TWI283799B - Method and apparatus for transferring and loading a reticle with a robotic reticle end-effector - Google Patents

Description

1283799 A7 B7 五、發明説明（·| ) 發明所屬之技術領域 本發明大體上是關於微影術系統。更特別地，本發明 是關於傳送和載入一光罩至接收站上，同時維持平面外光 罩對準，且在傳送期間提供光罩的剛性。 先前技術 微影術是用於在基材表面上產生特性的過程。此基材 可能包含用於製造平板顯示器、電路板、各種積體電路與 類似者。在此應用經常使用的基材是半導體晶圓。專精於 相關技術的人將認知，此處的說明也適用於專精於相關技 術的人習知之其他型式的基材。 在微影術期間，一配置於晶圓級上的晶圓藉由位於微 影術系統中的暴露系統，暴露於投射在晶圓表面上的影像 。暴露系統包含一用於將影像投射在晶圓上的光罩。 光罩大體上位於一半導體晶片與一光源之間。在光微 影術中，光罩充當用於將電路印在-例如-半導體晶片上 的光罩。典型上由玻璃製造的光罩需要精細的處理，因爲 它可能容易由於小刮傷或污染而破裂。 需要載入過程，以將光罩載入光罩暴露平台暴露平台 上。光罩必須很精密對準一預定的位置。任何對準誤差必 須在可修正的一致性範圍內。因此，在載入過程期間之光 罩與光罩暴露平台暴露平台之間的距離必須減至最小。一 光罩的位置可以藉由在X - Y平面方向轉動及移動光罩而調 整。然而，在使此距離減至最小時，必須小心，以避免光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I-„--------0^-- (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 1283799 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) 罩撞擊平台而破裂。 傳統上，形成於光罩中的對準標記用於藉由使對準標 記定位而對準光罩。一在光罩暴露平台暴露平台中的參考 標記安置於一光罩對準顯微鏡下方，以有助於對準過程。 藉由透過顯微鏡偵測光罩的對準標記，執行預對準與後對 準操作。爲了減少光罩交換時間因而增加微影術系統的生 產力，在離線對準站的光罩對準是所欲的。 傳統上，「推動器」用於在離線對準站中預對準光罩 。然而，推動器的使用導致在離線對準站之光罩的對準與 隨後發生於光罩暴露平台上之光罩之所需要的對準之不一 致性。結果，微影術系統的生產力仍然未增加。 在本發明以前，維持平面外的一致性且維持平面內的 剛性之光罩傳送裝置是不可能的。另言之，在本發明以前 ，在離線對準站上之光罩的平面外預對準位置對準不能夠 維持達成在光罩暴露平台之所需的性能所需要的精密度。 所以，所需要的是傳送和載入一預對準的光罩於一光 罩暴露平台上而不會損失光罩的預對準之方法與裝置。 發明內容 本發明是一種傳送和載入一光罩至接收站（例如，光罩 暴露平台）上的裝置與方法。更特別地，本發明是一種裝置 與方法，用於提供與在光罩暴露平台的光罩對準之平面外 預對準一致性，同時維持在運輸至對準級期間之光罩的平 面內剛性。首先，以一具有耦合至固定板的接合裝置之端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 -6- 1283799 A7 B7 五、發明説明（3 ) 效應器，自一儲存設備收回光罩。光罩能夠以各種方法固 定至接合裝置。在一構造中，光罩藉由真空功能固定至光 罩板。在另一構造中，光罩可以由電磁線圈驅動夾固定至 接合裝置。在又一構造中，光罩可以由靜電荷固定至接合 裝置。固定板連接端效應器至一機器手臂。在光罩預對準 於一離線對準站中的平面外位置以後，它安裝於接合裝置 上。一鎖定裝置可以位於接合裝置與固定板之間。鎖定裝 置允許接合裝置在一平面內位置鎖定而頂住固定板，以防 止干擾所固定的光罩。然後，光罩自離線對準站傳送至光 罩暴露平台，同時維持在離線對準站執行之先前的預對準 。裝置又提供所安裝的光罩之剛性，以確保與在光罩暴露 平台之光罩的最後對準之一致性。 實施方式 現在，參考圖而說明本發明之一實施例，其中相同的 參考號碼標示相同或類似功能的元件。每一參考號碼最左 方的數字對應於首先使用該參考號碼的圖。雖然討論特定 的構造與配置，但是應該了解，此僅是爲了闡釋的目的。 專精於相關技術的人將認知，可以使用其他構造與配置， 不會偏離本發明的精神和範疇。顯然，對於專精於相關技 術的人，本發明也可以用於各種其他應用。 圖1顯示一光罩之處理的典型平台。在第一平台105 中，由一端效應器自一光罩卡匣（S卩，光罩儲存設備）收回光 罩。在第二平台1 10中，光罩傳送至離線對準站，且在傳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） IJ--------裝-- (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1283799 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 送至光罩暴露平台以前預對準。離線對準站是位於離開光 罩暴露平台之處的站，在該處，光罩在光罩暴露平台對準 以前預對準。光罩預對準是所需的，因爲它可增加使用本 發明的微影術系統之生產力。在第三平台1 1 5中，光罩進 行最後對準，以將一影像投射於一晶圓上。最後對準是精 密對準光罩與光罩暴露平台所需者，以使影像完美地投射 於晶圓上。 圖2是透視圖，顯示耦合至依據本發明之一實施例的 機器手臂接頭之端效應器。 端效應器203包括光罩板205與固定板210。 光罩板205耦合至固定板210的一端。光罩板205可 藉由專精於相關技術的人習知的任何方法耦合至固定板2 10 。例如，在一實施例中，光罩板205藉由螺絲耦合至固定 板 2 10。 端效應器203耦合至機器手臂接頭22〇。機器手臂接頭 220耦合至一機器手臂（未顯示）。經由機器手臂的移動，端 效應器203能夠在至少一垂直方向及一水平方向移動，如 大體上由圖2的箭頭222顯示者。 端效應器203自一卡匣（未顯示）收回一光罩（未顯示）， 且將光罩安裝在光罩板205上。然後，端效應器203將光 罩安置於離線對準站（未顯示）上，以便預對準。在離線對準 站預對準光罩以後，端效應器203自離線對準站收回光罩 ，且將預對準的光罩傳送至-例如-光罩暴露平台。 在自離線對準站收回以後，光罩板205支持待在光罩 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 ••線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 1283799 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7___五、發明説明（5 ) 暴露平台對準的光罩。光罩板205能夠在平面內/平面外移 動。此移動很輕微，且最佳詮釋爲相對於固定板2 1 0的進 出移動。在「進」移動時，光罩板205最靠近固定板210。 在「出」移動時，光罩板205最遠離固定板210。光罩在離 線對準站預對準於平面外位置，以在光罩暴露平台準備進 行影像投射。 光罩可以由各種方法固定至光罩板205。例如，在本發 明之一特殊構造中，光罩藉由真空功能固定至光罩板。在 真空方法中，光罩板稱爲真空板。另外，光罩可以由至少 一電磁線圈驅動的夾子固定至光罩板205。在此方法中，光 罩板205稱爲夾板。除了由電磁線圈驅動的夾子固定至光 罩板205以外，光罩可以由放在光罩板-其在此過程中稱 爲靜電板-上的靜電荷固定至光罩板205。然而，本發明不 限於此固定光罩至光罩板的方法。應該注意，可以使用其 他固定光罩至光罩板205的方法，不會偏離本發明的精神 和範疇。 圖3顯示耦合至機器手臂接頭220之端效應器203的 後透視圖。端效應器203包括光罩板205與固定板210，如 圖2所示。 圖4是爆炸圖，顯示光罩板205及它的依據本發明的 相關特性。光罩板205具有一面對光罩（未顯示）的第一側 407a。光罩板205也具有一與第一側407a相對的第二側（未 顯示）。光罩板205在自卡匣收回光罩以後固持光罩。 在本發明之一構造中，光罩板205由一鋁硬塗佈表面 1紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） 一 ~ -9 - (請先閱讀背面之注意事' J# ，項再填· :寫本頁) 裝- 訂 1283799 A7 B7 五、發明説明（6 ) 組成。鋁硬塗佈表面讓光罩板205更能抗拒污染。然而， 專精於相關技術的人將認知，光罩板205可以是任何其他 適當的材料，以具有所需的性能。 光罩板205包括開口 405a-c及齒痕408 3^2- Cl.2。或 者’本發明可以只包括開口 405 a-c之一。同樣地，本發明 可以只包括齒痕4083^2 - c!_2之一。撓曲部410a - c、螺絲 MOau - Cl_3與行進止動件411a_ b也存在於光罩板205上 。在一替代的構造中，本發明可以只包括撓曲部41〇a_ c 之一、螺絲41〇ai_3- c】_3之一、及/或行進止動件411a - b 之一。 齒痕408au- Cl_2允許撓曲部410a- c安裝至光罩板 205的第~側407a。 每一撓曲部410a- c配置成爲跨越光罩板205的第一 側407a之三角幾何形狀，俾使每一撓曲部410a_ c形成三 角形的頂點。此外，每一撓曲部410a- c套在開口 405a - c 之一中，且耦合到每一開口 405a -c之至少一齒痕408 a!-2 一 ci-2。例如，撓曲部410a套在開口 405a中，且藉由螺絲 410a】耦合至齒痕408 a!。撓曲部410a也藉由螺絲410a2耦 合至齒痕408a2。同樣地，撓曲部410b套在開口 405b中， 且藉由螺絲410b!耦合至齒痕4081^。撓曲部410b也藉由 螺絲410b2耦合至齒痕408b2。撓曲部410c套在開口 405c 中，且藉由螺絲41〇Cl耦合至齒痕408Cl。撓曲部410c也藉 由螺絲410c2耦合至齒痕408c2。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------------ (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 1283799 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 螺絲410a3_c3延伸通過撓曲部410a _ c，且耦合光罩板 2〇5至固定板，如圖6所示。 撓曲部410允許光罩板205自固定板210略微「進出 」移動。另言之，撓曲部410允許改變光罩板205與固定 板210的「進出」距離。 撓曲部4 1 0a - c可以是具有輕微預負載的U形葉片彈 簧機構。在離線對準站之光罩的載入與預對準期間’光罩 略微壓抵光罩板205，以克服撓曲部410a- c的預負載，以 將光罩舉離離線對準站上的停置機構。當克服預負載時， 光罩固定至光罩板，以將光罩精確對準平面外位置，準備 在光罩暴露平台進行最後對準。應該注意，此精密的平面 外預對準符合在光罩暴露平台的對準需求。 撓曲部4 1 0a - c可由不銹鋼組成。然而，專精於相關 技術的人將認知，撓曲部410a - c可由適合於撓曲部之性 能的其他材料組成。 行進止動件4 1 1 a - b可以是螺絲或專精於此技術的人 習知的任何其他型式的扣件。行進止動件4 1 1 a - b延伸通 過光罩板205的第一側307a，且連接至固定板210(顯示於 圖2)，以限制光罩板210的平面外移動。或者，行進止動 件411a- b可以延伸通過光罩板205且安裝至光罩板的第 二側（未顯示）。 行進止動件4 1 1 a - b限制光罩板205的進出移動。行 進止動件411a - b藉由防止撓曲部410伸張或彎曲而充當 撓曲部4 1 0a - c的強化機構。撓曲部4 1 0a - c之此伸張或彎 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) d ▼項再填」 裝· 訂 .4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 1283799 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 曲是不想要的，因爲它將大大干擾在離線對準站之光罩的 精密預對準。 行進止動件4 1 1 a - b可以由不銹鋼組成。然而，專精 於相關技術的人將認知，行進止動件4 1 1 a - b可由適合於 行進止動件4 1 1 a - b之性能的其他材料組成。 圖5是透視圖，顯示本發明的特殊構造，其中光罩藉 由真空功能固定至真空板。 在圖5所示本發明的構造中，光罩板稱爲真空板。真 空板505在自-例如-光罩卡匣收回光罩以後固持光罩。 除了圖4所示光罩板的相關特性以外，圖5的構造（本 發明的構造，其中光罩藉由真空功能固定至真空板）使用真 空陸地520a - b與密封件525a - b的額外元件。恰如同光 罩板2〇5具有一第一側與一第二側，真空板具有一第一側 507a及一與第一側507a相對的第二側（未顯示）。 真空陸地520a - b沿著真空板505的邊緣設置。專精 於此技術的人將認知，真空陸地5 20之位置的其他構造可 以改變，不會偏離本發明的精神和範疇。例如，在另一構 造中’真空陸地520a - b沿著真空板505的隅角而散佈。 在一構造中，真空陸地5 2 0 a - b由至少一初級真空陸 地5 20a及至少一次級真空陸地52〇b組成。在替代構造中 ’設計多餘的真空陸地，以提供光罩傳送移動期間的安全 性’防止光罩碰撞或打滑。 在一構造中，真空陸地5；20a-b可以是塑膠導管。真 空陸地520a - b提供真空功能，以在光罩傳送期間保持光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------衣----------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •12- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1283799 A7 B7 五、發明説明（9 ) 罩至真空板505(例如，在本發明之一構造中，真空陸地可 以是塑膠導管）°此真空功能對於專精於此技術的人是眾人 皆知的，且此處不再說明。在一構造中，真空陸地52〇a - b 由獨立的真空源供應（即，每一真空陸地由不同的真空源 供應）。在又一構造中，真空陸地520由相同的真空源供應 〇 如果當光罩安裝在真空板505上時滑動或是受到干擾 ，則在次級真空陸地520b發生真空損失。然而，在真空損 失期間，初級真空陸地繼續執行它的真空功能，以防止當 光罩安裝在真空板5 05上時受到干擾。然後，以信號通知 機器手臂，使它的手臂停止，以使輸送光罩的固定板（顯示 於圖2)的移動停止。例如，藉由安裝一機器手臂感測器（未 顯示），其向機器手臂告知真空損失，則能夠以信號通知機 器手臂，使它的手臂的動作停止。在機器手臂的動作停止 以後，藉由再固定光罩至真空板，可以彌補真空損失。 密封件525a - b位於真空板505之第一側507a上的邊 界。然而，專精於相關技術的人將認知，密封件525a - b 可以位於真空板505的其他地方，不會偏離本發明的精神 和範疇。例如，在本發明之一實施例中，密封件525a - b 位於真空板505的中心。在又一實施例中，密封件525a - b 位於真空板505的界限與真空板505的中心。 密封件525a- b當作光罩的「緩衝器」，且允許光罩 固定至真空板505。密封件525a - b的操作是專精於相關技 術的人眾人皆知者，在此不再詳述。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I :-------------、玎----— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -13- 1283799 A7 B7 五、發明説明（10) 密封件525由薄不銹鋼組成。然而，專精於相關技術 的人將認知，其他的適當的材料可以用於密封件525。 圖6是依據本發明之一實施例之使用真空板的固定板 之圖。 大體上如圖2所示，固定板210之一端耦合至光罩板 205。固定板210之另一端耦合至機器手臂接頭220。 固定板210包含真空鎖610與孔615a - c。真空鎖610 位在固定板210上，且位於固定板210與光罩板205 (顯示 於圖2)之間。真空鎖610迫使光罩板205在它的平面內位 置保持剛性而頂住固定板2 1 0。 撓曲部410a - c的上述預負載促使光罩板205頂住固 定板210。然而，在機器手臂移動期間（在光罩已對準離線 對準站以後之機器手臂移動期間），光罩板205 -預對準的 光罩安裝於其上-頂住固定板210而振動。此振動是不想 要的，因爲它可能使在離線對準站之光罩的上述精密預對 準受到干擾。 爲了防止光罩板205頂住固定板210之不想要的振動 ，真空鎖610迫使光罩板205保持穩定而頂住固定板210( 在平面內位置），以藉由真空功能鎖定光罩板205而頂住固 定板210。真空鎖610可以是氣壓驅動的電磁線圈鎖定裝置 。此氣壓驅動的電磁線圈鎖定裝置是專精於相關技術的人 眾人皆知者。在自離線對準站輸送光罩至光罩暴露平台的 期間’真空鎖610提供平面內剛性，以防止當光罩輸送至 光罩暴露平台時之光罩的上述平面外預對準受到干擾。真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 項再填寫太

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 1283799 A7 ___B7_ 五、發明説明（n) 空鎖6 1 0確保在離線對準站的平面外對準操作保持符合於 在光罩暴露平台的光罩所需要之對準。 在機器手臂輸送光罩（經由端效應器203)至光罩暴露平 台以後，真空鎖610使光罩板205脫離固定板210，以允許 光罩板205略微移出平面內位置。在開鎖時，光罩板205 移至它最遠離固定板210的位置（它的平面外位置）。另言之 ，當光罩板205脫離時，它與固定板210之間的距離略微 增加。這時候，已在離線對準站承受預對準的光罩（符合於 在光罩暴露平台的對準需求）載入於光罩暴露平台上，以供 暴露操作。 孔615a- c允許光罩板205 (顯示於圖2)經由撓曲部件 安裝至固定板210。更特別地，每一螺絲410a3- c3延伸通 過它個別的撓曲部件4 10，且鎖入一孔5 1 5a - c中，以將光 罩板205耦合至固定板210。 固定板2 1 0由不銹鋼組成。然而，專精於此技術的人 將認知，固定板2 1 0可由適用於固定板2 1 0之性能的任何 其他材料組成。 圖7是依據本發明之方法的機器手臂接頭圖，其中光 罩藉由真空功能固定至真空板。此機器手臂接頭是專精於 相關技術的人眾人皆知者，且在此將只簡略說明。機器手 臂接頭220包括安裝托架705與真空源710。 機器手臂接頭220促使端效應器203依據機器手臂接 頭220所耦合的機器手臂的動作而移動。安裝托架705之 此構造使固定板210能夠以30°角與40°角轉動（即，雙重偏 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚Ί " -15- (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 费 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1283799 A7 B7 五、發明説明（12) 置）。於此，在機器手臂的軸線上，以兩不同角發生轉動。 然而，專精於相關技術的人可明白，安裝托架705能夠執 行其他轉動自由角，不會偏離本發明的精神和範疇。 安裝托架705的可自由轉動而不影響當安裝在光罩板 205上時之光罩的穩定性。儘管由於真空鎖61〇之操作所致 之安裝托架705(及耦合至彼的固定板210)的不同轉動位置 ，如上述，仍可維持安裝在光罩板205上之光罩的穩定性 〇 機器手臂接頭220的安裝托架705耦合端效應器203 至一用於微影術過程的機器手臂（顯示於圖8)。 真空源710提供真空功能，以供應真空陸地420a - b。 真空源710由機器手臂接頭220支持。真空源710具有二 端部710a與710b。真空源端部710a耦合至一位於機器手 臂（顯示於圖8)上的真空泵（未顯示）。真空源端部710b延伸 至一在真空板上的邊緣，以供應真空板205上的真空陸地 520 ° 真空源710由至少一塑膠軟管組成。然而，專精於相 關技術的人將認知，真空源7 1 0可以由專精於相關技術的 人習知的任何其他材料組成。此外，真空源7 1 0可以以是 專精於相關技術的人習知的任何其他介質。 圖8顯示依據本發明之端效應器的不同移動位置。機 器手臂803包括端效應器203。機器手臂803能夠在不同位 置-包含大體上顯示於805與810之二例示位置-移動端 效應器203。大體上水平的位置805代表光罩自儲存設備移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -^裝* ，項再填寫太 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1283799 A7 _._B7 _ 五、發明説明（13 ) 動。大體上垂直的位置8 1 0代表在對準級的光罩對準。 結論 雖然本發明的各種實施例已說明如上，但是應該了解 ，它們只是以例子展示，而非限制。專精於相關技術的人 可以明白，可針對形式與細節加以改變，不會偏離本發明 的精神和範疇。於是，本發明不應該受限於上述示範性實 施例，而是只由下列申請專利範圍與它們的等效事項界定 〇 圖式簡單說明 附於此且形成說明書的一部分之附圖顯示本發明，且 又與說明用於解釋本發明的原則，且使專精於相關技術的 人能夠製造及使用本發明。 圖1是光罩處理平台之方塊圖。 圖2是耦合至依據本發明之一實施例的機器手臂接頭 之端效應器的前透視圖。 圖3是親合至依據本發明之一實施例的機器手臂接頭 之端效應器的後透視圖。 圖4是依據本發明之一實施例的光罩板與它的相關特 性圖。 圖5是依據本發明之一實施例的真空板與它的相關特 性圖。 圖6是依據本發明之一實施例的固定板—其使用一真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------裝------訂----1 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 1283799 A7 B7 五、發明説明（14) 空板-之圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖7是依據本發明之一實施例的機器手臂接頭-其使 用一真空板-之圖。 圖8是依據本發明之一實施例的端效應器之不同移動 位置圖。 主要元件對照表 105 第一平台 1 10 第二平台 115 第三平台 203 端效應器 205 光罩板 2 10 固定板 220 機器手臂接頭 222 箭頭 307a 第一側 405a -c開口 407a 第一側 408ai_2~ C]_2 齒痕 410a - c撓曲部 410a 1 - 3 - C ! - 3 螺絲 411a - b行進止動件 505 真空板 507a 第一側 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 1283799 A7 B7 五、發明説明（15 ) 520a - b真空陸地 525a - b 密封件 6 1 0真空鎖 6 1 5 a - c 孑 L 705安裝托架 7 10真空源 7 1〇a端部 7 10b端部 803機器手臂 805大體上水平的位置 8 1 〇大體上水平的位置 — I . ―» Awl 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -19-

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 ^修(更)正本 六、申請專利範圍1 1 · 一種傳送和載入一光罩於接收站上的方法，包括的 步驟有： (請先閱,背面之注意事項再填寫本頁) (a) 以一具有耦合至固定板的光罩板之端效應器，自 一儲存設備收回光罩，固定板連接端效應器至一機器手 臂； (b) 在光罩已於一離線對準站中預對準以後，將光罩 安裝於光罩板上；及 (c) 自離線對準站傳送光罩至接收站，同時在傳送期 間維持預對準且提供剛性。 2·如申請專利範圍第1項之方法，其中又包括的步驟 有： (d) 在光罩輸送期間鎖定光罩板而頂住固定板；及 (e) 在光罩的撿取與放下期間使光罩脫離固定板。 3 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中又包括的步驟 有： (d) 允許光罩板的平面外移動；及 (e) 限制光罩板的平面外移動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4.如申請專利範圍第1項之方法，其中又包括的步驟 有： (d) 如果偵測到真空破裂，則使端效應器的移動停止 ，·及 (e) 維持光罩安裝。 5 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中光罩板是真空 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-20 - 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍2 板。 (請先閲背背面之注意事項再填寫本頁) 6 ·如申請專利範圍第5項之方法，其中該安裝步驟包 括的的步驟有： (i) 從第一真空源對真空板供應至少一初級真空陸地 上；及 (ii) 從第二真空源對真空板供應至少一次級真空陸 地上。 7·如申請專利範圍第1項之方法，其中又包括的步驟 有·· (d)自光罩移除顆粒污染。 8 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟（b )包括 的步驟有： (i)藉由電磁線圈驅動的夾子安裝光罩於光罩板上。 9·如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟（b)包括 的步驟有： (i)藉由安置於光罩板上的靜電荷安裝光罩於光罩板 上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 〇·如申請專利範圍第1項之方法，其中又包括的步 驟有Z (d) 在光罩輸送期間，使用一氣壓驅動的電磁線圈鎖 定裝置鎖定光罩板而頂住固定板；及 (e) 在光罩的撿取與放下期間使光罩板脫離固定丨反° 1 1. 一種用於處理待輸送至接收站的光罩之端效應器 本紙張尺度適用f國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公Ϊ) · 21 - 1283799 A8 B8 C8 P8 _ _ 六、申請專利範圍3 ，包含： (請先閲·#背面之注意事碩再填寫本頁) 一具有至少一用於安裝光罩的密封件之光罩板，其 中光罩板也具有一用於接合光罩至光罩板的安裝裝置； 及 一耦合至光罩板的固定板。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項之端效應器’其中光罩板 是真空板。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之端效應器’其中真空板 具有一第一側與一第二側，第一側具有至少一用於安裝 光罩的密封件，且第二側具有至少一用於執行光罩接合 的真空功能之真空陸地；及 一耦合至真空板之第二側的固定板，固定板具有至 少一用於供應真空到至少一真空陸地的真空源。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之端效應器，其中真空板 又包括： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至少一位於光罩板的頂表面上以允許光罩板之平面 外移動的撓曲部，至少一撓曲部延伸通過光罩板且接合 至固定板。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項之端效應器，其中光罩板 又包括： 至少一位於光罩板的第一側上以限制光罩板之移動 的行進止動件，至少一行進止動件延伸通過光罩板且接 合至固定板。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-22 - 1283799 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六' 申請專利範圍4 Ϊ 6·如申請專利範圍第n項之端效應器，其中端效應 器f禹合至一用於連接端效應器至機器手臂的安裝托架。 1 7 ·如申請專利範圍第1 3項之端效應器，其中至少一 真空陸地是次級與初級真空陸地的組合。 1 8。如申請專利範圍第1 1項之端效應器，其中一真空 鎖整合於固定板與光罩板之間，以鎖定光罩板而頂住固 定板。 1 9 ·如申請專利範圍第1 1項之端效應器，其中一氣壓 驅動的電磁線圈鎖定裝置整合於固定板與光罩板之間， 以鎖定光罩板而頂住固定板。 2〇·如申請專利範圍第.丨4項之端效應器，其中至少一 撓曲部是由一群撓曲部所形成之三角形的頂點。 2 1 ·如申請專利範圍第1 3項之端效應器，其中至少一 密封件能夠破裂。 2 2 .如申請專利範圍第1 6項之端效應器，其中安裝托 架能夠以30度角與40度角轉動。 2 3.如申請專利範圍第i i項之端效應器，其中光罩板 使光罩上的顆粒污染減少。 24 ·如申請專利範圍第1 3項之端效應器，其中至少一 真空源是一真空的管。 25 ·如申請專利範圍第1 3項之端效應器，其中至少一 真空源是一密封通道。 26.如申請專利範圍第1 1項之端效應器，其中光罩由 (請先閲讀背面之注意事 Φ— 項再填 裝-- :寫本頁) 訂 ▼線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-23 · 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍5 一電磁線圈驅動的夾子安裝於光罩板上。 (請先閲策背面之注意事項再填寫本頁) 27.如申請專利範圍第1 1項之端效應器，其中光罩由 一靜電荷安裝於光罩板上。 28 . —種用於處理待輸送至接收站的光罩之端效應器 ，包含： 用於支持光罩的裝置； 用於接合光罩至用於支持光罩的裝置之裝置；及 一用於耦合端效應器至一機器手臂的裝置。 29.如申請專利範圍第28項之端效應器，其中用於支 持光罩的裝置具有 一第一側與一第二側，該第一側具有一用於安裝光 罩的密封裝置，該用於支持光罩的裝置具有至少一用於 執行真空功能的真空裝置；及 用於耦合端效應器至一機器手臂的裝置耦合至用於 支持光罩的裝置之第二側，用於耦合端效應器至機器手 臂的裝置具有至少一用於供應真空至真空裝置的真空源 裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 30·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中用於支 持光罩的裝置又包括： 用於允許用於支持光罩的裝置之平面外移動的裝置 ’用於允許平面外移動的裝置位在用於支持光罩的裝置 之第一側。 3 1 ·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中用於支 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 24 · 1283799 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍6 持光罩的裝置又包括： 用於限制用於支持光罩的裝置之移動的裝置，用於 限制移動的裝置延伸通過用於支持光罩的裝置，且安裝 至用於耦合端效應器至機器手臂的裝置。 3 2·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中端效應 器耦合至用於連接端效應器至一機器手臂的裝置。 3 3 ·如申請專利範圍第29項之端效應器，其中至少一 真空裝置是是次級與初級真空裝置的組合。 34·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中一裝 置-其用於鎖定用於支持光罩的裝置而頂住用於鍋合端 效應器至機器手臂的裝置-位在用於支持光罩的裝置與 用於耦合端效應器至機器手臂的裝置之間。 3 5·如申請專利範圍第30項之端效應器，其中用於允 許用於支持光罩的裝置之平面外移動的裝置是由一群用 於允許平面外移動的裝置所形成之三角形的頂|占。 3 6·如申請專利範圍第29項之端效應器，其中至少一 密封件裝置能夠破裂。 3 7.如申請專利範圍第32項之端效應器，其中用於連 接端效應器至機器手臂的裝置能夠以30度角與4〇度角 轉動。 3 8·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中用於接 合光罩的裝置使光罩上的顆粒污染減少。 39·如申請專利範圍第29項之端效應器，其中至少一 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0\297公釐）~= 25 - ------ I:-----.丨"^9—^------訂----- (請先聞·#背面之注意事項再填寫本貰) 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍7 真空源是一真空的管。 (#先聞·#背面之注意事項再填寫本頁) 4 〇 ·如申請專利範圍第2 9項之端效應器’其中至少一 真空源是一密封通道。 4 1·如申請專利範圍第28項之端效應器，其中光罩由 一電磁線圈驅動的夾子安裝在用於支持光罩的裝置上。 42.如申請專利範圍第28項之端效應器，其中光罩藉 由一安置在用於支持光罩的裝置上的靜電荷而安裝在用 於支持光罩的裝置上。 43·—種光罩移動系統，包含： 一連接系統； •一光罩板，其包括接收該連接系統的連接區； 一固定板，其經由該連接系統而耦合至該光罩板； 一機器手臂；和 一連接器，其耦合該固定板至機器手臂， 其中該連接系統使該光罩板在第一至第三自由度上 剛性的固定至固定板，和在第四至第六自由度上順應的 固定至固定板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 4 ·如申請專利範圍第4 3項之系統，其中該連接系統 包含： 撓曲部，其位在該光罩板的連接區中； 第一組固定裝置，其將撓曲部固定至該光罩板；和 第二組固定裝置，其將固定板固定至光罩板和撓曲 部。 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規格（210X 297公釐） 1283799 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍8 45·如申請專利範圍第44項之系統，其中該連接系統 進一步包含： —鎖裝置’其可釋放的固定該固定板至該光罩板。 46·如申請專利範圍第45項之系統，其中該鎖裝置爲 一真空鎖。 4 7 ·如申請專利範圍第* 3項之系統，其中該光罩板進 一步包含一光罩固定系統，用以可釋放的保持一光罩。 48·如申請專利範圍第47項之系統，其中該光罩固定 系統包含~真空系統。 49·如申請專利範圍第48項之系統，其中該真空系統 包含陸地和密封件。 5 〇 ·如申請專利範圍第4 3項之系統，其中第一至第三 自由度實質消除光罩板相對於固定板的平面外移動。 5 1·如申請專利範圍第43項之系統，其中第四至第六 自由度允許光罩板相對於固定板的一預定量的平面內移 動。 52. 如申請專利範圍第43項之系統，其中該機器手臂 在第一狀態保持光罩板和固定板在水平位置，和在第二 狀態保持光罩板和固定板在垂直位置。 53. —種光罩移動系統，包含： 一光罩板； 一固定板； 一連接機構，用以連接一光罩板至一固定板，以實 (請先閲讀背面之注意事項 ,裝II 項再填寫本I) 訂 ▼線 0 m··· —l·— · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-27 - 1283799 8 888 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍9 質消除光罩板相對於固定板的平面外移動，和允許光罩 板相對於固定板的一預定量的平面內移動； 一機器手臂；和 一連接器，其使用以耦合該固定板至機器手臂。 54_如申請專利範圍第53項之系統，其中該連接機構 包含： 撓曲部，其位在該光罩板的連接區中； 第一組固定裝置，其將撓曲部固定至該光罩板；和 第二組固定裝置，其將固定板固定至光罩板和撓曲 部。 5 5.如申請專利範圍第54項之系統，其中該連接機構 進一步包含： 一鎖裝置，其位在和光罩板交互作用的固定板的一 表面上’且該鎖裝置可釋放的固定該固定板至該光罩 板。 56·如申請專利範圍第55項之系統，其中該鎖裝置爲 一真空鎖。 57.如申請專利範圍第53項之系統，其中該光罩板進 一步包含一固定機構，用以固定一光罩至該光罩板。 5 8·如申請專利範圍第57項之系統，其中該固定機構 包含一真空系統。 59·如申請專利範圍第58項之系統，其中該真空系統 包含陸地和密封件。 (請先閲·#背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 • <-1 I 0J— 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）· 28 - 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍1〇 6 〇 ·如申g靑專利範圍第5 3項之系統，其中該機器手臂 在第一狀態保持光罩板和固定板在水平位置，和在第二 狀態保持光罩板和固定板在垂直位置。 6 1. —種光罩移動系統，包含： 一連接系統； 一光罩板，其包括接收該連接系統的連接區； 一固定板，其經由該連接系統而耦合至該光罩板； 一機器手臂；和 一連接器，其使用以耦合該固定板至機器手臂， 其中該連接系統實質消除光罩板相對於固定板的平 面外移動，和允許光罩板相對於固定板的一預定量的平 面內移動。 6 2 · —種傳送和載入一光罩於接收站上的方法，包含： 使用一連接系統在第一至第三自由度上以剛性的固定 一光罩板至一固定板；和 使用一連接系統在第四至第六自由度上以順應的固定 一光罩板至一固定板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 63·如申請專利範圍第62項之方法，進一步包含： 定位撓曲部在光罩板的連接區中； 固定撓曲部至光罩板；和 固定固定板至光罩板和撓曲部。 64·如申請專利範圍第63項之方法，進一步包含： 可釋放的固定固定板至光罩板。 65 ·如申請專利範圍第64項之方法，其中可釋放的固定 本：張尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210乂297公釐）—729 , 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍11 步驟包含使用真空鎖當成鎖裝置。 66·如申請專利範圍第62項之方法，進一步包含： 可釋放的保持光罩在光罩板上。 67·如申請專利範圍第66項之方法，其中可釋放的保持 步驟包含使用真空系統。 68·如申請專利範圍第66項之方法，其中可釋放的保持 步驟包含使用在一真空系統中的陸地和密封件。 69.如申請專利範圍第62項之方法，其中第一至第三自 由度實質的消除光罩板相對於固定板的平面外移動。 70·如申請專利範圍第62項之方法，其中第四至第六自 由度允許光罩板相對於固定板的預定量平面內移動。 7 1 ·如申請專利範圍第62項之方法，進一步包含： 在第一狀態時保持光罩板和固定板在水平位置，和在 第一狀態時保持在垂直位置。 72·—種傳送和載入一光罩於接收站上的方法，包含： 連接一光罩板至一固定板以實質的消除光罩板相對於 固定板的平面外移動，和允許光罩板相對於固定板的預定 量平面內移動；和 耦合固定板至一機器手臂。 73·如申請專利範圍第72項之方法，其中該連接步驟包 含： 定位撓曲部在光罩板的連接區中； 固定撓曲部至光罩板；和 固定固定板至光罩板和撓曲部。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~:3〇 . I:-----"---裝------訂----- (#先聞·«背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1283799 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍12 74·如申請專利範圍第73項之方法，其中該連接歩驟進 一步包含： 可釋放的固定固定板至光罩板。 7 5 ·如申請專利範圍第7 4項之方法，其中可釋放的固定 步驟包含使用真空鎖當成鎖裝置。 76·如申|靑專利軺圍第72項之方法，進一'步包含： 可釋放的保持光罩在光罩板上。 77.如申請專利範圍第76項之方法，其中可釋放的保持 步騾包含使用真空系統。 7 8.如申請專利範圍第76項之方法，其中可釋放的保持 步驟包含使用在一真空系統中的陸地和密封件。 7 9.如申請專利範圍第72項之方法，進一步包含： 在第一狀態時保持光罩板和固定板在水平位置，和在 第一狀態時保持在垂直位置。 (請先閱部背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-31 - 4 1283799 瓤 (一） 、本案指定代表圖爲：第 2 —圖 (二） 、本代表圖之元件代表符號簡單說明： 203端效應器 2 0 5光罩板 2 1 0固定板 220機器手臂接頭 222箭頭

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