JP2003178928A - 積層セラミック電子部品、集合電子部品および積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
積層セラミック電子部品、集合電子部品および積層セラミック電子部品の製造方法Info
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Abstract
の外部端子電極を備える積層セラミック電子部品におい
て、その平面寸法を大きくすることなく、かつ搭載部品
のための実装面積を狭くすることなく、搭載部品を覆う
ためのカバーを取り付けることができるようにする。 【解決手段】 電子部品本体48の側面49に、切欠き
50を設け、この切欠き50の内面の一部に、接合用ビ
アホール導体を分割して得られた接合用電極46を形成
する。カバーには、脚部が設けられ、カバーの脚部が切
欠き50内に位置された状態で、脚部を接合用電極46
に接合することによって、カバーを電子部品本体48に
固定する。
Description
電子部品およびその製造方法、ならびに積層セラミック
電子部品を得るための工程の途中に得られる集合電子部
品に関するもので、特に、カバーを備える積層セラミッ
ク電子部品において、カバーを電子部品本体に取り付け
るための構造の改良に関するものである。
ク電子部品の形態として、図14または図15に示すも
のがある。
は、電子部品本体2を備え、電子部品本体2の側面に外
部端子電極3が形成されている。電子部品本体2は、複
数のセラミック層を積層した構造を有し、また、その内
部には、内部回路用導体としての導体膜やビアホール導
体が形成されているが、これらについては図示を省略し
ている。
上に実装されるとき、配線基板4上に形成された接続ラ
ンド5に対して、外部端子電極3が半田6を介して接続
される。このとき、外部端子電極3が、電子部品本体2
の側面上に形成されているため、半田6は半田フィレッ
トを形成する。
1は、電子部品本体12を備え、この電子部品本体12
の下方に向く主面13上に外部端子電極14が形成され
ている。電子部品本体12は、複数のセラミック層15
を積層した構造を有し、また、その内部には、内部回路
用導体としての内部回路用導体膜16および内部回路用
ビアホール導体17が形成されている。
リッド・アレイ)タイプと呼ばれるもので、この積層セ
ラミック電子部品11を配線基板4上に実装しようとす
るとき、配線基板4上の接続ランド5に対向するように
外部端子電極14が配置され、半田18を介して、外部
端子電極14と接続ランド5とが接続される。半田18
による半田付けには、通常、クリーム半田を接続ランド
5上に印刷し、次いで、配線基板4上に積層セラミック
電子部品11を配置し、クリーム半田をリフローするこ
とが行なわれる。
極14を備える積層セラミック電子部品11によれば、
図14に示したような電子部品本体2の側面上に外部端
子電極3が形成された積層セラミック電子部品1の場合
とは異なり、半田18による半田フィレットが形成され
ないので、積層セラミック電子部品11自身が有する平
面寸法そのものが、実装に必要な平面寸法となる。その
ため、実装に必要な平面寸法を小さくすることができ、
より高密度な実装が可能となる。
は11において、電子部品本体2または12に内蔵でき
ない、たとえば、インダクタ、コンデンサ、抵抗器、ト
ランジスタ、ダイオードまたはIC等の電子部品につい
ては、電子部品本体2または12の上方に向く主面上に
搭載されることがある。図14では、この搭載部品の図
示が省略されているが、図15には、電子部品本体12
の上方に向く主面19上にいくつかの搭載部品20が図
示されている。
き、積層セラミック電子部品1または11を表面実装可
能な状態とすること等を目的として、図14および図1
5のそれぞれにおいて破線で示すようなカバー7および
21がそれぞれ電子部品本体2および12に接合され
る。カバー7および21は、器状をなしていて、それぞ
れ、その開口が電子部品本体2および12側に向けられ
た状態で配置される。
ラミック電子部品1の場合には、カバー7は、金属から
構成されるとき、いずれかの外部端子電極3に半田付け
等によって接合すれば、電子部品本体2に固定すること
ができる。
ック電子部品11の場合には、電子部品本体12の側面
上には外部端子電極が形成されないため、上述した積層
セラミック電子部品1の場合とは異なり、カバー21を
簡単には取り付けることができない。
外部端子電極14を利用してカバー21を取り付けよう
とすれば、積層セラミック電子部品11の平面寸法が、
電子部品本体12の平面寸法よりカバー21の厚みおよ
び外部端子電極14への接合部分の寸法分だけ大きくな
り、積層セラミック電子部品11の小型化を妨げること
になる。
12の上方に向く主面19上に接合用電極22を形成
し、カバー21の開口を規定する端縁部23を、接合用
電極22に対向するように内側へ折り曲げ、この端縁部
23を接合用電極22に半田24を介して半田付けする
という方法もある。
たときには、接合用電極22の面積分だけ、電子部品本
体12の主面19上での搭載部品20のための実装面積
が小さくなるので、この実装面積をある程度以上に確保
するためには、積層セラミック電子部品11のある程度
の大型化が強いられることになる。
き、その加工上の問題から、折り曲げられた端縁部23
の面積をそれほど小さくできず、また、接合用電極22
と端縁部23との間での必要な接合強度の確保のために
も、接合用電極22および端縁部23の面積をそれほど
小さくできない。したがって、接合用電極22および端
縁部23の面積は、電子部品本体12の平面寸法の大小
に関らず、ある程度以上必要ということになり、電子部
品本体22の平面寸法がより小さくなるほど、前述した
搭載部品20のための実装面積に対する制約の問題がよ
り顕著になってくる。
子部品本体の側面に形成された電極として、図17に示
すようなものも提案されている。図17には、積層セラ
ミック電子部品25に備える電子部品本体26の一部が
拡大されて斜視図で示されている。電子部品本体26の
側面27には、上下に貫通する切欠き28が形成され、
この切欠き28の内面を覆うように電極29が形成され
ている。
方法によって形成されることができる。
体26を取り出すための集合電子部品を作製した上で、
これを所定の分割線に沿って分割し、それによって、複
数の電子部品本体26を取り出そうとすることが行なわ
れる。
した構造を有する集合電子部品が作製される。この集合
電子部品には、その焼成前か焼成後のいずれかの段階
で、切欠き28となるべき貫通孔が設けられる。そし
て、貫通孔の内面には、電極29となるべき導体が付与
される。この導体としては、典型的には、導電性ペース
トが用いられる。導電性ペーストを付与したとき、通
常、貫通孔の両端の開口の周囲にまで導電性ペーストが
付与される。
貫通孔を通る分割線に沿って分割することが行なわれ
る。この分割によって現れた面が側面27となる。ま
た、貫通孔は、分割されて切欠き28となり、貫通孔の
内面上に付与された導体も、分割されて電極29とな
る。
うな問題がある。
ゆるチョコレートブレークが適用されるが、この分割の
際に、導体が適正に分割されないことがある。その結
果、分割された一方の電子部品本体26の切欠き28内
にある電極29の一部が他方の電子部品本体26の切欠
き28内の電極29側に奪われたり、極端な場合には、
一方の電子部品本体26の切欠き28内に電極29が形
成されなかったりすることがある。
面に導体をできるだけ薄くかつ均一に付与する必要があ
るが、このように導体を薄くかつ均一に付与することは
比較的困難である。
を構成する複数のセラミックグリーンシートの各々に、
これらを積層する前の段階で、貫通孔を設け、その内面
に導体を付与することも行なわれている。この場合に
は、貫通孔を設け、その内面に導体を付与した後、複数
のセラミックグリーンシートが積層され、積層方向にプ
レスされ、それによって、生の集合電子部品を得、この
生の集合電子部品が焼成される。
も、集合電子部品を分割して複数の電子部品本体26を
得るようにしているので、前述した方法の場合と同様の
問題に遭遇する。さらに、この方法では、貫通孔が設け
られたセラミックグリーンシートを積層し、プレスする
ので、このプレス工程において付与される熱および圧力
のため、各セラミックグリーンシートに設けられた穴が
不所望に変形するという問題や、積層工程において貫通
孔相互の位置ずれが生じ得るという問題に遭遇すること
がある。
いくつかの従来技術において遭遇し得る問題を解決し得
る、カバーを備える積層セラミック電子部品およびその
製造方法を提供しようとすることである。
ミック電子部品を得るための工程の途中に得られる集合
電子部品を提供しようとすることである。
決するため、この発明に係る積層セラミック電子部品
は、次のような構成を備えることを特徴としている。
は、複数のセラミック層を積層した構造を有し、かつ互
いに対向する第1および第2の主面とこれら第1および
第2の主面間を連結する側面とを有する、電子部品本体
を備えている。
面から第2の主面にまで延びる切欠きが設けられ、この
切欠きの内面の一部には、接合用ビアホール導体を分割
して得られた接合用電極が形成される。
品が実装される。
がその開口を電子部品本体側に向けた状態で配置され、
このカバーには、切欠き内に位置される脚部が設けら
れ、カバーは脚部が接合用電極に接合されることによっ
て、電子部品本体に固定される。
基板に接続するための外部端子電極は電子部品本体の第
2の主面上に形成される。
て、好ましくは、カバーは金属からなり、このカバーの
脚部と接合用電極とは半田または導電性接着剤によって
接合される。
の内部に位置するグラウンド電極と電気的に接続される
ことがより好ましい。
電子部品を得るための工程の途中に得られる集合電子部
品にも向けられる。
を積層した構造を有し、かつ互いに対向する第1および
第2の主面を有し、所定の分割線に沿って主面と直交す
る方向に分割することによって、上述したような複数の
積層セラミック電子部品に備える電子部品本体を取り出
せるようにされているものであって、次のような構成を
備えることを特徴としている。
接合用ビアホール導体が設けられるとともに、この接合
用ビアホール導体を分割するように、第1および第2の
主面間を貫通する貫通孔が設けられ、この貫通孔によっ
て分割された接合用ビアホール導体の各分割部分をもっ
て前述した接合用電極が与えられることを特徴としてい
る。
セラミック電子部品の製造方法にも向けられる。
は、複数のセラミックグリーンシートを積層した構造を
有し、前述した接合用電極となる接合用ビアホール導体
が設けられた、生の集合電子部品を作製する工程と、生
の集合電子部品の接合用ビアホール導体を分割する位置
に、生の集合電子部品の互いに対向する第1および第2
の主面間を貫通する貫通孔を形成することによって、接
合用ビアホール導体を貫通孔の内面の一部上に露出させ
る工程と、生の集合電子部品を焼成する工程と、集合電
子部品を、貫通孔を通る分割線に沿って分割し、それに
よって、貫通孔を分割して形成された切欠きの内面の一
部に、接合用ビアホール導体を分割して得られた接合用
電極が形成された、複数の電子部品本体を取り出す工程
と、電子部品本体の第1の主面上に、搭載部品を実装す
る工程と、搭載部品を覆うように、前述したカバーをそ
の開口が電子部品本体側に向けられた状態で配置し、か
つ、脚部を切欠き内に位置させるとともに、脚部を接合
用電極に接合することによって、カバーを電子部品本体
に固定する工程と、集合電子部品の第2の主面を与える
セラミックグリーンシートの一方主面上または集合電子
部品の第2の主面上に、外部端子電極を形成する工程と
を備えることを特徴としている。
にあたって、複数のセラミックグリーンシートを用意す
る工程と、特定のセラミックグリーンシートに接合用ビ
アホール導体を位置させるための透孔を設ける工程と、
透孔内に接合用ビアホール導体を形成する工程と、特定
のセラミックグリーンシート上に内部回路用導体膜を形
成する工程と、複数のセラミックグリーンシートを積層
する工程とが実施される。
形成する工程において、接合用ビアホール導体は、この
透孔を充填するように形成されることが好ましい。
ための透孔を設ける工程において、内部回路用ビアホー
ル導体を位置させるための透孔を同時に設けるようにし
てもよい。
子部品の状態にある電子部品本体に対して実施されるこ
とが好ましい。
程は、分割後の電子部品本体に対して実施されることが
好ましい。
実施形態を説明するためのものである。図8および図9
には、積層セラミック電子部品31が示され、この積層
セラミック電子部品31を得るため、図1ないし図7を
それぞれ参照して説明する工程が順次実施される。以下
に、積層セラミック電子部品31の製造方法について説
明する。
ンシート32を含む複数のセラミックグリーンシートが
用意される。この図1とともに、後述する図2ないし図
4においては、後の集合電子部品の分割工程において分
割されるべき分割線33の位置を1点鎖線で示してい
る。
する接合用ビアホール導体を位置させるための透孔34
が分割線33上に設けられ、また、内部回路用ビアホー
ル導体を位置させるための透孔35が設けられる。
ペーストを透孔34および35に充填することによっ
て、透孔34内に接合用ビアホール導体36が形成さ
れ、また、透孔35内に内部回路用ビアホール導体37
が形成される。
は、たとえば導電性ペーストによって、内部回路用導体
膜38が形成される。また、この工程において、後述す
る図3に示した外部端子電極39、および図7に示した
接続ランド40が、導電性ペーストによって形成され
る。また、図5には、内部回路用導体膜38の一例とし
てのグラウンド電極41の一部が図示されている。グラ
ウンド電極41も、内部回路用導体膜38の形成工程に
おいて形成される。このグラウンド電極41接合用ビア
ホール導体36に接続されている。
回路用ビアホール導体37、内部回路用導体膜38、外
部端子電極39、接続ランド40およびグラウンド電極
41を形成するための導電性ペーストに含まれる導電成
分としては、たとえば、Ag、Ag/Pd、Ag/P
t、CuまたはCuOを主成分とするものが用いられ
る。
層し、積層方向にプレスすることによって、図3に示す
ような生の集合電子部品42が得られる。生の集合電子
部品42は、互いに対向する第1および第2の主面43
および44を有している。図3では、外部端子電極39
が形成された第2の主面44側から生の集合電子部品4
2が図示されている。図3において図示しないが、第1
の主面43上には、図7に示した接続ランド40が形成
されている。
2に備える複数のセラミックグリーンシート32のすべ
てに接合用ビアホール導体36が形成され、これら接合
用ビアホール導体36が生の集合電子部品42の厚み方
向に連なり、第1の主面43から第2の主面44に至る
まで貫通した状態で設けられている。
の実施形態とは異なり、生の集合電子部品42の厚み方
向の一部にのみ形成されてもよい。
部回路用ビアホール導体37および内部回路用導体膜3
8の形成態様は一例に過ぎない。したがって、内部回路
用ビアホール導体37および内部回路用導体膜38の形
成態様は、通常、セラミックグリーンシート32毎に異
なり、また、内部回路用ビアホール導体37および内部
回路用導体膜38のいずれもが形成されないセラミック
グリーンシート32が生の集合電子部品42において積
層されることもある。
あって、接合用ビアホール導体36を分割する位置に、
第1および第2の主面43および44間を貫通する貫通
孔45が形成される。貫通孔45の形態状態が、図5に
拡大された平面図で示されている。貫通孔45の形成に
よって、接合用ビアホール導体36は、貫通孔45の内
面の一部上に露出する状態となり、この接合用ビアホー
ル導体36の露出する部分によって接合用電極46が与
えられる。
る。
接続ランド40および接合用電極46に対して、たとえ
ば、Ni/Sn、Ni/AuまたはNi/半田等のめっ
きが施される。
示されているように、集合電子部品42の第1の主面4
3側に、いくつかの搭載部品47が実装される。これら
搭載部品47は、接続ランド40に半田付けされる。
通る分割線33に沿って分割され、それによって、図6
および図7に示すような複数の電子部品本体48が取り
出される。この分割に際しては、いわゆるチョコレート
ブレークが適用される。このチョコレートブレークを容
易に進めることができるように、集合電子部品42の第
1および/または第2の主面43および/または44に
は、図示しないが、分割線33に沿って溝を形成してお
くことが好ましい。
44側から図示され、図7には、電子部品本体48が第
1の主面43側から図示されている。電子部品本体48
の側面49には、貫通孔45を分割して形成された切欠
き50が、第1の主面43から第2の主面44にまで延
びるように設けられている。これら切欠き50の内面の
一部には、接合用ビアホール導体36を分割して得られ
た接合用電極46が形成されている。
部品47を覆うように、カバー51が取り付けられる。
カバー51は、器状をなしていて、その開口が電子部品
本体48の第1の主面43側に向けられた状態で配置さ
れる。
れら脚部52は、それぞれ、切欠き50内に位置され
る。この状態において、カバー51が金属から構成され
る場合には、脚部52を、半田または導電性接着剤(図
示せず。)によって接合用電極46に接合することによ
り、カバー51が電子部品本体48に固定される。
ク電子部品31が高周波用途に向けられる場合には、他
の電子部品との高周波信号の輻射やノイズ干渉を防ぐた
め、および、加工しやすく安価なものとするためには、
たとえば、リン青銅や42アロイ(42Ni/Fe)や
50アロイ(50Ni/Fe)等の金属を用いることが
好ましい。
のために半田が用いられる場合には、カバー51側に、
予め半田めっきまたは錫めっき等を施しておくことが好
ましい。
ク電子部品31が完成される。
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の変形例が可能である。
子部品42の外表面上に形成される外部端子電極39ま
たは接続ランド40は、セラミックグリーンシート32
の段階で形成されたが、焼成前または焼成後の集合電子
部品42の外表面上に形成するようにしてもよい。
品42の状態で搭載部品47を実装したが、集合電子部
品42を分割して、個々の電子部品本体48の状態にし
てから、搭載部品47を実装するようにしてもよい。
を、分割後の電子部品本体48に対して取り付けるよう
にしたが、分割前の集合電子部品42の状態でカバー5
1を取り付けるようにしてもよい。
される接合用電極46およびカバー51の脚部52につ
いては、その位置および数等を任意に変更することがで
きる。
ール導体36が矩形の断面形状を有し、かつ貫通孔45
が矩形の断面形状を有していたが、これらの形状は、任
意に変更することができる。
面形状を有する接合用ビアホール導体36を分割するよ
うに、断面形状が円形の貫通孔45が設けられても、図
11に示すように、断面形状が円形の接合用ビアホール
導体36を分割するように断面形状が矩形の貫通孔45
が設けられてもよい。
ール導体36が透孔34を充填するように形成された
が、図12に示すように、透孔34を充填せずに透孔3
4の内周面上にのみ導電性ペーストが付与されることに
よって、透孔34内であって透孔34の内周面上にのみ
接合用ビアホール導体36が形成されてもよい。この場
合には、図13に示すように、貫通孔45が分割線33
上に形成されたとき、貫通孔45の側方へ連通するよう
に、接合用ビアホール導体36によって規定される凹部
53が延びる状態となる。そして、接合用ビアホール導
体36は、貫通孔45の内面の一部上に露出するととも
に、上述した凹部53において露出する状態となる。
用ビアホール導体を分割するように貫通孔を設け、これ
によって、電子部品本体の側面に切欠きを形成するとと
もに、この切欠きの内面の一部に接合用電極が形成され
るので、器状のカバーを、その開口が電子部品本体側に
向けられた状態で配置しながら、カバーに設けられた脚
部を切欠き内に位置させ、かつ、脚部を接合用電極に接
合することによって、カバーを電子部品本体に固定する
ことができる。
体の、カバーが配置される側とは逆の主面上に設けられ
ていても、積層セラミック電子部品の平面寸法を増大さ
せることなく、カバーを取り付けることができる。ま
た、電子部品本体上に搭載される搭載部品のための実装
面積を狭くすることなく、カバーを取り付けることがで
きる。
製造方法によれば、集合電子部品を分割して複数の電子
部品本体を取り出す工程を採用しながら、接合用ビアホ
ール導体を分割するように貫通孔を設け、この貫通孔を
通る分割線に沿って分割するようにしているので、分割
にあたり、接合用ビアホール導体が不所望に分割された
り剥がれたりすることがなく、常に適正な状態で接合用
電極を形成することができる。
を分割して得られた接合用電極は、切欠きの内面に埋め
込まれた状態となっているので、その剥離に対する強度
が高く、したがって、カバーの電子部品本体に対する固
定状態の信頼性も高くすることができる。
おいて、カバーが金属からなるとき、脚部と接合用電極
とを接合するため、半田または導電性接着剤を用いるこ
とができる。
の内部に位置するグラウンド電極と電気的に接続されて
いると、積層セラミック電子部品が配線基板上に実装さ
れたとき、このようなグラウンド電極は配線基板側のグ
ラウンド電位と電気的に接続されることになるので、接
合用電極を介して、カバーも配線基板側のグラウンド電
位と電気的に接続されることになる。したがって、積層
セラミック電子部品全体としてのグラウンドを強化する
ことができ、積層セラミック電子部品の高周波特性を向
上させることができる。
子部品31を製造するために用意されるセラミックグリ
ーンシート32を示す斜視図である。
接合用ビアホール導体36等を形成した状態を示す斜視
図である。
積層して得られた生の集合電子部品42を示す斜視図で
ある。
5を設けた状態を示す斜視図である。
大して示す平面図である。
れた電子部品本体48を第2の主面44側から示す斜視
図である。
3側から示す斜視図である。
バー51を取り付けて得られた積層セラミック電子部品
31を示す斜視図である。
す正面図である。
ので、集合電子部品42における、接合用ビアホール導
体36および貫通孔45が設けられた部分を示す平面図
である。
めのもので、図10に相当する部分を示す平面図であ
る。
めのもので、図3に示した段階に相当する段階にある生
の集合電子部品42の一部を示す平面図である。
孔45を設けた状態を示す平面図である。
ック電子部品1の実装状態を示す正面図である。
ラミック電子部品11の実装状態を示す正面図である。
においてカバー21の取付状態を説明するための図解的
断面図である。
るためのもので、積層セラミック電子部品25における
電極29が形成された部分を示す斜視図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 複数のセラミック層を積層した構造を有
し、かつ互いに対向する第1および第2の主面とこれら
第1および第2の主面間を連結する側面とを有する、電
子部品本体を備え、 前記側面には、前記第1の主面から前記第2の主面にま
で延びる切欠きが設けられ、前記切欠きの内面の一部に
は、接合用ビアホール導体を分割して得られた接合用電
極が形成され、 前記第1の主面上には、搭載部品が実装され、 前記搭載部品を覆うように、器状のカバーがその開口を
前記電子部品本体側に向けた状態で配置され、前記カバ
ーには、前記切欠き内に位置される脚部が設けられ、前
記カバーは、前記脚部が前記接合用電極に接合されるこ
とによって、前記電子部品本体に固定され、 当該積層セラミック電子部品を配線基板に接続するため
の外部端子電極が前記第2の主面上に形成されている、
積層セラミック電子部品。 - 【請求項2】 前記カバーは金属からなり、前記脚部と
前記接合用電極とは半田または導電性接着剤によって接
合されている、請求項1に記載の積層セラミック電子部
品。 - 【請求項3】 前記接合用電極は、前記電子部品本体の
内部に位置するグラウンド電極と電気的に接続されてい
る、請求項2に記載の積層セラミック電子部品。 - 【請求項4】 複数のセラミック層を積層した構造を有
し、かつ互いに対向する第1および第2の主面を有し、
所定の分割線に沿って前記主面と直交する方向に分割す
ることによって、請求項1ないし3のいずれかに記載の
複数の積層セラミック電子部品に備える前記電子部品本
体を取り出せるようにされている、集合電子部品であっ
て、 前記分割線を跨がるように、前記接合用ビアホール導体
が設けられるとともに、前記接合用ビアホール導体を分
割するように、前記第1および第2の主面間を貫通する
貫通孔が設けられ、前記貫通孔によって分割された前記
接合用ビアホール導体の各分割部分をもって前記接合用
電極が与えられている、集合電子部品。 - 【請求項5】 請求項1ないし3のいずれかに記載の積
層セラミック電子部品の製造方法であって、 複数のセラミックグリーンシートを積層した構造を有
し、前記接合用電極となる前記接合用ビアホール導体が
設けられた、生の集合電子部品を作製する工程と、 生の前記集合電子部品の前記接合用ビアホール導体を分
割する位置に、生の前記集合電子部品の互いに対向する
第1および第2の主面間を貫通する貫通孔を形成するこ
とによって、前記接合用ビアホール導体を前記貫通孔の
内面の一部上に露出させる工程と、 生の前記集合電子部品を焼成する工程と、 前記集合電子部品を、前記貫通孔を通る分割線に沿って
分割し、それによって、前記貫通孔を分割して形成され
た切欠きの内面の一部に、前記接合用ビアホール導体を
分割して得られた前記接合用電極が形成された、複数の
前記電子部品本体を取り出す工程と、 前記電子部品本体の前記第1の主面上に、搭載部品を実
装する工程と、 前記搭載部品を覆うように、前記カバーをその開口が前
記電子部品本体側に向けられた状態で配置し、かつ、前
記脚部を前記切欠き内に位置させるとともに、前記脚部
を前記接合用電極に接合することによって、前記カバー
を前記電子部品本体に固定する工程と、 前記集合電子部品の前記第2の主面を与える前記セラミ
ックグリーンシートの一方主面上または前記集合電子部
品の前記第2の主面上に、前記外部端子電極を形成する
工程とを備える、積層セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項6】 前記生の集合電子部品を作製する工程
は、複数の前記セラミックグリーンシートを用意する工
程と、特定の前記セラミックグリーンシートに前記接合
用ビアホール導体を位置させるための透孔を設ける工程
と、前記透孔内に前記接合用ビアホール導体を形成する
工程と、特定の前記セラミックグリーンシート上に内部
回路用導体膜を形成する工程と、複数の前記セラミック
グリーンシートを積層する工程とを備える、請求項5に
記載の積層セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項7】 前記透孔内に接合用ビアホール導体を形
成する工程において、前記接合用ビアホール導体は、前
記透孔を充填するように形成される、請求項6に記載の
積層セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項8】 前記接合用ビアホール導体を位置させる
ための透孔を設ける工程において、内部回路用ビアホー
ル導体を位置させるための透孔を設ける工程が実施され
る、請求項6または7に記載の積層セラミック電子部品
の製造方法。 - 【請求項9】 前記搭載部品を実装する工程は、前記集
合電子部品の状態にある前記電子部品本体に対して実施
される、請求項5ないし8のいずれかに記載の積層セラ
ミック電子部品の製造方法。 - 【請求項10】 前記カバーを電子部品本体に固定する
工程は、分割後の前記電子部品本体に対して実施され
る、請求項5ないし9のいずれかに記載の積層セラミッ
ク電子部品の製造方法。
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