11 | 2002-08-19 | Thermal treatment unit with removing capability of particles generated by filter |
| KR1020020055955A KR100598430B1 (ko) | 2002-04-11 | 2002-09-14 | 필터발진 처리기능을 갖는 열처리장치 |
| CNB02142697XA CN1199895C (zh) | 2002-04-11 | 2002-09-17 | 具有过滤器排尘处理功能的热处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109748A JP3949494B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | フィルタ発塵処理機能を持つ熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003302078A true JP2003302078A (ja) | 2003-10-24 |
| JP3949494B2 JP3949494B2 (ja) | 2007-07-25 |
Family
ID=28786603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002109748A Expired - Fee Related JP3949494B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | フィルタ発塵処理機能を持つ熱処理装置 |
Country Status (4)
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|---|---|
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| KR (1) | KR100598430B1 (ja) |
| CN (1) | CN1199895C (ja) |
| TW (1) | TW539843B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285688A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Espec Corp | フィルタ固定機構、フィルタ固定方法、および熱処理装置 |
| JP2007307445A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Espec Corp | エアーフィルタユニット、及びこのエアーフィルタユニットを備えた熱処理装置 |
| JP6291109B1 (ja) * | 2017-04-20 | 2018-03-14 | 中外炉工業株式会社 | フィルタ |
| WO2018193646A1 (ja) * | 2017-04-20 | 2018-10-25 | 中外炉工業株式会社 | クリーンオーブン |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
| JP2012084805A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| CN104617190B (zh) * | 2014-12-25 | 2017-06-06 | 鸿利智汇集团股份有限公司 | 一种led粉尘颗粒的清理设备及清理方法 |
| CN112289708B (zh) * | 2020-09-29 | 2023-09-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 温度调节速率控制装置、方法及半导体设备 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053205Y2 (ja) * | 1987-02-02 | 1993-01-26 | ||
| JPH0742724B2 (ja) * | 1988-07-20 | 1995-05-10 | 住友建設株式会社 | 制震装置 |
| KR0167476B1 (ko) * | 1990-09-27 | 1999-02-01 | 이노우에 다케시 | 종형 열처리 장치 |
| JP3108460B2 (ja) * | 1991-02-26 | 2000-11-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型熱処理装置 |
| JP3613446B2 (ja) * | 1999-05-21 | 2005-01-26 | エスペック株式会社 | 特殊耐熱フィルタ付き熱処理装置及び特殊耐熱フィルタ |
| JP3408464B2 (ja) * | 1999-08-19 | 2003-05-19 | 九州日本電気株式会社 | クリーンオーブン |
-
2002
- 2002-04-11 JP JP2002109748A patent/JP3949494B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-19 TW TW091118684A patent/TW539843B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-09-14 KR KR1020020055955A patent/KR100598430B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-09-17 CN CNB02142697XA patent/CN1199895C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285688A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Espec Corp | フィルタ固定機構、フィルタ固定方法、および熱処理装置 |
| JP2007307445A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Espec Corp | エアーフィルタユニット、及びこのエアーフィルタユニットを備えた熱処理装置 |
| JP6291109B1 (ja) * | 2017-04-20 | 2018-03-14 | 中外炉工業株式会社 | フィルタ |
| WO2018193647A1 (ja) * | 2017-04-20 | 2018-10-25 | 中外炉工業株式会社 | フィルタ |
| WO2018193646A1 (ja) * | 2017-04-20 | 2018-10-25 | 中外炉工業株式会社 | クリーンオーブン |
| JP2018176133A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | 中外炉工業株式会社 | フィルタ |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW539843B (en) | 2003-07-01 |
| CN1450008A (zh) | 2003-10-22 |
| KR20030080973A (ko) | 2003-10-17 |
| JP3949494B2 (ja) | 2007-07-25 |
| CN1199895C (zh) | 2005-05-04 |
| KR100598430B1 (ko) | 2006-07-10 |
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