KR100891181B1 - 레티클을 취급하기 위한 엔드 이펙터 및 레티클을 이송하고 로딩하는 방법 - Google Patents

레티클을 취급하기 위한 엔드 이펙터 및 레티클을 이송하고 로딩하는 방법 Download PDF

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Abstract

수용 스테이션(예를 들면, 레티클 노출 스테이지) 상으로 레티클을 이송하고 로딩하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 먼저, 레티클은 장착판에 결합된 레티클판을 갖는 엔드 이펙터로 저장 설비로부터 회수된다. 장착판은 엔드 이펙터를 로봇 아암에 연결한다. 레티클은 오프라인 정렬 스테이션에서 평면외 위치로 정렬된다. 정렬은 수용 스테이션에서 정렬 요구 조건에 따른다. 레티클은 오프라인 정렬 스테이션에서 정렬된 후에 레티클판 상에 장착된다. 그 후, 레티클은 오프라인 정렬 스테이션에서 이전의 정렬을 유지하면서 오프 라인 스테이션으로부터 수용 스테이션으로 이송된다. 또한, 장치는 수용 스테이션에서의 정렬 요구 조건에의 순응을 보장하기 위해 장착된 레티클의 강성을 제공한다.
레티클, 오프라인 정렬 스테이션, 엔드 이펙터, 레티클 노출 스테이지

Description

레티클을 취급하기 위한 엔드 이펙터 및 레티클을 이송하고 로딩하는 방법{END EFFECTOR FOR HANDLING RETICLE AND METHOD FOR TRANSFERRING AND LOADING RETICLE}
도1은 레티클 공정 스테이지의 블록도.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 로봇 커넥터에 결합된 엔드 이펙터의 전방 사시도의 도면.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 로봇 커넥터에 결합된 엔드 이펙터의 후방 사시도의 도면.
도4는 본 발명에 따른 그의 관련 특징을 갖는 레티클판의 도면.
도5는 본 발명에 따른 진공판과 그의 관련 특징을 도시한 도면.
도6은 진공판을 이용한, 본 발명의 실시예에 따른 장착판을 도시한 도면.
도7은 진공판을 이용한, 본 발명의 실시예에 따른 로봇 커넥터를 도시한 도면.
도8은 본 발명의 실시예에 따른 엔드 이펙터의 다양한 이동 위치를 도시한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
203 : 엔드 이펙터
205 : 레티클판
210 : 장착판
220 : 로봇 커넥터
405a-c : 개구
408a1-2-c1-2 : 만입부
410a-c : 만곡부
411a-b : 이동 정지부
520a-b : 진공 랜드
710 : 진공 공급원
본 발명은 일반적으로 리소그래피 시스템에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 이송 중에 평면외 레티클 정렬을 유지하고 레티클의 강성을 제공하면서, 수용 스테이션 상으로 레티클을 이송하고 로딩하는 것에 관한 것이다.
리소그래피는 기판의 표면상에 특징부(feature)를 생성하는 데 사용되는 공정이다. 이러한 기판은 평패널 디스플레이, 회로 기판, 다양한 집적 회로 등의 제조에 사용되는 것들을 포함할 수 있다. 이러한 적용을 위해 자주 사용되는 기판은 반도체 웨이퍼이다. 관련 기술 분야의 숙련자는 여기의 설명이 관련 기술 분야의 숙련자에게 공지된 다른 유형의 기판에도 적용될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
리소그래피 중에, 웨이퍼 스테이지 상에 배치되는 웨이퍼는 리소그래피 시스템 내에 위치된 노출 시스템에 의해 웨이퍼의 표면상으로 투사된 이미지으로 노출된다. 노출 시스템은 웨이퍼 상에 이미지를 투사하기 위한 레티클(소위, 마스크)을 포함한다.
레티클은 반도체 칩과 광원 사이에 통상 위치된다. 포토리소그래피에서, 레티클은 예를 들어 반도체 칩 상에 회로를 프린팅하기 위한 포토 마스크로서 사용된다. 통상 유리로 제조된 레티클은 미세한 스크래치 또는 오염물에 의해 쉽게 손상될 수 있기 때문에 세심한 취급이 요구된다.
로딩 공정은 레티클 노출 스테이지 상으로 레티클을 로딩하는 데 요구된다. 레티클은 미리 결정된 위치에 매우 정확하게 정렬되어야 한다. 정렬시 어떠한 오류도 컴플라이언스의 정확한 범위 내이어야 한다. 따라서, 로딩 공정 중에 레티클과 레티클 노출 스테이지 사이의 거리는 최소가 되어야 한다. 레티클의 위치는 X-Y 평면 방향으로 레티클을 회전시키고 이동시킴으로써 조정될 수 있다. 그러나, 이 거리를 최소화할 때, 스테이지에 대항하여 레티클이 충돌함으로써 레티클이 손상되는 것을 방지하는데 유의해야 한다.
통상적으로, 레티클에 형성된 정렬 마크는 정렬 마크를 위치시킴으로써 레티클을 정렬하는 데 사용된다. 레티클 노출 스테이지의 기준 마크는 정렬 공정에서 돕도록 레티클 정렬 현미경 아래에 위치 설정된다. 현미경을 통해 레티클의 정렬 마크를 검출함으로써, 사전 정렬과 사후 정렬 작동이 수행된다. 레티클 교체 시간 을 감소시켜서 리소그래피 시스템의 생산력을 증가시키기 위해, 오프라인 정렬 스테이션에서의 레티클 정렬은 바람직하다.
통상적으로, "푸셔(pusher)"는 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클을 사전 정렬하는 데 사용된다. 그러나, 푸셔의 사용은, 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클의 정렬이 레티클 노출 스테이지에서 결과적으로 발생되는 레티클의 요구되는 정렬에 응하지 않는 결과를 가져온다. 그 결과, 리소그래피 시스템의 생산력은 여전히 증가되지 않았다.
평면외 유연성을 유지하고 평면내 강성을 유지할 수 있는 레티클 이송 수단은 본 발명 이전에는 이용될 수 없었다. 즉, 본 발명 이전에는 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클의 평면외 사전 정렬 위치 정렬은 레티클 노출 스테이지에서 원하는 성능을 달성하기 위해 요구되는 정밀성으로 유지될 수 없었다.
따라서, 필요한 것은 레티클의 사전 정렬을 실패하지 않으면서 레티클 노출 스테이지 상으로 사전 정렬된 레티클을 이송하고 로딩하는 방법 및 장치이다.
본 발명은 수용 스테이션(예를 들어, 레티클 노출 스테이지) 상으로 레티클을 이송하고 로딩하는 장치 및 방법이다. 특히, 본 발명은 정렬 스테이지로의 이송 중에 레티클의 평면내 강성을 유지하면서, 레티클 노출 스테이지에서 레티클의 정렬에 평면외 사전 정렬 컴플라이언스를 제공하기 위한 장치 및 방법이다. 먼저, 레티클은 장착판에 결합된 부착 장치를 갖는 엔드 이펙터에 의해 저장 설비로부터 회수된다. 레티클은 다양한 방법으로 부착 장치에 고정될 수 있다. 하나의 구조에서, 레티클은 진공 기능에 의해 레티클판에 고정된다. 다른 구조에서, 레티클은 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 부착 장치에 고정될 수 있다. 다른 구조에서, 레티클은 정전하에 의해 부착 장치에 고정될 수 있다. 장착판은 엔드 이펙터를 로봇 아암에 연결한다. 레티클이 오프라인 정렬 스테이션에서 평면외 위치로 사전 정렬된 후에, 이는 부착 장치 상에 장착된다. 잠금 장치는 부착 장치와 장착판 사이에 위치될 수 있다. 잠금 장치는 고정된 레티클이 방해되는 것을 방지하기 위해 평면내 위치에서 장착판에 대항하여 부착 장치를 잠그는 것을 허용한다. 그 후, 레티클은 오프라인 정렬 스테이션에서 행해진 이전의 사전 정렬을 유지하면서 오프라인 정렬 스테이션으로부터 레티클 노출 스테이지로 이송된다. 또한, 장치는 레티클 노출 스테이지에서 레티클의 최종 정렬로의 컴플라이언스를 보장하기 위해 장착된 레티클의 강성을 제공한다.
본 명세서에 포함되고 본 명세서의 일부를 이루는 첨부 도면은 본 발명을 도시하고, 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명하며 관련 기술 분야의 숙련자가 본 발명을 제조하고 사용할 수 있게 하는 역할도 한다.
본 발명의 예시적인 실시예는 동일한 도면 부호가 동일하거나 기능적으로 유사한 요소를 나타내는 도면을 참조하여 설명될 것이다. 각 도면 부호의 좌측 숫자는 도면 부호가 먼저 사용된 도면에 대응한다. 특정 구조와 배열이 논의되는 동안, 예시적인 목적만을 위해 행해지는 것임을 알 수 있다. 관련 기술 분야의 숙련자는 다른 구조와 배열이 본 발명의 기술 사상과 범위를 벗어나지 않고 이용될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 또한 본 발명이 다양한 다른 적용물에 이용될 수 있다는 것은 관련 기술 분야의 숙련자에게 명백할 것이다.
도1은 레티클의 처리에 포함된 일반적인 스테이지를 도시한다. 제1 스테이지(105)에서, 레티클은 엔드 이펙터에 의해 레티클 카세트(즉, 레티클 저장 설비)로부터 회수된다. 제2 스테이지(110)에서, 레티클은 오프라인 정렬 스테이션으로 이송되고 레티클 노출 스테이지로의 이송 전에 사전 정렬된다. 오프라인 정렬 스테이션은 레티클 노출 스테이지로부터 떨어져 위치되는 스테이션인데, 여기서 레티클은 레티클 노출 스테이지에 정렬되기 전에 사전 정렬된다. 레티클 사전 정렬은 본 발명이 이용되는 리소그래피 시스템의 생산력을 증가시킬 수 있는 것으로서 바람직하다. 제3 스테이지(115)에서, 레티클은 웨이퍼 상에 이미지를 투사하기 전에 최종 정렬된다. 최종 정렬은 웨이퍼 상에 이미지 투사를 완성하기 위해 레티클 노출 스테이지로 레티클을 정밀하게 정렬할 필요가 있다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 로봇 커넥터에 결합된 엔드 이펙터의 전방 사시도이다.
엔드 이펙터(203)는 레티클판(205)과 장착판(210)을 포함한다.
레티클판(205)은 장착판(210)의 단부에 결합된다. 레티클판(205)은 관련 기술 분야의 숙련자에게 공지된 어떤 방법에 의해서도 장착판(210)에 결합될 수 있다. 예를 들면, 일 실시예에서, 레티클판(205)은 스크루에 의해 장착판(210)에 결합된다.
엔드 이펙터(203)는 로봇 커넥터(220)에 결합된다. 로봇 커넥터(220)는 로 봇 아암(도시되지 않음)에 결합된다. 로봇 아암의 이동을 통해, 엔드 이펙터(203)는 도2의 화살표(222)로 통상 도시된 바와 같이, 적어도 수직 방향 및 수평 방향으로 이동할 수 있다.
엔드 이펙터(203)는 카세트(도시되지 않음)로부터 레티클(도시되지 않음)을 회수하며, 레티클을 레티클판(205) 상에 장착한다. 그 후, 엔드 이펙터(203)는 사전 정렬을 위해 오프라인 정렬 스테이션(도시되지 않음)에 레티클을 위치시킨다. 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클을 사전 정렬한 후, 엔드 이펙터(203)는 예를 들어 오프라인 정렬 스테이션으로부터 레티클을 회수하고, 사전 정렬된 레티클을 레티클 노출 스테이지로 이송한다.
레티클판(205)은 오프라인 정렬 스테이션으로부터 회수된 후에 레티클 노출 스테이지에서 정렬되도록 레티클을 보유한다. 레티클판(205)은 평면내/평면외 운동으로 이동할 수 있다. 이 운동은 매우 작으며, 장착판(210)에 대한 내외 운동으로서 잘 설명된다. "내" 운동에서, 레티클판(205)은 장착판(210)에 가장 근접되어 있다. "외" 운동에서, 레티클판(205)은 장착판(210)으로부터 가장 멀리 있다. 레티클은 레티클 노출 스테이지에서 이미지 투사를 위한 준비 시에 오프라인 정렬 스테이션에서 평면외 위치로 사전 정렬된다.
레티클은 다양한 방법에 의해 레티클판(205)에 고정될 수 있다. 예를 들면, 본 발명의 하나의 특정 구조에 있어서, 레티클은 진공 기능에 의해 레티클판(205)에 고정된다. 진공 방법에 있어서, 레티클판은 진공판으로 공지된다. 또한, 레티클은 적어도 하나의 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 레티클판(205)에 고정될 수 있다. 이 방법에 있어서, 레티클판(205)은 클램핑판으로서 공지된다. 레티클을 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 레티클판(205)에 고정시키는 대신에, 레티클은 레티클판 상에 위치된 정전하에 의해 레티클판(205)에 고정될 수 있는데, 이 구조에 있어서 레티클판(205)은 정전판으로서 공지된다. 그러나, 본 발명은 레티클판에 레티클을 고정하는 이러한 방법에 제한되지 않는다. 레티클을 레티클판(205)에 고정하는 다른 방법이 본 발명의 기술 사상과 범위로부터 벗어나지 않고 사용될 수 있다는 것을 알 수 있다.
도3은 로봇 커넥터(220)에 결합된 엔드 이펙터(203)의 후방 사시도를 도시한다. 엔드 이펙터(203)는, 도2에 도시된 바와 같이 레티클판(205)과 장착판(210)을 포함한다.
도4는 본 발명에 따른 그의 관련 특징을 갖는 레티클판(205)을 도시하는 분해도이다. 레티클판(205)은 레티클(도시되지 않음)에 대면하는 제1 측부(407a)를 갖는다. 또한 레티클판(205)은 제1 측부(407a)에 대향하는 제2 측부(도시되지 않음)를 갖는다. 레티클판(205)은 카세트로부터 회수된 후에 레티클을 보유한다.
레티클판(205)은 본 발명의 하나의 구조에서 알루미늄 하드코트 표면으로 구성된다. 알루미늄 하드코트 표면은 레티클판(205)이 우수한 오염 저항력을 가지는 것을 허용한다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 레티클판(205)이 원하는 성능을 위한 임의의 다른 적절한 재료일 수 있다는 것을 인식할 것이다.
레티클판(205)은 개구(405a-c)와 만입부(408a1-2-c1-2)를 포함한다. 또한, 본 발명은 개구(405a-c) 중 하나만을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명은 만입부(408a1-2-c1-2) 중 하나만을 포함할 수 있다. 또한, 만곡부(410a-c), 스크루(410a1-3-c 1-3) 및 이동 정지부(411a-b)는 레티클판(205) 상에 존재한다. 다른 구조에 있어서, 본 발명은 단지 만곡부(410a-c) 중 하나, 스크루(410a1-3-c1-3) 중 하나 및/또는 이동 정지부(411a-b) 중 하나를 포함할 수 있다.
만입부(408a1-2-c1-2)는 레티클판(205)의 제1 측부(407a)에 만곡부(410a-c)가 장착되는 것을 허용한다.
만곡부(410a-c) 각각은 레티클판(205)의 제1 측부(407a)를 가로질러 삼각 기하학적 구조로 배열되어서, 만곡부(410a-c) 중 각 하나는 삼각형의 꼭지점을 형성한다. 또한, 만곡부(410a-c) 각각은 개구(405a-c) 중 하나에 끼워지며, 각각 개구(405a-c) 내의 만입부(408a1-2-c1-2) 중 적어도 하나에 결합한다. 예를 들면, 만곡부(410a)는 개구(405a)에 끼워지며, 스크루(410a1)에 의해 만입부(408a1)에 결합된다. 또한, 만곡부(410a)는 스크루(410a2)에 의해 만입부(408a2)에 결합된다. 또한, 만곡부(410b)는 개구(405b) 내에 끼워지며, 스크루(410b1)에 의해 만입부(408b1)에 결합된다. 또한, 만곡부(410b)는 스크루(410b2)에 의해 만입부(408b2)에 결합된다. 만곡부(410c)는 개구(405c) 내에 끼워지며, 스크루(410c1)에 의해 만입부(408c1)에 결합된다. 또한, 만곡부(410c)는 스크루(410c2)에 의해 만입부(408c2)에 결합된다.
스크루(410a3-c3)는, 도6에 도시되는 바와 같이, 만곡부(410a-c)를 통해 연장하고, 장착판에 레티클판(205)을 결합시킨다.
만곡부(410)는 장착판(210)으로부터 레티클판(205)의 작은 "내외" 운동을 허용한다. 즉, 만곡부(410)는 변경될 장착판(210)과 레티클판(205)으로부터의 "내외" 거리를 허용한다.
만곡부(410a-c)는 약간 예비 로딩된 U자형 판 스프링 기구일 수 있다. 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클의 로딩 및 사전 정렬 중에, 레티클은 레티클판(205)에 대항하여 서서히 가압되어서, 오프라인 정렬 스테이션 상에 정지 기구의 레티클을 상승시키도록 만곡부(410a-c)의 예비 로드를 극복한다. 예비 로드가 극복될 때, 레티클은 레티클판에 고정되어서, 레티클 노출 스테이지에서 최종 정렬을 위한 준비 시에 평면외 위치로 레티클을 정밀하게 사전 정렬시킨다. 정밀한 평면외 사전 정렬은 레티클 노출 스테이지에서의 정렬 요구 조건에 따른다는 것을 알 수 있다.
만곡부(410a-c)는 스텐레스 강으로 구성될 수 있다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 만곡부(410a-c)가 만곡부의 성능에 적절한 다른 재료로 구성될 수 있다고 인식할 것이다.
이동 정지부(411a-b)는 관련 기술 분야의 숙련자에 공지된 스크루 또는 다른 유형의 체결구일 수 있다. 이동 정지부(411a-b)는 레티클판(205)의 제1 측부(307a)를 통해 연장하며, (도2에 도시된) 장착판(210)에 연결하여서, 레티클판(205)의 평면외 운동을 제한한다. 또한, 이동 정지부(411a-b)는 장착판(210)을 통해 연장할 수 있고, 레티클판의 (도시되지 않은) 제2 측부에 장착할 수 있다.
이동 정지부(411a-b)는 레티클판(205)의 내외 운동을 제한한다. 이동 정지부(411a-b)는 만곡부(410)의 변형 또는 절곡을 방지함으로써 만곡부(410a-c)를 위한 보강 기구로서 기능을 한다. 이러한 만곡부(410a-c)의 변형 또는 절곡은 오프라인 정렬 스테이션에서 레티클의 정밀한 사전 정렬을 상당히 방해하는 것과 같이 바람직하지 않다.
이동 정지부(411a-b)는 스텐레스 강으로 구성될 수 있다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 이동 정지부(411a-b)가 이동 정지부(411a-b)의 성능에 적절한 임의의 다른 재료로 구성될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
도5는 레티클이 진공 기능에 의해 진공판에 고정되는 본 발명의 특정 구조를 도시하는 사시도이다.
도5에 도시된 본 발명의 구성에 있어서, 레티클판은 진공판으로서 공지된다. 예를 들면, 진공판(505)은 레티클 카세트로부터 회수된 후에 레티클을 보유한다.
도4에 설명된 레티클판의 관련 특성 이외에, 도5의 구성(레티클이 진공 기능에 의해 진공판에 고정되는 본 발명의 구성)은 진공 랜드(520a-b)와 시일(525a-b)의 추가 요소를 이용한다. 레티클판(205)이 제1 측부 및 제2 측부를 갖는 것과 마찬가지로, 진공판은 제1 측부(507a)와 제1 측부(507a)에 대향하는 제2 측부(도시되 지 않음)를 갖는다.
진공 랜드(520a-b)는 진공판 상의 에지를 따라 위치된다. 관련 기술 분야의 숙련자는 진공 랜드(520)의 위치의 다른 구성이 본 발명의 기술 사상과 범위로부터 벗어나지 않고 변경될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예를 들면, 다른 구조에 있어서, 진공 랜드(520a-b)는 진공판(505)의 코너를 따라 분산된다.
하나의 구조에 있어서, 진공 랜드(520a-b)는 적어도 하나의 주 진공 랜드(520a)와 적어도 하나의 부 진공 랜드(520b)로 구성된다. 이러한 다른 구조에 있어서, 진공 랜드의 여분은 레티클의 충돌과 미끄럼을 방지하도록 레티클 이송 운동 중의 안전성을 위해 설계된다.
하나의 구조에서, 진공 랜드(520a-b)는 플라스틱 덕트일 수 있다. 진공 랜드(520a-b)는 레티클 이송 중에 진공판(505)에 레티클을 보유하기 위해 진공 기능을 제공한다(예를 들어, 진공 랜드가 본 발명의 하나의 구조에서 플라스틱 덕트일 수 있음). 이러한 진공 기능은 관련 기술 분야의 숙련자에게 잘 공지되어 있으며, 여기에서 더 설명되지 않을 것이다. 하나의 구조에서, 진공 랜드(520a-b)는 독립 진공 공급원에 의해 공급된다.(즉, 각 진공 랜드가 상이한 진공 공급원에 의해 공급된다.) 다른 구조에서, 진공 랜드(520)는 동일한 진공 공급원에 의해 공급된다.
레티클이 진공판(505) 상에 장착되는 동안에 미끄러지거나 그렇지 않고 방해된다면, 진공 손실은 부 진공 랜드(520b)에서 발생한다. 그러나, 진공 손실 중에, 주 진공 랜드는 진공판(505) 상에 장착되는 동안 레티클이 방해되는 것을 방지하기 위해 그의 진공 기능을 계속해서 수행한다. 그 후, 로봇은 그의 아암의 운동을 정 지하도록 신호를 보내어서, 레티클을 이송하는 장착판(도2에 도시됨)의 운동을 정지시킨다. 예를 들면, 로봇은 진공 손실의 로봇을 알리는 로봇 센서(도시되지 않음)의 합체에 의해 그의 아암의 운동을 정지하도록 신호 받을 수 있다. 로봇 아암의 운동이 정지된 후에, 진공 손실은 진공판에 레티클을 다시 고정함으로써 개선될 수 있다.
시일(525a-b)은 진공판(505)의 제1 측부(507a) 상의 가장자리를 따라 위치된다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 시일(525a-b)이 본 발명의 기술 사상과 범위로부터 벗어나지 않으면서 진공판(505) 상의 다른 위치에 위치될 수 있다고 인식할 것이다. 예를 들면, 본 발명의 일 실시예에서, 시일(525a-b)은 진공판(505)의 중심에 위치된다. 다른 실시예에서, 시일(525a-b)은 진공판(505)의 가장자리 상에 그리고 진공판(505)의 중심에 위치된다.
시일(525a-b)은 레티클용 "쿠션"을 제공하며, 레티클이 진공판(505)에 고정되는 것을 허용한다. 시일(525a-b)의 작동은 관련 기술 분야의 숙련자에 잘 공지되어 있으며, 여기에서 더 설명되지 않을 것이다.
시일(525)은 얇은 스텐레스 강으로 구성된다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 다른 적절한 재료가 시일(525a-b)에 사용될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
도6은 진공판이 이용되는 본 발명의 실시예에 따른 장착판이 도시된 도면이다.
도2에 통상 도시된 바와 같이, 장착판(210)의 일단부는 레티클판(205)에 결합된다. 장착판(210)의 타단부는 로봇 커넥터(220)에 결합된다.
장착판(210)은 진공 잠금부(610)와 구멍(615a-c)을 포함한다. 진공 잠금부(610)는 장착판(210) 상에 놓이며, 장착판(210)과 레티클판(205)(도2에 도시됨) 사이에 위치된다. 진공 잠금부(610)는 레티클판(205)을 장착판(210)에 대항하여 평면내 위치에서 강성을 유지하도록 한다.
상기 설명된 만곡부(410a-c)의 예비 로드는 레티클판(205)이 장착판(210)에 대항하여 놓이게 한다. 그러나, 로봇 아암 운동 중(레티클이 오프 라인 정렬 스테이션에 정렬된 후의 로봇 아암 이동 중)에, 사전 정렬된 레티클이 장착되는 레티클판(205)은 장착판(210)에 대항하여 진동할 수 있다. 이 진동은 오프 라인 정렬 스테이션에서의 레티클의 상기 설명된 정밀한 사전 정렬이 방해될 수 있게 하는 것과 같이 바람직하지 않다.
장착판(210)에 대항하여 레티클판(205)이 바람직하지 않게 진동하는 것을 방지하기 위해, 진공 잠금부(610)는 레티클판(205)을 (평면내 위치에서) 장착판(210)에 대항하여 안정되게 유지하도록 하여서, 진공 기능에 의해 장착판(210)에 대항하여 레티클판(205)을 잠근다. 진공 잠금부(610)는 공압 구동식 솔레노이드 잠금 장치일 수 있다. 이러한 공압 구동식 솔레노이드 잠금 장치는 관련 기술 분야의 숙련자에 잘 공지되어 있다. 진공 잠금부(610)는 오프라인 정렬 스테이션으로부터 레티클 노출 스테이지로 레티클을 이송하는 중에 평면내 강성을 제공하여서, 상기 설명된 레티클의 평면외 사전 정렬이 레티클 노출 스테이지로의 이송 중에 방해되는 것을 방지한다. 진공 잠금부(610)는 오프라인 정렬 스테이션에서 평면외 정렬 작동을 보장하며, 레티클 노출 스테이지에서 레티클의 요구되는 정렬에 따라 유지 될 것이다.
로봇 아암이 [엔드 이펙터(203)에 의해] 레티클을 레티클 노출 스테이지로 이송한 후에, 진공 잠금부(610)는 레티클판(205)을 장착판(210)으로부터 잠금 해제하여서, 레티클판(205)이 평면내 위치의 외부로 약간 이동하는 것을 허용한다. 잠금 해제 시에, 레티클판(205)은 장착판(210)으로부터 가장 멀리 있는 위치(그의 평면외 위치)로 이동한다. 즉, 레티클판(205)이 잠금 해제될 때, 그와 장착판(210) 사이의 거리는 약간 증가된다. 이 때에, (레티클 노출 스테이지에서의 정렬 요구 조건에 따른) 오프라인 정렬 스테이션에서 이미 사전 정렬된 레티클은 노출 작동을 위한 레티클 노출 스테이지 상으로 로딩된다.
구멍(615a-c)은 레티클판(205)(도2에 도시됨)이 만곡부에 의해 장착판(210)에 장착되도록 허용한다. 특히, 스크루(410a3-c3) 각각은 그의 만곡부(410) 각각을 통해 연장하고 구멍(615a-c) 중 하나 내로 나사 결합되어서, 레티클판(205)을 장착판(210)에 결합시킨다.
장착판(210)은 스텐레스 강으로 구성된다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 장착판(210)이 장착판(210)의 성능에 적절한 임의의 다른 재료로 구성될 수 있다는 것을 인식할 것이다.
도7은 레티클이 진공 기능에 의해 진공판에 고정되는 본 발명의 방법에 따른 로봇 커넥터를 도시한 도면이다. 이러한 로봇 커넥터는 관련 기술 분야의 숙련자에게 잘 공지되어 있으며, 여기에 간단하게만 설명될 것이다. 로봇 커넥터(220)는 장착 브라켓(705)과 진공 공급원(710)을 포함한다.
로봇 커넥터(220)는 로봇 커넥터(220)가 결합되는 로봇 아암의 운동에 따라 엔드 이펙터(203)가 이동하게 한다. 장착 브라켓(705)의 이러한 구성은 장착판(210)이 30°와 40°의 각도로(즉, 이중 오프셋) 회전될 수 있게 한다. 회전은 2개의 상이한 각도로 로봇 축에서 발생한다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자에게 명백할 바와 같이, 장착 브라켓(705)은 본 발명의 기술 사상과 범위로부터 벗어나지 않으면서 다른 각도의 회전 자유를 실행할 수 있다.
장착 브라켓(705)의 회전 자유는 레티클판(205) 상에 장착되는 동안 레티클의 안정성에 영향을 미치지 않는다. 레티클판(205) 상에 장착된 레티클의 안정성은 전술한 바와 같이 진공 잠금부(610)의 작동으로 인해 장착 브라켓(705) 회전의 다양한 위치에도 불구하고 유지된다.
로봇 커넥터(220)의 장착 브라켓(705)은 엔드 이펙터(203)를 리소그래피 공정에 사용된 로봇(도8에 도시됨)에 결합시킨다.
진공 공급원(710)은 진공 랜드(420a-b)를 공급하도록 진공 기능을 제공한다. 진공 공급원(710)은 로봇 커넥터(220)에 의해 보유된다. 진공 공급원(710)은 2개의 단부(710a, 710b)를 갖는다. 진공 공급원 단부(710a)는 로봇(도8에 도시됨) 상에 위치된 진공 펌프(도시되지 않음)에 결합된다. 진공 공급원 단부(710b)는 진공판(505) 상에 진공 랜드(520)를 공급하도록 진공판 상의 에지로 연장한다.
진공 공급원(710)은 적어도 하나의 플라스틱 호스로 구성된다. 그러나, 관련 기술 분야의 숙련자는 진공 공급원(710)이 관련 기술 분야의 숙련자에게 공지된 임의의 다른 재료로 구성될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 또한, 진공 공급원(710)은 관련 기술 분야의 숙련자에게 공지된 임의의 다른 매체일 수 있다.
도8은 본 발명에 따른 엔드 이펙터의 이동의 다양한 위치를 도시한다. 로봇(803)은 엔드 이펙터(203)를 포함한다. 로봇(803)은 일반적으로 805와 810으로 도시된 2개의 일예의 위치를 포함하는 다양한 위치로 엔드 이펙터(203)를 이동시킬 수 있다. 일반적으로 수평인 위치(805)는 저장 설비로부터 레티클의 이동을 나타낸다. 일반적으로 수직인 위치(810)는 정렬 단계에서의 레티클 정렬을 나타낸다.
결론
본 발명의 다양한 실시예가 전술되는 동안, 이들이 예로써 표현되며, 제한되지 않는다는 것을 알 수 있다. 본 발명의 기술 사상과 범위로부터 벗어나지 않으면서 여기에서 형태와 세부의 다양한 변화가 이루어질 수 있다는 것은 관련 기술 분야의 숙련자에게 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 전술된 예시적인 실시예에 의해 제한되어서는 안되지만, 이하의 특허청구범위와 그들의 동등물에 따라서만은 한정되어야 한다.
상기 구성에 따라, 본 발명은 정렬 스테이지로의 이송 중에 레티클의 평면내 강성을 유지하면서, 레티클 노출 스테이지에서 레티클의 정렬에 평면외 사전 정렬 컴플라이언스를 제공한다.

Claims (80)

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  3. 수용 스테이션 상으로 레티클을 이송하고 로딩하는 방법이며,
    (a) 장착판에 결합된 레티클판을 갖고 로봇 아암에 연결된 엔드 이펙터를 이용하여 저장 설비로부터 레티클을 회수하는 단계와,
    (b) 레티클이 오프라인 정렬 스테이션에서 사전 정렬된 후에 레티클을 레티클판 상에 장착하는 단계와,
    (c) 이송 중에 사전 정렬을 유지하고 강성을 제공하면서 오프라인 정렬 스테이션으로부터 수용 스테이션으로 레티클을 이송하는 단계와,
    (d) 레티클판의 평면외 운동을 허용하는 단계, 및
    (e) 레티클판의 평면외 운동을 제한하는 단계를 포함하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, (f) 진공 손실(vaccum loss)이 검출되는 경우에 엔드 이펙터의 운동을 정지시키는 단계와, (g) 상기 레티클판에 상기 레티클을 다시 고정함으로써 레티클 장착을 유지하는 단계를 더 포함하는 방법.
  5. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제3항에 있어서, 레티클판은 진공판인 방법.
  6. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제5항에 있어서, 상기 장착 단계는 (i) 제1 진공 공급원으로부터 진공판 상에 적어도 하나의 주 진공 랜드를 공급하는 단계와, (ii) 제2 진공 공급원으로부터 진공판 상에 적어도 하나의 부 진공 랜드를 공급하는 단계를 포함하는 방법.
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  8. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제3항에 있어서, 단계(b)는 (i) 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 레티클을 레티클판 상에 장착하는 단계를 포함하는 방법.
  9. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제3항에 있어서, 단계(b)는 (i) 레티클판 상에 위치된 정전하에 의해 레티클을 레티클판 상에 장착하는 단계를 포함하는 방법.
  10. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제3항에 있어서, (f) 레티클의 이송 중에 공압 구동식 솔레노이드 잠금 장치를 사용함으로써 장착판에 대항하여 레티클판을 잠그는 단계와, (g) 레티클을 들어올리고 내려놓는 중에 장착판으로부터 레티클판을 잠금 해제하는 단계를 더 포함하는 방법.
  11. 수용 스테이션으로 이송되도록 레티클을 취급하기 위한 엔드 이펙터이며,
    레티클을 장착하기 위한 적어도 하나의 시일을 갖고, 또한 레티클과의 부착을 위한 장착 장치를 갖는 레티클판과,
    레티클판에 결합되는 장착판을 포함하고, 상기 레티클판은
    레티클판의 평면외 운동을 허용하기 위해 레티클판의 상부 표면상에 위치된 적어도 하나의 만곡부 및 레티클판의 운동을 구속하기 위해 레티클판의 제1 측부 상에 위치된 적어도 하나의 이동 정지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엔드 이펙터.
  12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 레티클판은 진공판인 엔드 이펙터.
  13. 제12항에 있어서, 진공판은 제1 및 제2 측부를 갖고, 제1 측부는 레티클을 장착하기 위한 적어도 하나의 시일을 갖고, 제2 측부는 레티클 부착을 위한 진공 기능을 수행하기 위한 적어도 하나의 진공 랜드를 갖고, 장착판이 진공판의 제2 측부에 결합되고, 장착판은 적어도 하나의 진공 랜드에 진공을 공급하기 위한 적어도 하나의 진공 공급원을 갖는 엔드 이펙터.
  14. 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제13항에 있어서, 상기 적어도 하나의 만곡부는 레티클판을 통해 연장하고 장착판에 부착하는 엔드 이펙터.
  15. 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제14항에 있어서, 상기 적어도 하나의 이동 정지부는 레티클판을 통해 연장하고 장착판에 부착하는 엔드 이펙터.
  16. 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 엔드 이펙터는 로봇에 엔드 이펙터를 연결하기 위해 장착 브라켓에 결합되는 엔드 이펙터.
  17. 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제13항에 있어서, 적어도 하나의 진공 랜드는 부 진공 랜드 및 주 진공 랜드의 조합인 엔드 이펙터.
  18. 청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 진공 잠금부가 장착판에 대항하여 레티클판을 잠그기 위해 장착판과 레티클판 사이에 통합되는 엔드 이펙터.
  19. 청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 공압 구동식 솔레노이드 잠금 장치는 장착판에 대항하여 레티클판을 잠그기 위해 장착판과 레티클판 사이에 통합되는 엔드 이펙터.
  20. 청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제14항에 있어서, 적어도 하나의 만곡부는 만곡부의 한 그룹에 의해 형성된 삼각형 기하학 구조의 꼭지점인 엔드 이펙터.
  21. 삭제
  22. 청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제16항에 있어서, 장착 브라켓은 30도 및 40도의 각도로 회전할 수 있는 엔드 이펙터.
  23. 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 상기 레티클판은 오염 저항력을 가지도록 하는 하드코트 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 엔드 이펙터.
  24. 청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제13항에 있어서, 적어도 하나의 진공 공급원은 진공 호스인 엔드 이펙터.
  25. 삭제
  26. 청구항 26은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 레티클은 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 레티클판 상에 장착되는 엔드 이펙터.
  27. 청구항 27은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제11항에 있어서, 레티클은 정전하에 의해 레티클판 상에 장착되는 엔드 이펙터.
  28. 수용 스테이션으로 이송되도록 레티클을 취급하기 위한 엔드 이펙터이며,
    레티클을 보유하기 위한 수단과,
    레티클을 보유하기 위한 수단에 레티클을 부착하기 위한 수단과,
    엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단을 포함하고, 상기 레티클을 보유하기 위한 수단은,
    레티클을 보유하기 위한 수단의 평면외 운동을 허용하기 위한 수단, 및 레티클을 보유하기 위한 수단의 운동을 제한하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엔드 이펙터.
  29. 청구항 29은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 상기 레티클을 보유하기 위한 수단은 제1 측부 및 제2 측부를 갖고, 상기 제1 측부는 레티클을 장착하기 위한 밀봉 수단을 갖고, 상기 레티클을 보유하기 위한 수단은 진공 기능을 수행하기 위한 적어도 하나의 진공 수단을 갖고, 엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단은 레티클을 보유하기 위한 수단의 제2 측부에 결합하고, 엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단은 진공 수단에 진공을 공급하기 위한 적어도 하나의 진공 공급원 수단을 갖는 엔드 이펙터.
  30. 청구항 30은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 상기 평면외 운동을 허용하기 위한 수단은 레티클을 보유하기 위한 수단의 제1 측부 상에 위치되는 엔드 이펙터.
  31. 청구항 31은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항 또는 제30항에 있어서, 상기 운동을 제한하기 위한 수단은 레티클을 보유하기 위한 수단을 통해 연장하고 엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단에 장착하는 엔드 이펙터.
  32. 청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 엔드 이펙터는 엔드 이펙터를 로봇에 연결하기 위한 수단에 결합되는 엔드 이펙터.
  33. 청구항 33은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제29항에 있어서, 적어도 하나의 진공 수단은 부 진공 수단 및 주 진공 수단의 조합인 엔드 이펙터.
  34. 청구항 34은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단에 대항하여 레티클을 보유하기 위한 수단을 잠그기 위한 수단이 레티클을 보유하기 위한 수단과 엔드 이펙터를 로봇 아암에 결합하기 위한 수단 사이에 위치되는 엔드 이펙터.
  35. 청구항 35은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제30항에 있어서, 레티클을 보유하기 위한 수단의 평면외 운동을 허용하기 위한 수단은 평면외 운동을 허용하기 위한 수단의 한 그룹에 의해 형성된 삼각형 기하학 구조의 꼭지점인 엔드 이펙터.
  36. 삭제
  37. 청구항 37은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제32항에 있어서, 엔드 이펙터를 로봇에 연결하기 위한 수단은 30도 및 40도의 각도로 회전할 수 있는 엔드 이펙터.
  38. 청구항 38은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 레티클을 부착하기 위한 수단은 레티클을 부착하기 위한 수단 상에 하드코팅 표면을 포함하여 레티클 상의 미립자 오염물을 감소시키는 엔드 이펙터.
  39. 청구항 39은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제29항에 있어서, 적어도 하나의 진공 공급원 수단은 진공 호스인 엔드 이펙터.
  40. 삭제
  41. 청구항 41은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 레티클은 솔레노이드 구동식 클램프에 의해 레티클을 보유하기 위한 수단 상에 장착되는 엔드 이펙터.
  42. 청구항 42은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제28항에 있어서, 레티클은 레티클을 보유하기 위한 수단 상에 위치된 정전하에 의해 레티클을 보유하기 위한 수단 상에 장착되는 엔드 이펙터.
  43. 제3항에 있어서, (f) 레티클의 이송 중에 장착판에 대항하여 레티클판을 잠그는 단계와, (g) 레티클을 들어올리고 내려놓는 중에 레티클판을 장착판으로부터 잠금 해제하는 단계를 더 포함하는 방법.
  44. 장착판을 레티클판에 커플링시키는 방법에 있어서,
    장착판과 레티클판을 커플링하도록 구성된 연결 시스템을 사용하여, 상기 레티클판을 상기 장착판에 제 1 내지 제 3 자유도(first through third degrees of freedom)로 움직이지 않도록(rigidly) 고정시키는 단계; 및
    상기 연결 시스템을 사용하여, 상기 레티클판을 상기 장착판에 제 4 내지 제 6 자유도(fourth through sixth degrees of freedom)로 유연하게(compliantly) 고정시키는 단계를 포함하는 방법.
  45. 제44항에 있어서,
    상기 커플링시키는 단계는:
    상기 레티클판의 연결 영역에 만곡부들(flexures)을 위치시키는 단계;
    상기 만곡부들을 상기 레티클판에 고정시키는 단계; 및
    상기 장착판을 상기 레티클판 및 만곡부들에 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 방법.
  46. 청구항 46은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제45항에 있어서,
    상기 커플링시키는 단계는 상기 레티클판에 상기 장착판을 해제가능하게(releasably) 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  47. 청구항 47은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제46항에 있어서,
    상기 해제가능하게 고정시키는 단계는 잠금장치로서 진공 잠금부를 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  48. 청구항 48은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제44항에 있어서,
    해제가능하게 상기 레티클판 상에 레티클을 유지시키는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  49. 청구항 49은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제48항에 있어서,
    상기 해제가능하게 유지시키는 단계는 진공시스템을 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  50. 청구항 50은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제48항에 있어서,
    상기 해제가능하게 유지시키는 단계는 진공시스템 내의 랜드(lands)와 시일(seals)을 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  51. 청구항 51은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제44항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 자유도는 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 평면외 운동(out-of-plane movement)을 실질적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 방법.
  52. 청구항 52은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제44항에 있어서,
    상기 제 4 내지 제 6 자유도는 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 소정량의 평면내 운동(in-plane movement)을 허여하는 것을 특징으로 하는 방법.
  53. 청구항 53은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제44항에 있어서,
    상기 레티클판 및 장착판을 제 1 상태 동안 수평으로 유지시키고, 제 2 상태 동안 수직으로 유지시키는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  54. (a) 장착판에 대하여 레티클판의 평면외 운동을 실질적으로 제거하고, (b) 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 소정량의 평면내 운동을 허여하기 위하여, 상기 장착판에 상기 레티클판을 연결시키는 단계; 및
    상기 장착판을 로봇에 커플링시키는 단계를 포함하는 방법.
  55. 제54항에 있어서,
    상기 연결시키는 단계는:
    상기 레티클판의 연결 영역에 만곡부들을 위치시키는 단계;
    상기 만곡부들을 상기 레티클판에 고정시키는 단계; 및
    상기 장착판을 상기 레티클판 및 만곡부들에 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 방법.
  56. 청구항 56은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제55항에 있어서,
    상기 연결시키는 단계는 상기 레티클판에 상기 장착판을 해제가능하게 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  57. 청구항 57은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제56항에 있어서,
    상기 해제가능하게 고정시키는 단계는 잠금장치로서 진공 잠금부를 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  58. 청구항 58은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제54항에 있어서,
    해제가능하게 상기 레티클판 상에 레티클을 유지시키는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  59. 청구항 59은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제58항에 있어서,
    상기 해제가능하게 유지시키는 단계는 진공시스템을 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  60. 청구항 60은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제58항에 있어서,
    상기 해제가능하게 유지시키는 단계는 진공시스템 내의 랜드와 시일을 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  61. 청구항 61은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제54항에 있어서,
    상기 레티클판 및 장착판을 제 1 상태 동안 수평으로 유지시키고, 제 2 상태 동안 수직으로 유지시키는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  62. 레티클판과 장착판을 커플링하도록 구성된 연결 시스템;
    상기 연결 시스템을 수용하는 연결 영역을 포함하는 레티클판;
    상기 연결 시스템을 통하여(via) 상기 레티클판에 연결되는 장착판;
    로봇; 및
    상기 로봇에 상기 장착판을 커플링시키는 커넥터를 포함하고,
    상기 연결 시스템은 제 1 내지 제 3 자유도로 상기 장착판에 상기 레티클판을 움직이지 않게(rigidly) 고정시키고 제 4 내지 제 6 자유도로 상기 장착판에 상기 레티클판을 유연하게(compliantly) 고정시키는 것을 특징으로 하는 시스템.
  63. 제62항에 있어서,
    상기 연결 시스템은:
    상기 레티클판의 연결 영역에 위치하는 만곡부들;
    상기 레티클판에 상기 만곡부들을 고정시키는 고정장치; 및
    상기 레티클판과 만곡부들에 상기 장착판을 고정시키는 고정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  64. 청구항 64은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제63항에 있어서,
    상기 연결 시스템은 상기 레티클판과 상호 작동하는, 상기 장착판의 표면상의 잠금장치를 더 포함하고, 상기 잠금장치는 상기 레티클판에 상기 장착판을 해제가능하게 고정시키는 것을 특징으로 하는 시스템.
  65. 청구항 65은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제64항에 있어서,
    상기 장금장치는 진공 잠금부인 것을 특징으로 하는 시스템.
  66. 청구항 66은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제62항에 있어서,
    상기 레티클판은 레티클을 해제가능하게 유지시키는 레티클 고정 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  67. 청구항 67은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제66항에 있어서,
    상기 레티클 고정 시스템은 진공 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  68. 청구항 68은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제67항에 있어서,
    상기 진공 시스템은 랜드 및 시일인 것을 특징으로 하는 시스템.
  69. 청구항 69은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제62항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 자유도는 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 평면외 운동(out-of-plane movement)을 실질적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  70. 청구항 70은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제62항에 있어서,
    상기 제 4 내지 제 6 자유도는 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 소정량의 평면내 운동(in-plane movement)을 허여하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  71. 청구항 71은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제62항에 있어서,
    상기 로봇은 상기 레티클판 및 장착판을 제 1 상태 동안 수평으로 유지시키고, 제 2 상태 동안 수직으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 시스템.
  72. 레티클판;
    장착판;
    상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 평면외 운동을 실질적으로 제거하고, 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 소정량의 평면내 운동을 허여하기 위하여, 상기 장착판에 상기 레티클판을 연결시키는 수단;
    로봇; 및
    상기 로봇에 상기 장착판을 커플링시키는 커넥터를 포함하는 시스템.
  73. 제72항에 있어서,
    상기 연결시키는 수단은:
    상기 레티클판의 연결 영역에 위치하는 만곡부들;
    상기 레티클판에 상기 만곡부들을 고정시키는 고정장치; 및
    상기 레티클판과 만곡부들에 상기 장착판을 고정시키는 고정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  74. 청구항 74은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제73항에 있어서,
    상기 연결시키는 수단은 상기 레티클판과 상호 작동하는, 상기 장착판의 표면상의 잠금장치를 더 포함하고, 상기 잠금장치는 상기 레티클판에 상기 장착판을 해제가능하게 고정시키는 것을 특징으로 하는 시스템.
  75. 청구항 75은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제74항에 있어서,
    상기 장금장치는 진공 잠금부인 것을 특징으로 하는 시스템.
  76. 청구항 76은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제72항에 있어서,
    상기 레티클판은 상기 레티클판에 레티클을 고정시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  77. 청구항 77은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제76항에 있어서,
    상기 고정시키는 수단은 진공 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  78. 청구항 78은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제77항에 있어서,
    상기 진공 시스템은 랜드 및 시일을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  79. 청구항 79은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제72항에 있어서,
    상기 로봇은 상기 레티클판 및 장착판을 제 1 상태 동안 수평으로 유지시키고, 제 2 상태 동안 수직으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 시스템.
  80. 레티클판과 장착판을 커플링하도록 구성된 연결 시스템;
    상기 연결 시스템을 수용하는 연결 영역을 포함하는 레티클판;
    상기 연결 시스템을 통하여(via) 상기 레티클판에 연결되는 장착판;
    로봇; 및
    상기 로봇에 상기 장착판을 커플링시키는 커넥터를 포함하고,
    상기 연결 시스템은, 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 평면외 운동을 실질적으로 제거하고, 상기 장착판에 대하여 상기 레티클판의 소정량의 평면내 운동을 허여하는 것을 특징으로 하는 시스템.
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