KR101486450B1 - 다결정 실리콘의 포장 방법 - Google Patents

다결정 실리콘의 포장 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 충전 장치를 이용하여 플라스틱 백에 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하는 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 상기 충전 장치는 비금속 저오염 물질로 구성되는 자유 현가형 에너지 흡수 장치를 포함하고, 상기 플라스틱 백은 상기 에너지 흡수 장치 상부로 당겨져서 다결정 실리콘으로 충전되고, 충전시 실리콘이 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 상기 플라스틱 백을 아래쪽으로 낮추는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법을 개시한다.
본 발명은 또한, 충전 장치를 이용하여 플라스틱 백에 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하는 제2의 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 저장 용기는 실리콘이 유입되어 충전되는 개구부를 포함하고, 상기 플라스틱 백은 상기 저장 용기가 실리콘으로 충전된 후 상기 저장 용기 위로 당겨지고, 이어서 상기 실리콘이 상기 저장 용기로부터 상기 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 상기 저장 용기를 회전시키는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법에 관한 것이다.

Description

다결정 실리콘의 포장 방법{METHOD FOR PACKAGING POLYCRYSTALLINE SILICON}
본 발명은 다결정질 실리콘의 포장 방법에 관한 것이다.
다결정 실리콘(폴리실리콘)은 주로, 트리클로로실란과 같은 할로실란으로부터 지멘스(Siemens) 방법에 의해 증착된 다음, 오염을 최소화하면서 미분되어 다결정 실리콘 청크(chunk)가 된다.
반도체 및 태양전지 용도로는, 오염을 최소화한 파쇄된(fragmented) 폴리실리콘이 바람직하다. 이러한 이유에서, 상기 물질은 사용자에게 전달되기 전에 오염도가 낮게 포장되어야 한다.
통상적으로, 반도체 산업용으로 파쇄된 폴리실리콘은 중량 공차가 ±50g 이하인 5kg 백(bag)에 포장된다. 태양전지 공업용으로는, 파쇄된 폴리실리콘을 중량 공차가 ±100g 이하인 10kg 백에 포장하는 것이 보통이다.
원칙적으로 파쇄된 실리콘의 포장용으로 적합한 튜브 백 기계가 상업적으로 입수가능하다. 그러한 포장 기계는, 예를 들면, 특허문헌 DE 36 40 520 A1에 기재되어 있다.
파쇄된 폴리실리콘은 각각의 Si 청크에 있어서 2,500g 이하의 중량을 가진 모서리가 예리한 비유동형 벌크 물질이다. 따라서, 포장시 통상적인 플라스틱 백에 충전할 때 상기 물질이 플라스틱 백에 구멍을 내거나(이하 '관통'이라 함), 최악의 경우 백을 완전히 파괴시키지 않도록 주의해야 한다.
이러한 상황을 방지하기 위해, 상업적으로 입수가능한 포장기는 폴리실리콘의 포장을 목적으로 적합하게 변형될 필요가 있다.
특허문헌 EP 1 334 907 B1에는 고순도 파쇄된 폴리실리콘의 수송, 칭량(稱量), 소분(portioning), 충전 및 포장을 위한 저가의 완전 자동화된 장치가 개시되어 있는데, 상기 장치는 파쇄된 폴리실리콘용 공급 슈트(feed chute), 깔때기에 연결되어 있는 파쇄된 폴리실리콘용 칭량 장치, 실리콘으로 만들어진 편향판(deflection plate), 고순도 플라스틱 시트로부터 플라스틱 백을 형성하고 정전기 발생을 방지하며, 그에 따라 플라스틱 시트의 입자 오염을 방지하는 충전 장치(filling device), 파쇄된 폴리실리콘이 담긴 플라스틱 백을 용접하는 용접 장치, 상기 공급 슈트, 칭량 장치, 충전 장치 및 용접 장치의 상부에 설치되고 파쇄된 폴리실리콘의 입자 오염을 방지하는 플로우박스(flowbox), 및 파쇄된 폴리실리콘이 담긴 용접된 플라스틱 백에 대한 자석식 유도 검출기를 구비한 컨베이어 벨트를 포함하고, 파쇄된 폴리실리콘과 접촉하게 되는 모든 구성 요소는 실리콘으로 피복되어 있거나 내마모성이 높은 플라스틱으로 피복되어 있다.
그러한 장치에 있어서, 실리콘 청크가 충전 장치에 종종 들러붙는 것으로 밝혀졌다. 이것은 기계의 정지 시간의 증가를 수반하기 때문에 불리하다. 플라스틱 백의 관통도 일어나는데, 이것도 마찬가지로 시스템의 정지 시간 및 실리콘의 오염을 초래한다.
특허문헌 DE 10 2007 027 110 A1에는 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 자유 현가형(freely suspended) 기성품 백에 충전 장치를 이용하여 다결정 실리콘을 충전한 다음, 충전된 백을 밀봉하는 단계를 포함하고, 상기 백은 10∼1,000㎛의 벽 두께를 가진 고순도 플라스틱으로 만들어지고, 상기 충전 장치는 비금속 저오염 물질로 구성된 자유 현가형 에너지 흡수 장치(absorber)를 포함하고, 이 흡수 장치는 다결정 실리콘이 충전되기 전에 플라스틱 백에 도입되고, 흡수 장치를 통해 플라스틱 백에 다결정 실리콘이 충전되고, 자유 현가형 에너지 흡수 장치는 이어서 다결정 실리콘이 충전된 플라스틱 백으로부터 제거되고, 플라스틱 백이 밀봉되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘의 포장 방법이 개시되어 있다.
플라스틱 백 내부에 에너지 흡수 장치를 제공하는 상기 방법에 의하면, 플라스틱 백의 관통 문제는 실질적으로 피할 수 있다. 그러나, 이 방법이 가지는 단점은 들러붙는 현상이 여전히 일어난다는 점이다. 이 방법에 있어서, 이것은 에너지 흡수 장치에서 주로 일어난다. 따라서, 생산 정지가 여전히 초래되므로, 기계적 조정이 필요하며, 이것은 실리콘의 오염을 수반한다.
본 발명의 목적은 종래 기술의 단점인 실리콘의 들러붙는 현상(점착; sticking)을 방지하는 다결정 실리콘의 포장 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은, 플라스틱 백에 충전 장치를 이용하여 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하는 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 상기 충전 장치는 비금속 저오염 물질로 구성되는 자유 현가형 에너지 흡수 장치를 포함하고, 상기 플라스틱 백은 상기 에너지 흡수 장치 상부로 당겨져서 다결정 실리콘으로 충전되고, 충전시 실리콘이 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 상기 플라스틱 백을 아래쪽으로 낮추는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법에 의해 달성된다.
본 발명의 목적은 또한, 플라스틱 백에 충전 장치를 이용하여 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하는 제2의 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 저장 용기는 실리콘이 유입되어 충전되는 개구부를 포함하고, 상기 플라스틱 백은 상기 저장 용기가 실리콘으로 충전된 후 상기 저장 용기 위로 당겨지고, 이어서 상기 실리콘이 상기 저장 용기로부터 상기 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 상기 저장 용기를 회전시키는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법에 의해 달성된다.
본 발명의 목적은 또한, 플라스틱 백에 충전 장치를 이용하여 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하는 제3의 다결정 실리콘의 포장 방법으로서, 저장 용기가 2개 이상의 개구부를 포함하고, 상기 2개 이상의 개구부 중 하나를 포함하는 저장 용기의 일 측면 위로 플라스틱 백을 당겨 올리고, 상기 2개 이상의 개구부 중 제2의 개구부를 통해 상기 저장 용기에 실리콘을 충전하고, 상기 충전시 초기에 실리콘이 상기 플라스틱 백과 접촉하지 않고, 그 대신에 상기 플라스틱 백을 낮춘 후 실리콘만이 상기 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 상기 저장 용기를 적어도 상기 충전 공정의 시작 시점에 설치하는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법에 의해 달성된다.
상기 세 가지 방법은 모두 실리콘이 들러붙는 현상을 방지하는 것으로 밝혀졌다.
본 발명에 의하면, 종래 기술의 단점인 실리콘의 들러붙는 현상을 방지하는 다결정 실리콘의 포장 방법이 제공된다.
본 발명에 따른 제1 방법은 마찬가지로 종래 기술로부터 이미 알려져 있는 바와 같은 에너지 흡수 장치를 사용한다. 그러나, 실제 충전 공정은 종래 기술에 기재된 공정과는 상이하다. 실리콘을 충전하는 동안, 플라스틱 백은 아래쪽으로 낮추어진다. 또한, 에너지 흡수 장치가 존재함으로써, 실리콘이 심하게 충격을 주지 않도록 에너지 흡수 장치에 의해 플라스틱 백이 보호되므로, 플라스틱 백의 관통이 방지된다. 동시에, 플라스틱 백을 낮춤으로써, 에너지 흡수 장치 내에서 들러붙는 현상이 일어나지 않는다.
본 발명에 따른 제2 및 제3의 방법은 플라스틱 백 내에 설치되는 에너지 흡수 장치를 배제한다. 그러나, 상기 두 방법의 경우에 저장 용기가 유사한 기능을 충족시킨다.
본 발명에 따른 제2 방법에 있어서, 먼저 저장 용기에 실리콘을 충전시킨다. 이를 위해서, 저장 용기는 하나 이상의 개구부를 포함하고, 이 개구부를 통해 실리콘이 충전된다. 저장 용기가 충전된 후, 실리콘이 유입되어 충전되는 개구부를 포함하는 저장 용기의 측면 위로 플라스틱 백을 당긴다. 이어서, 실리콘이 저장 용기로부터 플라스틱 백으로 미끄러져 들어가도록 저장 용기를 플라스틱 백과 함께 회전시킨다. 이를 위해서, 저장 용기를. 예를 들면 위쪽으로 들어올린다. 여기서도, 저장 용기로부터 플라스틱 백에 도달하기 위한 실리콘의 낙하 거리가 사실상 무시할 정도이기 때문에, 플라스틱 백의 관통을 신뢰성 있게 피할 수 있다.
본 발명의 제3 방법은 약간 상이한 접근 방법을 채택하고 있다. 여기서, 플라스틱 백은 충전 공정의 시작 시점에 이미 저장 용기 위로 당겨져 있다. 이 경우에 저장 용기는 2개 이상의 개구부를 포함한다. 저장 용기는 하나의 개구부를 통해 실리콘으로 충전된다. 제2 개구부를 통해서는, 실리콘이 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어갈 수 있다. 저장 용기와 플라스틱 백은, 예를 들면 저장 용기에 충전되어 있는 실리콘이 어떠한 경우에도 플라스틱 백에 즉시 당도하거나 접촉할 수 없도록 경사지게 설치된다. 실리콘은 먼저 저장 용기의 내벽에 접촉하게 된다. 그 결과 실리콘은 운동 에너지를 잃게 되고, 제2 개구부를 통해 플라스틱 백 속으로 서서히 미끄러져 들어간다. 따라서, 저장 용기는 마찬가지로 일종의 에너지 흡수 장치로서 이용된다.
바람직하게는, 저장 용기 또는 에너지 흡수 장치는 저울을 포함한다.
이 저울은 바람직하게는 경질 금속, 세라믹 또는 카바이드로 구성된다.
바람직하게는 미리 제조된 백은 저울 위로 당겨지고, 전체 유닛의 회전에 의해 추가적 분쇄는 거의 없이 충전된다.
상기 제1 및 제2 방법에 있어서, 저울은 바람직하게는 스크린으로서 구성되고, 에너지 흡수 장치 또는 저장 용기의 저부에 배치된다.
바람직하게는, 점착을 완전히 방지하고 양호한 분리를 달성하기 위해서 진탕 메커니즘(shaking mechanism)이 제공된다. 그러한 진탕 메커니즘은, 예를 들면 초음파에 의해 발생될 수 있다.
또 다른 바람직한 구현예는 에너지 흡수 장치로의 전달부(transfer)를 구비한 저울을 제공한다.
이 경우에, 플라스틱 백은 에너지 흡수 장치 위로 당겨지고, 이어서 스크린을 포함하는 저울이 개방되고, 계속해서 낙하 브레이크(fall brake)가 개폐되고, 이어서 백은 파도형 운동 및/또는 진탕을 일으키면서 낮추어진다.
낙하 브레이크로서는, 플라스틱 백 또는 에너지 흡수 장치에 맞대어 가압되는 장치를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 방식으로, 플라스틱 백 또는 에너지 흡수 장치의 단면이 먼저 감소된 다음, 제어되는 방식으로 이완된다.
따라서, 생성물 흐름이 제어될 수 있고, 미리 제조된 백을 실리콘으로 충전하는 공정은 추가적 미분이 거의 없이 달성될 수 있다.
바람직하게는, 제1 방법에 있어서, 에너지 흡수 장치는 비금속 저오염 물질로 구성된다.
특허문헌 DE 10 2007 027 110의 경우와는 달리, 에너지 흡수 장치는 다결정 실리콘으로 충전되기 전에는 플라스틱 백 내에 삽입되지 않고, 플라스틱 백은 에너지 흡수 장치 위로 당겨진다.
바람직하게는, 플라스틱 백은 적합한 취급 시스템에 의해 에너지 흡수 장치 위로 당겨진다. 예를 들면, 이를 위해 버클링 암(buckling arm) 로봇이 적합하다.
상기 제1 방법에 따르면, 플라스틱 백은 에너지 흡수 장치에 의해 다결정 실리콘으로 충전된다.
상기 충전시, 플라스틱 백은 아래쪽으로 움직인다.
이것은 바람직하게는 적합한 파지 시스템(gripping system)에 의해 수행된다.
세 가지 방법 모두에 있어서, 플라스틱 백은 바람직하게는 충전 공정 후에 밀봉된다.
플라스틱 백은 바람직하게는, 플라스틱 백으로부터 공기의 흡입에 의해 배기된 다음, 용접된다.
보다 용이한 취급을 위해, 이 경우에 플라스틱 백 내로 그립 홀(grip hole)이 스탬핑(stamping)될 수 있고, 백의 임의의 초과물(excess)은 용접 후에 제거될 수 있다.
자유 현가형의 사전 제조된 백의 고정된 위치와는 대조적으로, 본 발명에 따른 제1 방법의 경우에, 백 그리퍼(gripper)의 가요성 위치 결정(flexible positioning)에 의해, 점착이 없고 추가적 미분과 관통이 거의 없는 충전 공정이 가능하다.
상기 기재된 방법들은 태양전지 용도의 파쇄된 폴리실리콘의 포장과, 전자 공업용의 파쇄된 폴리실리콘용 모두에 적합하다. 특히, 이 방법은 중량이 10kg 이하이고 모서리가 예리한 다결정 실리콘 청크의 포장에 적합하다. 특히 80g을 넘는 평균 중량을 가지는 청크가 존재하는 경우에 유리하다.
플라스틱 백은 바람직하게는 고순도 플라스틱으로 구성된다. 플라스틱 백은 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 또는 폴리프로필렌(PP), 또는 복합 시트로 구성되는 것이 바람직하다.
복합 시트는 다층 포장 시트로서, 이것으로부터 가요성 포장이 이루어진다. 각각의 시트 층들은 통상적 방법으로 압출되거나 적층된다. 포장은 주로 식품 산업에 활용된다.
바람직하게는, 플라스틱 백은 백에 부착된 2개 이상의 엘리먼트에 의해 고정되고, 파쇄된 폴리실리콘이 충전될 때 에너지 흡수 장치로부터 아래쪽으로 이동되고, 충전 공정이 종료된 후 이들 그리퍼에 의해 밀봉 장치, 바람직하게는 용접 장치에 전달된다.
플라스틱 백은 바람직하게는 10∼1,000㎛의 두께를 가진다.
에너지 흡수 장치는 바람직하게는 비금속 저오염 물질로 구성된다. 이것은 바람직하게는 깔때기 또는 중공체(hollow body)의 형상을 가진다.
에너지 흡수 장치는 바람직하게는 직물(예를 들면, Gore-Tex® PTFE 직물 또는 폴리에스테르/폴리아미드 직물) 또는 플라스틱(예를 들면, PE, PP, PA 또는 이들 플라스틱의 코폴리머)으로 구성된다. 에너지 흡수 장치는 특히 바람직하게는, Shore A 경도가 30 A 내지 120 A, 바람직하게는 70 A인, 고무-탄성 플라스틱, 예를 들면 PU, 라텍스 고무 또는 에틸렌 비닐 아세테이트(EVA)로 구성된다.
플라스틱 백의 밀봉은, 예를 들면, 용접, 접착성 접합, 이음매(seam) 또는 형상 맞춤(form fit)에 의해 수행될 수 있다. 플라스틱 백의 밀봉은 바람직하게는 용접에 의해 수행된다.
충전 장치는 바람직하게는 충전 유닛 및 자유 현가형 에너지 흡수 장치, 또는 충전 유닛에 연결되어 있는 저장 용기로 구성된다. 자유 현가형 에너지 흡수 장치는 바람직하게는 자유 현가형 이동식 가요성 튜브의 형태 또는 언급된 다른 형태들 중 하나를 가지고, 이것들은 또한 간단히 나타내기 위해 이하에 제시되는 튜브라는 용어로 이해해야 한다.
플라스틱 백은 이동식 가요성 튜브 상부로 당겨지고, 파쇄된 폴리실리콘은 충전 유닛과 가요성 튜브에 의해 백 속으로 도입된다.
충전 유닛은 바람직하게는 깔때기, 공급 슈트 또는 슬라이드이고, 이것들은 저오염 물질로 적층되거나 또는 저오염 물질로 구성된다.
자유 현가형 에너지 흡수 장치는 백 속으로 낙하하는 파쇄된 폴리실리콘의 운동 에너지의 많은 부분을 흡수한다. 상기 흡수 장치는 날카로운 모서리를 가진 다결정 실리콘이 접촉하지 못하도록 플라스틱 백의 벽을 보호하고, 플라스틱 백의 관통을 방지한다. 충전 공정 후 플라스틱 백이 아래쪽으로 당겨지는 사실로 인해, 에너지 흡수 장치에서의 다결정 실리콘의 점착이 일어나지 않는다.
바람직하게는, 폴리실리콘은 포장되기 전에 먼저 소분되고 칭량된다.
충전 유닛은 폴리실리콘의 매우 미세한 입자와 스플린터가 충전되기 전 또는 도중에 제거되도록 구성된다. 예를 들면, 16mm 미만의 모서리 길이를 가진 입자는 체질(screening)에 의해 확실하게 제거될 수 있다.
이를 위해서, 폴리실리콘 청크의 생성물 흐름은 바람직하게는 공급 슈트를 통해 수송되고, 하나 이상의 스크린에 의해 조대(coarse) 청크와 미세 청크로 분리되고, 그 경우에 스크린은 천공된 플레이트, 그릴 스크린(grille screen), 옵토뉴매틱 소터(optopneumatic sorter) 또는 다른 적합한 장치일 수 있고, 정량 저울(dosing balance)에 의해 목표 중량으로 칭량되고 주입되며, 전달 슈트를 통해 배출되고, 포장 유닛으로 수송된다.
바람직하게는, 상기 하나 이상의 스크린 및 정량 저울은, 경질 금속과 같은 저오염 물질을 그 표면 상에 적어도 부분적으로 포함한다.
파쇄된 폴리실리콘의 소분과 칭량은 바람직하게는 실리콘 청크를 정량하고 포장하는 장치용 정량 유닛에 의해 수행되고, 상기 장치는 청크의 생성물 흐름을 운반하기에 적합한 공급 슈트, 생성물 흐름을 조대 청크와 미세 청크로 분리하기에 적합한 하나 이상의 스크린, 조대 청크용 조대 정량 슈트와 미세 청크용 미세한 정량 슈트, 및 주입량을 결정하기 위한 정량 저울을 포함하고, 상기 하나 이상의 스크린과 상기 정량 저울은 그 표면 상에 경질 금속을 적어도 부분적으로 포함한다.
그러한 정량 유닛은 포장 전에 가능한 한 정확하게 특정 입자 크기 클래스의 폴리실리콘 청크를 정량하는 데 사용된다.
폴리실리콘의 보다 정확한 정량은 생성물 흐름을 조대 부분과 미세 부분으로 분리함으로써 가능하다.
폴리실리콘 청크의 칭량된 양은 주입 및 최적의 세정 단계 후에 전술한 방법에 따라 시트 백 내에 포장된다.
정량 유닛은 초기 생성물 흐름의 청크를 조대 정량 슈트와 미세 정량 슈트로 분리하기에 적합한 하나 이상의 스크린, 예를 들면 그릴 스크린을 포함한다.
정량 유닛은 바람직하게는 2개의 스크린, 특히 바람직하게는 그릴 스크린을 포함한다.
조대, 또는 더 큰 폴리실리콘 청크는 조대 정량 슈트로 수송된다.
미세, 또는 더 작은 폴리실리콘 청크는 미세 정량 슈트로 수송된다.
유출 생성물 흐름 중 폴리실리콘 청크의 크기 분포는, 특히 선행 분쇄 공정에 의존한다. 조대 청크와 미세 청크로 분리하는 방식, 및 조대 청크와 미세 청크의 크기는 주입하여 포장할, 목표로 하는 최종 생성물에 의존한다. 전형적인 파쇄 크기 분포는 5∼170mm의 크기를 가진 청크를 포함한다.
예를 들면, 특정 크기 미만의 청크는 배출 슈트와 함께, 스크린에 의해, 바람직하게는 그릴 스크린에 의해 정량 유닛으로부터 배출된다. 이러한 방식으로, 매우 특정한 크기 클래스의 청크만을 정량할 수 있다.
불필요한 생성물 크기가 공급 슈트에서의 폴리실리콘의 수송에 의해 다시 형성된다. 이것들은, 예를 들면 정량 저울에서 분리됨으로써 제거될 수 있다. 이를 위해서, 저울에는 개구부, 교환가능한 분리 메커니즘 및 배출 유닛이 장착된다.
하류의 공정에서, 배출된 작은 크기의 청크는 재분급되고, 정량 및 포장되거나, 상이한 용도를 위해 이송된다.
정량 유닛은 바람직하게는 미세 성분 슬라이드를 포함한다. 이것은 정위치로 맞추어지도록 회전될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 목표 생성물(파쇄 크기 분포)에 따라, 정량 유닛은 미세 정량을 위해 생성물 흐름으로부터 미세 성분을 체질하여 분리 제거하기 위해 사용될 수 있다.
2개의 정량 슈트에 의한 폴리실리콘의 정량 공정은 자동화될 수 있다.
스크린 및 정량 저울용으로는 경질 금속 엘리먼트를 사용하는 것이 특히 유리하다. 적어도 스크린과 정량 저울은 적어도 부분적으로는 그 표면 상에 경질 금속을 포함해야 한다.
경질 금속이라 함은 소결된 카바이드 경질 금속을 의미한다. 텅스텐 카바이드를 기재로 하는 통상적 경질 금속 이외에도, 바람직하게는 티타늄 카바이드 및 티타늄 나이트라이드를 경질 물질로서 함유하는 경질 금속도 있으며, 그 경우에 바인더 상은 니켈, 코발트 및 몰리브덴을 포함한다. 그의 용도도 본 발명에 따른 방법과 관련하여 바람직하다.
바람직하게는, 적어도 기계적으로 응력을 받는, 스크린 및 정량 저울의 마모-민감성 표면 부위는 경질 금속 또는 세라믹/카바이드를 포함한다. 적어도 하나의 스크린은 완전히 경질 금속으로 만들어지는 것이 바람직하다.
스크린과 정량 저울에는 부분적으로 또는 표면에 걸쳐 코팅이 제공될 수 있다. 코팅으로서는 티타늄 나이트라이드, 티타늄 카바이드, 알루미늄 티타늄 나이트라이드 및 DLC(다이아몬드형 탄소)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 물질이 바람직하게 사용된다.
경질 금속 원소의 사용은 정량 유닛의 기계적 안정성을 향상시키는 것으로 밝혀졌다. 또한, 정량 유닛의 유지보수 간격이 훨씬 커지는데, 그 이유는 경질 금속 원소가 종래 기술에서 사용된 실리콘 및 플라스틱 클래딩(cladding)보다 마모율이 적기 때문이다.
놀랍게도, 경질 금속의 사용에 의한 실리콘의 오염은 실리콘이나 플라스틱 클래딩을 사용하는 경우에 비해 별로 증가되지 않는 것으로 밝혀졌다. 이것은 특히 텅스텐과 코발트에 의한 오염과 관계된다.
제어되는 회전형 슈트에 의해, 정량 유닛은 또한 실리콘 생성물 흐름을 복수 개의 정량 및 포장 시스템과, 그에 따라 출발 생성물로 충전되어 있는 복수 개의 정량 시스템의 조합 사이에 분배할 수 있고, 정량 및 칭량 후 여러 가지 포장 기계로 이송할 수 있다.
정량 시스템은 불필요한 작은 크기의 생성물을 체질하여 제거한 다음 상류 공정(체질, 분급)에 전달하는 분리 메커니즘(스크린)을 수용한다.
폴리실리콘 청크는 바람직하게는 2개의 플라스틱 백에 포장된다.
제1 플라스틱 백 내의 포장은 전술한 바와 같이 에너지 흡수 장치 또는 저장 용기를 이용하여 수행된다.
제1 플라스틱 백은 후속 단계에서 밀봉된다.
바람직하게는, 밀봉된 백은 그리퍼 시스템 또는 컨베이어 벨트에 의해 제2 백을 적용하기 위한 기계 부분에 이송된다.
대안으로서, 하나의 백이 다른 하나의 백 내부에 들어있는 2개의 백을 폴리실리콘으로 충전할 수 있다.
내측 백이 용접된 후, 내측 백은 외측 백의 저부로 미끄러져 들어가고, 외측 백도 마찬가지로 용접될 수 있다.
또 다른 구현예에 따르면, 내측 백은 외측 백의 완전히 내부에 설치되고, 내측 백이 용접되어 아래쪽으로 접히고, 외측 백은 필요에 따라 검사된 후 용접된다.

Claims (9)

  1. 다결정 실리콘의 포장 방법으로서,
    상기 포장 방법은 충전 장치를 이용하여 플라스틱 백에 다결정 실리콘을 충전하는 단계를 포함하되, 상기 충전 장치가 비금속 저오염 물질로 구성되는 자유 현가형(freely suspended) 에너지 흡수 장치를 포함하고,
    상기 포장 방법은, 상기 플라스틱 백이 상기 에너지 흡수 장치 상부로 당겨져서 상기 플라스틱 백에 다결정 실리콘이 충전되고, 상기 충전 중에는 상기 플라스틱 백이 하강되어 다결정 실리콘이 플라스틱 백 속으로 미끄러져 들어가도록 하고,
    상기 플라스틱 백을 하강시키는 운동이 시작되기 전에 상기 플라스틱 백의 단면이 적합한 장치에 의해 감소되었다가, 충전 중 또는 충전 후에 점차 증가시켜 다결정 실리콘 청크(chunk)로 상기 플라스틱 백이 제어 가능하게 충전되도록 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 플라스틱 백이 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP), 또는 복합 시트로 구성되는 것을 특징으로 하는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 에너지 흡수 장치가 비금속 저오염 물질로 구성되고, 깔때기, 튜브 또는 중공체(hollow body)의 형상을 가지는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에너지 흡수 장치가 저울을 포함하는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에너지 흡수 장치가, 스크린으로서 구성되고 상기 에너지 흡수 장치의 저부에 위치하는 저울을 포함하는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    점착(sticking)을 방지하고 분리가 향상되도록, 충전시 상기 에너지 흡수 장치의 파도형 운동 또는 진탕(shaking) 운동을 생성하는 메커니즘이 제공되는, 다결정 실리콘의 포장 방법.
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