JP2003237722A - 高純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装方法及び包装装置、並びに自動包装機械の使用 - Google Patents
高純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装方法及び包装装置、並びに自動包装機械の使用Info
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
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- Containers And Plastic Fillers For Packaging (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染
の少ない包装方法及び装置を提供する。 【解決手段】 該包装方法は、ポリシリコン砕片を自動
的に包装することよりなり、かつ包装装置は、高純度の
ポリシリコン砕片を低コストで全自動式に分配、充填及
び包装する装置であって、ポリシリコン砕片を分配する
手段と、プラスチック袋を有する充填装置と、ポリシリ
コン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置
とからなる。
の少ない包装方法及び装置を提供する。 【解決手段】 該包装方法は、ポリシリコン砕片を自動
的に包装することよりなり、かつ包装装置は、高純度の
ポリシリコン砕片を低コストで全自動式に分配、充填及
び包装する装置であって、ポリシリコン砕片を分配する
手段と、プラスチック袋を有する充填装置と、ポリシリ
コン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置
とからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリシリコン砕片
の低コストで汚染の少ない包装方法及び包装装置、並び
に自動包装機械の使用に関する。
の低コストで汚染の少ない包装方法及び包装装置、並び
に自動包装機械の使用に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリシリコン砕片は、例えばシーメンス
法によりトリクロルシランから堆積され、その後汚染無
く粉砕される。一般に、これはソーラ又は半導体工業に
おいて例えば太陽電池又はきわめて純粋なシリコンウェ
ーハの製造のために使用される。これらの用途のために
は、出来るだけ汚染の少ないポリシリコン砕片が所望さ
れ、従って該材料はユーザに搬送するために包装され
る。尤も、この包装は従来汚染の危険度の高いかつ作業
者にとって過酷な手動で行われる。
法によりトリクロルシランから堆積され、その後汚染無
く粉砕される。一般に、これはソーラ又は半導体工業に
おいて例えば太陽電池又はきわめて純粋なシリコンウェ
ーハの製造のために使用される。これらの用途のために
は、出来るだけ汚染の少ないポリシリコン砕片が所望さ
れ、従って該材料はユーザに搬送するために包装され
る。尤も、この包装は従来汚染の危険度の高いかつ作業
者にとって過酷な手動で行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、高純
度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装を
可能にする方法を提供することである。
度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装を
可能にする方法を提供することである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記課題は、ポリシリ
コン砕片を自動的に包装する方法により解決される。
コン砕片を自動的に包装する方法により解決される。
【０００５】該方法を実施するための装置としては、原
則的に小片状の砕片物の従来の技術において公知のあら
ゆる自動包装機械が適当である。
則的に小片状の砕片物の従来の技術において公知のあら
ゆる自動包装機械が適当である。
【０００６】従って、本発明はまた、高純度のポリシリ
コン砕片を包装するために自動包装機械を使用すること
に関する。
コン砕片を包装するために自動包装機械を使用すること
に関する。
【０００７】自動包装機械の本発明による使用は、低コ
ストで全自動式に高純度のポリシリコン砕片の分配、充
填及び包装を可能にする。
ストで全自動式に高純度のポリシリコン砕片の分配、充
填及び包装を可能にする。
【０００８】自動包装機械としては、ポリシリコン砕片
を分配けする手段と、プラスチック袋を有する充填装置
と、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のた
めの溶接装置とからなる装置を使用するのが有利であ
る。
を分配けする手段と、プラスチック袋を有する充填装置
と、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のた
めの溶接装置とからなる装置を使用するのが有利であ
る。
【０００９】ポリシリコン砕片の汚染の危険を回避する
ために、本発明による装置のポリシリコン砕片と接触す
る全ての部分は、特に有利にはシリコンで外装されてい
るか又は高耐摩耗性プラスチックでライニングされてい
る。さらに、包装の突き破りを最小にするために、本発
明による装置を、ポリシリコン砕片が２つの溶接された
プラスチック袋で包装されるように構成するのが特に有
利である。
ために、本発明による装置のポリシリコン砕片と接触す
る全ての部分は、特に有利にはシリコンで外装されてい
るか又は高耐摩耗性プラスチックでライニングされてい
る。さらに、包装の突き破りを最小にするために、本発
明による装置を、ポリシリコン砕片が２つの溶接された
プラスチック袋で包装されるように構成するのが特に有
利である。
【００１０】従って、特に有利には、本発明による包装
機械は、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋
のための溶接装置の後方に再度、プラスチック袋を有す
る充填装置、並びにポリシリコン砕片が充填されたプラ
スチック袋を収容する前記プラスチック袋のための溶接
装置を有する。
機械は、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋
のための溶接装置の後方に再度、プラスチック袋を有す
る充填装置、並びにポリシリコン砕片が充填されたプラ
スチック袋を収容する前記プラスチック袋のための溶接
装置を有する。
【００１１】さらにまた有利には、本発明による装置
は、全自動式にポリシリコン砕片の搬送を可能にし、従
って例えば搬送トラフ、搬送管、コンベアベルト又はブ
ラシベルトのようなポリシリコン砕片を搬送するための
付加的な手段を有する。
は、全自動式にポリシリコン砕片の搬送を可能にし、従
って例えば搬送トラフ、搬送管、コンベアベルト又はブ
ラシベルトのようなポリシリコン砕片を搬送するための
付加的な手段を有する。
【００１２】ポリシリコン砕片を分配するための手段
は、例えば時間制御される搬送トラフ又は貯蔵容器の充
填高さ測定装置又はポリシリコン砕片のための秤量装置
である。
は、例えば時間制御される搬送トラフ又は貯蔵容器の充
填高さ測定装置又はポリシリコン砕片のための秤量装置
である。
【００１３】有利には、充填装置は、例えば充填及び袋
成形管により、有利には高純度（高い清浄度：hochrei
n）のプラスチックシートからプラスチック袋を形成す
る。
成形管により、有利には高純度（高い清浄度：hochrei
n）のプラスチックシートからプラスチック袋を形成す
る。
【００１４】さらに、該装置は、特に有利な実施態様に
おいては、ポリシリコンのための充填装置及び溶接装置
の上に設置された、ポリシリコン砕片の粒子汚染を防止
すための空気吸引装置（フローボックス：Flowbox）を
有する。
おいては、ポリシリコンのための充填装置及び溶接装置
の上に設置された、ポリシリコン砕片の粒子汚染を防止
すための空気吸引装置（フローボックス：Flowbox）を
有する。
【００１５】
【実施例】図１は、本発明の特に有利な実施例を示す。
【００１６】この本発明による装置は、ポリシリコン砕
片２のための搬送トラフ１、ホッパー４を備えた、ポリ
シリコン砕片２のための秤量装置３、転向板５、高純度
のプラスチックシート７からプラスチック袋８を形成す
る充填装置６，ポリシリコン砕片が充填されたプラスチ
ック袋８のための溶接装置１０、搬送トラフ１、秤量装
置３、充填装置６及び溶接装置１０の上に設置され、ポ
リシリコン砕片２の粒子汚染を防止するフローボックス
１１、ポリシリコン砕片２が充填され、溶接されたプラ
スチック袋１４のためのコンベアベルト１２からなり、
この場合ポリシリコン砕片と接触する全ての構造部分は
シリコンで外装されているか又は高耐摩耗性のプラスチ
ックでライニングされている。
片２のための搬送トラフ１、ホッパー４を備えた、ポリ
シリコン砕片２のための秤量装置３、転向板５、高純度
のプラスチックシート７からプラスチック袋８を形成す
る充填装置６，ポリシリコン砕片が充填されたプラスチ
ック袋８のための溶接装置１０、搬送トラフ１、秤量装
置３、充填装置６及び溶接装置１０の上に設置され、ポ
リシリコン砕片２の粒子汚染を防止するフローボックス
１１、ポリシリコン砕片２が充填され、溶接されたプラ
スチック袋１４のためのコンベアベルト１２からなり、
この場合ポリシリコン砕片と接触する全ての構造部分は
シリコンで外装されているか又は高耐摩耗性のプラスチ
ックでライニングされている。
【００１７】有利には、本発明による装置は、コンベア
ベルト１２に引き続き、高純度のプラスチックシート１
６からプラスチック袋１７を形成するためのもう１つの
充填装置１５、前記のプラスチック袋１７のための、そ
れに溶接されかつポリシリコン砕片が充填されたプラス
チック袋１４が収容された後の溶接装置１８、並びに二
重袋包装２１内に存在するポリシリコン砕片２のための
コンベアベルト１９を有する。
ベルト１２に引き続き、高純度のプラスチックシート１
６からプラスチック袋１７を形成するためのもう１つの
充填装置１５、前記のプラスチック袋１７のための、そ
れに溶接されかつポリシリコン砕片が充填されたプラス
チック袋１４が収容された後の溶接装置１８、並びに二
重袋包装２１内に存在するポリシリコン砕片２のための
コンベアベルト１９を有する。
【００１８】有利には、充填装置６は、プラスチックシ
ート７の静電気帯電、ひいては粒子汚染を防止する消イ
オン装置９を有する。
ート７の静電気帯電、ひいては粒子汚染を防止する消イ
オン装置９を有する。
【００１９】有利には、コンベアベルト１２及び／又は
コンベアベルト１９は、磁気誘導検出器１３及び２０を
通過する。
コンベアベルト１９は、磁気誘導検出器１３及び２０を
通過する。
【００２０】有利には、プラスチックシート７，１６は
ＰＥシートである。プラスチックシートは、有利には＞
２００μｍの厚さ、特に有利には２９０〜３５０μｍの
厚さを有する。
ＰＥシートである。プラスチックシートは、有利には＞
２００μｍの厚さ、特に有利には２９０〜３５０μｍの
厚さを有する。
【００２１】有利には、高耐摩耗性プラスチックは、ポ
リウレタンである。
リウレタンである。
【００２２】本発明による装置は、ヒトと接触しない汚
染の少ない包装を可能にする。さらに、該装置は、包装
された物品の変わらない品質を可能にする。
染の少ない包装を可能にする。さらに、該装置は、包装
された物品の変わらない品質を可能にする。
【００２３】包装物、ポリシリコン砕片と結び付いた特
殊な問題設定、例えば汚染除去、後粉砕、ダスト発生
は、本発明による装置における前記の構成により解決さ
れる（シリコン外装、空気の消イオン化、構造に起因す
る低い投下高さ、吸引、金属検出器等）。
殊な問題設定、例えば汚染除去、後粉砕、ダスト発生
は、本発明による装置における前記の構成により解決さ
れる（シリコン外装、空気の消イオン化、構造に起因す
る低い投下高さ、吸引、金属検出器等）。
【００２４】本発明による方法の具体的実施例を、図１
の装置により説明する。
の装置により説明する。
【００２５】ポリシリコン砕片２をシリコンで外装した
搬送トラフ１上で秤量装置３に搬送し、その際秤量装置
がホッパ４へのポリシリコン砕片２の充填度を調節しか
つ、ホッパ４内に所定の充填量のポリシリコン砕片２が
存在すると、ポリシリコン砕片２をホッパ４からプラス
チック袋８にあけ、その際シリコンの不所望の後粉砕が
行われないように、シリコンの落下高さを転向板５で最
小にし、かつプラスチック袋８を充填後に溶接装置１０
により溶接し、かつそうして得られたポリシリコン砕片
が充填されたプラスチック袋１４を一重袋としてコンベ
アベルト１２を介して、起こり得る金属汚染を検出する
ために磁気誘導検出器１３を通過させる。
搬送トラフ１上で秤量装置３に搬送し、その際秤量装置
がホッパ４へのポリシリコン砕片２の充填度を調節しか
つ、ホッパ４内に所定の充填量のポリシリコン砕片２が
存在すると、ポリシリコン砕片２をホッパ４からプラス
チック袋８にあけ、その際シリコンの不所望の後粉砕が
行われないように、シリコンの落下高さを転向板５で最
小にし、かつプラスチック袋８を充填後に溶接装置１０
により溶接し、かつそうして得られたポリシリコン砕片
が充填されたプラスチック袋１４を一重袋としてコンベ
アベルト１２を介して、起こり得る金属汚染を検出する
ために磁気誘導検出器１３を通過させる。
【００２６】プラスチックシート７を、充填装置６内で
有利には、シート７をいわゆる肩を介して引張ることに
よりプラスチック袋８に成形する。該肩は、シート表面
を汚染しないように、この場合も高耐摩耗性プラスチッ
クから形成されている。ホース状に成形されたプラスチ
ックシートの隣接した端部を溶接し、該ホースを下で溶
接装置によって、上から充填可能な高純度のプラスチッ
ク袋が生じるように閉鎖し、該袋を有利にはポリシリコ
ン砕片の充填中に１つのホースを形成するプラスチック
シートを別の連続的溶接により延長する。
有利には、シート７をいわゆる肩を介して引張ることに
よりプラスチック袋８に成形する。該肩は、シート表面
を汚染しないように、この場合も高耐摩耗性プラスチッ
クから形成されている。ホース状に成形されたプラスチ
ックシートの隣接した端部を溶接し、該ホースを下で溶
接装置によって、上から充填可能な高純度のプラスチッ
ク袋が生じるように閉鎖し、該袋を有利にはポリシリコ
ン砕片の充填中に１つのホースを形成するプラスチック
シートを別の連続的溶接により延長する。
【００２７】袋に充填した後に、有利には２つの型ジョ
ーでプラスチック袋を溶接する。
ーでプラスチック袋を溶接する。
【００２８】特に有利には、一重袋を別のプラスチック
袋に包装する。このことは、第２のプラスチック袋を第
１のプラスチック袋に類似して製造しかつ一重袋を第２
の袋に入れかつ溶接することにより行う。有利には、機
械／空気力式製品ブレーキが、第２のプラスチック袋に
入る際に第１のプラスチック袋の落下を制動する。
袋に包装する。このことは、第２のプラスチック袋を第
１のプラスチック袋に類似して製造しかつ一重袋を第２
の袋に入れかつ溶接することにより行う。有利には、機
械／空気力式製品ブレーキが、第２のプラスチック袋に
入る際に第１のプラスチック袋の落下を制動する。
【００２９】このようにして包装したポリシリコン砕片
は、起こり得る金属汚染を検出するために、再度コンベ
アベルトを介して磁気誘導検出器を通過させることがで
きる。
は、起こり得る金属汚染を検出するために、再度コンベ
アベルトを介して磁気誘導検出器を通過させることがで
きる。
【図１】本発明による包装装置の有利な１実施例の概略
図である。
図である。
１ 搬送トラフ、 ２ ポリシリコン砕片、 ３ 秤量
装置、 ４ ホッパー、 ５ 転向板、 ６，１５ 充
填装置、 ７，１６ プラスチックシート、８，１４，
１７ プラスチック袋、 １０，１８ 溶接装置、 １
１ フローボックス、 １２，１９ コンベアベルト、
１３ 磁気誘導検出器
装置、 ４ ホッパー、 ５ 転向板、 ６，１５ 充
填装置、 ７，１６ プラスチックシート、８，１４，
１７ プラスチック袋、 １０，１８ 溶接装置、 １
１ フローボックス、 １２，１９ コンベアベルト、
１３ 磁気誘導検出器
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フロントページの続き
(72)発明者 アクセル フラウエンクネヒト
ドイツ連邦共和国 ブルクハウゼン エル
ンスト−ロイター−シュトラーセ １
Ｆターム(参考） 3E050 AA03 AB02 AB08 BA03 FA01
FB01 FB08 GC07
3E118 AA07 AB05 BA03 BA10 BB03
BB04 BB10 CA03 DA02 DA03
EA01 EA06
Claims (15)
- 【請求項１】 高純度のポリシリコン砕片の低コストで
汚染の少ない包装方法において、ポリシリコン砕片を自
動的に包装することを特徴とする、高純度のポリシリコ
ン砕片の低コストで汚染の少ない包装方法。 - 【請求項２】 高純度のポリシリコン砕片を包装するた
めの自動包装機械の使用。 - 【請求項３】 高純度のポリシリコン砕片を低コストで
全自動式に分配、充填及び包装する装置であって、ポリ
シリコン砕片を分配する手段と、プラスチック袋を有す
る充填装置と、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチ
ック袋のための溶接装置とからなることを特徴とする、
高純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包
装装置。 - 【請求項４】 ポリシリコン砕片が充填されたプラスチ
ック袋のための溶接装置の後方に再度、プラスチック袋
を有する充填装置、並びにポリシリコン砕片が充填され
たプラスチック袋を収容する前記プラスチック袋のため
の溶接装置を有する、請求項３記載の装置。 - 【請求項５】 付加的になおポリシリコン砕片を搬送す
る手段を有する、請求項３又は４記載の装置。 - 【請求項６】 ポリシリコンのための充填装置及び溶接
装置の上に設置された空気吸引装置を有する、請求項３
から５までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項７】 装置のポリシリコン砕片と接触する部分
がシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性プラスチ
ックでライニングされている、請求項３から６までのい
ずれか１項記載の装置。 - 【請求項８】 高純度のポリシリコン砕片を搬送、秤
量、分配、充填及び包装する装置であって、ポリシリコ
ン砕片（２）のための搬送トラフ（１）、ホッパー
（４）と結合された、ポリシリコン砕片（２）のための
秤量装置（３）、転向板（５）、高純度のプラスチック
シート（７）からプラスチック袋（８）を形成する充填
装置（６）、ポリシリコン砕片（２）が充填されたプラ
スチック袋（８）のための溶接装置（１０）、搬送トラ
フ（１）、秤量装置（３）、充填装置（６）及び溶接装
置（１０）の上に設置され、ポリシリコン砕片（２）の
粒子汚染を防止するフローボックス（１１）、ポリシリ
コン砕片（２）が充填され、溶接されたプラスチック袋
（１４）のためのコンベアベルト（１２）からなり、こ
の場合ポリシリコン砕片（２）と接触する全ての構造部
分はシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性のプラ
スチックでライニングされていることを特徴とする、高
純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装
装置。 - 【請求項９】 さらに、高清浄度のプラスチックシート
（１６）から袋（１７）を形成するためのもう１つの充
填装置（１５）、前記プラスチック袋（１７）のため
の、それに溶接されかつポリシリコン砕片が充填された
プラスチック袋（１４）が充填された後の溶接装置（１
８）、並びにコンベアベルト（１９）を有する、請求項
８記載の装置。 - 【請求項１０】 溶接され、ポリシリコン砕片が充填さ
れたプラスチック袋のための検出器を備えた搬送装置を
有する、請求項５から９までのいずれか１項記載の装
置。 - 【請求項１１】 プラスチックシート（７，１６）がＰ
Ｅシートである、請求項３から１０までのいずれか１項
記載の装置。 - 【請求項１２】 高耐摩耗性プラスチックがポリウレタ
ンである、請求項７から１１までのいずれか１項記載の
装置。 - 【請求項１３】 ポリシリコン砕片の汚染の少ない包装
方法において、ポリシリコン砕片（２）をシリコンで外
装した搬送トラフ（１）上で秤量装置（３）に搬送し、
その際秤量装置はホッパ（４）へのポリシリコン砕片
（２）の充填度を調節しかつ、ホッパ（４）内に所定の
充填量のポリシリコン砕片（２）が存在すると、ポリシ
リコン砕片（２）をホッパ（４）からプラスチック袋
（８）にあけ、その際シリコンの不所望の後粉砕が行わ
れないように、シリコンの落下高さを転向板（５）で最
小にし、かつプラスチック袋（８）を充填後に溶接装置
（１０）により溶接し、かつそうして得られたポリシリ
コン砕片が充填されたプラスチック袋（１４）を一重袋
としてコンベアベルト（１２）を介して、起こり得る金
属汚染を検出するために磁気誘導検出器（１３）を通過
させることを特徴とする、高純度のポリシリコン砕片の
低コストで汚染の少ない包装方法。 - 【請求項１４】 一重袋を別のプラスチック袋に包装す
る、請求項１３記載の方法。 - 【請求項１５】 別の袋での包装を、第２のプラスチッ
ク袋（７）を第１のプラスチック袋（８）に類似して製
造しかつ一重袋を第２のプラスチック袋に入れかつ溶接
することにより行う、請求項１４記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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