JP2003243301A - ロボットのレチクル末端エフェクターを用いてレチクルを移動およびロードするための方法および装置 - Google Patents
ロボットのレチクル末端エフェクターを用いてレチクルを移動およびロードするための方法および装置Info
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レチクルの予めの整列を失うことなくレチク
ル露光ステージ上に予め整列されたレチクルを移動およ
びロードする方法および装置を提供すること。 【解決手段】 レチクルを受容ステーション上に移動お
よびロードする方法であって、該方法は、以下：（ａ）
取り付けプレートに連結されたレチクルプレートを有す
る末端エフェクターを用いて保管設備から該レチクルを
回収する工程であり、該取り付けプレートが、該末端エ
フェクターをロボットアームに接続している、工程；
（ｂ）該レチクルがオフライン整列ステーションに予め
整列された後に、該レチクルを該レチクルプレートに取
り付ける工程；および、（ｃ）該予めの整列を維持し、
かつ移動の間の剛性を提供しながら該レチクルを該オフ
ライン整列ステーションから該受容ステーションに移動
させる工程、を包含する、方法。
ル露光ステージ上に予め整列されたレチクルを移動およ
びロードする方法および装置を提供すること。 【解決手段】 レチクルを受容ステーション上に移動お
よびロードする方法であって、該方法は、以下：（ａ）
取り付けプレートに連結されたレチクルプレートを有す
る末端エフェクターを用いて保管設備から該レチクルを
回収する工程であり、該取り付けプレートが、該末端エ
フェクターをロボットアームに接続している、工程；
（ｂ）該レチクルがオフライン整列ステーションに予め
整列された後に、該レチクルを該レチクルプレートに取
り付ける工程；および、（ｃ）該予めの整列を維持し、
かつ移動の間の剛性を提供しながら該レチクルを該オフ
ライン整列ステーションから該受容ステーションに移動
させる工程、を包含する、方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、概してリソグラフ
ィーシステムに関する。より詳細には、本発明は、面外
レチクル整列を維持し、かつ移動の間のレチクルの剛性
を与えながら、受容ステーション上へレチクルを移動お
よびロードすることに関する。
ィーシステムに関する。より詳細には、本発明は、面外
レチクル整列を維持し、かつ移動の間のレチクルの剛性
を与えながら、受容ステーション上へレチクルを移動お
よびロードすることに関する。
【０００２】
【従来の技術】リソグラフィーは、基板の表面上にフィ
ーチャー（ｆｅａｔｕｒｅ）を形成するために使用され
るプロセスである。このような基板は、フラットパネル
ディスプレー、回路基板、種々の集積回路などの製作に
おいて使用される基板を含み得る。このような適用に頻
繁に使用される基板は、半導体ウェーハである。当業者
は、本明細書中の記載が、当業者に公知の他の型の基板
にも適用されるということを認識する。
ーチャー（ｆｅａｔｕｒｅ）を形成するために使用され
るプロセスである。このような基板は、フラットパネル
ディスプレー、回路基板、種々の集積回路などの製作に
おいて使用される基板を含み得る。このような適用に頻
繁に使用される基板は、半導体ウェーハである。当業者
は、本明細書中の記載が、当業者に公知の他の型の基板
にも適用されるということを認識する。
【０００３】リソグラフィーの間、ウェーハステージ上
に配置されるウェーハは、リソグラフィーシステム内に
配置される露光システムによりウェーハの表面上に投影
される画像に露光される。この露光システムは、ウェー
ハ上に画像を投影するためのレチクル（マスクとも呼ば
れる）を備える。
に配置されるウェーハは、リソグラフィーシステム内に
配置される露光システムによりウェーハの表面上に投影
される画像に露光される。この露光システムは、ウェー
ハ上に画像を投影するためのレチクル（マスクとも呼ば
れる）を備える。
【０００４】このレチクルは、一般的には、半導体チッ
プと光源との間に配置される。フォトリソグラフィーで
は、レチクルは、回路を例えば半導体チップ上にプリン
トするためのフォトマスクとして使用される。（代表的
にはガラスから作製される）レチクルは、微妙な操作を
必要とする。なぜならば、レチクルは、微小なひっかき
または汚染により容易に損なわれ得るからである。
プと光源との間に配置される。フォトリソグラフィーで
は、レチクルは、回路を例えば半導体チップ上にプリン
トするためのフォトマスクとして使用される。（代表的
にはガラスから作製される）レチクルは、微妙な操作を
必要とする。なぜならば、レチクルは、微小なひっかき
または汚染により容易に損なわれ得るからである。
【０００５】ローディングプロセスは、レチクル露光ス
テージ上にレチクルをロードするために必要とされる。
このレチクルは、所定の位置に非常に精密に整列されな
ければならない。整列におけるどんな誤差も、コンプラ
イアンスの修正可能な範囲内でなければならない。従っ
て、ローディングプロセスの間のレチクルとレチクル露
光ステージとの間の距離は、最小化されなければならな
い。レチクルの位置は、レチクルをＸ−Ｙ平面方向で回
転および移動させることにより調節され得る。しかしな
がら、この距離を最小にする際、レチクルをステージに
対して衝突させることによるレチクルの損失を避けるた
めに細心の注意が払われなければならない。
テージ上にレチクルをロードするために必要とされる。
このレチクルは、所定の位置に非常に精密に整列されな
ければならない。整列におけるどんな誤差も、コンプラ
イアンスの修正可能な範囲内でなければならない。従っ
て、ローディングプロセスの間のレチクルとレチクル露
光ステージとの間の距離は、最小化されなければならな
い。レチクルの位置は、レチクルをＸ−Ｙ平面方向で回
転および移動させることにより調節され得る。しかしな
がら、この距離を最小にする際、レチクルをステージに
対して衝突させることによるレチクルの損失を避けるた
めに細心の注意が払われなければならない。
【０００６】従来、レチクルに形成される整列マーク
は、この整列マークを配置することによりレチクルを整
列させるために使用される。レチクル露光ステージにお
ける参照マークは、整列プロセスにおいて補助するため
にレチクル整列顕微鏡下で位置決めされる。この顕微鏡
によりレチクルの整列マークを検出することにより、整
列前操作および整列後操作が行われる。レチクル交換時
間を低減してそれによりリソグラフィーシステムのスル
ープットを増大させるために、オフライン整列ステーシ
ョンにおけるレチクルの整列が望ましい。
は、この整列マークを配置することによりレチクルを整
列させるために使用される。レチクル露光ステージにお
ける参照マークは、整列プロセスにおいて補助するため
にレチクル整列顕微鏡下で位置決めされる。この顕微鏡
によりレチクルの整列マークを検出することにより、整
列前操作および整列後操作が行われる。レチクル交換時
間を低減してそれによりリソグラフィーシステムのスル
ープットを増大させるために、オフライン整列ステーシ
ョンにおけるレチクルの整列が望ましい。
【０００７】従来、「プッシャー（ｐｕｓｈｅｒ）」
は、レチクルをオフライン整列ステーションに予め整列
させるために使用された。しかし、プッシャーの使用
は、レチクルの必要な整列との、オフライン整列ステー
ションにおけるレチクルの整列の非コンプライアンスを
生じ、この非コンプライアンスは、続いてレチクル露光
ステージにおいても発生した。結果として、リソグラフ
ィーシステムのスループットは、増加しないままであっ
た。
は、レチクルをオフライン整列ステーションに予め整列
させるために使用された。しかし、プッシャーの使用
は、レチクルの必要な整列との、オフライン整列ステー
ションにおけるレチクルの整列の非コンプライアンスを
生じ、この非コンプライアンスは、続いてレチクル露光
ステージにおいても発生した。結果として、リソグラフ
ィーシステムのスループットは、増加しないままであっ
た。
【０００８】面外で（ｏｆｆ−ｐｌａｎｅ）コンプライ
アントを維持し得かつ面内で剛直なままであり得るレチ
クルの移動手段は、本発明以前には利用可能ではなかっ
た。換言すると、本発明以前には、オフライン整列ステ
ーションにおけるレチクルの面外の予め整列した位置整
列は、レチクル露光ステージにおいて所望の性能を達成
するために必要な精度に維持され得なかった。
アントを維持し得かつ面内で剛直なままであり得るレチ
クルの移動手段は、本発明以前には利用可能ではなかっ
た。換言すると、本発明以前には、オフライン整列ステ
ーションにおけるレチクルの面外の予め整列した位置整
列は、レチクル露光ステージにおいて所望の性能を達成
するために必要な精度に維持され得なかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従って、必要なこと
は、レチクルの予めの整列を失うことなくレチクル露光
ステージ上に予め整列されたレチクルを移動およびロー
ドする方法および装置である。
は、レチクルの予めの整列を失うことなくレチクル露光
ステージ上に予め整列されたレチクルを移動およびロー
ドする方法および装置である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】１つの局面において、本
発明は、レチクルを受容ステーション上に移動およびロ
ードする方法を提供し、この方法は、以下： （ａ）取り付けプレートに連結されたレチクルプレート
を有する末端エフェクターを用いて保管設備からこのレ
チクルを回収する工程であり、この取り付けプレート
が、この末端エフェクターをロボットアームに接続して
いる、工程； （ｂ）このレチクルがオフライン整列ステーションに予
め整列された後に、このレチクルをこのレチクルプレー
トに取り付ける工程；および、 （ｃ）この予めの整列を維持し、かつ移動の間の剛性を
提供しながらこのレチクルをこのオフライン整列ステー
ションからこの受容ステーションに移動させる工程、を
包含する。
発明は、レチクルを受容ステーション上に移動およびロ
ードする方法を提供し、この方法は、以下： （ａ）取り付けプレートに連結されたレチクルプレート
を有する末端エフェクターを用いて保管設備からこのレ
チクルを回収する工程であり、この取り付けプレート
が、この末端エフェクターをロボットアームに接続して
いる、工程； （ｂ）このレチクルがオフライン整列ステーションに予
め整列された後に、このレチクルをこのレチクルプレー
トに取り付ける工程；および、 （ｃ）この予めの整列を維持し、かつ移動の間の剛性を
提供しながらこのレチクルをこのオフライン整列ステー
ションからこの受容ステーションに移動させる工程、を
包含する。
【００１１】好ましい実施態様において、この方法は、
以下： （ｄ）上記レチクルの移動の間に上記取り付けプレート
に対して上記レチクルプレートを固定する工程；およ
び、 （ｅ）このレチクルのピックアップおよび下方配置の間
にこの取り付けプレートからこのレチクルプレートを解
除する工程、をさらに包含し得る。
以下： （ｄ）上記レチクルの移動の間に上記取り付けプレート
に対して上記レチクルプレートを固定する工程；およ
び、 （ｅ）このレチクルのピックアップおよび下方配置の間
にこの取り付けプレートからこのレチクルプレートを解
除する工程、をさらに包含し得る。
【００１２】好ましい実施態様において、この方法は、
以下： （ｄ）上記レチクルプレートの面外運動を可能にする工
程；および、 （ｅ）このレチクルプレートのこの面外運動を制限する
工程、をさらに包含し得る。
以下： （ｄ）上記レチクルプレートの面外運動を可能にする工
程；および、 （ｅ）このレチクルプレートのこの面外運動を制限する
工程、をさらに包含し得る。
【００１３】好ましい実施態様において、この方法は、
以下： （ｄ）真空破断が検出された場合、上記末端エフェクタ
ーの運動を停止する工程；および、 （ｅ）上記レチクルの取り付けを維持する工程、をさら
に包含し得る。
以下： （ｄ）真空破断が検出された場合、上記末端エフェクタ
ーの運動を停止する工程；および、 （ｅ）上記レチクルの取り付けを維持する工程、をさら
に包含し得る。
【００１４】好ましい実施態様において、上記レチクル
プレートは真空プレートであり得る。
プレートは真空プレートであり得る。
【００１５】さらに好ましい実施態様において、上記取
り付ける工程は、以下： （ｉ）第一の真空供給源から、上記真空プレート上に少
なくとの１つの一次真空領域を供給する工程；および、 （ｉｉ）第二の真空供給源から、この真空プレート上に
少なくとの１つの二次真空領域を供給する工程、を包含
し得る。
り付ける工程は、以下： （ｉ）第一の真空供給源から、上記真空プレート上に少
なくとの１つの一次真空領域を供給する工程；および、 （ｉｉ）第二の真空供給源から、この真空プレート上に
少なくとの１つの二次真空領域を供給する工程、を包含
し得る。
【００１６】好ましい実施態様において、本発明は、
（ｄ）上記レチクルから粒状汚染物質を除去する工程を
さらに包含し得る。
（ｄ）上記レチクルから粒状汚染物質を除去する工程を
さらに包含し得る。
【００１７】好ましい実施態様において、上記工程
（ｂ）は、（ｉ）ソレノイド駆動クランプによって、上
記レチクルを上記レチクルプレート上に取り付ける工程
を包含し得る。
（ｂ）は、（ｉ）ソレノイド駆動クランプによって、上
記レチクルを上記レチクルプレート上に取り付ける工程
を包含し得る。
【００１８】好ましい実施態様において、上記工程
（ｂ）は、（ｉ）上記レチクルプレート上に配置された
静電荷によって、上記レチクルをこのレチクルプレート
上に取り付ける工程を包含し得る。
（ｂ）は、（ｉ）上記レチクルプレート上に配置された
静電荷によって、上記レチクルをこのレチクルプレート
上に取り付ける工程を包含し得る。
【００１９】好ましい実施態様において、この方法は、
以下： （ｄ）上記レチクルの移動の間に、空気圧駆動ソレノイ
ド固定デバイスを利用することによって、上記取り付け
プレートに対して上記レチクルプレートを固定する工
程；ならびに、 （ｅ）このレチクルのピックアップおよび下方配置の間
に、この取り付けプレートからこのレチクルプレートを
解除する工程、をさらに包含し得る。
以下： （ｄ）上記レチクルの移動の間に、空気圧駆動ソレノイ
ド固定デバイスを利用することによって、上記取り付け
プレートに対して上記レチクルプレートを固定する工
程；ならびに、 （ｅ）このレチクルのピックアップおよび下方配置の間
に、この取り付けプレートからこのレチクルプレートを
解除する工程、をさらに包含し得る。
【００２０】別の局面において、本発明は、受容ステー
ションに移動されるべきレチクルを操作するための末端
エフェクターを提供し、このエフェクターは、以下：こ
のレチクルを取り付けるための、少なくとも１つのシー
ルを有するレチクルプレートであり、ここで、このレチ
クルプレートが、このレチクルをこのレチクルプレート
に装着するための取り付けデバイスもまた有する、レチ
クルプレート；および、このレチクルプレートに連結さ
れた取り付けプレート、を備える。
ションに移動されるべきレチクルを操作するための末端
エフェクターを提供し、このエフェクターは、以下：こ
のレチクルを取り付けるための、少なくとも１つのシー
ルを有するレチクルプレートであり、ここで、このレチ
クルプレートが、このレチクルをこのレチクルプレート
に装着するための取り付けデバイスもまた有する、レチ
クルプレート；および、このレチクルプレートに連結さ
れた取り付けプレート、を備える。
【００２１】好ましい実施態様において、上記レチクル
プレートは真空プレートであり得る。
プレートは真空プレートであり得る。
【００２２】さらに好ましい実施態様において、上記真
空プレートは、第一面および第二面；ならびに、この真
空プレートの第二面に連結される取り付けプレートを有
し、ここで、この第一面は、上記レチクルを取り付ける
ための少なくとも１つのシールを有し、そしてこの第二
面は、レチクルを装着するための真空機能を達成するた
めの少なくとも１つの真空領域を有し、この取り付けプ
レートは、この少なくとも１つの真空領域に真空を供給
するための少なくとも１つの真空供給源を有する、末端
エフェクターであり得る。
空プレートは、第一面および第二面；ならびに、この真
空プレートの第二面に連結される取り付けプレートを有
し、ここで、この第一面は、上記レチクルを取り付ける
ための少なくとも１つのシールを有し、そしてこの第二
面は、レチクルを装着するための真空機能を達成するた
めの少なくとも１つの真空領域を有し、この取り付けプ
レートは、この少なくとも１つの真空領域に真空を供給
するための少なくとも１つの真空供給源を有する、末端
エフェクターであり得る。
【００２３】さらに好ましい実施態様において、上記真
空プレートは、上記レチクルプレートの面外運動を可能
にするために、このレチクルプレートの上部表面に配置
された少なくとも１つの湾曲部であり、ここで、この少
なくとも１つの湾曲部が、このレチクルプレートを通っ
て延び、かつ上記取り付けプレートに装着されている、
湾曲部、をさらに備え得る。
空プレートは、上記レチクルプレートの面外運動を可能
にするために、このレチクルプレートの上部表面に配置
された少なくとも１つの湾曲部であり、ここで、この少
なくとも１つの湾曲部が、このレチクルプレートを通っ
て延び、かつ上記取り付けプレートに装着されている、
湾曲部、をさらに備え得る。
【００２４】さらに好ましい実施態様において、上記レ
チクルプレートは、このレチクルプレートの運動を抑制
するためにこのレチクルプレートの上記第一面に配置さ
れた少なくとも１つの移動停止部であり、ここで、この
少なくとも１つの移動停止部が、このレチクルプレート
を通って延び、かつ上記取り付けプレートに装着されて
いる、移動停止部、を備え得る。
チクルプレートは、このレチクルプレートの運動を抑制
するためにこのレチクルプレートの上記第一面に配置さ
れた少なくとも１つの移動停止部であり、ここで、この
少なくとも１つの移動停止部が、このレチクルプレート
を通って延び、かつ上記取り付けプレートに装着されて
いる、移動停止部、を備え得る。
【００２５】好ましい実施態様において、この末端エフ
ェクターは、この末端エフェクターをロボットに接続す
るための取り付けブラケットに連結され得る。
ェクターは、この末端エフェクターをロボットに接続す
るための取り付けブラケットに連結され得る。
【００２６】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空領域が、二次真空領域と一次真空領
域との組み合わせであり得る。
なくとも１つの真空領域が、二次真空領域と一次真空領
域との組み合わせであり得る。
【００２７】好ましい実施態様において、上記取り付け
プレートに対して上記レチクルプレートを固定するため
に、この取り付けプレートとこのレチクルプレートとの
間に、真空ロックが組み込まれ得る。
プレートに対して上記レチクルプレートを固定するため
に、この取り付けプレートとこのレチクルプレートとの
間に、真空ロックが組み込まれ得る。
【００２８】好ましい実施態様において、上記取り付け
プレートに対して上記レチクルプレートを固定するため
に、この取り付けプレートとこのレチクルプレートとの
間に、空気圧駆動ソレノイド固定デバイスが組み込まれ
得る。
プレートに対して上記レチクルプレートを固定するため
に、この取り付けプレートとこのレチクルプレートとの
間に、空気圧駆動ソレノイド固定デバイスが組み込まれ
得る。
【００２９】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの湾曲部は、湾曲部の群によって形成され
る三角形のジオメトリーの頂点であり得る。
なくとも１つの湾曲部は、湾曲部の群によって形成され
る三角形のジオメトリーの頂点であり得る。
【００３０】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つのシールが破断可能であり得る。
なくとも１つのシールが破断可能であり得る。
【００３１】さらに好ましい実施態様において、上記取
り付けブラケットが、３０°の角度および４０°の角度
で回転可能であり得る。
り付けブラケットが、３０°の角度および４０°の角度
で回転可能であり得る。
【００３２】好ましい実施態様において、上記レチクル
プレートが上記レチクル上の粒状汚染物質を減少させ得
る。
プレートが上記レチクル上の粒状汚染物質を減少させ得
る。
【００３３】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空供給源は真空チューブであり得る。
なくとも１つの真空供給源は真空チューブであり得る。
【００３４】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空供給源は密閉チャネルであり得る。
なくとも１つの真空供給源は密閉チャネルであり得る。
【００３５】好ましい実施態様において、上記レチクル
は、ソレノイド駆動クランプによって上記レチクルプレ
ート上に取り付けられ得る。
は、ソレノイド駆動クランプによって上記レチクルプレ
ート上に取り付けられ得る。
【００３６】好ましい実施態様において、上記レチクル
は、静電荷によって上記レチクルプレート上に取り付け
られ得る。
は、静電荷によって上記レチクルプレート上に取り付け
られ得る。
【００３７】別の局面において、本発明は、受容ステー
ションに輸送されるべきレチクルを操作するための末端
エフェクターを提供し、このフェクターは、以下：この
レチクルを保持するための手段；このレチクルを保持す
るための手段にこのレチクルを装着するための手段；お
よび、この末端エフェクターをロボットアームに連結す
るための手段、を備える。
ションに輸送されるべきレチクルを操作するための末端
エフェクターを提供し、このフェクターは、以下：この
レチクルを保持するための手段；このレチクルを保持す
るための手段にこのレチクルを装着するための手段；お
よび、この末端エフェクターをロボットアームに連結す
るための手段、を備える。
【００３８】好ましい実施態様において、上記レチクル
を保持するための手段が、第一面および第二面を有し、
この第一面は、このレチクルを取り付けるための密閉手
段を有し、このレチクルを保持するための手段が、真空
機能を達成するための少なくとも１つの真空手段を有
し；そして、上記末端エフェクターをロボットアームに
連結するための手段が、このレチクルを保持するための
手段の第二面に連結されており、ここで、この末端エフ
ェクターをこのロボットアームに連結するための手段
が、この真空手段に真空を提供するための少なくとも１
つの真空供給源手段を有し得る。
を保持するための手段が、第一面および第二面を有し、
この第一面は、このレチクルを取り付けるための密閉手
段を有し、このレチクルを保持するための手段が、真空
機能を達成するための少なくとも１つの真空手段を有
し；そして、上記末端エフェクターをロボットアームに
連結するための手段が、このレチクルを保持するための
手段の第二面に連結されており、ここで、この末端エフ
ェクターをこのロボットアームに連結するための手段
が、この真空手段に真空を提供するための少なくとも１
つの真空供給源手段を有し得る。
【００３９】好ましい実施態様において、上記レチクル
を保持するための手段が、このレチクルを保持するため
の手段の面外運動を可能にするための手段であり、ここ
で、この面外運動を可能にするための手段が、このレチ
クルを保持するための手段の第一面に配置されている、
手段、をさらに備え得る。
を保持するための手段が、このレチクルを保持するため
の手段の面外運動を可能にするための手段であり、ここ
で、この面外運動を可能にするための手段が、このレチ
クルを保持するための手段の第一面に配置されている、
手段、をさらに備え得る。
【００４０】好ましい実施態様において、上記レチクル
を保持するための手段が、このレチクルを保持するため
の手段の運動を制限するための手段であり、ここで、こ
の運動を制限するための手段が、このレチクルを保持す
るための手段を通って延び、かつこの末端エフェクター
を上記ロボットアームに連結するための手段に取り付け
られている、手段、をさらに備え得る。
を保持するための手段が、このレチクルを保持するため
の手段の運動を制限するための手段であり、ここで、こ
の運動を制限するための手段が、このレチクルを保持す
るための手段を通って延び、かつこの末端エフェクター
を上記ロボットアームに連結するための手段に取り付け
られている、手段、をさらに備え得る。
【００４１】好ましい実施態様において、上記末端エフ
ェクターは、この末端エフェクターをロボットに接続す
るための手段に連結され得る。
ェクターは、この末端エフェクターをロボットに接続す
るための手段に連結され得る。
【００４２】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空手段が、二次真空手段と一次真空手
段との組み合わせであり得る。
なくとも１つの真空手段が、二次真空手段と一次真空手
段との組み合わせであり得る。
【００４３】好ましい実施態様において、上記末端エフ
ェクターを上記ロボットアームに連結するための手段に
対して上記レチクルを保持するための手段を固定するた
めの手段が、このレチクルを保持するための手段とこの
末端エフェクターをこのロボットアームに連結するため
の手段との間に配置され得る。
ェクターを上記ロボットアームに連結するための手段に
対して上記レチクルを保持するための手段を固定するた
めの手段が、このレチクルを保持するための手段とこの
末端エフェクターをこのロボットアームに連結するため
の手段との間に配置され得る。
【００４４】さらに好ましい実施態様において、上記レ
チクルを保持するための手段の面外運動を可能にするた
めの手段が、この面外運動を可能にするための手段の群
によって形成される三角形のジオメトリーの頂点であり
得る。
チクルを保持するための手段の面外運動を可能にするた
めの手段が、この面外運動を可能にするための手段の群
によって形成される三角形のジオメトリーの頂点であり
得る。
【００４５】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの密閉手段が破断可能であり得る。
なくとも１つの密閉手段が破断可能であり得る。
【００４６】さらに好ましい実施態様において、上記末
端エフェクターを上記ロボットに接続するための手段
が、３０°の角度および４０°の角度で回転可能であり
得る。
端エフェクターを上記ロボットに接続するための手段
が、３０°の角度および４０°の角度で回転可能であり
得る。
【００４７】好ましい実施態様において、上記レチクル
を装着するための手段が、このレチクル上の粒状汚染物
質を減少させ得る。
を装着するための手段が、このレチクル上の粒状汚染物
質を減少させ得る。
【００４８】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空供給源手段が、真空チューブであり
得る。
なくとも１つの真空供給源手段が、真空チューブであり
得る。
【００４９】さらに好ましい実施態様において、上記少
なくとも１つの真空供給源手段が、密閉チャネルであり
得る。
なくとも１つの真空供給源手段が、密閉チャネルであり
得る。
【００５０】好ましい実施態様において、上記レチクル
は、ソレノイド駆動クランプによって、上記レチクルを
保持するための手段上に取り付けられ得る。
は、ソレノイド駆動クランプによって、上記レチクルを
保持するための手段上に取り付けられ得る。
【００５１】好ましい実施態様において、上記レチクル
は、上記レチクルを保持するための手段上に配置された
静電荷の手段によって、このレチクルを保持するための
手段に取り付けられ得る。
は、上記レチクルを保持するための手段上に配置された
静電荷の手段によって、このレチクルを保持するための
手段に取り付けられ得る。
【００５２】本発明は、レチクルを、受容ステーション
（例えば、レチクル露光ステージ）上に移動およびロー
ドする装置および方法である。より詳細には、本発明
は、整列ステージへの輸送の間レチクルの面内剛性を維
持しながら、レチクル露光ステージにおけるレチクルの
整列との、面外の予めの整列のコンプライアンスを提供
するための装置および方法である。レチクルは、取り付
けプレートに連結された装着デバイスを有する末端エフ
ェクターを用いて保管設備から最初に回収される。この
レチクルは、種々の方法により装着デバイスに固定され
得る。１つの構成では、このレチクルは、真空機能によ
りレチクルプレートに固定される。別の構成では、レチ
クルは、ソレノイド駆動クランプにより装着デバイスに
固定され得る。なお別の構成では、レチクルは、静電荷
により装着デバイスに固定され得る。取り付けプレート
は、末端エフェクターをロボットアーム接続する。レチ
クルがオフライン整列ステーションにおいて面外位置に
予め整列された後に、レチクルは、装着デバイスに取り
付けられる。ロッキングデバイスは、装着デバイスと取
り付けプレートとの間に配置され得る。ロッキングデバ
イスは、装着デバイスを面内位置で取り付けプレートに
対してロックすることを可能にして、固定されたレチク
ルが動かされるのを防止する。次いでレチクルは、オフ
ライン整列ステーションにおいて前もってなされた予め
の整列を維持しながら、オフライン整列ステーションか
らレチクル露光ステージへ移動される。この装置は、取
り付けられたレチクルの剛性をさらに提供して、レチク
ル露光ステージにおけるレチクルの最終整列とのコンプ
ライアンスを確実にする。
（例えば、レチクル露光ステージ）上に移動およびロー
ドする装置および方法である。より詳細には、本発明
は、整列ステージへの輸送の間レチクルの面内剛性を維
持しながら、レチクル露光ステージにおけるレチクルの
整列との、面外の予めの整列のコンプライアンスを提供
するための装置および方法である。レチクルは、取り付
けプレートに連結された装着デバイスを有する末端エフ
ェクターを用いて保管設備から最初に回収される。この
レチクルは、種々の方法により装着デバイスに固定され
得る。１つの構成では、このレチクルは、真空機能によ
りレチクルプレートに固定される。別の構成では、レチ
クルは、ソレノイド駆動クランプにより装着デバイスに
固定され得る。なお別の構成では、レチクルは、静電荷
により装着デバイスに固定され得る。取り付けプレート
は、末端エフェクターをロボットアーム接続する。レチ
クルがオフライン整列ステーションにおいて面外位置に
予め整列された後に、レチクルは、装着デバイスに取り
付けられる。ロッキングデバイスは、装着デバイスと取
り付けプレートとの間に配置され得る。ロッキングデバ
イスは、装着デバイスを面内位置で取り付けプレートに
対してロックすることを可能にして、固定されたレチク
ルが動かされるのを防止する。次いでレチクルは、オフ
ライン整列ステーションにおいて前もってなされた予め
の整列を維持しながら、オフライン整列ステーションか
らレチクル露光ステージへ移動される。この装置は、取
り付けられたレチクルの剛性をさらに提供して、レチク
ル露光ステージにおけるレチクルの最終整列とのコンプ
ライアンスを確実にする。
【００５３】
【発明の実施の形態】本発明の一例の実施形態を、ここ
で図面を参照して説明する。図面において、同様の参照
数字は、同一かまたは機能的に類似の要素を示す。各参
照数字の最も左の桁は、その参照数字が最初に使用され
る図面に対応する。特定の構成および配置が考察される
が、これは例示目的のみであることが理解されるべきで
ある。当業者は、その他の構成および配置が、本発明の
精神および範囲から逸脱することなく使用され得ること
を理解する。本発明がまた、種々のその他の適用におい
て使用され得ることは、当業者に明らかである。
で図面を参照して説明する。図面において、同様の参照
数字は、同一かまたは機能的に類似の要素を示す。各参
照数字の最も左の桁は、その参照数字が最初に使用され
る図面に対応する。特定の構成および配置が考察される
が、これは例示目的のみであることが理解されるべきで
ある。当業者は、その他の構成および配置が、本発明の
精神および範囲から逸脱することなく使用され得ること
を理解する。本発明がまた、種々のその他の適用におい
て使用され得ることは、当業者に明らかである。
【００５４】図１は、レチクルのプロセッシングに包含
される代表的なステージを図示する。第１ステージ１０
５において、レチクルは、レチクルカセット（すなわ
ち、レチクル保管設備）から末端エフェクターにより回
収される。第２ステージ１１０において、レチクルはオ
フライン整列ステーションに移動され、そしてレチクル
露光ステージへの移動の前に予め整列される。オフライ
ン整列ステーションは、レチクル露光ステージと離して
配置されるステーションであり、ここにおいてレチクル
は、レチクル露光ステージにおいて整列される前の予め
の整列を受ける。本発明が利用されるリソグラフィーシ
ステムのスループットを増加し得るので、レチクルを予
め整列することが所望される。第３ステージ１１５にお
いて、レチクルは、ウェーハ上への画像の投影の前に最
終整列を受ける。この最終整列は、ウェーハ上への画像
の投影を完全にするために、レチクル露光ステージとレ
チクルを正確に整列させるために必要である。
される代表的なステージを図示する。第１ステージ１０
５において、レチクルは、レチクルカセット（すなわ
ち、レチクル保管設備）から末端エフェクターにより回
収される。第２ステージ１１０において、レチクルはオ
フライン整列ステーションに移動され、そしてレチクル
露光ステージへの移動の前に予め整列される。オフライ
ン整列ステーションは、レチクル露光ステージと離して
配置されるステーションであり、ここにおいてレチクル
は、レチクル露光ステージにおいて整列される前の予め
の整列を受ける。本発明が利用されるリソグラフィーシ
ステムのスループットを増加し得るので、レチクルを予
め整列することが所望される。第３ステージ１１５にお
いて、レチクルは、ウェーハ上への画像の投影の前に最
終整列を受ける。この最終整列は、ウェーハ上への画像
の投影を完全にするために、レチクル露光ステージとレ
チクルを正確に整列させるために必要である。
【００５５】図２は、本発明の実施形態に従うロボット
コネクタに連結された末端エフェクターの前方斜視図を
図示する、斜視図である。
コネクタに連結された末端エフェクターの前方斜視図を
図示する、斜視図である。
【００５６】末端エフェクター２０３は、レチクルプレ
ート２０５および取り付けプレート２１０を備える。
ート２０５および取り付けプレート２１０を備える。
【００５７】このレチクルプレート２０５は、取り付け
プレート２１０の末端に連結される。このレチクルプレ
ート２０５は、当業者に公知の任意の方法により取り付
けプレート２１０に連結され得る。例えば、一実施形態
では、レチクルプレート２０５は、ネジにより取り付け
プレート２１０に連結される。
プレート２１０の末端に連結される。このレチクルプレ
ート２０５は、当業者に公知の任意の方法により取り付
けプレート２１０に連結され得る。例えば、一実施形態
では、レチクルプレート２０５は、ネジにより取り付け
プレート２１０に連結される。
【００５８】末端エフェクター２０３は、ロボットコネ
クタ２２０に連結される。このロボットコネクタ２２０
は、ロボットアーム（示さず）に連結される。ロボット
アームの移動により、末端エフェクター２０３は、図２
において矢印２２２で概略的に示されるように、少なく
とも垂直方向および水平方向の移動が可能である。
クタ２２０に連結される。このロボットコネクタ２２０
は、ロボットアーム（示さず）に連結される。ロボット
アームの移動により、末端エフェクター２０３は、図２
において矢印２２２で概略的に示されるように、少なく
とも垂直方向および水平方向の移動が可能である。
【００５９】末端エフェクター２０３は、レチクル（示
さず）をカセット（示さず）から回収し、そしてこのレ
チクルをレチクルプレート２０５上に取り付ける。次い
で、末端エフェクター２０３は、このレチクルを、予め
整列するためにオフライン整列ステーション（示さず）
に配置する。レチクルをオフライン整列ステーションに
おいて予め整列した後、末端エフェクター２０３は、こ
のレチクルをオフライン整列ステーションから回収し、
そしてこの予め整列されたレチクルを、例えば、レチク
ル露光ステージへと移動させる。
さず）をカセット（示さず）から回収し、そしてこのレ
チクルをレチクルプレート２０５上に取り付ける。次い
で、末端エフェクター２０３は、このレチクルを、予め
整列するためにオフライン整列ステーション（示さず）
に配置する。レチクルをオフライン整列ステーションに
おいて予め整列した後、末端エフェクター２０３は、こ
のレチクルをオフライン整列ステーションから回収し、
そしてこの予め整列されたレチクルを、例えば、レチク
ル露光ステージへと移動させる。
【００６０】レチクルがオフライン整列ステーションか
ら回収された後、レチクルプレート２０５は、整列され
るべきレチクルをレチクル露光ステージに保持する。こ
のレチクルプレート２０５は、面内／面外運動で動き得
る。この運動は、非常にわずかであり、取り付けプレー
ト２１０に対する内外運動として最もよく記載される。
「内（ｉｎ）」運動において、レチクルプレート２０５
は、取り付けプレート２１０に最も近い。「外（ｏｕ
ｔ）」運動において、レチクルプレートは、取り付けプ
レート２１０から最も遠い。レチクルは、レチクル露光
ステージにおける画像投影のための準備の際に、オフラ
イン整列ステーションにおいて面外位置に予め整列され
る。
ら回収された後、レチクルプレート２０５は、整列され
るべきレチクルをレチクル露光ステージに保持する。こ
のレチクルプレート２０５は、面内／面外運動で動き得
る。この運動は、非常にわずかであり、取り付けプレー
ト２１０に対する内外運動として最もよく記載される。
「内（ｉｎ）」運動において、レチクルプレート２０５
は、取り付けプレート２１０に最も近い。「外（ｏｕ
ｔ）」運動において、レチクルプレートは、取り付けプ
レート２１０から最も遠い。レチクルは、レチクル露光
ステージにおける画像投影のための準備の際に、オフラ
イン整列ステーションにおいて面外位置に予め整列され
る。
【００６１】レチクルは、種々の方法によりレチクルプ
レート２０５に固定され得る。例えば、本発明の１つの
特定の構成において、レチクルは、真空機能によりレチ
クルプレートに固定される。真空方法において、このレ
チクルプレートは、真空プレートして公知である。ある
いは、レチクルは、少なくとも１つのソレノイド駆動ク
ランプによりレチクルプレート２０５に固定され得る。
この方法において、レチクルプレート２０５は、クラン
ププレートとして公知である。レチクルをソレノイド駆
動クランプによりレチクルプレート２０５に固定する代
わりに、レチクルは、レチクルプレート上に配置された
静電荷によりレチクルプレート２０５に固定され得、こ
れは、この構成において静電プレートとして公知であ
る。しかし、本発明は、レチクルをレチクルプレートに
固定するこのような方法に限定されない。レチクルをレ
チクルプレート２０５に固定するその他の方法が本発明
の精神および範囲から逸脱することなく使用され得るこ
とに留意するべきである。
レート２０５に固定され得る。例えば、本発明の１つの
特定の構成において、レチクルは、真空機能によりレチ
クルプレートに固定される。真空方法において、このレ
チクルプレートは、真空プレートして公知である。ある
いは、レチクルは、少なくとも１つのソレノイド駆動ク
ランプによりレチクルプレート２０５に固定され得る。
この方法において、レチクルプレート２０５は、クラン
ププレートとして公知である。レチクルをソレノイド駆
動クランプによりレチクルプレート２０５に固定する代
わりに、レチクルは、レチクルプレート上に配置された
静電荷によりレチクルプレート２０５に固定され得、こ
れは、この構成において静電プレートとして公知であ
る。しかし、本発明は、レチクルをレチクルプレートに
固定するこのような方法に限定されない。レチクルをレ
チクルプレート２０５に固定するその他の方法が本発明
の精神および範囲から逸脱することなく使用され得るこ
とに留意するべきである。
【００６２】図３は、ロボットコネクタ２２０に連結さ
れた末端エフェクター２０３の後方斜視図を示す。図２
に示されるように、末端エフェクター２０３は、レチク
ルプレート２０５および取り付けプレート２１０を備え
る。
れた末端エフェクター２０３の後方斜視図を示す。図２
に示されるように、末端エフェクター２０３は、レチク
ルプレート２０５および取り付けプレート２１０を備え
る。
【００６３】図４は、本発明に従うレチクルプレート２
０５およびその付随するフィーチャーを図示する分解図
である。レチクルプレート２０５は、レチクル（示さ
ず）に面する第１面４０７ａを有する。レチクルプレー
ト２０５はまた、第１面４０７ａの反対に第２面（示さ
ず）を有する。このレチクルプレート２０５は、レチク
ルがカセットから回収された後、レチクルを保持する。
０５およびその付随するフィーチャーを図示する分解図
である。レチクルプレート２０５は、レチクル（示さ
ず）に面する第１面４０７ａを有する。レチクルプレー
ト２０５はまた、第１面４０７ａの反対に第２面（示さ
ず）を有する。このレチクルプレート２０５は、レチク
ルがカセットから回収された後、レチクルを保持する。
【００６４】レチクルプレート２０５は、本発明の１つ
の構成においてアルミニウムのハードコート表面から構
成される。このアルミニウムハードコート表面により、
レチクルプレート２０５は、より汚染耐性になる。しか
し、当業者は、レチクルプレート２０５が所望の性能に
適切な任意のその他の材料であり得ることを認識する。
の構成においてアルミニウムのハードコート表面から構
成される。このアルミニウムハードコート表面により、
レチクルプレート２０５は、より汚染耐性になる。しか
し、当業者は、レチクルプレート２０５が所望の性能に
適切な任意のその他の材料であり得ることを認識する。
【００６５】レチクルプレート２０５は、開口部４０５
ａ〜ｃ、およびくぼみ４０８ａ１〜 ２〜ｃ１〜２を備え
る。あるいは、本発明は、開口部４０５ａ〜ｃのうちの
１つのみを備え得る。同様に、本発明は、くぼみ４０８
ａ１〜２〜ｃ１〜２のうちの１つのみを備え得る。湾曲
部４１０ａ〜ｃ、ネジ４１０ａ１〜３〜ｃ１〜３、およ
び移動停止部４１１ａ〜ｂもまたレチクルプレート２０
５上に存在する。代替の構成において、本発明は、湾曲
部４１０ａ〜ｃのうちの１つ、ネジ４１０ａ１ 〜３〜ｃ
１〜３のうちの１つ、および／または移動停止部４１１
ａ〜ｂのうちの１つのみを備え得る。
ａ〜ｃ、およびくぼみ４０８ａ１〜 ２〜ｃ１〜２を備え
る。あるいは、本発明は、開口部４０５ａ〜ｃのうちの
１つのみを備え得る。同様に、本発明は、くぼみ４０８
ａ１〜２〜ｃ１〜２のうちの１つのみを備え得る。湾曲
部４１０ａ〜ｃ、ネジ４１０ａ１〜３〜ｃ１〜３、およ
び移動停止部４１１ａ〜ｂもまたレチクルプレート２０
５上に存在する。代替の構成において、本発明は、湾曲
部４１０ａ〜ｃのうちの１つ、ネジ４１０ａ１ 〜３〜ｃ
１〜３のうちの１つ、および／または移動停止部４１１
ａ〜ｂのうちの１つのみを備え得る。
【００６６】くぼみ４０８ａ１〜２〜ｃ１〜２により、
湾曲部４１０ａ〜ｃは、レチクルプレート２０５の第１
面４０７ａに取り付けられ得る。
湾曲部４１０ａ〜ｃは、レチクルプレート２０５の第１
面４０７ａに取り付けられ得る。
【００６７】湾曲部４１０ａ〜ｃの各々は、レチクルプ
レート２０５の第１面４０７ａを横切って三角形のジオ
メトリーで配置され、その結果、湾曲部４１０ａ〜ｃの
各々が、この三角形の頂点を形成する。さらに、湾曲部
４１０ａ〜ｃの各々は、開口部４０５ａ〜ｃのうちの１
つに嵌合し、そして開口部４０５ａ〜ｃの各々において
くぼみ４０８ａ１〜２〜ｃ１〜２の少なくとも１つに連
結する。例えば、湾曲部４１０ａは、開口部４０５ａに
嵌合し、そしてネジ４１０ａ１によりくぼみ４０８ａ１
に連結される。湾曲部４１０ａはまた、ネジ４１０ａ２
によりくぼみ４０８ａ２に連結される。同様に、湾曲部
４１０ｂは、開口部４０５ｂに嵌合し、そしてネジ４１
０ｂ１によりくぼみ４０８ｂ１に連結される。湾曲部４
１０ｂはまた、ネジ４１０ｂ２によりくぼみ４０８ｂ２
に連結される。湾曲部４１０ｃは、開口部４０５ｃに嵌
合し、そしてネジ４１０ｃ１によりくぼみ４０８ｃ１に
連結される。湾曲部４１０ｃはまた、ネジ４１０ｃ２に
よりくぼみ４０８ｃ２に連結される。
レート２０５の第１面４０７ａを横切って三角形のジオ
メトリーで配置され、その結果、湾曲部４１０ａ〜ｃの
各々が、この三角形の頂点を形成する。さらに、湾曲部
４１０ａ〜ｃの各々は、開口部４０５ａ〜ｃのうちの１
つに嵌合し、そして開口部４０５ａ〜ｃの各々において
くぼみ４０８ａ１〜２〜ｃ１〜２の少なくとも１つに連
結する。例えば、湾曲部４１０ａは、開口部４０５ａに
嵌合し、そしてネジ４１０ａ１によりくぼみ４０８ａ１
に連結される。湾曲部４１０ａはまた、ネジ４１０ａ２
によりくぼみ４０８ａ２に連結される。同様に、湾曲部
４１０ｂは、開口部４０５ｂに嵌合し、そしてネジ４１
０ｂ１によりくぼみ４０８ｂ１に連結される。湾曲部４
１０ｂはまた、ネジ４１０ｂ２によりくぼみ４０８ｂ２
に連結される。湾曲部４１０ｃは、開口部４０５ｃに嵌
合し、そしてネジ４１０ｃ１によりくぼみ４０８ｃ１に
連結される。湾曲部４１０ｃはまた、ネジ４１０ｃ２に
よりくぼみ４０８ｃ２に連結される。
【００６８】図６に示されるように、ネジ４１０ａ３〜
ｃ３は、湾曲部４１０ａ〜ｃを通って延び、そしてレチ
クルプレート２０５を取り付けプレートに連結する。
ｃ３は、湾曲部４１０ａ〜ｃを通って延び、そしてレチ
クルプレート２０５を取り付けプレートに連結する。
【００６９】湾曲部４１０により、取り付けプレート２
１０からのレチクルプレート２０５のわずかな「出入り
（ｉｎ ａｎｄ ｏｕｔ）」の動きが可能である。言い
換えれば、この湾曲部４１０により、レチクルプレート
２０５および取り付けプレート２１０からの「出入り」
距離を変化させることが可能である。
１０からのレチクルプレート２０５のわずかな「出入り
（ｉｎ ａｎｄ ｏｕｔ）」の動きが可能である。言い
換えれば、この湾曲部４１０により、レチクルプレート
２０５および取り付けプレート２１０からの「出入り」
距離を変化させることが可能である。
【００７０】湾曲部４１０ａ〜ｃは、わずかな予荷重を
用いる、Ｕ字型のリーフスプリング機構であり得る。オ
フライン整列ステーションでレチクルをロードおよび予
め整列する間、レチクルは、レチクルプレート２０５に
対して徐々に押圧され、それによって、湾曲部４１０ａ
〜ｃの予荷重を越えて、オフライン整列ステーション上
の静止機構からレチクルを離昇させる。予荷重を越えた
場合、レチクルはレチクルプレートに確保され、それに
よって、レチクル露光ステージでの最終整列を準備する
際に、面外位置においてレチクルを正確に予め整列す
る。この正確な、面外の予めの整列は、レチクル露光ス
テージにおける整列要求に従う。
用いる、Ｕ字型のリーフスプリング機構であり得る。オ
フライン整列ステーションでレチクルをロードおよび予
め整列する間、レチクルは、レチクルプレート２０５に
対して徐々に押圧され、それによって、湾曲部４１０ａ
〜ｃの予荷重を越えて、オフライン整列ステーション上
の静止機構からレチクルを離昇させる。予荷重を越えた
場合、レチクルはレチクルプレートに確保され、それに
よって、レチクル露光ステージでの最終整列を準備する
際に、面外位置においてレチクルを正確に予め整列す
る。この正確な、面外の予めの整列は、レチクル露光ス
テージにおける整列要求に従う。
【００７１】湾曲部４１０ａ〜ｃは、ステンレス鋼から
構成され得る。しかし、当業者は、湾曲部４１０ａ〜ｃ
がこの湾曲部の性能に適切な他の材料から構成され得る
ことを認識する。
構成され得る。しかし、当業者は、湾曲部４１０ａ〜ｃ
がこの湾曲部の性能に適切な他の材料から構成され得る
ことを認識する。
【００７２】移動停止部４１１ａ〜ｂは、ネジまたは当
業者に公知の任意の他の型のファスナーであり得る。こ
の移動停止部４１１ａ〜ｂは、レチクルプレート２０５
の第一面３０７ａを通って延びており、かつ取り付けプ
レート２１０（図２に示される）と接続しており、これ
によって、レチクルプレート２１０の面外運動を制限す
る。あるいは、この移動停止部４１１ａ〜ｂは、取り付
けプレート２０５を通って延び、かつレチクルプレート
の第二面（図示せず）に取り付けられ得る。
業者に公知の任意の他の型のファスナーであり得る。こ
の移動停止部４１１ａ〜ｂは、レチクルプレート２０５
の第一面３０７ａを通って延びており、かつ取り付けプ
レート２１０（図２に示される）と接続しており、これ
によって、レチクルプレート２１０の面外運動を制限す
る。あるいは、この移動停止部４１１ａ〜ｂは、取り付
けプレート２０５を通って延び、かつレチクルプレート
の第二面（図示せず）に取り付けられ得る。
【００７３】移動停止部４１１ａ〜ｂは、レチクルプレ
ート２０５の出入りの動きを制限する。この移動停止部
４１１ａ〜ｂは、湾曲部４１０がひずむかまたは屈曲す
るのを防ぐことによって、湾曲部４１０ａ〜ｃのための
補強機構として働く。湾曲部４１０ａ〜ｃのこのような
ひずみまたは屈曲は、オフライン整列ステーションでの
レチクルの正確な予めの整列を大いに妨げるので、望ま
しくない。
ート２０５の出入りの動きを制限する。この移動停止部
４１１ａ〜ｂは、湾曲部４１０がひずむかまたは屈曲す
るのを防ぐことによって、湾曲部４１０ａ〜ｃのための
補強機構として働く。湾曲部４１０ａ〜ｃのこのような
ひずみまたは屈曲は、オフライン整列ステーションでの
レチクルの正確な予めの整列を大いに妨げるので、望ま
しくない。
【００７４】移動停止部４１１ａ〜ｂは、ステンレス鋼
から構成され得る。しかし、当業者は、移動停止部４１
１ａ〜ｂが、この移動停止部４１１ａ〜ｂの性能に適切
な任意の他の材料から構成され得ることを認識する。
から構成され得る。しかし、当業者は、移動停止部４１
１ａ〜ｂが、この移動停止部４１１ａ〜ｂの性能に適切
な任意の他の材料から構成され得ることを認識する。
【００７５】図５は、レチクルが真空機能によって真空
プレートに確保されている、本発明の特定の構成を例示
する斜視図である。
プレートに確保されている、本発明の特定の構成を例示
する斜視図である。
【００７６】図５に示される本発明の構成において、レ
チクルプレートは、真空プレートとして公知である。真
空プレート５０５は、例えば、レチクルがレチクルカセ
ットから取り出された後に、このレチクルを保持する。
チクルプレートは、真空プレートとして公知である。真
空プレート５０５は、例えば、レチクルがレチクルカセ
ットから取り出された後に、このレチクルを保持する。
【００７７】図４に記載されるレチクルプレートの付属
するフィーチャーに加えて、図５の構成（レチクルが真
空機能によって真空プレートに確保されている、本発明
の構成）は、真空領域５２０ａ〜ｂおよびシール５２５
ａ〜ｂというさらなる要素を利用する。レチクルプレー
ト２０５は、第一面および第二面を有し、同様に、真空
プレートは、第一面５０７ａおよびこの第一面５０７ａ
の反対に第二面（図示せず）を有する。
するフィーチャーに加えて、図５の構成（レチクルが真
空機能によって真空プレートに確保されている、本発明
の構成）は、真空領域５２０ａ〜ｂおよびシール５２５
ａ〜ｂというさらなる要素を利用する。レチクルプレー
ト２０５は、第一面および第二面を有し、同様に、真空
プレートは、第一面５０７ａおよびこの第一面５０７ａ
の反対に第二面（図示せず）を有する。
【００７８】真空領域５２０ａ〜ｂは、真空プレート５
０５の縁に沿って配置される。当業者は、この真空領域
５２０の配置の他の構成が、本発明の精神および範囲か
ら逸脱することなく変更され得ることを認識する。例え
ば、別の構成において、真空領域５２０ａ〜ｂは、真空
プレート５０５の角に沿って散在される。
０５の縁に沿って配置される。当業者は、この真空領域
５２０の配置の他の構成が、本発明の精神および範囲か
ら逸脱することなく変更され得ることを認識する。例え
ば、別の構成において、真空領域５２０ａ〜ｂは、真空
プレート５０５の角に沿って散在される。
【００７９】１つの構成において、真空領域５２０ａ〜
ｂは、少なくとも１つの一次真空領域５２０ａおよび少
なくとも１つの二次真空領域５２０ｂから構成される。
この代替的な構成において、真空領域の重複は、レチク
ルの衝突またはスリップを防ぐために、レチクルが移動
運動の間の安全のために設計されている。
ｂは、少なくとも１つの一次真空領域５２０ａおよび少
なくとも１つの二次真空領域５２０ｂから構成される。
この代替的な構成において、真空領域の重複は、レチク
ルの衝突またはスリップを防ぐために、レチクルが移動
運動の間の安全のために設計されている。
【００８０】１つの構成において、真空領域５２０ａ〜
ｂは、プラスチック管であり得る。真空領域５２０ａ〜
ｂは、レチクルの移動の間に、真空プレート５０５にこ
のレチクルを保持するための真空機能を提供する（例え
ば、この真空領域は、本発明の１つの構成においてプラ
スチック管であり得る）。このような真空機能は、当業
者に周知であり、そして本明細書中にさらには記載され
ていない。１つの構成において、真空領域５２０ａ〜ｂ
は、独立した真空供給源によって供給される（すなわ
ち、各真空領域は、異なる真空供給源によって供給され
る）。さらに別の構成において、真空領域５２０は、同
じ真空供給源によって供給される。
ｂは、プラスチック管であり得る。真空領域５２０ａ〜
ｂは、レチクルの移動の間に、真空プレート５０５にこ
のレチクルを保持するための真空機能を提供する（例え
ば、この真空領域は、本発明の１つの構成においてプラ
スチック管であり得る）。このような真空機能は、当業
者に周知であり、そして本明細書中にさらには記載され
ていない。１つの構成において、真空領域５２０ａ〜ｂ
は、独立した真空供給源によって供給される（すなわ
ち、各真空領域は、異なる真空供給源によって供給され
る）。さらに別の構成において、真空領域５２０は、同
じ真空供給源によって供給される。
【００８１】真空プレート５０５への取付けの間にレチ
クルがスリップするか、さもなければ動かされる場合、
二次真空領域（単数または複数）５２０ｂにおいて真空
損失が生じる。しかし、この真空損失の間、一次真空領
域は、真空プレート５０５に取り付けられる間にレチク
ルが動かされるのを防ぐために、その真空機能を遂行し
続ける。次いで、ロボットは、そのアームの運動を停止
するように信号を送られ、それによって、レチクルを輸
送する取り付けプレート（図２に示される）の動きを停
止させる。例えば、ロボットは、ロボットに真空損失を
知らせるロボットセンサ（図示せず）を組み入れること
によってそのアームの動きを停止するように信号を送ら
れ得る。このロボットアームの動きを停止させた後、真
空損失は、レチクルを真空プレートに再確保することに
よって矯正され得る。
クルがスリップするか、さもなければ動かされる場合、
二次真空領域（単数または複数）５２０ｂにおいて真空
損失が生じる。しかし、この真空損失の間、一次真空領
域は、真空プレート５０５に取り付けられる間にレチク
ルが動かされるのを防ぐために、その真空機能を遂行し
続ける。次いで、ロボットは、そのアームの運動を停止
するように信号を送られ、それによって、レチクルを輸
送する取り付けプレート（図２に示される）の動きを停
止させる。例えば、ロボットは、ロボットに真空損失を
知らせるロボットセンサ（図示せず）を組み入れること
によってそのアームの動きを停止するように信号を送ら
れ得る。このロボットアームの動きを停止させた後、真
空損失は、レチクルを真空プレートに再確保することに
よって矯正され得る。
【００８２】シール５２５ａ〜ｂは、真空プレート５０
５の第一面５０７ａ上の辺縁に沿って配置される。しか
し、当業者は、このシール５２５ａ〜ｂが、本発明の精
神および範囲から逸脱することなく真空プレート５０５
上の他の位置に配置され得ることを認識する。例えば、
本発明の１つの実施形態において、シール５２５ａ〜ｂ
は、真空プレート５０５の中心に配置される。さらに別
の実施形態において、このシール５２５ａ〜ｂは、真空
プレート５０５の辺縁および真空プレート５０５の中心
に配置される。
５の第一面５０７ａ上の辺縁に沿って配置される。しか
し、当業者は、このシール５２５ａ〜ｂが、本発明の精
神および範囲から逸脱することなく真空プレート５０５
上の他の位置に配置され得ることを認識する。例えば、
本発明の１つの実施形態において、シール５２５ａ〜ｂ
は、真空プレート５０５の中心に配置される。さらに別
の実施形態において、このシール５２５ａ〜ｂは、真空
プレート５０５の辺縁および真空プレート５０５の中心
に配置される。
【００８３】シール５２５ａ〜ｂは、レチクルのための
「クッション」を提供し、そして、レチクルが真空プレ
ート５０５に確保されるのを可能にする。このシール５
２５ａ〜ｂの操作は、当業者に周知であり、本明細書中
にさらには記載されていない。
「クッション」を提供し、そして、レチクルが真空プレ
ート５０５に確保されるのを可能にする。このシール５
２５ａ〜ｂの操作は、当業者に周知であり、本明細書中
にさらには記載されていない。
【００８４】シール５２５は、薄いステンレス鋼から構
成される。しかし、当業者は、他の適切な材料がシール
５２５ａ〜ｂのために使用され得ることを認識する。
成される。しかし、当業者は、他の適切な材料がシール
５２５ａ〜ｂのために使用され得ることを認識する。
【００８５】図６は、真空プレートが利用される、本発
明の実施形態に従う取り付けプレートの図である。
明の実施形態に従う取り付けプレートの図である。
【００８６】図２に一般的に記載されるように、取り付
けプレート２１０の一方の端部は、レチクルプレート２
０５に連結されている。取り付けプレート２１０の他方
の端部は、ロボットコネクタ２２０に連結されている。
けプレート２１０の一方の端部は、レチクルプレート２
０５に連結されている。取り付けプレート２１０の他方
の端部は、ロボットコネクタ２２０に連結されている。
【００８７】取り付けプレート２１０は、真空ロック６
１０および孔６１５ａ〜ｃを備える。この真空ロック６
１０は、取り付けプレート２１０上にあり、そして取り
付けプレート２１０とレチクルプレート２０５との間に
配置されている（図２に示させる）。この真空ロック６
１０は、レチクルプレート２０５が取り付けプレート２
１０に対して、その面内位置で剛性を維持するようにす
る。
１０および孔６１５ａ〜ｃを備える。この真空ロック６
１０は、取り付けプレート２１０上にあり、そして取り
付けプレート２１０とレチクルプレート２０５との間に
配置されている（図２に示させる）。この真空ロック６
１０は、レチクルプレート２０５が取り付けプレート２
１０に対して、その面内位置で剛性を維持するようにす
る。
【００８８】上記で参照される、湾曲部４１０ａ〜ｃの
予荷重は、レチクルプレート２０５を取り付けプレート
２１０に対して静止させる。しかし、ロボットアームの
運動の間（レチクルがオフライン整列ステーションにお
いて整列された後のロボットアームの運動の間）、予め
整列されたレチクルが取り付けられるレチクルプレート
２０５は、取り付けプレート２１０に対して振動し得
る。この振動は、オフライン整列ステーションでの上記
の正確な、レチクルの予めの整列を妨害し得るので、望
ましくない。
予荷重は、レチクルプレート２０５を取り付けプレート
２１０に対して静止させる。しかし、ロボットアームの
運動の間（レチクルがオフライン整列ステーションにお
いて整列された後のロボットアームの運動の間）、予め
整列されたレチクルが取り付けられるレチクルプレート
２０５は、取り付けプレート２１０に対して振動し得
る。この振動は、オフライン整列ステーションでの上記
の正確な、レチクルの予めの整列を妨害し得るので、望
ましくない。
【００８９】取り付けプレート２１０に対するレチクル
プレート２０５の望ましくない振動を防ぐために、真空
ロック６１０は、レチクルプレート２０５が（面内位置
において）取り付けプレート２１０に対して安定性を維
持するようにし、それによって、真空機能により、取り
付けプレート２１０に対してレチクルプレート２０５を
固定する。この真空ロック６１０は、空気圧駆動ソレノ
イド固定デバイスであり得る。このような空気圧駆動ソ
レノイド固定デバイスは、当業者に周知である。真空ロ
ック６１０は、オフライン整列ステーションからレチク
ル露光ステージへのレチクルの輸送の間に面内剛性を提
供し、これによって、上記レチクルの面外の予めの整列
が、レチクル露光ステージへの輸送の間に動かされるの
を防ぐ。この真空ロック６１０は、オフライン整列ステ
ーションでの面外の整列操作が、レチクル露光ステージ
で、レチクルの必要とされる整列に従って維持されるこ
とを確実にする。
プレート２０５の望ましくない振動を防ぐために、真空
ロック６１０は、レチクルプレート２０５が（面内位置
において）取り付けプレート２１０に対して安定性を維
持するようにし、それによって、真空機能により、取り
付けプレート２１０に対してレチクルプレート２０５を
固定する。この真空ロック６１０は、空気圧駆動ソレノ
イド固定デバイスであり得る。このような空気圧駆動ソ
レノイド固定デバイスは、当業者に周知である。真空ロ
ック６１０は、オフライン整列ステーションからレチク
ル露光ステージへのレチクルの輸送の間に面内剛性を提
供し、これによって、上記レチクルの面外の予めの整列
が、レチクル露光ステージへの輸送の間に動かされるの
を防ぐ。この真空ロック６１０は、オフライン整列ステ
ーションでの面外の整列操作が、レチクル露光ステージ
で、レチクルの必要とされる整列に従って維持されるこ
とを確実にする。
【００９０】ロボットアームがレチクルをレチクル露光
ステージに（末端エフェクター２０３を介して）移動さ
せた後、真空ロック６１０は、レチクルプレート２０５
を取り付けプレート２１０から解除し、それによって、
レチクルプレート２０５が面内位置からわずかに移動す
るのを可能にする。解除の際に、レチクルプレート２０
５は、取り付けプレート２１０から最も離れた位置（そ
の面外位置）まで移動する。言い換えると、レチクルプ
レート２０５が解除された場合、このレチクルプレート
と取り付けプレート２１０との間の距離は、わずかに増
加する。この時点で、（レチクル露光ステージでの整列
要求に従って）オフライン整列ステーションでの予めの
整列をすでに受けたレチクルは、露光操作のために、レ
チクル露光ステージ上にロードされる。
ステージに（末端エフェクター２０３を介して）移動さ
せた後、真空ロック６１０は、レチクルプレート２０５
を取り付けプレート２１０から解除し、それによって、
レチクルプレート２０５が面内位置からわずかに移動す
るのを可能にする。解除の際に、レチクルプレート２０
５は、取り付けプレート２１０から最も離れた位置（そ
の面外位置）まで移動する。言い換えると、レチクルプ
レート２０５が解除された場合、このレチクルプレート
と取り付けプレート２１０との間の距離は、わずかに増
加する。この時点で、（レチクル露光ステージでの整列
要求に従って）オフライン整列ステーションでの予めの
整列をすでに受けたレチクルは、露光操作のために、レ
チクル露光ステージ上にロードされる。
【００９１】孔６１５ａ〜ｃは、レチクルプレート２０
５（図２に示される）が、湾曲部を介して取り付けプレ
ート２１０に取り付けられるのを可能にする。より詳細
には、ネジ４１０ａ３〜ｃ３の各々は、そのそれぞれの
湾曲部４１０を通って延び、そして孔６１５ａ〜ｃの１
つにネジで取り付けられ、それによって、レチクルプレ
ート２０５を取り付けプレート２１０に連結する。
５（図２に示される）が、湾曲部を介して取り付けプレ
ート２１０に取り付けられるのを可能にする。より詳細
には、ネジ４１０ａ３〜ｃ３の各々は、そのそれぞれの
湾曲部４１０を通って延び、そして孔６１５ａ〜ｃの１
つにネジで取り付けられ、それによって、レチクルプレ
ート２０５を取り付けプレート２１０に連結する。
【００９２】取り付けプレート２１０は、ステンレス鋼
から構成される。しかし、当業者は、取り付けプレート
２１０が、この取り付けプレート２１０の性能に適した
任意の他の材料から構成され得ることを認識する。
から構成される。しかし、当業者は、取り付けプレート
２１０が、この取り付けプレート２１０の性能に適した
任意の他の材料から構成され得ることを認識する。
【００９３】図７は、レチクルが真空機能によって真空
プレートに固定されている、本発明の方法に従うロボッ
トコネクタの図である。このようなロボットコネクタ
は、当業者に周知であり、本明細書中で簡潔に示される
のみである。ロボットコネクタ２２０は、取り付けブラ
ケット７０５および真空供給源７１０を備える。
プレートに固定されている、本発明の方法に従うロボッ
トコネクタの図である。このようなロボットコネクタ
は、当業者に周知であり、本明細書中で簡潔に示される
のみである。ロボットコネクタ２２０は、取り付けブラ
ケット７０５および真空供給源７１０を備える。
【００９４】ロボットコネクタ２２０により、末端エフ
ェクター２０３は、ロボットコネクタ２２０が連結され
ているロボットアームの動きに従って移動する。取り付
けブラケット７０５のこの構成により、取り付けプレー
ト２１０が３０°の角度および４０°の角度（すなわ
ち、二重のオフセット）で回転することが可能である。
回転は、２つの異なる角度でロボットの軸において起こ
る。しかし、当業者に明らかであるように、取り付けブ
ラケット７０５は、本発明の精神および範囲から逸脱す
ることなく、他の角度の回転自由度で作動し得る。
ェクター２０３は、ロボットコネクタ２２０が連結され
ているロボットアームの動きに従って移動する。取り付
けブラケット７０５のこの構成により、取り付けプレー
ト２１０が３０°の角度および４０°の角度（すなわ
ち、二重のオフセット）で回転することが可能である。
回転は、２つの異なる角度でロボットの軸において起こ
る。しかし、当業者に明らかであるように、取り付けブ
ラケット７０５は、本発明の精神および範囲から逸脱す
ることなく、他の角度の回転自由度で作動し得る。
【００９５】取り付けブラケット７０５の回転自由度
は、レチクルプレート２０５に取り付けられる間、レチ
クルの安定性に影響を及ぼさない。レチクルプレート２
０５に取り付けられたレチクルの安定性は、上記のよう
に、真空ロック６１０の操作に起因して、取り付けブラ
ケット７０５（およびそれに連結された取り付けプレー
ト２１０）の種々の回転位置にもかかわらず維持され
る。
は、レチクルプレート２０５に取り付けられる間、レチ
クルの安定性に影響を及ぼさない。レチクルプレート２
０５に取り付けられたレチクルの安定性は、上記のよう
に、真空ロック６１０の操作に起因して、取り付けブラ
ケット７０５（およびそれに連結された取り付けプレー
ト２１０）の種々の回転位置にもかかわらず維持され
る。
【００９６】ロボットコネクタ２２０の取り付けブラケ
ット７０５は、末端エフェクター２０３をリソグラフィ
ープロセスに使用されるロボット（図８に示させる）に
連結する。
ット７０５は、末端エフェクター２０３をリソグラフィ
ープロセスに使用されるロボット（図８に示させる）に
連結する。
【００９７】真空供給源７１０は、真空領域４２０ａ〜
ｂを供給するための真空機能を提供する。この真空供給
源７１０は、ロボットコネクタ２２０によって保持され
る。この真空供給源７１０は、２つの末端（７１０ａお
よび７１０ｂ）を有する。真空供給源末端７１０ａは、
ロボット（図８に示させる）に配置された真空ポンプ
（図示せず）に連結されている。真空供給源末端７１０
ｂは、真空プレート２０５上に真空領域５２０を供給す
るために、真空プレートのエッジまで延びる。
ｂを供給するための真空機能を提供する。この真空供給
源７１０は、ロボットコネクタ２２０によって保持され
る。この真空供給源７１０は、２つの末端（７１０ａお
よび７１０ｂ）を有する。真空供給源末端７１０ａは、
ロボット（図８に示させる）に配置された真空ポンプ
（図示せず）に連結されている。真空供給源末端７１０
ｂは、真空プレート２０５上に真空領域５２０を供給す
るために、真空プレートのエッジまで延びる。
【００９８】真空供給源７１０は、少なくとも１つのプ
ラスチックホースから構成される。しかし、当業者は、
真空供給源７１０が、当業者に公知の任意の他の材料か
ら構成され得ることを認識する。さらに、この真空供給
源７１０は、当業者に公知の任意の他の媒体であり得
る。
ラスチックホースから構成される。しかし、当業者は、
真空供給源７１０が、当業者に公知の任意の他の材料か
ら構成され得ることを認識する。さらに、この真空供給
源７１０は、当業者に公知の任意の他の媒体であり得
る。
【００９９】図８は、本発明に従う末端エフェクターの
種々の移動位置を図示する。ロボット８０３は、末端エ
フェクター２０３を備える。ロボット８０３は、８０５
および８１０で一般的に示される２つの例位置を含む種
々の位置に末端エフェクター２０３を移動し得る。ほぼ
水平な位置８０５は、レチクルの保管設備からの移動を
示す。ほぼ垂直な位置８１０は、整列ステージにおける
レチクルの整列を示す。
種々の移動位置を図示する。ロボット８０３は、末端エ
フェクター２０３を備える。ロボット８０３は、８０５
および８１０で一般的に示される２つの例位置を含む種
々の位置に末端エフェクター２０３を移動し得る。ほぼ
水平な位置８０５は、レチクルの保管設備からの移動を
示す。ほぼ垂直な位置８１０は、整列ステージにおける
レチクルの整列を示す。
【０１００】（結論）本発明の種々の実施形態が上記さ
れてきたが、これらは例として示されており、限定とし
て示されていないことが理解されるべきである。形態お
よび細部の種々の変化が、本発明の精神および範囲から
逸脱することなく本発明の中でなされ得ることは、当業
者に明らかである。従って、本発明は、上記の例示的な
実施形態のいずれかによって制限されるべきではなく、
添付の特許請求の範囲およびそれらの等価物によっての
み規定されるべきである。
れてきたが、これらは例として示されており、限定とし
て示されていないことが理解されるべきである。形態お
よび細部の種々の変化が、本発明の精神および範囲から
逸脱することなく本発明の中でなされ得ることは、当業
者に明らかである。従って、本発明は、上記の例示的な
実施形態のいずれかによって制限されるべきではなく、
添付の特許請求の範囲およびそれらの等価物によっての
み規定されるべきである。
【０１０１】レチクルを受容ステーション（例えば、レ
チクル露光ステージ）上に移動し、そしてロードする装
置および方法。このレチクルは、最初に、取り付けプレ
ートに連結されたレチクルプレートを有する末端エフェ
クターを用いて、保管設備から取り出される。この取り
付けプレートは、末端エフェクターをロボットアームに
接続する。レチクルは、オフライン整列ステーションの
面外位置において整列される。この整列は、受容ステー
ションでの整列要求に従う。このレチクルは、オフライ
ン整列ステーションにおいて整列を受けた後、レチクル
プレート上に取り付けられる。次いで、このレチクル
は、オフライン整列ステーションから受容ステーション
に移動される一方で、オフライン整列ステーションにお
ける以前の整列を維持する。この装置は、さらに、受容
ステーションでの整列要求とのコンプライアンスを確実
にするように、取り付けられたレチクルの剛性を提供す
る。
チクル露光ステージ）上に移動し、そしてロードする装
置および方法。このレチクルは、最初に、取り付けプレ
ートに連結されたレチクルプレートを有する末端エフェ
クターを用いて、保管設備から取り出される。この取り
付けプレートは、末端エフェクターをロボットアームに
接続する。レチクルは、オフライン整列ステーションの
面外位置において整列される。この整列は、受容ステー
ションでの整列要求に従う。このレチクルは、オフライ
ン整列ステーションにおいて整列を受けた後、レチクル
プレート上に取り付けられる。次いで、このレチクル
は、オフライン整列ステーションから受容ステーション
に移動される一方で、オフライン整列ステーションにお
ける以前の整列を維持する。この装置は、さらに、受容
ステーションでの整列要求とのコンプライアンスを確実
にするように、取り付けられたレチクルの剛性を提供す
る。
【０１０２】
【発明の効果】本発明により、レチクルの予めの整列を
失うことなくレチクル露光ステージ上に予め整列された
レチクルを移動およびロードする方法および装置が提供
される。
失うことなくレチクル露光ステージ上に予め整列された
レチクルを移動およびロードする方法および装置が提供
される。
【０１０３】添付の図面（本明細書中に組み入れられそ
して明細書の一部を成す）は、本発明を例示し、そして
説明と共に、本発明の原理を説明し、かつ当業者が本発
明を作製し、そして使用することを可能にするにするた
めにさらに役立つ。
して明細書の一部を成す）は、本発明を例示し、そして
説明と共に、本発明の原理を説明し、かつ当業者が本発
明を作製し、そして使用することを可能にするにするた
めにさらに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、レチクルプロセッシングのステージの
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に従う、ロボットコ
ネクタに連結された末端エフェクターの前方斜視図であ
る。
ネクタに連結された末端エフェクターの前方斜視図であ
る。
【図３】図３は、本発明の実施形態に従う、ロボットコ
ネクタに連結された末端エフェクターの後方斜視図であ
る。
ネクタに連結された末端エフェクターの後方斜視図であ
る。
【図４】図４は、本発明の実施形態に従う付随したフィ
ーチャーを有するレチクルプレートの図である。
ーチャーを有するレチクルプレートの図である。
【図５】図５は、本発明の実施形態に従う真空プレート
およびその付随したフィーチャーの図である。
およびその付随したフィーチャーの図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態に従う、真空プレー
トを使用する取り付けプレートの図である。
トを使用する取り付けプレートの図である。
【図７】図７は、本発明の実施形態に従う、真空プレー
トを使用するロボットコネクタの図である。
トを使用するロボットコネクタの図である。
【図８】図８は、本発明の実施形態に従う末端エフェク
ターの種々の移動位置の図である。
ターの種々の移動位置の図である。
１０５ 第１ステージ
１１０ 第２ステージ
１１５ 第３ステージ
２０３ 末端エフェクター
２０５ レチクルプレート
２１０ 取り付けプレート
２２０ ロボットコネクタ
４２０ 真空領域
５０５ 真空プレート
６１０ 真空ロック
７０５ 取り付けブラケット
７１０ 真空供給源
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ピーター コッヒャーシュパーガー
アメリカ合衆国 コネチカット 06612,
イーストン， ジェイムズタウン ロー
ド 38
(72)発明者 ジョセフ ラガンザ
アメリカ合衆国 コネチカット 06855,
イースト ノーウォーク， エマーソン
ストリート 10
Ｆターム(参考） 5F031 CA07 GA08 GA09 MA27
5F046 AA20 CC02 CC09 CC13 CD02
CD04 CD06
Claims (42)
- 【請求項１】 レチクルを受容ステーション上に移動お
よびロードする方法であって、該方法は、以下： （ａ）取り付けプレートに連結されたレチクルプレート
を有する末端エフェクターを用いて保管設備から該レチ
クルを回収する工程であり、該取り付けプレートが、該
末端エフェクターをロボットアームに接続している、工
程； （ｂ）該レチクルがオフライン整列ステーションに予め
整列された後に、該レチクルを該レチクルプレートに取
り付ける工程；および、 （ｃ）該予めの整列を維持し、かつ移動の間の剛性を提
供しながら該レチクルを該オフライン整列ステーション
から該受容ステーションに移動させる工程、を包含す
る、方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法であって、該方法
は、以下： （ｄ）前記レチクルの移動の間に前記取り付けプレート
に対して前記レチクルプレートを固定する工程；およ
び、 （ｅ）該レチクルのピックアップおよび下方配置の間に
該取り付けプレートから該レチクルプレートを解除する
工程、をさらに包含する、方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載の方法であって、該方法
は、以下： （ｄ）前記レチクルプレートの面外運動を可能にする工
程；および、 （ｅ）該レチクルプレートの該面外運動を制限する工
程、をさらに包含する、方法。 - 【請求項４】 請求項１に記載の方法であって、該方法
は、以下： （ｄ）真空破断が検出された場合、前記末端エフェクタ
ーの運動を停止する工程；および、 （ｅ）前記レチクルの取り付けを維持する工程、をさら
に包含する、方法。 - 【請求項５】 前記レチクルプレートが真空プレートで
ある、請求項１に記載の方法。 - 【請求項６】 請求項５に記載の方法であって、ここ
で、前記取り付ける工程が、以下： （ｉ）第一の真空供給源から、前記真空プレート上に少
なくとの１つの一次真空領域を供給する工程；および、 （ｉｉ）第二の真空供給源から、該真空プレート上に少
なくとの１つの二次真空領域を供給する工程、を包含す
る、方法。 - 【請求項７】 （ｄ）前記レチクルから粒状汚染物質を
除去する工程をさらに包含する、請求項１に記載の方
法。 - 【請求項８】 請求項１に記載の方法であって、ここ
で、前記工程（ｂ）が、（ｉ）ソレノイド駆動クランプ
によって、前記レチクルを前記レチクルプレート上に取
り付ける工程を包含する、方法。 - 【請求項９】 請求項１に記載の方法であって、ここ
で、前記工程（ｂ）が、（ｉ）前記レチクルプレート上
に配置された静電荷によって、前記レチクルを該レチク
ルプレート上に取り付ける工程を包含する、方法。 - 【請求項１０】 請求項１に記載の方法であって、該方
法は、以下： （ｄ）前記レチクルの移動の間に、空気圧駆動ソレノイ
ド固定デバイスを利用することによって、前記取り付け
プレートに対して前記レチクルプレートを固定する工
程；ならびに、 （ｅ）該レチクルのピックアップおよび下方配置の間
に、該取り付けプレートから該レチクルプレートを解除
する工程、をさらに包含する、方法。 - 【請求項１１】 受容ステーションに移動されるべきレ
チクルを操作するための末端エフェクターであって、該
エフェクターは、以下：該レチクルを取り付けるため
の、少なくとも１つのシールを有するレチクルプレート
であり、ここで、該レチクルプレートが、該レチクルを
該レチクルプレートに装着するための取り付けデバイス
もまた有する、レチクルプレート；および、 該レチクルプレートに連結された取り付けプレート、を
備える、末端エフェクター。 - 【請求項１２】 前記レチクルプレートが真空プレート
である、請求項１１に記載の末端エフェクター。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の末端エフェクター
であって、ここで、前記真空プレートは、 第一面および第二面；ならびに、 該真空プレートの第二面に連結される取り付けプレート
を有し、ここで、該第一面は、前記レチクルを取り付け
るための少なくとも１つのシールを有し、そして該第二
面は、レチクルを装着するための真空機能を達成するた
めの少なくとも１つの真空領域を有し、該取り付けプレ
ートは、該少なくとも１つの真空領域に真空を供給する
ための少なくとも１つの真空供給源を有する、末端エフ
ェクター。 - 【請求項１４】 請求項１３に記載の末端エフェクター
であって、ここで、前記真空プレートが、 前記レチクルプレートの面外運動を可能にするために、
該レチクルプレートの上部表面に配置された少なくとも
１つの湾曲部であり、ここで、該少なくとも１つの湾曲
部が、該レチクルプレートを通って延び、かつ前記取り
付けプレートに装着されている、湾曲部、をさらに備え
る、末端エフェクター。 - 【請求項１５】 請求項１４に記載の末端エフェクター
であって、前記レチクルプレートが、 該レチクルプレートの運動を抑制するために該レチクル
プレートの前記第一面に配置された少なくとも１つの移
動停止部であり、ここで、該少なくとも１つの移動停止
部が、該レチクルプレートを通って延び、かつ前記取り
付けプレートに装着されている、移動停止部、を備え
る、末端エフェクター。 - 【請求項１６】 前記末端エフェクターが、該末端エフ
ェクターをロボットに接続するための取り付けブラケッ
トに連結されている、請求項１１に記載の末端エフェク
ター。 - 【請求項１７】 前記少なくとも１つの真空領域が、二
次真空領域と一次真空領域との組み合わせである、請求
項１３に記載の末端エフェクター。 - 【請求項１８】 前記取り付けプレートに対して前記レ
チクルプレートを固定するために、該取り付けプレート
と該レチクルプレートとの間に、真空ロックが組み込ま
れている、請求項１１に記載の末端エフェクター。 - 【請求項１９】 前記取り付けプレートに対して前記レ
チクルプレートを固定するために、該取り付けプレート
と該レチクルプレートとの間に、空気圧駆動ソレノイド
固定デバイスが組み込まれている、請求項１１に記載の
末端エフェクター。 - 【請求項２０】 前記少なくとも１つの湾曲部が、湾曲
部の群によって形成される三角形のジオメトリーの頂点
である、請求項１４に記載の末端エフェクター。 - 【請求項２１】 前記少なくとも１つのシールが破断可
能である、請求項１３に記載の末端エフェクター。 - 【請求項２２】 前記取り付けブラケットが、３０°の
角度および４０°の角度で回転可能である、請求項１６
に記載の末端エフェクター。 - 【請求項２３】 前記レチクルプレートが前記レチクル
上の粒状汚染物質を減少させる、請求項に１１記載の末
端エフェクター。 - 【請求項２４】 前記少なくとも１つの真空供給源が真
空チューブである、請求項１３に記載の末端エフェクタ
ー。 - 【請求項２５】 前記少なくとも１つの真空供給源が密
閉チャネルである、請求項１３に記載の末端エフェクタ
ー。 - 【請求項２６】 前記レチクルが、ソレノイド駆動クラ
ンプによって前記レチクルプレート上に取り付けられて
いる、請求項１１に記載の末端エフェクター。 - 【請求項２７】 前記レチクルが、静電荷によって前記
レチクルプレート上に取り付けられている、請求項１１
に記載の末端エフェクター。 - 【請求項２８】 受容ステーションに輸送されるべきレ
チクルを操作するための末端エフェクターであって、該
フェクターは、以下：該レチクルを保持するための手
段；該レチクルを保持するための手段に該レチクルを装
着するための手段；および、該末端エフェクターをロボ
ットアームに連結するための手段、を備える、末端エフ
ェクター。 - 【請求項２９】 請求項２８に記載の末端エフェクター
であって、前記レチクルを保持するための手段が、第一
面および第二面を有し、該第一面は、該レチクルを取り
付けるための密閉手段を有し、該レチクルを保持するた
めの手段が、真空機能を達成するための少なくとも１つ
の真空手段を有し；そして、 前記末端エフェクターをロボットアームに連結するため
の手段が、該レチクルを保持するための手段の第二面に
連結されており、ここで、該末端エフェクターを該ロボ
ットアームに連結するための手段が、該真空手段に真空
を提供するための少なくとも１つの真空供給源手段を有
する、末端エフェクター。 - 【請求項３０】 請求項２８に記載の末端エフェクター
であって、前記レチクルを保持するための手段が、 該レチクルを保持するための手段の面外運動を可能にす
るための手段であり、ここで、該面外運動を可能にする
ための手段が、該レチクルを保持するための手段の第一
面に配置されている、手段、をさらに備える、末端エフ
ェクター。 - 【請求項３１】 請求項２８に記載の末端エフェクター
であって、前記レチクルを保持するための手段が、 該レチクルを保持するための手段の運動を制限するため
の手段であり、ここで、該運動を制限するための手段
が、該レチクルを保持するための手段を通って延び、か
つ該末端エフェクターを前記ロボットアームに連結する
ための手段に取り付けられている、手段、をさらに備え
る、末端エフェクター。 - 【請求項３２】 前記末端エフェクターが、該末端エフ
ェクターをロボットに接続するための手段に連結されて
いる、請求項２８に記載の末端エフェクター。 - 【請求項３３】 前記少なくとも１つの真空手段が、二
次真空手段と一次真空手段との組み合わせである、請求
項２９に記載の末端エフェクター。 - 【請求項３４】 請求項２８に記載の末端エフェクター
であって、ここで、前記末端エフェクターを前記ロボッ
トアームに連結するための手段に対して前記レチクルを
保持するための手段を固定するための手段が、該レチク
ルを保持するための手段と該末端エフェクターを該ロボ
ットアームに連結するための手段との間に配置されてい
る、末端エフェクター。 - 【請求項３５】 請求項３０に記載の末端エフェクター
であって、ここで、前記レチクルを保持するための手段
の面外運動を可能にするための手段が、該面外運動を可
能にするための手段の群によって形成される三角形のジ
オメトリーの頂点である、末端エフェクター。 - 【請求項３６】 前記少なくとも１つの密閉手段が破断
可能である、請求項２９に記載の末端エフェクター。 - 【請求項３７】 前記末端エフェクターを前記ロボット
に接続するための手段が、３０°の角度および４０°の
角度で回転可能である、請求項３２に記載の末端エフェ
クター。 - 【請求項３８】 前記レチクルを装着するための手段
が、該レチクル上の粒状汚染物質を減少させる、請求項
２８に記載の末端エフェクター。 - 【請求項３９】 前記少なくとも１つの真空供給源手段
が、真空チューブである、請求項２９に記載の末端エフ
ェクター。 - 【請求項４０】 前記少なくとも１つの真空供給源手段
が、密閉チャネルである、請求項２９に記載の末端エフ
ェクター。 - 【請求項４１】 前記レチクルが、ソレノイド駆動クラ
ンプによって、前記レチクルを保持するための手段上に
取り付けられている、請求項２８に記載の末端エフェク
ター。 - 【請求項４２】 前記レチクルが、前記レチクルを保持
するための手段上に配置された静電荷の手段によって、
該レチクルを保持するための手段に取り付けられてい
る、請求項２８に記載の末端エフェクター。
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