JP2003123329A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2003123329A5 JP2003123329A5 JP2001320487A JP2001320487A JP2003123329A5 JP 2003123329 A5 JP2003123329 A5 JP 2003123329A5 JP 2001320487 A JP2001320487 A JP 2001320487A JP 2001320487 A JP2001320487 A JP 2001320487A JP 2003123329 A5 JP2003123329 A5 JP 2003123329A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- stamper
- resist layer
- resist
- conductive film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 18
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims description 8
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 241000135309 Processus Species 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320487A JP2003123329A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | スタンパー及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320487A JP2003123329A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | スタンパー及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003123329A JP2003123329A (ja) | 2003-04-25 |
| JP2003123329A5 true JP2003123329A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | 2004-12-24 |
Family
ID=19137873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001320487A Pending JP2003123329A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | スタンパー及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003123329A (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4717697B2 (ja) * | 2006-04-21 | 2011-07-06 | 九州日立マクセル株式会社 | 樹脂成形品の製造方法 |
| JP5055912B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-10-24 | ヤマハ株式会社 | 微細成形モールド及びその製造方法 |
| JP4944640B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2012-06-06 | 積水化学工業株式会社 | 微細構造金型の製造方法 |
-
2001
- 2001-10-18 JP JP2001320487A patent/JP2003123329A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1683205B1 (en) | A method for producing a light-emitting device | |
| JP5205866B2 (ja) | モールドの形成方法、回折格子の形成方法、および分布帰還型半導体レーザの製造方法 | |
| TW200402596A (en) | Stamper, pattern transferring method using the stamper, and method of forming a structure by a transferred pattern | |
| US20030108821A1 (en) | Microlens array fabrication | |
| US6352656B1 (en) | Manufacturing method for metallic stamper and metallic stamper and, manufacturing method for optical disk substrate with the use of the stamper and optical disk fabricated by the manufacturing method | |
| JPWO2008156009A1 (ja) | 光学素子及びその製造方法 | |
| JP4961941B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板およびその製造方法 | |
| JP5490216B2 (ja) | 光学素子及び光学素子の製造方法 | |
| JP2003123329A5 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | ||
| TWI306600B (en) | Fabrication method of stamper for optical information recording medium, master disk of stamper for optical information recording medium, and optical information recording medium | |
| JP2008233552A (ja) | パターン形成基板、パターン形成方法、並びに金型 | |
| JP2005038477A (ja) | 磁気記録媒体用スタンパーの製造方法および磁気記録媒体用スタンパーの製造装置 | |
| JPS6033504A (ja) | ブレ−ズド格子の製造方法 | |
| TW594225B (en) | Manufacturing method of light guiding micro structure | |
| JP2002008522A (ja) | 電子放出素子の製造方法及び装置、電子放出素子形成用原版の製造方法及び装置、電子放出素子形成用原版、並びに、フィールドエミッションディスプレイ | |
| JP7371225B2 (ja) | 構造体の製造方法及び構造体 | |
| JPH0688254B2 (ja) | 微細パターン複製用金型の製作方法 | |
| JP4262514B2 (ja) | 光学部材の製造方法 | |
| JP2658023B2 (ja) | 平板状情報記録担体の原盤作成方法 | |
| JP2012009776A (ja) | 基板作製方法 | |
| JP2001005168A (ja) | 近接場光露光用マスクおよびその作製方法 | |
| JPH02170994A (ja) | 微細パターン複製用金型の製作方法 | |
| JPH07113193A (ja) | 回折格子成形用金型の製造方法 | |
| JP2006286122A (ja) | 転写用原盤及びその製造技術 | |
| JP2002292635A (ja) | スタンパ製造方法及び導光板 |