JP2003178963A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 照射装置、特にマイクロリソグラフ映写露光システムのための照射装置のためのズームシステムであって、
   光軸（３）に沿って配置され、対象面（６）とイメージ面（８）を定める複数のレンズを有し、
   これらのレンズ（３１，３２）のうちの少なくとも１つが可動レンズであり、これがイメージ面（８）にある照射領域のサイズを変更可能にするために光軸（３）に沿って移動可能であり、
   イメージ面（８）にある照射領域の最大サイズとその領域の最小サイズの比（膨張係数）Ｄが４よりも大きいものであり、
   ズームシステム（７）が中間のイメージ面を有しないことを特徴とするズームシステム。
2. 比Ｄが５以上であることを特徴とする請求項１に記載のズームシステム。
3. イメージ面（８）が対象面（６）のフーリエ変換（焦点距離ズーム）であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のズームシステム。
4. 可動レンズ（３１，３２）の少なくとも１つの最大移動範囲が、ズームシステム（７）の全長の約２０％よりも大きいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のズームシステム。
5. 少なくとも１つの光学エレメント（３０）が対象面（６）の付近に配置され、そこで対象面（６）とこの光学エレメント／これらの光学エレメント（３０）との間の距離が、ズームシステムの全長の好ましくは１５％未満であり、特に１０％未満であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のズームシステム。
6. 可動レンズ（３１，３２）のうちの少なくとも１つの移動範囲が、ズームシステムの全長の１０％未満であり、特に５％未満である対象面（６）からの距離で終了することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のズームシステム。
7. 軸方向に固定されたレンズ（３０，３４，３５，３７，３８）及び軸方向に可動なレンズ（３１，３２）を有し、可動レンズの全数が固定レンズの全数よりも少ないことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のズームシステム。
8. 正確に２つの可動レンズ（３１，３２）を有し、及び／又は全ての可動レンズがシングレットレンズ（３１，３２）であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のズームシステム。
9. 全ての可動レンズ（３１，３２）が、ズームシステムの対象端半分内に配置され、及び／又は可動レンズの間の距離がどのズーム位置における最大移動範囲の約５０％よりも小さいことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のズームシステム。
10. 第１可動レンズ（３１）と少なくとも第２可動レンズ（３２）が設けられていて、異なるズーム位置の間でスイッチするときにこれらが異なる移動カーブに沿って移動可能であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のズームシステム。
11. ズームシステムのイメージ端がテレセントリックであり及び／又はズームシステムがビグネッティングなしで大きく作用することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のズームシステム。
12. １６よりも少ない光学表面が対象面（６）とイメージ面（８）の間に設けられ、ズームシステムが好ましくはちょうど１４の光学表面を有することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のズームシステム。
13. 光学表面に入射する放射線の最大入射角度が４５°未満、特に４０°未満であり、最大入射角度が好ましくは約３７°であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のズームシステム。
14. マイクロリソグラフ映写露光システムのための照射システム（１） であって、照射システムにより供給される照射のコヒーレンスを変更するためのズームシステムを備えており、そのズームシステムが請求項１〜１３のいずれか１項に記載されているように構成されていることを特徴とする照射システム。
15. ０．０２０≦ＮＡ≦０．０２７の範囲内になる開口数ＮＡをもたらす光学エレメント、特にグラチクル光学エレメント（５）が、対象面（６）の付近に配置されることを特徴とする請求項１４に記載の照射システム。