CN1295121C - 利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置 - Google Patents

利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置 Download PDF

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Abstract

将分划板输送及加装到一个接收台(例如一个分划板曝光台)上所用的一种装置和方法。首先利用一个末端执行器将分划板从存储装置中取出，该末端执行器具有一个与安装盘相连接的分划板盘。安装盘用于使末端执行器与一个机器人臂相连。在脱机对准台中的一个平面外位置中将分划板对准。所述的对准与在接收台处所要求的对准相符合。在脱机对准台处将分划板对准之后，将分划板安装到分划板盘上。然后，将分划板从脱机对准台输送到接收台上，同时保持在脱机对准台上所预先完成的对准。该装置还为安装的分划板提供刚性以保证符合接收台处的对准要求。

Description

利用机器人分划板末端执行器来输送 和加装分划板所用的方法和装置
技术领域
本发明通常涉及一种平版印刷系统。更具体地说，本发明涉及将一个分划板(reticle)输送及加装到一个接收站上且保持分划板在平面外的对准(out-of-plane alignment)，并在输送过程中为分划板提供一定的刚性。
背景技术
平版印刷术是用于在基片的表面上创制制品的一种工艺。所述基片包括在平面显示器、电路板、各种集成电路及类似物件的制作过程中所用的基片。这些应用中常用的一种基片是一种半导体晶片。相关领域的技术人员可认识到：本申请中的内容也适用于相关领域技术人员所已知的其他类型基片。
在平版印刷过程中，布置在晶片台上的一个晶片通过布置在平版印刷系统中的一个曝光系统而曝露于投影到该晶片表面上的图像。该曝光系统包括一个将图像投影到晶片上所用的分划板(也称为掩模)。
分划板通常布置在一个半导体芯片和一个光源之间。在平版印刷过程中，例如，将分划板用作为一个照片掩模以在半导体芯片上印制出电路。通常由玻璃制成的分划板需要进行细致的操作，因为它很容易被很微小的刮擦或污染物所损伤。
需要一个加装过程而将分划板加装到分划板曝光台上。该分划板必需在预定的位置上精确对准。对准中的任何误差必须在可校正的适当范围内。因此，在加装过程中，分划板和分划板曝光台之间的距离必须减少到最小。分划板的位置可通过在X-Y平面方向中转动和移动分划板来进行调整。但是，在减小所述距离过程中，必须非常小心以避免使分划板碰撞所述曝光台而对其造成损坏。
通常情况下，在分划板中形成的对准标记用于通过将该对准标记进行定位来使分划板对准。在分划板对准显微镜的下面布置一个曝光台中的参照标记以协助对准过程。通过显微镜来探测分划板的对准标记来执行预先对准和对准后的操作。为缩短分划板的更换时间以增大平版印刷系统的产量，人们希望在脱机(off-line)对准台处进行分划板的对准。
通常情况下，利用“推进器”将分划板在脱机对准台中进行预先对准。但是，利用推进器会使分划板在脱机对准台处的对准与所需要的分划板的对准不相适应，在分划板曝光台处就会产生这种情况。这样仍不能增大平版印刷系统的产量。
在本发明中之前没有能够保持平面外柔性和平面内(in-plane)刚性的分划板输送装置。换句话说，在本发明之前，不能精确保持分划板在脱机对准台处的平面外预先对准位置对准，而在分划板曝光台处为实现所需的性能则需要精确保持平面外的预先对准位置对准。
因此，就需要这样一种方法和装置，即在不损失分划板的预先对准度的情况下，利用该方法和装置可将一个预先对准的分划板输送及加装到一个分划板曝光台上。
发明内容
本发明涉及将分划板输送并加装到一个接收台(如一个分划板曝光台)上所用的一种方法和装置。更具体地说，本发明涉及一种方法和装置，该方法和装置用于使分划板的平面外预先对准与分划板在其曝光台处的对准相符合，同时，在将分划板传送到对准台的过程中保持分划板的平面内刚性。首先，利用一个末端执行器从存储设施中取回分划板，该末端执行器具有一个与安装盘相结合的附加装置(attachment device)。可利用多种方式将分划板安装到附加装置上。在一种结构中，是利用真空作用将分划板固定到分划板盘上。在另一种结构中，可利用螺旋驱动夹持件将分划板固定到附加装置上。而在其它一种结构中，可利用静电荷将分划板固定到附加装置上。安装盘将末端执行器与一个机器人臂连接在一起。在将分划板于脱机对准台内的一个平面外位置中进行预先对准之后，就将其安装到附加装置上。在附加装置和安装盘之间可布置一个锁止装置。该锁止装置可将附加装置锁靠在平面内位置中的安装盘上以阻止对固定的分划板造成干扰。然后将分划板从脱机对准台输送到分划板曝光台上，同时保持先前在脱机对准台处所完成的预先对准。该装置还对安装的分划板提供一定的刚性以保证符合分划板在分划板曝光台处的最终的对准。本发明提出一种方法，其包括：在第一至第三自由度内用连接系统刚性地将分划板盘固定至安装盘，和在第四至第六自由度内用所述连接系统柔性地将分划板盘固定至安装盘。
本发明还提出一种方法，其包括：将一个分划板盘连接至一个安装盘，以基本上避免分划板盘相对于安装盘的平面外运动并且允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动。
本发明提出一种系统，其包括：连接系统；包括有接收该连接系统的连接区域的分划板盘；通过该连接系统连接至分划板盘的安装盘；机器人；和将安装盘连接至该机器人的连接器，其中，该连接系统在第一至第三自由度内刚性地将分划板盘固定至安装盘并且在第四至第六自由度内柔性地将分划板盘固定至安装盘。
本发明还提出一种系统，其包括：分划板盘；安装盘；将分划板盘连接至安装盘的装置，以基本上避免分划板盘相对于安装盘的平面外运动和允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动；机器人；和将安装盘连接至该机器人的连接器。
附图说明
此处所结合使用的附图构成了说明书内容的一部分，这些附图对本发明进行了显示，并与描述内容一起用于解释发明的原理且使相关领域的人员可制作和利用本发明。
图1所示的框图显示了分划板处理过程的几个步骤。
图2所示为根据本发明一个实施例而与机器人连接器相结合的末端执行器的前透视图。
图3所示为根据本发明一个实施例而与机器人连接器相结合的末端执行器的后透视图。
图4显示了根据本发明的一个实施例而具有其相应特征的分划板盘。
图5显示了根据本发明的一个实施例的真空盘及其相应的特征。
图6显示了根据本发明一个实施例的安装盘，该安装盘中利用了一个真空盘。
图7显示了根据本发明一个实施例的机器人连接器，该连接器中利用了一个真空盘。
图8显示了根据本发明一个实施例的末端执行器的各种运动位置。
具体实施方式
现在将参考附图而对本发明的一个例示性实施例进行描述，其中，附图中相同的参考符号均指示相同的或功能相似的元件。每个参考符号最左边的数字与第一次应用该参考符号的附图相对应。在对特定的结构和布置进行讨论时，应认识到：对这些特定的结构和布置所进行的描述只是用于显示本发明。相关领域的技术人员应认识到：在不脱离本发明的实质和范围的情况下可利用其他的结构和布置。在其他多种应用中也可利用本发明，这对于相关领域的技术人员来说应是很明显的。
图1显示了在分划板的处理过程中通常涉及的几个阶段。在第一阶段105中，末端执行器将分划板从一个分划板箱(即分划板存储装置)中取回。在第二阶段110中，将分划板输送到脱机对准台上且在将其输送到分划板曝光台之前将其预先对准。脱机对准台是远离分划板曝光台的一个台，在分划板曝光台处将分划板对准之前，在该脱机对准台处对分划板进行预先对准。分划板的预先对准是人们所需要的，这是因为该预先对准可增大利用本发明的平版印刷系统的产量。在第三阶段115中，在将图像投影到晶片之前对分划板进行最后对准。最后对准是必需的，因为这样可使分划板与分划板曝光台相对准以将图像更完美地投影到晶片上。
图2所示为一个透视图，图中显示了与根据本发明一个实施例而与机器人连接器相连接的末端执行器的前透视图。
末端执行器203包括分划板盘205和安装盘210。
分划板盘205与安装盘210的端部相连接。可利用相关领域的技术人员所已知的任何方式将分划板盘205结合到安装盘210上。例如，在一个实施例中，可利用螺栓将分划板盘205连接到安装盘210上。
末端执行器203与机器人连接器220相连接。机器人连接器220与一个机器人臂(未显示)相结合。通过机器人臂的运动可使末端执行器203至少在一个垂直方向中和一个水平方向上运动，就如图2中的箭头222通常显示的那样。
末端执行器203将一个分划板(未显示)从一个箱体(未显示)中取回并将该分划板安装到分划板盘205上。然后，末端执行器203将分划板放置到脱机对准台(未显示)上以进行预先对准。例如，在脱机对准台处对分划板进行预先对准之后，末端执行器203将分划板从脱机对准台上取回并将经预先对准的分划板输送到如分划板曝光台上。
在将分划板从脱机对准台上取回之后，分划板盘205保持将在分划板曝光台处进行对准的分划板。分划板盘205可进行平面内/平面外运动。这种运动进行得非常轻微，最好将其描述为相对于安装盘210而进行的内、外(in and out)运动。在“平面内”运动中，分划板盘205最接近安装盘210。在“平面外”运动中，分划板盘距安装盘210最远。在脱机对准台处的平面外位置中对分划板进行预先对准以准备在分划板曝光台处进行图象投影。
可通过多种方式将分划板固定到分划板盘205上，例如，在本发明的一种具体的结构中，通过一种真空作用将分划板固定到分划板盘上。在该真空方法中，分划板盘被称为一种真空盘。另一种情况为：可利用至少一个螺旋驱动夹持件将分划板固定到分划板盘205上。在这种方式中，分划板盘205被称为是一种夹持盘。也可利用置于分划板盘上的静电荷将分划板固定到分划板盘205上以取代利用螺旋驱动夹持件将分划板固定到分划板盘205上，在这种结构中，分划板盘被称为静电盘。但是，本发明并不仅限于将分划板固定到分划板盘上所用的上述方法。应认识到：在不脱离本发明的实质和范围的情况下，可利用其他方式将分划板固定到分划板盘205上。
图3所示为与机器人连接器220相连接的末端执行器203的后透视图。末端执行器203包括如图2所示的分划板盘205和安装盘210。
图4所示为一个分解视图，图中显示了根据本发明而具有相应特征的分划板盘205。分划板盘205具有面向分划板(未显示)的一个第一侧面407a。分划板盘205还具有与第一侧面407a相反的一个第二侧面(未显示)。在将分划板从箱体中取回之后，分划板盘205保持分划板。
在本发明的一种结构中，分划板盘205包括有一个铝制硬覆面。该铝制硬覆面可使分划板盘205更抗污染。但是，相关领域的技术人员应认识到分划板盘205可由任何适当材料制成以满足性能的需要。
分划板盘205具有开口405a-c和缺口408a1-2-c1-2。另一种情况为，本发明可只包括开口405a-c中的一个。同样，本发明也可只包括缺口408a1-2-c1-2中的一个。在分划板盘205上还可布置挠性件410a-c、螺栓410a1-3-c1-3及运动止动件411a-b。在另一种结构中，本发明可只包括挠性件410a-c之一、螺栓410a1-3-c1-3之一和/或及运动止动件411a-b之一。
通过缺口408a1-2-c1-2可将挠性件410a-c安装到分划板盘205的第一侧407a上。
每个挠性件410a-c以三角形布置在分划板盘205的第一侧407a上，这样，每个挠性件410a-c就形成为三角形的一个顶点。此外，每个挠性件410a-c安装在开口405a-c之一中且与每个开口405a-c中缺口408a1-2-c1-2的至少一个相结合。例如，挠性件410a安装在开口405a中且通过螺栓410a1与缺口408a1相连接。挠性件410a也通过螺栓410a2与缺口408a2相连接。同样，挠性件410b安装在开口405b中且通过螺栓410b1与缺口408b1相连接。挠性件410b也通过螺栓410b2与缺口408b2相连接。挠性件410c安装在开口405c中且通过螺栓410c1与缺口408c1相连接。挠性件410c也通过螺栓410c2与缺口408c2相连接。
螺栓410a3-c3延伸过挠性件410a-c而将分划板盘205连接到安装盘上，该内容将在图6中进行描述。
挠性件410可使分划板盘205相对于安装盘210进行微小的“向内和向外”运动。换句话说，挠性件410允许离开分划板盘205和安装盘210的“内、外”距离产生变化。
挠性件410a-c可以是具有微小预负载的U形片簧机构。在脱机对准台处加装和预先对准分划板的过程中，将分划板轻轻地压靠在分划板盘205上，这样就克服了挠性件410a-c的使分划板脱离脱机对准台上放置的机构的预负载。在克服预负载时，将分划板固定到分划板盘上，从而在平面外位置中对分划板进行精确预先对准，而为在分划板曝光台处的最后对准作准备。应认识到：该精确的平面外预先对准是与在分划板曝光台处的对准要求相符合的。
挠性件410a-c可由不锈钢制成。但是，相关领域的技术人员应认识到：挠性件410a-c可由适于挠性件性能的其他材料来制作。
运动止动件411a-b可以是螺栓或相关领域的技术人员所已知的其他任何类型的紧固件。运动止动件411a-b穿过分划板盘205的第一侧407a且与安装盘210相连(如图2所示)，从而限制分划板盘210的平面外运动。另一种情况为，运动止动件411a-b可穿过安装盘205且安装到分划板盘的第二侧(未显示)上。
运动止动件411a-b限制分划板盘205的内、外运动。运动止动件411a-b通过阻止挠性件410的张紧或弯曲而用作为挠性件410a-c的加强机构。挠性件410a-c的张紧或弯曲是不希望发生的，这是因为所述的张紧或弯曲会严重地影响分划板在脱机对准台处的精确预先对准。
运动止动件411a-b可由不锈钢制成。但是，相关领域的技术人员应认识到：运动止动件411a-b可由适于运动止动件411a-b性能的其他任何材料来制作。
图5所示为本发明的一种具体结构的透视图，其中，通过真空作用将分划板固定到真空盘上。
在图5中所示的本发明结构中，分划板盘被称为是一个真空盘。例如，在将分划板从分划板箱体中取出之后，真空盘505用于如保持分划板。
除了图4中所述的分划板盘的相应特征之外，图5中的结构(在本发明的这种结构中，通过真空作用将分划板固定到真空盘上)利用了真空带(lands)520a-b和密封件525a-b的辅助元件。就象分划板盘205具有一个第一侧和一个第二侧那样，真空盘也具有一个第一侧507a和一个与第一侧507a相反的第二侧(未显示)。
真空带520a-b是沿着真空盘505上的边缘布置的。相关领域的技术人员应认识到：在不脱离本发明的实质和范围的情况下，可改变真空带520的定位的其他结构。例如，在另一种结构中，真空带520a-b可沿著真空盘505的拐角分散布置。
在一种结构中，真空带520a-b包括至少一个主真空带520a和至少一个辅助真空带520b。在所述的另一种结构中，真空带的冗余设计是为分划板输送运动中的安全目的着想，以阻止分划板的碰撞或倾滑。
在一种结构中，真空带520a-b可以是塑料管道。真空带520a-b提供了一种真空作用，以在分划板的输送过程中将分划板保持在真空盘505上(例如，在本发明的一种结构中，真空带可以是塑料管道)。这种真空作用对于相关领域的技术人员来说是公知的，在此不再对其进行详细描述。在一种结构中，通过独立的真空源对真空带520a-b进行供应(也就是说，每个真空带是由一个不同的真空源来供应的)。而在另一种结构中，真空带520是由相同的真空源来供应的。
如果在将分划板安装到真空盘505上的同时，分划板产生滑动或受到干扰，在辅助真空带520b处就会产生真空损失。但是，在产生真空损失的过程中，主真空带继续执行其真空功能而阻止在将分划板安装到真空盘505上时对其造成干扰。然后，对机器人发出信号而停止其臂部的运动，从而停止安装盘(如图2所示)的运动，安装盘的运动用于输送分划板。例如，可通过安装一个机器人传感器(未显示)对机器人发出信号来停止其臂部的运动，这样可将真空损失通报给机器人。在停止机器人的臂部运动之后，通过将分划板再次固定到真空盘上而对真空损失进行补偿。
密封件525a-b是沿着真空盘505的第一侧507a上的边界定位的。但相关领域的技术人员应认识到：在不脱离本发明的实质和范围的情况下，密封件525a-b可布置在真空盘505上的其他位置中。例如，在本发明的一个实施例中，密封件525a-b布置在真空盘505的中心处。而在另一个实施例中，密封件525a-b定位在真空盘505的边缘上及真空盘505的中心处。
密封件525a-b对分划板起到“缓冲”作用而将分划板固定到真空盘505上。密封件525a-b的操作对于相关领域的技术人员来说是公知的，此处不再对其作进一步的描述。
密封件525可由较薄的不锈钢制成。但是，相关领域的技术人员应认识到：其他适当的材料可用于密封件525a-b。
图6显示了根据本发明一个实施例的安装盘，该安装盘中利用了一个真空盘。
就如图2中通常显示的那样，安装盘210的一端与分划板盘205相连接。安装盘210的另一端与机器人连接器220相连接。
安装盘210包括真空锁止件610和孔615a-c。真空锁止件610布置在安装盘210上且位于安装盘210和分划板盘205之间(如图2所示)。真空锁止件610迫使分划板盘205在其平面位置中相对于安装盘210保持刚性。
上述挠性件410a-c的预负载将分划板盘205贴靠安装盘210布置。但是，在机器人臂的运动过程中(在脱机对准台处将分划板对准之后的机器人臂的运动过程中)，其上安装有预先对准的分划板的分划板盘205可相对于安装盘210进行振动。该振动是不希望发生的，这是因为所述的振动可对在脱机对准台处进行的分划板的上述精确预先对准产生干扰。
为阻止分划板盘205相对于安装盘210产生不希望的振动，真空锁止件610压迫分划板盘205而使其相对于安装盘210(在平面内位置中)保持静止，从而通过真空作用将分划板盘205锁止到安装盘210上。真空锁止件610可以是一个气动驱动螺旋锁止装置。这种气动驱动螺旋锁止装置对于相关领域的技术人员来说是公知的。在将分划板从脱机对准台输送至分划板曝光台的过程中，真空锁止件610提供平面内刚性，从而在将分划板输送到分划板曝光台时，阻止上述分划板的平面外预先对准受到干扰。真空锁止件610可确保在脱机对准台处的平面外对准操作，从而使所述的平面外对准与在分划板曝光台处所需的分划板对准相符合。
在机器人臂将分划板(通过末端执行器203)输送到分划板曝光台之后，真空锁止件610将分划板盘205从安装盘210上松开，从而使分划板盘205从平面内位置中稍微移出。在松开时，分划板盘205移动至距安装盘210最远的位置(在平面外的位置)。换句话说，在将分划板盘205松开时，分划板盘205和安装盘210之间的距离稍微增大。此时，将已在脱机对准台处经过预先对准(与在分划板曝光台处的对准要求相符合)的分划板加装到分划板曝光台上以进行曝光操作。
孔615a-c可允许利用挠性件将分划板盘205(如图2所示)安装到安装盘210上。更具体地说，每个螺栓410a3-c3穿过其相应的挠性件410，并旋拧到孔615a-c之一中，从而将分划板盘205连接到安装盘210上。
安装盘210由不锈钢制成。但是，相关领域的技术人员应认识到：安装盘210可由适于安装件210的性能的其他任何材料组成。
图7显示了根据本发明方法的一个机器人连接器，其中，通过真空作用将分划板固定到一个真空盘上。这种机器人连接器对于相关领域的技术人员来说是公知的，因此，此处只对其进行简单描述。机器人连接器220包括安装架705和真空源710。
机器人连接器220使末端执行器203根据机器人臂的运动而运动，机器人连接器220结合到机器人臂上。安装架705的这种结构可使安装盘210以30°角和40°的角度进行转动(即双重偏离)。转动发生在两个不同角度的机器人的轴线上。但是，下述情况对于相关领域的技术人员来说应是明确的，即在不脱离本发明的实质和范围的情况下，安装架705可执行转动自由度的其它角度。
在将分划板安装到分划板盘205上时，安装架705的转动自由度不影响分划板的稳定性。尽管由于上述真空锁止件610的运行会使安装架705(安装盘210结合到该安装架上)具有不同的转动位置，但仍可保持安装在分划板盘205上的分划板的稳定性。
机器人连接器220的安装架705将末端执行器203连接到在平版印刷工艺中所用的一个机器人(如图8所示)上。
真空源710为真空带420a-b提供真空功能。真空源710是由机器人连接器220保持的。真空源710具有两个端部710a和710b。真空源端部710a与布置在机器人(如图8所示)上的一个真空泵(未显示)相连接。真空源端部710b延伸到真空盘上的一个边缘上而提供真空盘205上的真空带520。
真空源710由至少一个塑料管组成。但是，相关领域的技术人员应认识到：真空源710可由相关领域的技术人员所知的其他任何材料组成。此外，真空源710可以是为相关领域的技术人员所已知的其他任何介质。
图8显示了根据本发明一个实施例的末端执行器的不同运动位置。机器人803包括末端执行器203。机器人803还可使末端执行器203在包括由参考符号805、810通常所示的两个示例位置在内的不同位置中运动。通常为水平的位置805代表分划板从存储装置开始的运动。通常为竖直的位置810代表分划板在对准台处的对准。
结论
在上面的内容中已对本发明的多个实施例进行了描述，应认识到：这些实施例只是通过例子的形式来提供的而非限定性的。相关领域的技术人员应明确：在不脱离本发明的实质和范围的情况下，可对上述实施例的形式和细节做出多种变化。因此，本发明不应受到上述示例性实施例的限制，而是只是通过下述的权利要求及其等价范围来确定。

Claims (37)

1.一种方法，其包括：
在第一至第三自由度内用连接系统刚性地将分划板盘固定至安装盘，和
在第四至第六自由度内用所述连接系统柔性地将分划板盘固定至安装盘。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于，该方法还包括：
将挠性件定位在分划板盘的连接区域中；
将所述挠性件固定至分划板盘；和
将安装盘固定至分划板盘和挠性件。
3.根据权利要求2的方法，其特征在于，该方法还包括：
可松脱地将安装盘固定至分划板盘。
4.根据权利要求3的方法，其特征在于，所述可松脱地固定的步骤包括使用真空锁作为锁止装置。
5.根据权利要求1的方法，其特征在于，该方法还包括：可松脱地保持分划板在分划板盘上。
6.根据权利要求5的方法，其特征在于，所述可松脱地保持的步骤包括使用真空系统。
7.根据权利要求5的方法，其特征在于，所述可松脱地保持的步骤包括在真空系统中使用带和密封件。
8.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述第一至第三自由度基本上避免了分划板盘相对于安装盘的平面外运动。
9.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述第四至第六自由度允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动。
10.根据权利要求1的方法，其特征在于，该方法还包括：在一个第一状态期间将该分划板盘和安装盘保持在水平位置并且在一个第二状态期间将它们保持在垂直位置。
11.一种方法，其包括：
将一个分划板盘连接至一个安装盘，以基本上避免分划板盘相对于安装盘的平面外运动并且允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动；和
将安装盘连接至机器人。
12.根据权利要求11的方法，其特征在于，所述连接步骤包括：
将挠性件定位在分划板盘的连接区域中；
将所述挠性件固定至分划板盘；和
将安装盘固定至分划板盘和挠性件。
13.根据权利要求12的方法，其特征在于，该方法还包括：
可松脱地将安装盘固定至分划板盘。
14.根据权利要求13的方法，其特征在于，所述可松脱地固定的步骤包括使用真空锁作为锁止装置。
15.根据权利要求11的方法，其特征在于，该方法还包括：可松脱地保持分划板在分划板盘上。
16.根据权利要求15的方法，其特征在于，所述可松脱地保持的步骤包括使用真空系统。
17.根据权利要求15的方法，其特征在于，所述可松脱地保持的步骤包括在真空系统中使用带和密封件。
18.根据权利要求11的方法，其特征在于，该方法还包括：在一个第一状态期间将该分划板盘和安装盘保持在水平位置并且在一个第二状态期间将它们保持在垂直位置。
19.一种系统，其包括：
连接系统；
包括有接收该连接系统的连接区域的分划板盘；
通过该连接系统连接至分划板盘的安装盘；
机器人；和
将安装盘连接至该机器人的连接器，
其中，该连接系统在第一至第三自由度内刚性地将分划板盘固定至安装盘并且在第四至第六自由度内柔性地将分划板盘固定至安装盘。
20.根据权利要求19的系统，其特征在于，该连接系统包括：
位于分划板盘的连接区域中的挠性件；
将该挠性件固定至分划板盘的第一组固定装置；和
将安装盘固定至分划板盘和挠性件的第二组固定装置。
21.根据权利要求20的系统，其特征在于，该连接系统还包括：
在安装盘的表面上与分划板盘相结合的锁止装置，该锁止装置可松脱地将安装盘固定至分划板盘。
22.根据权利要求21的系统，其特征在于，该锁止装置是真空锁。
23.根据权利要求19的系统，其特征在于，分划板盘还包括有可松脱地保持一个分划板的分划板固定系统。
24.根据权利要求23的系统，其特征在于，该分划板固定系统包括真空系统。
25.根据权利要求24的系统，其特征在于，该真空系统包括有带和密封件。
26.根据权利要求19的系统，其特征在于，第一至第三自由度基本上避免了分划板盘相对于安装盘的平面外运动。
27.根据权利要求19的系统，其特征在于，第四至第六自由度允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动。
28.根据权利要求19的系统，其特征在于，机器人在一个第一状态期间将该分划板盘和安装盘保持在水平位置并且在一个第二状态期间将它们保持在垂直位置。
29.一种系统，其包括：
分划板盘；
安装盘；
将分划板盘连接至安装盘的装置，以基本上避免分划板盘相对于安装盘的平面外运动和允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动；
机器人；和
将安装盘连接至该机器人的连接器。
30.根据权利要求29的系统，其特征在于，该用于连接的装置包括：
位于分划板盘的连接区域中的挠性件；
将该挠性件固定至分划板盘的第一组固定装置；和
将安装盘固定至分划板盘和挠性件的第二组固定装置。
31.根据权利要求30的系统，其特征在于，该用于连接的装置还包括：
在安装盘的表面上与分划板盘相结合的锁止装置，该锁止装置可松脱地将安装盘固定至分划板盘。
32.根据权利要求31的系统，其特征在于，该锁止装置是真空锁。
33.根据权利要求29的系统，其特征在于，分划板盘还包括有将分划板固定至分划板盘的装置。
34.根据权利要求33的系统，其特征在于，该用于固定的系统包括真空系统。
35.根据权利要求34的系统，其特征在于，该真空系统包括有带和密封件。
36.根据权利要求29的系统，其特征在于，机器人在一个第一状态期间将该分划板盘和安装盘保持在水平位置并且在一个第二状态期间将它们保持在垂直位置。
37.一种系统，其包括：
连接系统；
包括有接收该连接系统的连接区域的分划板盘；
通过该连接系统连接至分划板盘的安装盘；
机器人；和
将安装盘连接至该机器人的连接器，
其中，该连接系统基本上消除分划板盘相对于安装盘的平面外运动和允许分划板盘相对于安装盘的预定程度的平面内运动。
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