JP2003282655A - テストボード搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストボードの移載における作業者の負担を
軽減する。 【解決手段】 半導体集積回路試験装置のテストヘッド
Ｈ上にテストボードＸを搭載する場合あるいは前記テス
トヘッドＨ上からテストボードＸを回収する場合に用い
られるテストボード搬送台車であって、キャスター１が
取り付けられた下部ベース部材２と、テストボードＸを
搭載する搭載台６と、下部ベース部材２上に設けられ、
上記搭載台６を上下動させる昇降機構３とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路試
験装置のテストヘッド上に搭載されるテストボードを搬
送するためのテストボード搬送台車に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
集積回路試験装置にける被測定デバイスの並列試験個数
は年々増加しており、これに伴って被測定デバイスが装
着されるテストボードの重量も増加傾向にある。テスト
ボードは、被測定デバイスの品種に応じて各々専用品が
用意されており、被測定デバイスの品種が変更になる度
にテストヘッド上から取り外されて、新たに試験対象と
なる被測定デバイスに応じたテストボードが搭載され
る。

【０００３】このような比較的重量のあるテストボード
をテストヘッド上に搭載する場合は、台車等によってテ
ストヘッド近傍まで搬送してきたテストボードを数人の
作業者が人手によってテストヘッド上に移載する。ま
た、このようにしてテストヘッド上に搭載されたテスト
ボードを交換のために回収する場合には、テストヘッド
上のテストボードをテストヘッド近傍の台車まで人手に
よって移載する。このようなテストボードの移載では、
少なくても２人の作業者が必要であり、またテストボー
ドが重量物であるために、作業者に与える負担が大き
く、作業性も悪い。

【０００４】一方、近年、半導体集積回路試験装置の設
置スペースの削減が要求されており、この結果としてテ
ストヘッドの設置レイアウトもスペース的な余裕が殆ど
なくなっている。半導体集積回路試験装置の中には、本
体に複数のテストヘッドを接続するマルチステーション
方式のものもあるが、このようなものにおいてもテスト
ヘッド相互の間隔が狭くなっており、上述したテストボ
ードの搭載や交換に支障を来すような状況になってい
る。

【０００５】すなわち、テストボードを数人の作業者に
よる人手によって移載する場合、各作業者は、テストボ
ードの両側に設けられた取っ手を把持してテストボード
を搬送するが、このためにはテストボードの幅に左右の
作業者の幅と加えた通路を確保する必要がある。しか
し、このようなテストボードの移載に必要な通路を確保
することは、現状では極めて困難になっている。

【０００６】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、以下の点を目的とするものである。 （１）テストボードの移載における作業者の負担を軽減
する。 （２）テストボードの移載における作業性を向上させ
る。 （３）比較的重量のあるテストボードを比較的狭い通路
を通過させてテストヘッド近傍に搬送する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、第１の手段として、半導体集積回路試
験装置のテストヘッド上にテストボードを搭載する場合
あるいは前記テストヘッド上からテストボードを回収す
る場合に用いられるテストボード搬送台車であって、キ
ャスターが取り付けられた下部ベース部材と、テストボ
ードを搭載する搭載台と、下部ベース部材上に設けら
れ、搭載台を上下動させる昇降機構とを具備する構成を
採用する。

【０００８】また、第２の手段として、上記第１の手段
において、テストヘッドとの間の位置関係を規定する位
置決め機構をさらに備えるという構成を採用する。

【０００９】第３の手段として、上記第２の手段におい
て、位置決め機構は側方に突出して設けられると共に外
部との干渉を回避する干渉回避機構を備えるという構成
を採用する。

【００１０】第４の手段として、上記第１〜第３いずれ
かの手段において、搭載台を水平面内で回転させる回転
機構を備えるという構成を採用する。

【００１１】第５の手段として、上記第１〜第４いずれ
かの手段において、テストボードの下面に設けられた脚
が搭載台上から外れた場合にテストボードを支える支持
機構を備えるという構成を採用する。

【００１２】第６の手段として、上記第５の手段におい
て、支持機構はテストボードの下面を回転自在に受ける
ローラを備えるという構成を採用する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わるテストボード搬送台車の一実施形態について説明
する。

【００１４】図１〜図３は、本実施形態の概要構成を示
す図であり、図１は正面図、図２は右側面図、図３は上
面図である。これらの図において、符号１はキャスタ、
２は下側ベース部材、３はハンドルリフタ、４は上側ベ
ース部材、５は回転機構、６は搭載台、７は固定アング
ル、８は取手、９は位置決め機構、１０はレール、１１
はストップカバー、またＸはテストボード、Ｈはテスト
ヘッドである。

【００１５】略長方形の下側ベース部材２は、下面の４
角近傍に各々にキャスタ１が取り付けられており、また
当該下側ベース部材２の上面にはハンドルリフタ３の一
端部（下側）が固定アングル７によって固定されてい
る。このハンドルリフタ３は、他端部（上側）が上側ベ
ース部材４が固定されており、操作ハンドル３ａを回転
させることによりパンタグラフ３ｂが圧縮／伸張して、
上側ベース部材４を上下動させる。なお、取手８は、上
記固定アングル７の側方に突出するように設けられたス
ペーサ８ａを介して固定アングル７に取り付けられてお
り、上記操作ハンドル３ａと同一方向に設けられてい
る。

【００１６】上側ベース部材４は、その上面に回転軸５
ａと複数のボールキャスタ５ｂとから成る回転機構５を
介して搭載台６が回動自在に取り付けられている。回転
機構５を構成する回転軸５ａは、上側ベース部材４（す
なわち搭載台６）の中心部に設けられる一方、各ボール
キャスタ５ｂは、このような回転軸５ａの周囲に所定間
隔を隔てて同心状に６個設けられている。また、上記上
側ベース部材４には、１対の位置決め機構９が固定され
ている。

【００１７】各々の位置決め機構９は、位置決めブロッ
ク９ａ、ガイドピン９ｂ、ヒンジ９ｃ、アジャストクリ
ップ９ｄ、取付フレーム９ｅ及びキャッチクリップ９
ｆ，９ｇから構成されている。位置決めブロック９ａ
は、図示するように長方形の板状部材であり、その途中
部位がヒンジ９ｃを介して取付フレーム９ｅの角部に取
り付けられていると共に、その先端部にはガイドピン９
ｂ及びアジャストクリップ９ｄが固定されている。取付
フレーム９ｅは、水平面と垂直面とを有する枠体であ
り、当該垂直面と水平面とによって上記角部を形成して
いる。この取付フレーム９ｅの水平面にはキャッチクリ
ップ９ｆが設けられ、垂直面にはキャッチクリップ９ｇ
が設けられている。

【００１８】また、取付フレーム９ｅにおいて上記途中
部位前方側と後方側には、上記キャッチクリップ９ｆ，
９ｇとそれぞれ係合する係合部９ｈ，９ｉが形成されて
おいる。一方の係合部９ｈは一方のキャッチクリップ９
ｆに係合するように位置設定され、他方の係合部９ｉは
他方のキャッチクリップ９ｇに係合するように位置設定
されている。

【００１９】すなわち、一方の係合部９ｈとキャッチク
リップ９ｆとが係合した状態では位置決めブロック９ａ
は水平姿勢となってガイドピン９ｂが側方に突出した状
態となり、これに対して他方の係合部９ｉとキャッチク
リップ９ｇとが係合した状態では、位置決めブロック９
ａは垂直姿勢となってガイドピン９ｂは上方にを向いた
状態（収納状態）とされる。

【００２０】搭載台６は、テストボードＸの外形と略同
等の長方形に形成されており、長辺に沿って上方に突出
するように１対のレール１０が設けられると共に、その
先端部には１対のストップカバー１１が取り付けられて
いる。テストボードＸの下部４角には下方に突出する脚
ｘ1が設けられており、搭載台６は、その上面で脚ｘ1の
底面を受ける。上記各レール１０は、各レール１０は、
上記脚ｘ1の外側に位置すると共に上方に突出すること
によって、テストボードＸの左右方向（図３参照）の動
きを規制する。ストップカバー１１は、テストボードＸ
が前方にズレ落ちるのを防止するためのものである。

【００２１】また、このような各レール１０には、図４
の部分拡大図に示すように、前方近傍位置にローラ１０
ａが設けられている。これらローラ１０ａは、テストボ
ードＸをテストヘッド上に移載しようとして前方に移動
させた際に、上記脚ｘ1（前方に設けられた前脚）が搭
載台６上から外れたときに、テストボードＸの下面を受
けることにより当該テストボードＸを支えるために設け
られている。上記レール１０及びローラ１０ａは本実施
形態における支持機構を構成している。

【００２２】なお、図４における符号１２，１３はスト
ッパブロック、１４はプランジャであり、回転固定機構
を構成する部材である。ストッパブロック１２は搭載台
６の側面に固定される一方ストッパブロック１３は上側
ベース部材４の側面に固定されている。これらストッパ
ブロック１２とストッパブロック１３とは、プランジャ
１４を手動操作することにより係合あるいは当該係合が
解除される。

【００２３】 次に、このように構成された
テストボード搬送台車を用いたテストボードＸの搬送及
びテストヘッドＨ上への移載について説明する。

【００２４】本テストボード搬送台車を用いてテストボ
ードＸを搬送する場合、作業者は、固定アングル７から
側方に突出する取手８を把持し、当該取手８側から押す
ことによって移動させる。この際、キャスタ１が回転す
ることによって、テストボード搬送台車はテストヘッド
Ｈが設置されたフロア上を比較的容易に移動するので、
数人の作業者でテストボードＸの取手ｈを把持して搬送
する場合に比較して作業者の労力は軽減される。

【００２５】ここで、図１〜図３は、テストボードＸを
テストヘッドＨ上に移載する状態を示しているが、この
状態は、テストボード搬送台車の進行方向に対してテス
トボードＸの長辺が直行する状態である。すなわち、こ
の状態では、テストボード搬送台車の移動の際に上記フ
ロア上の狭い箇所を通過することができない。そこで、
作業者は、プランジャ１４を手動操作することによりス
トッパブロック１２とストッパブロック１３との係合つ
まり搭載台６と上側ベース部材４との固定状態を解除
し、搭載台６を９０度回転させる。この９０度回転させ
た状態では、テストボードＸの長辺はテストボード搬送
台車の進行方向と平行になり、上記狭い箇所を通過し易
くなる。なお、この搬送段階では、位置決めブロック９
ａは収納状態とされ、側方に突出しない状態になってい
る。

【００２６】そして、作業者は、上記狭い箇所を通過し
てテストボード搬送台車をテストヘッドＨの近傍まで移
動させると、搭載台６を元の状態（図１の状態）に戻し
てプランジャ１４で当該状態を固定すると共に、位置決
めブロック９ａを倒して側方に突出する状態とし、かつ
操作ハンドル３ａを操作することによりテストヘッドＨ
の上面と搭載台６の上面とを略一致させる。そして、こ
の状態でテストボード搬送台車をテストヘッドＨにさら
に近づけることによってガイドピン９ｂをテストヘッド
Ｈに予め設けられた孔に係合させると共に、アジャスト
クリップ９ｄでこの係合状態を保持する。

【００２７】さらに、作業員は、ストップカバー１１を
図１に示すように開いた状態とすることにより、搭載台
６上のテストボードＸをテストヘッドＨ側に引き出せる
状態とする。この状態において、テストボードＸの左右
に位置する少なくとの２人の作業者は、１対のレール１
０によって左右方向に挟まれた状態のテストボードＸを
テストヘッドＨ側つまり前方に徐々に引き出してテスト
ヘッドＨ上に徐々に移動させる。

【００２８】ここで、上記のようにテストボードＸを前
方に引き出すことによってテストボードＸの脚ｘ1（前
脚）が搭載台６上から外れるが、テストボードＸの下面
は図４に示すようにローラ１０ａによって受けられるの
で、テストボードＸの下面に突出するコネクタ等が破損
することを確実に防止することができると共に、ローラ
１０ａが前後方向に回転するので、テストボードＸの引
き出しが容易となる。作業者は、テストボードＸを搭載
台６上から完全に引き出して、テストヘッドＨの上面に
移動させることにより移載を完了する。

【００２９】一方、このようにしてテストヘッドＨ上に
搭載されたテストボードＸを交換する場合、作業者は、
脚ｘ1（後脚）が各レール１０によって挟まれる状態に
してテストヘッドＨ上のテストボードＸを徐々に搭載台
６上に移動させる。そして、搭載台６上に完全に移動さ
せると、ストップカバー１１を閉じてテストボードＸが
前方にズレ落ちない状態として他所に搬送する。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体集積回路試験装置のテストヘッド上にテストボー
ドを搭載する場合あるいは前記テストヘッド上からテス
トボードを回収する場合に用いられるテストボード搬送
台車であって、キャスターが取り付けられた下部ベース
部材と、テストボードを搭載する搭載台と、下部ベース
部材上に設けられ、搭載台を上下動させる昇降機構とを
具備するので、昇降機構によって搭載台の高さをテスト
ヘッドの高さに合わせることにより、搭載台上のテスト
ボードをテストヘッド上に移載することが容易であると
共に、テストヘッド上のテストボードを搭載台上に容易
に移載することができる。したがって、テストボードの
移載における作業者の負担を軽減することが可能である
と共に、テストボードの移載における作業性を向上させ
ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態の概要構成を示す正面図
である。

【図２】 本発明の一実施形態の概要構成を示す右側面
図である。

【図３】 本発明の一実施形態の概要構成を示す上面図
である。

【図４】 本発明の一実施形態における支持機構の詳細
構成を示す拡大図である。

【符号の説明】

１……キャスタ ２……下側ベース部材 ３……ハンドルリフタ ４……上側ベース部材 ５……回転機構 ６……搭載台 ７……固定アングル ８……取手 ９……位置決め機構 １０……レール（支持機構） １０ａ……ローラ（支持機構） １１……ストップカバー １２，１３……ストッパブロック １４……プランジャ Ｈ……テストヘッド Ｘ……テストボード ｘ1……脚

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体集積回路試験装置のテストヘッ
   ド（Ｈ）上にテストボード（Ｘ）を搭載する場合あるい
   は前記テストヘッド（Ｈ）上からテストボード（Ｘ）を
   回収する場合に用いられるテストボード搬送台車であっ
   て、 キャスター（１）が取り付けられた下部ベース部材
   （２）と、 テストボード（Ｘ）を搭載する搭載台（６）と、 下部ベース部材（２）上に設けられ、前記搭載台（６）
   を上下動させる昇降機構（３）とを具備することを特徴
   とするテストボード搬送台車。
2. 【請求項２】 テストヘッド（Ｈ）と係合するするこ
   とにより相互の位置関係を規定する位置決め機構（９）
   をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のテスト
   ボード搬送台車。
3. 【請求項３】 位置決め機構（９）は、側方に突出し
   て設けられると共に外部との干渉を回避する干渉回避機
   構（９ｃ）を備えることを特徴とする請求項２記載のテ
   ストボード搬送台車。
4. 【請求項４】 搭載台（６）を水平面内で回転させる
   回転機構（５）を備えることを特徴とする請求項１〜３
   いずれかに記載のテストボード搬送台車。
5. 【請求項５】 テストボード（Ｘ）の下面に設けられ
   た脚（ｘ1）が搭載台（６）上から外れた場合にテスト
   ボード（Ｘ）を支える支持機構（１０ａ）を備えること
   を特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のテストボー
   ド搬送台車。
6. 【請求項６】 支持機構（１０ａ）は、テストボード
   （Ｘ）の下面を回転自在に受けるローラを備えることを
   特徴とする請求項５記載のテストボード搬送台車。