JP2003166827A - 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化しても温度ドリフトの性能劣化を防止
することのできる振動ジャイロおよびそれを用いた電子
装置を提供する。 【解決手段】 振動子２を支持する支持部材３、４、
５、６の他端を固定する筐体１１において、樹脂の内部
にインサートモールドされた金属製の剛性補強板１２を
備える。剛性補強板１２は、支持部材３、４、５、６と
筐体１１との固定部３ａ、４ａ、５ａ、６ａの近傍間に
連続して形成される。 【効果】 筐体１１の剛性が向上することによって振動
子の振動漏れが防止でき、温度ドリフトの性能劣化の防
止を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は振動ジャイロおよび
それを用いた電子装置、たとえばビデオカメラの手ぶれ
補正装置やナビゲーションシステムなどに用いられる振
動ジャイロおよびそれを用いた電子装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１１に、従来の振動ジャイロの概略構
成を表す斜視図を示す。図１１において、振動ジャイロ
１は、圧電体セラミックスからなる柱状の振動子２と、
振動子２に接続された金属製の支持部材３、４、５、６
と、各支持部材３、４、５、６が固定された筐体７から
構成されている。筐体７は絶縁性の樹脂を略枠状に形成
して構成されており、各支持部材３、４、５、６が振動
子２の幅方向両側に伸びてインサートモールドによって
筐体７に固定されることによって、振動子２は筐体７の
中央部近傍に保持されている。各支持部材３、４、５、
６と筐体７との固定部をそれぞれ固定部３ａ、４ａ、５
ａ、６ａと呼ぶ。振動子２は厚み方向に両端開放の屈曲
振動するように構成されており、各支持部材３、４、
５、６はそれぞれ振動子２の２つのノード付近に固定さ
れている。

【０００３】なお、振動ジャイロ１においては振動子２
の下部側のみに支持部材が固定されているが、実際には
振動子２の上部側にも筐体７との間に支持部材が固定さ
れることになる。

【０００４】また、各支持部材３、４、５、６は、支持
部材３と４、および支持部材５と６をそれぞれ連続した
１本の部材で構成する場合もある。

【０００５】このように構成された振動ジャイロ１にお
いては、振動子２の上下面に所定の電極（図示せず）が
形成されており、その電極に支持部材を介して駆動信号
を印加することによって振動子２をその厚み方向に屈曲
振動させる。このように屈曲振動する振動子２に、その
長手方向を回転の軸とする角速度が加わると、コリオリ
力によって振動子２はその幅方向に屈曲振動する。この
振動子２の幅方向の屈曲振動の大きさを、振動子２に形
成されたコリオリ力検出用の電極（図示せず）とそれに
接続された支持部材を介して検出することによって、振
動ジャイロ１に加わっている角速度の大きさを検出する
ことができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一般の電子部品と同様
に、振動ジャイロにも小型化の市場要求がある。しかし
ながら、振動ジャイロは運動する質点に加わるコリオリ
力を検出するという動作原理上、小型化による振動子を
保持する筐体の軽量化によって振動子の振動漏れが大き
くなり、温度ドリフトが大きくなるという問題がある。
しかも、支持部材を振動子に駆動信号を印加したり検出
信号を取り出したりするリードとしても利用するため、
筐体を金属製にして重量化を図ることもできない。

【０００７】本発明は上記の問題点を解決することを目
的とするもので、小型化しても温度ドリフトの性能劣化
を防止することのできる振動ジャイロおよびそれを用い
た電子装置を提供する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動ジャイロは、振動子と、該振動子のノ
ード付近に固定された複数の支持部材を介して前記振動
子を保持する筐体とを備えた振動ジャイロにおいて、前
記筐体が前記複数の支持部材を固定する複数の固定部を
有するとともに、少なくとも２つの前記固定部の近傍間
に連続して形成された金属製の剛性補強板を備えたこと
を特徴とする。

【０００９】また、本発明の振動ジャイロは、前記振動
子が柱状に形成され、前記複数の支持部材が前記振動子
に固定された位置から前記振動子の幅方向両側に伸びて
前記筐体に固定されてなり、前記剛性補強板が、前記振
動子の幅方向一方側に伸びた支持部材の固定部の近傍と
前記振動子の幅方向他方側に伸びた支持部材の固定部の
近傍の間に連続して形成されてなることを特徴とする。

【００１０】また、本発明の振動ジャイロは、前記振動
子が柱状に形成されてその長手方向に複数の振動のノー
ドを有し、前記複数の支持部材が各ノード毎に前記振動
子に固定された位置から前記振動子の幅方向両側に伸び
て前記筐体に固定されてなり、前記剛性補強板が、前記
振動子の幅方向一方側に伸びた複数の支持部材の固定部
の近傍間、および前記振動子の幅方向他方側に伸びた複
数の支持部材の固定部の近傍間に、それぞれ連続して形
成されてなることを特徴とする。

【００１１】そして、本発明の振動ジャイロは、前記剛
性補強板が、前記振動子の厚み方向に直交する面を有す
ることを特徴とする。あるいは、前記剛性補強板が、前
記振動子の長手方向に直交する面を有することを特徴と
する。さらに、前記剛性補強板が、前記振動子の幅方向
に直交する面を有することを特徴とする。

【００１２】また、本発明の振動ジャイロは、前記筐体
が絶縁性の樹脂からなり、前記剛性補強板が前記筐体に
インサートモールドされていることを特徴とする。

【００１３】また、本発明の振動ジャイロは、前記筐体
が絶縁性の樹脂からなり、前記剛性補強板が前記筐体に
接着されていることを特徴とする。

【００１４】また、本発明の振動ジャイロは、前記筐体
が前記振動子および前記複数の支持部材をその中に収容
する略枠状に形成されており、前記剛性補強板が前記振
動子および前記複数の支持部材を保護するカバーとして
構成されていることを特徴とする。

【００１５】また、本発明の振動ジャイロは、前記剛性
補強板の熱膨張係数を前記振動子の熱膨張係数に略一致
させたことを特徴とする。

【００１６】また、本発明の振動ジャイロは、前記剛性
補強板が接地されていることを特徴とする。

【００１７】そして、本発明の電子装置は、上記のいず
れかに記載の振動ジャイロを用いたことを特徴とする。

【００１８】このように構成することにより、本発明の
振動ジャイロにおいては、振動子の振動漏れを少なく
し、温度ドリフトの性能劣化の防止を図ることができ
る。

【００１９】また、本発明の電子装置においては、高性
能化を図ることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１に、本発明の振動ジャイロの
一実施例の斜視図を示す。図１において、図１１と同一
もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省
略する。

【００２１】図１に示した本発明の振動ジャイロ１０に
おいては、従来の振動ジャイロ１における筐体７に代え
て同じく略枠状に形成された筐体１１を備えている。各
支持部材３、４、５、６は筐体１１に固定されており、
その固定部は従来例の場合と同様にそれぞれ固定部３
ａ、４ａ、５ａ、６ａと呼ぶ。そして、筐体１１の筐体
７との違いは、樹脂の内部にインサートモールドされた
金属製の剛性補強板１２を備えていることである。そし
て、剛性補強板１２は振動子２と略一致する熱膨張係数
を備えており、しかも図示は省略するが接地されてい
る。

【００２２】ここで、図２に、剛性補強板１２の構成を
表す斜視図を示す。図２は、図１と同じ位置から見た斜
視図である。

【００２３】図２に示すように、剛性補強板１２は、振
動子２の長手方向に伸びるとともに振動子２の幅方向に
直交する面を有する補強部材１３および１４と、振動子
２の幅方向に伸びて補強部材１３および１４を互いに接
続する補強部材１５および１６と、それぞれ補強部材１
５および１６に接続されてなり、振動子２の幅方向に伸
びるとともに振動子２の長手方向に直交する面を有する
補強部材１７および１８からなる。そして、各補強部材
１３、１４、１５、１６、１７、１８は全て１枚の金属
板を折り曲げて形成されている。

【００２４】ここで、図３に、図１に示す振動ジャイロ
１０のＡ−Ａ断面図を示す。これは、図１において、筐
体１１の一部を振動子２の厚み方向に、支持部材４、６
の固定部４ａ、６ａを含んで、しかも図２に示した剛性
補強板１２の補強部材１３をスライスするような向き
に、振動子２の長手方向に沿って切断する断面図であ
る。また、図４に同じくＢ−Ｂ断面図を示す。これは、
図１において、振動ジャイロ１０を振動子２の厚み方向
に、支持部材５、６の固定部５ａ、６ａを含んで、振動
子２の幅方向に沿って切断する断面図である。なお、図
３および図４においては、図が煩雑にならないように、
剛性補強板１２の見えない部分のみを破線で示してい
る。

【００２５】図３よりわかるように、剛性補強板１２の
補強部材１３は支持部材４の固定部４ａおよび支持部材
６の固定部６ａに近接して形成されている。すなわち、
剛性補強板１２は固定部４ａおよび６ａの近傍に位置し
ている。見方を変えれば、剛性補強板１２の補強部材１
３は、振動子２の幅方向一方側に伸びた２つの支持部材
４、６の固定部４ａ、６ａの近傍間に連続して形成され
ていることがわかる。

【００２６】また、各支持部材が振動子２の幅方向に対
称に形成され、しかも剛性補強板１２も振動子２の幅方
向に対称に形成されていることからわかるように、剛性
補強板１２の補強部材１４は、振動子２の幅方向他方側
に伸びた２つの支持部材３、５の固定部３ａ、５ａの近
傍間に連続して形成されていることがわかる。

【００２７】このように、剛性補強板１２が、振動子２
の幅方向一方側に伸びた２つの支持部材の固定部の近傍
間、および振動子２の幅方向一方側に伸びた２つの支持
部材の固定部の近傍間に、それぞれ連続して形成されて
いるため、２つの固定部４ａと６ａの間、および２つの
固定部３ａと５ａの間の剛性が向上する。特に補強部材
１３および１４は振動子２の幅方向に直交する面を有す
るため、筐体１１の、振動子２の厚み方向への屈曲に関
する剛性が特に向上し、振動子２の特に駆動による振動
が筐体１１を介して漏れるのを防止することができる。

【００２８】ところで、剛性補強板１２においては、補
強部材１３、１４は振動子２の幅方向に伸びる補強部材
１５および１６を介して接続されている。これより、剛
性補強板１２は、振動子２の幅方向一方側に伸びた支持
部材４、６の固定部４ａ、６ａの近傍と振動子２の幅方
向他方側に伸びた支持部材３、５の固定部３ａ、５ａの
近傍の間に連続して形成されてなることがわかる。その
ため、固定部４ａおよび６ａと固定部３ａおよび５ａの
間の剛性が向上する。特に、補強部材１５、１６が振動
子２の厚み方向に直交する面を有するため、巨体１１
の、振動子２の幅方向への屈曲に関する剛性が特に向上
し、振動子２の特にコリオリ力による振動が筐体１１を
介して漏れるのを防止することができる。

【００２９】さらに、剛性補強板１２においては、補強
部材１５、１６に連続して形成されている補強部材１
７、１８が振動子の長手方向に直交する面を有するた
め、筐体１１の、振動子２の厚み方向への屈曲に関する
剛性が特に向上し、振動子２の振動が筐体１１を介して
漏れるのを防止することができる。

【００３０】また、振動ジャイロ１０においては、筐体
１１にインサートモールドされた剛性補強板１２の熱膨
張係数を振動子２の熱膨張係数に近いものにしている。
具体的な数値を上げれば、振動子２を構成する圧電体の
熱膨張係数が１℃あたり１．１×１０ｅ−６なのに対し
て、筐体１１を構成する樹脂の熱膨張係数が５〜５５×
１０ｅ−６で、圧電体の熱膨張係数に比較的近いときも
あれば遙かに異なるときもあり、個体差が大きく制御で
きない。それに対して剛性補強板１２の熱膨張係数は
４．５×１０ｅ−６で、圧電体の熱膨張係数に近く、し
かも安定している。そのため、振動ジャイロの温度ドリ
フトがの性能劣化を防止することができる。ここで言う
温度ドリフトとは、角速度が印加されないときの出力信
号（ヌル電圧）の温度変化のことである。

【００３１】ここで、図５に、従来の振動ジャイロ１に
おける温度ドリフトと本発明の振動ジャイロ１０におけ
る温度ドリフトをいくつかのサンプルで測定したものを
対比した特性図を示す。図５（ａ）が振動ジャイロ１
の、図５（ｂ）が振動ジャイロ１０の温度ドリフトをそ
れぞれ示している。なお、図５においては、温度ドリフ
トを電圧ではなく、それに対応する角速度で表記してい
る。図５より明らかなように、剛性補強板１２を含む筐
体１１を有する本発明の振動ジャイロ１０の方がドリフ
ト量が約半分になり、従来の振動ジャイロ１に比べてよ
くなっていることがわかる。

【００３２】また、振動ジャイロ１０においては、筐体
１１にインサートモールドされた剛性補強板１２が接地
されている。剛性補強板１２は振動子２を略取り囲むよ
うに形成されているため、振動子２に対するシールド板
の役割を果たす。これによって、角速度の測定が外部か
ら入射される電磁波によって妨害されるのを防止するこ
とができる。

【００３３】なお、振動ジャイロ１０においては、筐体
１１に剛性補強板１２をインサートモールドして一体化
しているが、必ずしもインサートモールドに限るもので
はなく、それぞれ別体として形成された筐体と剛性補強
板を接着剤などを介して貼り付けて一体にするような構
成でも構わないもので、同様の作用効果を奏するもので
ある。

【００３４】また、剛性補強板の熱膨張係数は必ずしも
振動子の熱膨張係数と略一致していなければならないも
のではなく、剛性補強板の接地に関しても必ずしも接地
していなくても構わないものである。

【００３５】また、剛性補強板１２においては、２つの
補強部材１３および１４を２つの補強部材１５および１
６を介して互いに接続しているために、中央部に穴のあ
いた略枠状となっている。これは、筐体１１に振動子２
を保持した後で、振動子２を下部側からトリミング調整
する必要がある場合に備えたものだが、必ずしも枠状に
形成する必要はなく、１枚の補強部材で構成されていて
も構わず、逆に３枚以上の補強部材で構成されていても
構わないものである。さらに、２つの補強部材１５、１
６は平坦な板状に形成されているが、例えば振動子２の
幅方向に伸びるリブを形成することによって折り曲げ方
向の剛性を高めたものでも構わないものである。

【００３６】さらにまた、振動ジャイロ１０において
は、筐体１１にインサートモールドされた剛性補強板１
２で、振動子２の幅方向一方側に伸びた支持部材の固定
部の近傍と振動子の幅方向他方側に伸びた支持部材の固
定部の近傍の間に連続して形成されるという構成と、振
動子２の幅方向いずれか一方側に伸びた複数の支持部材
の固定部の近傍間に連続して形成されるという構成の両
方を実現しているが、いずれか一方だけでもよい。ま
た、剛性補強板１２は振動子２の長手方向に直交する面
と幅方向に直交する面と厚み方向に直交する面の全てを
備えているが、いずれか１つあるいは２つだけでもよ
く、１つもなくてもよい。

【００３７】図６および図７に、剛性補強板の別の実施
例の斜視図を示す。図６および図７において、剛性補強
板２０および２１は、剛性補強板１２と同じく筐体１１
にインサートモールドされるもので、図２と同一の部分
には同じ記号を付している。

【００３８】図６に示した剛性補強板２０においては、
剛性補強板１２では備えていた補強部材１７および１８
が存在しない。それでも、補強部材１３、１４、１５、
１６を１枚の金属板を折り曲げて形成することによっ
て、振動子の幅方向一方側に伸びた支持部材の固定部の
近傍と振動子の幅方向他方側に伸びた支持部材の固定部
の近傍の間に連続して形成されるという構成と、振動子
の幅方向いずれか一方側に伸びた複数の支持部材の固定
部の近傍間に連続して形成されるという構成の両方を実
現している。また、振動子の幅方向に直交する面と厚み
方向に直交する面を備えている。

【００３９】また、図７に示した剛性補強板２１におい
ては、剛性補強板２０からさらに補強部材１５および１
６を取り去り、２枚の補強部材１３および１４のみから
構成されている。このように構成された剛性補強板２１
においても、振動子の幅方向いずれか一方側に伸びた複
数の支持部材の固定部の近傍間に連続して形成されると
いう構成を実現している。また、振動子の幅方向に直交
する面を備えている。

【００４０】図８に、本発明の振動ジャイロの別の実施
例の展開斜視図を示す。図８において、図１１と同一も
しくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省略
する。

【００４１】図８において、振動ジャイロ３０は、従来
の振動ジャイロ１における筐体７に代えて同じく略枠状
に形成された筐体３１を備えている。各支持部材３、
４、５、６は筐体３１に固定されており、その固定部は
従来例の場合と同様にそれぞれ固定部３ａ、４ａ、５
ａ、６ａと呼ぶ。そして、筐体３１の筐体７との違い
は、筐体３１の上部に、後述の支持部材３２および３３
を固定することによって固定部３２ａおよび３３ａとな
る凹部が形成されている点だけである。

【００４２】振動ジャイロ３０においては、振動ジャイ
ロ１や１０においては省略した、支持部材３２および３
３を備えている。支持部材３２および３３は、その中央
部が振動子２の上部側に固定され、両端が筐体３１の上
部に形成された凹部に接着されることによって固定され
る。なお、支持部材３２および３３は、それぞれ１つの
材料で構成されているが、振動子の一点と筐体の一点と
の間に設けられる支持部材という見方をする場合には、
実質的にそれぞれ２つの支持部材で構成されていると見
ることができる。

【００４３】振動ジャイロ３０においては、さらに筐体
３１の上部に接着、固定されることによって、振動子２
および各支持部材を保護するとともに剛性補強板として
も機能する金属製のカバー３４が設けられている。カバ
ー３４は１枚の金属板を折り曲げ加工して構成されてお
り、振動子２と略一致する熱膨張係数を備えており、し
かも接地されている。カバー３４は、振動子の幅方向に
略直交する面と振動子の厚み方向に直交する面を備えて
いる。なお、カバー３４の上部に設けられた穴は、振動
子２を上部側からトリミング調整する必要がある場合に
備えたものだが、必ずしもなくても構わない。

【００４４】カバー３４は、振動子の厚み方向に直交す
る面を、筐体３１の上部に貼り付けて固定されている。
そのため、カバー３４は、筐体３１の上部近傍に位置す
る固定部３２ａや３３ａの近傍に位置している。すなわ
ち、カバー３４は、振動子２の幅方向一方側および他方
側に伸びた２つの支持部材３２および３３の固定部３２
ａおよび３３ａの近傍間にそれぞれ連続して形成されて
いることがわかる。また、カバー３４は、振動子２の幅
方向一方側に伸びた支持部材３２、３３の固定部３２
ａ、３３ａの近傍と振動子２の幅方向他方側に伸びた支
持部材３２、３３の固定部３２ａ、３３ａの近傍の間に
連続して形成されていることがわかる。

【００４５】このように、カバー３４は、振動ジャイロ
１０における剛性補強板１２とほぼ同様の構成および機
能を有しており、筐体３１の剛性向上に寄与しているこ
とがわかる。したがって、振動ジャイロ３０において
は、振動子２の振動が筐体３１を介して漏れるのを防止
することができる。また、温度ドリフトの性能劣化の防
止を図ることができる。

【００４６】なお、振動ジャイロ３０においては、筐体
３１に振動ジャイロ１０の場合のような剛性補強板が備
わっていないが、例えば振動ジャイロ１０に剛性補強板
の機能を有するカバーを設ける構成を採用しても構わな
い。たとえば、筐体に剛性補強板を備える場合にはカバ
ーによる剛性補強の機能は必ずしも必要十分なものでな
くても構わないので、このような場合のカバーとして
は、例えば図９に示すカバー３５のように１枚の平坦な
板状に形成されていても構わないものである。この場合
には筐体の剛性をさらに向上させることができ、振動子
の振動漏れをさらに小さくしたり、温度ドリフトのさら
なる安定化を図ることができる。

【００４７】図１０に、本発明の電子装置の一実施例で
あるビデオカメラの斜視図を示す。図１０において、ビ
デオカメラ４０は、手ぶれ補正用に本発明の振動ジャイ
ロ１０を備えている。

【００４８】このように構成されたビデオカメラ４０に
おいては、本発明の振動ジャイロ１０を備えているため
に高性能化を図ることができる。

【００４９】なお、本発明の電子装置としては、ビデオ
カメラに限られるものではなく、振動ジャイロを同じく
手ぶれ補正用に用いるデジタルカメラや、位置検出に用
いるナビゲーションシステム、自動車の横転検出システ
ムなど、振動ジャイロを用いるあらゆる電子装置を含む
ものである。

【００５０】

【発明の効果】本発明の振動ジャイロによれば、筐体に
おいて複数の支持部材を固定する複数の固定部の中の少
なくとも２つの固定部の近傍間に連続して形成された金
属製の剛性補強板を備えることによって、筐体の剛性を
向上させ、振動子の振動のもれを防止し、温度ドリフト
の性能劣化の防止を図ることができる。

【００５１】また、本発明の電子装置によれば、本発明
の振動ジャイロを用いることによって、高性能化を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動ジャイロの一実施例を示す斜視図
である。

【図２】図１の振動ジャイロの筐体に含まれる剛性補強
板を示す斜視図である。

【図３】図１の振動ジャイロのＡ−Ａ断面図である。

【図４】図１の振動ジャイロのＢ−Ｂ断面図である。

【図５】図１の振動ジャイロの温度ドリフトを示す特性
図である。

【図６】剛性補強板の別の実施例を示す斜視図である。

【図７】剛性補強板のさらに別の実施例を示す斜視図で
ある。

【図８】本発明の振動ジャイロの別の実施例を示す展開
斜視図である。

【図９】カバーの別の実施例を示す斜視図である。

【図１０】本発明の電子装置の一実施例を示す斜視図で
ある。

【図１１】従来の振動ジャイロを示す斜視図である。

【符号の説明】

２…振動子 ３、４、５、６、３２、３３…支持部材 ３ａ、４ａ、５ａ、６ａ、３２ａ、３３ａ…固定部 １０、３０…振動ジャイロ １１、３１…筐体 １２、２０、２１…剛性補強板 １３、１４、１５、１６、１７、１８…補強部材 ３４、３５…カバー ４０…ビデオカメラ

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子と、該振動子のノード付近に固定
   された複数の支持部材を介して前記振動子を保持する筐
   体とを備えた振動ジャイロにおいて、 前記筐体は前記複数の支持部材を固定する複数の固定部
   を有するとともに、少なくとも２つの前記固定部の近傍
   間に連続して形成された金属製の剛性補強板を備えたこ
   とを特徴とする振動ジャイロ。
2. 【請求項２】 前記振動子は柱状に形成され、前記複数
   の支持部材は前記振動子に固定された位置から前記振動
   子の幅方向両側に伸びて前記筐体に固定されてなり、 前記剛性補強板は、前記振動子の幅方向一方側に伸びた
   支持部材の固定部の近傍と前記振動子の幅方向他方側に
   伸びた支持部材の固定部の近傍の間に連続して形成され
   てなることを特徴とする、請求項１に記載の振動ジャイ
   ロ。
3. 【請求項３】 前記振動子は柱状に形成されてその長手
   方向に複数の振動のノードを有し、前記複数の支持部材
   は各ノード毎に前記振動子に固定された位置から前記振
   動子の幅方向両側に伸びて前記筐体に固定されてなり、 前記剛性補強板は、前記振動子の幅方向一方側に伸びた
   複数の支持部材の固定部の近傍間、および前記振動子の
   幅方向他方側に伸びた複数の支持部材の固定部の近傍間
   に、それぞれ連続して形成されてなることを特徴とす
   る、請求項１または２に記載の振動ジャイロ。
4. 【請求項４】 前記剛性補強板は、前記振動子の厚み方
   向に直交する面を有することを特徴とする、請求項２ま
   たは３に記載の振動ジャイロ。
5. 【請求項５】 前記剛性補強板は、前記振動子の長手方
   向に直交する面を有することを特徴とする、請求項２な
   いし４のいずれかに記載の振動ジャイロ。
6. 【請求項６】 前記剛性補強板は、前記振動子の幅方向
   に直交する面を有することを特徴とする、請求項２ない
   し５のいずれかに記載の振動ジャイロ。
7. 【請求項７】 前記筐体が絶縁性の樹脂からなり、前記
   剛性補強板が前記筐体にインサートモールドされている
   ことを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載
   の振動ジャイロ。
8. 【請求項８】 前記筐体が絶縁性の樹脂からなり、前記
   剛性補強板が前記筐体に接着されていることを特徴とす
   る、請求項１ないし６のいずれかに記載の振動ジャイ
   ロ。
9. 【請求項９】 前記筐体が前記振動子および前記複数の
   支持部材をその中に収容する略枠状に形成されており、
   前記剛性補強板が前記振動子および前記複数の支持部材
   を保護するカバーとして構成されていることを特徴とす
   る、請求項１ないし６のいずれかに記載の振動ジャイ
   ロ。
10. 【請求項１０】 前記剛性補強板の熱膨張係数を前記振
    動子の熱膨張係数に略一致させたことを特徴とする、請
    求項１ないし９のいずれかに記載の振動ジャイロ。
11. 【請求項１１】 前記剛性補強板が接地されていること
    を特徴とする、請求項１ないし１０のいずれかに記載の
    振動ジャイロ。
12. 【請求項１２】 請求項１ないし１１のいずれかに記載
    の振動ジャイロを用いたことを特徴とする電子装置。