JP2003114728A - 半導体装置の内部基準電圧生成回路及びこれを備える内部供給電圧生成回路 - Google Patents
半導体装置の内部基準電圧生成回路及びこれを備える内部供給電圧生成回路Info
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Abstract
る内部基準電圧生成回路及びこれを用い、温度変化によ
って内部供給電圧値を調節できる内部供給電圧生成回路
を提供する。 【解決手段】 第1入力端を介して入力される第1基準
電圧と第2入力端を介して入力される入力電圧とを差動
増幅し、出力端を介して内部基準電圧を出力する差動増
幅器を備える内部基準電圧生成回路。前記差動増幅器の
出力端と前記差動増幅器の第2入力端との間には第1抵
抗部が接続され、第2基準電圧と前記差動増幅器の第2
入力端との間には第2抵抗部が接続される。また、前記
内部基準電圧生成回路は温度変化に従って変化する電圧
を生じる温度依存可変電圧生成器を備え、前記第1抵抗
部または前記第2抵抗部の抵抗値が前記温度変化に従っ
て変化する電圧により制御されて可変となる。
Description
特に、半導体装置の内部基準電圧生成回路及び内部供給
電圧生成回路に関する。
いては、低電力動作及び安定した動作のために、半導体
メモリ装置の外部から印加される外部供給電圧から内部
供給電圧を生成し、この内部供給電圧がチップ内部の回
路全体の供給電圧源として用いられる。
によってトランジスタを流れる電流が変わり、これによ
り、トランジスタを備える回路の性能が変わる。例え
ば、温度が上がればトランジスタの強反転時に移動度が
減り、これにより、電流が小さくなる。その結果、回路
の動作速度が遅くなる。
置の性能変化を相殺すべく、内部供給電圧値を温度変化
に応じて変える技術が研究されてきている。すなわち、
高温では内部供給電圧値を上げて電流を増やし、低温で
は内部供給電圧値を下げて電流を少なくすることによ
り、温度変化に無関係にトランジスタの電流を一定に保
つことができる。従って、このような方法を用いれば、
半導体装置の性能が温度変化に無関係になる。
方法としてバンドギャップ基準生成器が用いられてきて
いる。図1は、通常のバンドギャップ基準生成器を示す
図である。基準電圧VREFは内部供給電圧を生じる回
路の基準電圧として与えられる。
ギャップ基準生成器は温度係数を任意に調整できること
から、温度変化に応じて基準電圧VREFの値を変える
ことができるという長所がある。しかし、このようなバ
ンドギャップ基準生成器は、外部供給電圧EVDDの変
化によって基準電圧VREF値が大きく変わるという短
所がある。
圧値の変化は得られないが、外部供給電圧の変化に無関
係により安定した動作を得るために、バンドギャップ基
準生成器に代えてCMOS基準電圧生成回路が用いられ
る傾向にある。図2は、通常のCMOS基準電圧生成回
路を示す図である。しかし、図2に示されたようなCM
OS基準電圧生成回路は、外部供給電圧EVDDの変化
に鈍感であり、しかも安定して動作するものの、温度依
存性を任意に調節できないという短所がある。
す回路図である。
成回路は、基準電圧VREFを受信して内部基準電圧V
REFPを生じる内部基準電圧生成回路31、内部基準
電圧VREFPと内部供給電圧IVDDとを比較する比
較器33、及び比較器33の出力信号に応答して、外部
供給電圧EVDDを受信して内部供給電圧IVDDを出
力するドライバ35を備える。
ドギャップ基準生成器もしくは図2に示されたCMOS
基準電圧生成回路から入力される電圧である。内部基準
電圧生成回路31は、差動増幅器31a、第1抵抗R
1、及び第2抵抗R2を含む。内部基準電圧生成回路3
1は抵抗値R1、R2の割合に従って基準電圧VREF
により内部基準電圧VREFPを生じ、内部基準電圧V
REFPは製造工程及び温度に鈍感なVREF×(1+
R1/R2)となる。
圧生成回路においては、VREF×(1+R1/R2)
が温度に鈍感であるがゆえに、温度変化によって内部基
準電圧VREFP値が調節できないという短所がある。
その結果、内部供給電圧IVDDも温度変化によって調
節できなくなる。
うとする技術的課題は、温度変化に従って内部基準電圧
値を調節できる半導体装置の内部基準電圧生成回路を提
供するところにある。
題は、温度変化に従って内部供給電圧値を調節できる半
導体装置の内部供給電圧生成回路を提供するところにあ
る。
るために、本発明の好適な第1の側面に係る内部基準電
圧生成回路は、第1入力端を介して入力される第1基準
電圧と第2入力端を介して入力される入力電圧とを差動
増幅し、出力端を介して内部基準電圧を出力する差動増
幅器と、前記差動増幅器の出力端と前記差動増幅器の第
2入力端との間に接続される第1抵抗部と、第2基準電
圧と前記差動増幅器の第2入力端との間に接続される第
2抵抗部とを備え、前記第1抵抗部の抵抗値が温度変化
に従って変化する電圧により可変となることを特徴とす
る。
PMOSトランジスタよりなり、前記PMOSトランジ
スタのゲート電圧が温度によって可変となる。
の好適な第2の側面に係る内部基準電圧生成回路は、第
1入力端を介して入力される第1基準電圧と第2入力端
を介して入力される入力電圧とを差動増幅し、出力端を
介して内部基準電圧を出力する差動増幅器と、前記差動
増幅器の出力端と前記差動増幅器の第2入力端との間に
接続される第1抵抗部と、第2基準電圧と前記差動増幅
器の第2入力端との間に接続される第2抵抗部とを備
え、前記第2抵抗部の抵抗値が温度変化に従って変化す
る電圧により可変となることを特徴とする。
NMOSトランジスタよりなり、前記NMOSトランジ
スタのゲート電圧が温度によって可変となる。
基準電圧生成回路及び前記本発明の好適な第2の側面に
係る内部基準電圧生成回路は、前記温度変化に従って変
化する電圧を生じる温度依存可変電圧生成器をさらに備
える。
は、第1入力端を介して入力される第3基準準電圧と第
2入力端を介して入力される電圧とを差動増幅し、出力
端を介して出力電圧を出力する差動増幅器と、前記差動
増幅器の出力端と前記差動増幅器の第2入力端との間に
接続される第1抵抗部と、前記第2基準電圧と前記差動
増幅器の第2入力端との間に接続される第2抵抗部と、
前記差動増幅器の出力電圧及び前記第3基準電圧に応答
して前記温度変化に従って変化する電圧を生じる可変電
圧生成器とを備えることを特徴とする。
発明の好適な第3の側面に係る内部供給電圧生成回路
は、温度変化に従って変化する内部基準電圧を生じる内
部基準電圧生成回路と、前記内部基準電圧とフィードバ
ックされる内部供給電圧とを比較する比較器と、前記比
較器の出力信号に応答して、外部供給電圧を受信して前
記内部供給電圧を出力するドライバとを備えることを特
徴とする。
に本発明の実施によって達成される目的は、本発明の好
ましい実施形態を例示する添付図面及び添付図面に記載
された内容を参照することによって十分に理解されよ
う。
ましい実施形態を説明することによって、本発明を詳細
に説明する。図中、同様な参照符号は同様な要素を表わ
す。
係る内部基準電圧生成回路を示す回路図である。
実施形態に係る内部基準電圧生成回路は、差動増幅器4
1、抵抗R2、抵抗の役割をするPMOSトランジスタ
P4、及び温度依存可変電圧生成器43を備える。
て入力される第1基準電圧VREF1と第2入力端I2
を介して入力される入力電圧VINとを差動増幅し、出
力端O1を介して内部基準電圧VREFPを出力する。
差動増幅器41は通常のネガティブフィードバック型の
ものであって、PMOSトランジスタP1〜P3及びN
MOSトランジスタN1〜N3を含む。
圧VSSと差動増幅器41の第2入力端I2との間に接
続される。PMOSトランジスタP4は差動増幅器41
の出力端O1と差動増幅器41の第2入力端I2との間
に接続され、PMOSトランジスタP4のゲートには温
度依存可変電圧生成器43の出力電圧VTEMPが印加
される。
電圧VREF2を受信して温度変化に従って変化する出
力電圧VTEMPを生じ、可変出力電圧VTEMPによ
りPMOSトランジスタP4の抵抗値を可変とする。第
3基準電圧VREF2は第1基準電圧VREF1と同じ
電圧値、または異なる電圧値でありうる。温度依存可変
電圧生成器43は、差動増幅器43a、抵抗の役割をす
るPMOSトランジスタP10、抵抗の役割をするPM
OSトランジスタP11、及び可変電圧生成器43bを
備える。
して入力される第3基準電圧VREF2と第2入力端I
4を介して入力される電圧とを差動増幅し、出力端O2
を介して出力電圧を出力する。差動増幅器43aは、差
動増幅器41と同様のネガティブフィードバック型のも
のであって、PMOSトランジスタP5〜P7及びNM
OSトランジスタN4〜N6を含む。
10は、差動増幅器43aの出力端O2と差動増幅器4
3aの第2入力端I4との間に接続され、PMOSトラ
ンジスタP10のゲート及びドレインが第2入力端I4
に共通接続される。抵抗の役割をするPMOSトランジ
スタP11は、第2基準電圧、すなわち接地電圧VSS
と差動増幅器43aの第2入力端I4との間に接続さ
れ、PMOSトランジスタP11のゲート及びドレイン
が接地電圧VSSに接続される。
トランジスタP11の大きさが同一に設計されれば、差
動増幅器43aの出力端O2を介して出力される電圧は
正確に2×VREF2となり、製造工程の変化及び温度
変化に鈍感になる。一方、PMOSトランジスタP10
及びPMOSトランジスタP11の代わりにNMOSト
ランジスタまたは抵抗が用いられても良い。
aの出力端O2から出力される電圧及び第3基準電圧V
REF2に応答して温度変化に従って変化する可変出力
電圧VTEMPを生じる。可変電圧生成器43bは、P
MOSトランジスタP8、PMOSトランジスタP9、
及びNMOSトランジスタN7を含む。
増幅器の出力端O2に接続され、ゲート及びドレインが
共通接続され、PMOSトランジスタP9はソースがP
MOSトランジスタP8のドレインに接続され、ゲート
及びドレインが可変出力電圧VTEMPの出力されるノ
ードに共通接続される。NMOSトランジスタN7はド
レインが前記ノードに接続され、ゲートに第3基準電圧
VREF2が印加され、ソースに接地電圧VSSが印加
される。
OSトランジスタP9は弱反転領域において動作するよ
うに設計される。このために、P8及びP9のW/L比
を大きくし、N7のW/L比を小さくする。Wはトラン
ジスタのゲート幅を表わし、Lはトランジスタのゲート
長を表わす。ここで、PMOSトランジスタP8及びP
MOSトランジスタP9の代わりにNMOSトランジス
タまたは抵抗が用いられることもある。
電流変化を示す図である。
明の好適な第1の実施形態に係る内部基準電圧生成回路
の動作についてより詳細に説明する。
ランジスタの電流Idsの変化はしきい電圧Vthを基
準として互いに異なる。Vgs(トランジスタのゲート
とソースとの間の電圧)がしきい電圧Vthよりも低い
場合には、すなわち弱反転領域においては、温度が高い
ほどトランジスタのターンオン電圧が減少し、その結
果、多量の電流Idsが流れる。これに対し、Vgsが
しきい電圧Vthよりも高い場合には、すなわち強反転
領域においては、温度が高いほど移動度が減少し、その
結果、少量の電流Idsが流れる。弱反転領域はサブス
レショルド領域とも呼ばれる。
1の実施形態に係る内部基準電圧生成回路においては、
トランジスタの弱反転特性を利用して温度変化に従って
変化する内部基準電圧VREFPが実現される。すなわ
ち、前述したように、可変電圧生成器43bのPMOS
トランジスタP8及びPMOSトランジスタP9が弱反
転領域において動作するように設計される。
おいて動作してP8のVgs及びP9のVgsが温度に
よって変わるが、具体的には、高温ではP8のVgs及
びP9のVgsが下がり、低温ではP8のVgs及びP
9のVgsが上がる。従って、可変電圧生成器43bの
出力電圧VTEMPが高温では上がり、低温では下が
る。これにより、温度変化に従って変化する出力電圧V
TEMPをゲートを介して受信するPMOSトランジス
タP4の等価抵抗値が温度によって可変となる。
43bの出力電圧VTEMPが上がってPMOSトラン
ジスタP4の等価抵抗値が上がり、その結果、内部基準
電圧VREFPが上がる。これに対し、温度が下がれ
ば、可変電圧生成器43bの出力電圧VTEMPが下が
ってPMOSトランジスタP4の等価抵抗値が下がり、
その結果、内部基準電圧VREFPが下がることにな
る。
係る内部基準電圧生成回路を示す回路図である。
態による内部基準電圧生成回路は、差動増幅器41、抵
抗R2、抵抗の役割をするPMOSトランジスタP4、
及び温度依存可変電圧生成器43を備える。すなわち、
図6の内部基準電圧生成回路は、図4に示された第1の
実施形態の内部基準電圧生成回路と比較して抵抗R1を
さらに備えている。
ンジスタP4、及び温度依存可変電圧生成器43は、図
4に示された第1の実施形態の回路と同様である。抵抗
R1は差動増幅器41の出力端O1と差動増幅器41の
第2入力端I2との間でPMOSトランジスタP4と並
列接続される。
部基準電圧生成回路を示す回路図である。
態に係る内部基準電圧生成回路は、差動増幅器41、抵
抗R1、抵抗の役割をするNMOSトランジスタN8、
及び温度依存可変電圧生成器43を備える。
器43は、図4に示された第1の実施形態の回路と同様
である。抵抗R1は、差動増幅器41の出力端O1と差
動増幅器41の第2入力端I2との間に接続される。N
MOSトランジスタN8は差動増幅器41の第2入力端
I2と接地電圧VSSとの間に接続され、NMOSトラ
ンジスタN8のゲートには温度依存可変電圧生成器43
の出力電圧VTEMPが印加される。
に従って変化する出力電圧VTEMPを生じ、可変出力
電圧VTEMPによりNMOSトランジスタN8の抵抗
値を可変とする。
部基準電圧生成回路を示す回路図である。
態に係る内部基準電圧生成回路は、差動増幅器41、抵
抗R1、抵抗の役割をするNMOSトランジスタN8、
及び温度依存可変電圧生成器43を備える。すなわち、
図8の内部基準電圧生成回路は、図7に示された第3の
実施形態の内部基準電圧生成回路と比較して抵抗R2を
さらに備えている。差動増幅器41、抵抗R1、NMO
SトランジスタN8、及び温度依存可変電圧生成器43
は、図7に示された第3実施の形態の回路と同様であ
る。抵抗R2は差動増幅器41の第2入力端I2と接地
電圧VSSとの間でNMOSトランジスタN8と並列接
続される。
圧生成回路の動作は、図4に示された第1の実施形態の
内部基準電圧生成回路の動作と基本的には同様であるた
め、ここでは詳細な説明を省く。
係る内部基準電圧生成回路を用いた内部供給電圧生成回
路を示す回路図である。
態に係る内部供給電圧生成回路は、内部基準電圧生成回
路100、比較器63、及びドライバ65を備える。
本発明の好適な実施形態に係る内部基準電圧生成回路と
同様であり、温度が上がれば内部基準電圧VREFPを
高め、温度が下がれば内部基準電圧VREFPを低め
る。比較器63は、内部基準電圧VREFPとドライバ
65から出力される内部供給電圧IVDDとを比較す
る。ドライバ65はPMOSトランジスタを備え、比較
器63の出力信号に応答して、外部供給電圧EVDDを
受信して内部供給電圧IVDDを出力する。
EFPが高まって内部供給電圧IVDDが高まり、温度
が下がれば内部基準電圧VREFが低まって内部供給電
圧IVDDが低まることになる。
本発明の好適な実施形態が開示された。ここで、特定の
用語が用いられたが、これは単に本発明を説明するため
に使用されたものであり、意味の限定や特許請求の範囲
に記載された本発明の範囲を制限するために用いられた
ものではない。従って、当業者であれば、本発明の好適
な実施形態における各種の変形及び均等な他の実施形態
が可能であるという点が理解できよう。よって、本発明
の技術的な保護範囲は特許請求の範囲における技術的な
思想に基づいて定められるべきである。
準電圧生成回路及び内部供給電圧生成回路によれば、例
えば、温度変化による半導体装置の性能変化を相殺させ
るために、温度変化によって内部供給電圧値を共に変え
ることができる。すなわち、高温では内部供給電圧値を
上げてトランジスタの電流を増やし、低温では内部供給
電圧値を下げてトランジスタの電流を減らすことによ
り、温度変化に無関係にトランジスタの電流を一定に保
つことができる。従って、本発明の好適な実施形態に係
る内部基準電圧生成回路及び内部供給電圧生成回路によ
って半導体装置の性能が温度変化に無関係に安定化する
という効果がある。
である。
である。
る。
電圧生成回路を示す回路図である。
す図である。
電圧生成回路を示す回路図である。
電圧生成回路を示す回路図である。
電圧生成回路を示す回路図である。
成回路を用いた内部供給電圧生成回路を示す回路図であ
る。
Claims (28)
- 【請求項1】 第1入力端を介して入力される第1基準
電圧と第2入力端を介して入力される入力電圧とを差動
増幅し、出力端を介して内部基準電圧を出力する第1の
差動増幅器と、 前記第1の差動増幅器の出力端と前記第1の差動増幅器
の第2入力端との間に接続される第1抵抗部と、 第2基準電圧と前記第1の差動増幅器の第2入力端との
間に接続される第2抵抗部とを備え、 前記第1抵抗部の抵抗値が、温度変化に従って変化する
電圧に応じて変化することを特徴とする半導体装置の内
部基準電圧生成回路。 - 【請求項2】 前記第1抵抗部は、一つ以上のPMOS
トランジスタを含むことを特徴とする請求項1に記載の
半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項3】 前記PMOSトランジスタのゲート電圧
が温度によって可変となることを特徴とする請求項2に
記載の半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項4】 前記温度変化に従って変化する電圧を生
じる温度依存可変電圧生成器をさらに備えることを特徴
とする請求項1または2に記載の半導体装置の内部基準
電圧生成回路。 - 【請求項5】 前記温度依存可変電圧生成器は、 第3入力端を介して入力される第3基準電圧と第4入力
端を介して入力される電圧とを差動増幅し、出力端を介
して出力電圧を出力する第2の差動増幅器と、 前記第2の差動増幅器の出力端と前記第2の差動増幅器
の第4入力端との間に接続される第3抵抗部と、 前記第2基準電圧と前記第2の差動増幅器の第4入力端
との間に接続される第4抵抗部と、 前記第2の差動増幅器の出力電圧及び前記第3基準電圧
に応答して前記温度変化に従って変化する電圧を生じる
可変電圧生成器と、 を備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置
の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項6】 前記第3基準電圧は、前記第1基準電圧
と同じ値であることを特徴とする請求項5に記載の半導
体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項7】 前記第2基準電圧は、接地電圧と同じ値
であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の
内部基準電圧生成回路。 - 【請求項8】 前記第3抵抗部及び前記第4抵抗部は、
トランジスタを含むことを特徴とする請求項5に記載の
半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項9】 前記可変電圧生成器は、 一端に前記第2の差動増幅器の出力電圧が印加され、他
端及びゲートが共通接続される第1トランジスタと、 一端が前記第1トランジスタの他端に接続され、他端及
びゲートが前記温度変化に従って変化する電圧の出力さ
れるノードに共通接続される第2トランジスタと、 ドレインが前記ノードに接続され、ゲートに前記第3基
準電圧が印加され、ソースに前記第2基準電圧が印加さ
れるNMOSトランジスタとを備えることを特徴とする
請求項5に記載の半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項10】 前記第1トランジスタ及び前記第2ト
ランジスタは弱反転領域において動作することを特徴と
する請求項9に記載の半導体装置の内部基準電圧生成回
路。 - 【請求項11】 前記第1トランジスタ及び前記第2ト
ランジスタは、強反転領域において動作することを特徴
とする請求項9に記載の半導体装置の内部基準電圧生成
回路。 - 【請求項12】 第1入力端を介して入力される第1基
準電圧と第2入力端を介して入力される入力電圧とを差
動増幅し、出力端を介して内部基準電圧を出力する第1
の差動増幅器と、 前記第1の差動増幅器の出力端と前記第1の差動増幅器
の第2入力端との間に接続される第1抵抗部と、 第2基準電圧と前記第1の差動増幅器の第2入力端との
間に接続される第2抵抗部とを備え、 前記第2抵抗部の抵抗値が温度変化に従って変化する電
圧により可変となることを特徴とする半導体装置の内部
基準電圧生成回路。 - 【請求項13】 前記第2抵抗部は、一つ以上のNMO
Sトランジスタを含むことを特徴とする請求項12に記
載の半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項14】 前記NMOSトランジスタのゲート電
圧が温度によって可変となることを特徴とする請求項1
3に記載の半導体装置の内部基準電圧生成回路。 - 【請求項15】 温度変化に従って変化する内部基準電
圧を生じる内部基準電圧生成回路と、 前記内部基準電圧とフィードバックされる内部供給電圧
とを比較する比較器と、 前記比較器の出力信号に応答して、外部供給電圧を受信
して前記内部供給電圧を出力するドライバとを備え、 前記内部基準電圧生成回路は、 第1入力端を介して入力される第1基準電圧と第2入力
端を介して入力される入力電圧とを差動増幅し、出力端
を介して前記内部基準電圧を出力する第1の差動増幅器
と、 前記第1の差動増幅器の出力端と前記第1の差動増幅器
の第2入力端との間に接続される第1抵抗部と、 第2基準電圧と前記第1の差動増幅器の第2入力端との
間に接続される第2抵抗部とを備え、 前記第1抵抗部の抵抗値が温度変化に従って変化する電
圧により可変となることを特徴とする半導体装置の内部
供給電圧生成回路。 - 【請求項16】 前記第1抵抗部は、一つ以上のPMO
Sトランジスタを含むことを特徴とする請求項15に記
載の半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項17】 前記PMOSトランジスタのゲート電
圧が温度によって可変となることを特徴とする請求項1
6に記載の半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項18】 前記内部基準電圧生成回路は、 前記温度変化に従って変化する電圧を生じる温度依存可
変電圧生成器をさらに備えることを特徴とする請求項1
5または16に記載の半導体装置の内部供給電圧生成回
路。 - 【請求項19】 前記温度依存可変電圧生成器は、 第3入力端を介して入力される第3基準電圧と第4入力
端を介して入力される電圧とを差動増幅し、出力端を介
して出力電圧を出力する第2の差動増幅器と、 前記第2の差動増幅器の出力端と前記第2の差動増幅器
の第4入力端との間に接続される第3抵抗部と、 前記第2基準電圧と前記第2の差動増幅器の第4入力端
との間に接続される第4抵抗部と、 前記第2の差動増幅器の出力電圧及び前記第3基準電圧
に応答して、前記温度変化に従って変化する電圧を生じ
る可変電圧生成器とを備えることを特徴とする請求項1
8に記載の半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項20】 前記第3基準電圧は、前記第1基準電
圧と同じ値であることを特徴とする請求項19に記載の
半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項21】 前記第2基準電圧は、接地電圧と同じ
値であることを特徴とする請求項19に記載の半導体装
置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項22】 前記第3抵抗部及び第4抵抗部は、ト
ランジスタを含むことを特徴とする請求項19に記載の
半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項23】 前記可変電圧生成器は、 一端に前記第2の差動増幅器の出力電圧が印加され、他
端及びゲートが共通接続される第1トランジスタと、 一端が前記第1トランジスタの他端に接続され、他端及
びゲートが前記可変電圧の出力されるノードに共通接続
される第2トランジスタと、 ドレインが前記ノードに接続され、ゲートに前記第3基
準電圧が印加され、ソースに前記第2基準電圧が印加さ
れるNMOSトランジスタとを備えることを特徴とする
請求項19に記載の半導体装置の内部供給電圧生成回
路。 - 【請求項24】 前記第1トランジスタ及び前記第2ト
ランジスタは、弱反転領域において動作することを特徴
とする請求項23に記載の半導体装置の内部供給電圧生
成回路。 - 【請求項25】 前記第1トランジスタ及び前記第2ト
ランジスタは、強反転領域において動作することを特徴
とする請求項23に記載の半導体装置の内部供給電圧生
成回路。 - 【請求項26】 温度変化に従って変化する内部基準電
圧を生じる内部基準電圧生成回路と、 前記内部基準電圧とフィードバックされる内部供給電圧
とを比較する比較器と、 前記比較器の出力信号に応答して、外部供給電圧を受信
して前記内部供給電圧を出力するドライバとを備え、 前記内部基準電圧生成回路は、 第1入力端を介して入力される第1基準電圧と第2入力
端を介して入力される入力電圧とを差動増幅し、出力端
を介して前記内部基準電圧を出力する第1の差動増幅器
と、 前記第1の差動増幅器の出力端と前記第1の差動増幅器
の第2入力端との間に接続される第1抵抗部と、 第2基準電圧と前記第1の差動増幅器の第2入力端との
間に接続される第2抵抗部とを備え、 前記第2抵抗部の抵抗値が温度変化に従って変化する電
圧により可変となることを特徴とする半導体装置の内部
供給電圧生成回路。 - 【請求項27】 前記第2抵抗部は、一つ以上のNMO
Sトランジスタを含むことを特徴とする請求項26に記
載の半導体装置の内部供給電圧生成回路。 - 【請求項28】 前記NMOSトランジスタのゲート電
圧が温度によって可変となることを特徴とする請求項2
7に記載の半導体装置の内部供給電圧生成回路。
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