JP2003086467A - 固体電解コンデンサ用コンデンサ素子における誘電体層の形成方法及びその装置 - Google Patents

固体電解コンデンサ用コンデンサ素子における誘電体層の形成方法及びその装置

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JP2003086467A JP2001276189A JP2001276189A JP2003086467A JP 2003086467 A JP2003086467 A JP 2003086467A JP 2001276189 A JP2001276189 A JP 2001276189A JP 2001276189 A JP2001276189 A JP 2001276189A JP 2003086467 A JP2003086467 A JP 2003086467A
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Yasuo Kanetake
康雄 金武
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Rohm Co Ltd
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Rohm Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 陽極体2の複数個を、横バー1に、当該陽極
体の上面から延びる陽極棒3を介して装着し、この横バ
ーにおける各陽極体2を化成液Bに浸漬し、この状態
で、前記横バーと、前記陽極体の下方に配設したカソー
ド電極体Cとに直流電流を印加して陽極酸化処理して、
前記陽極体の表面に誘電体層を形成するに際し、誘電体
層の厚さの均一化を図る。 【解決手段】 前記陽極酸化処理する途中で、前記横バ
ーを往復動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、タンタル、アルミ
又はニオブ等の弁作用金属を用いた固体電解コンデンサ
において、そのコンデンサ素子に陽極酸化処理によって
誘電体層を形成する方法とその装置とに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、タンタル、アルミ又はニオブ等の
弁作用金属を用いた固体電解コンデンサにおけるコンデ
ンサ素子の製造に際しては、弁作用金属の粉末を多孔質
に固め焼結等して成る陽極体の表面に、陽極酸化処理に
て誘電体層を形成し、この誘電体層の表面に、固体電解
質層を、この固体電解質層の表面に陰極膜を形成すると
いう方法が採用されている。
【0003】また、前記陽極体に対する陽極酸化処理に
よる誘電体層の形成に際しては、特開2000−164
472号公報等に記載され、且つ、図1及び図2に示す
方法が採用されている。
【0004】すなわち、図1に示すように、タンタル等
の弁作用金属製の陽極体2の複数個を、金属製の横バー
1に対して、当該各陽極体2の上面から延びる弁作用金
属製の陽極棒3を溶接等にて固着することによって、横
バー1の長手方向に適宜間隔で装着する。
【0005】次いで、この横バー1における各陽極体2
を、図2に示すように、陽極酸化処理槽Aに容れたりん
酸水溶液等の化成液B中に浸漬し、この状態で、前記横
バー1と、陽極酸化処理槽A内のうち前記陽極体2の下
方に配設したカソード電極体Cとの間に直流の電流を印
加することにより、前記陽極体2の表面、より詳しく
は、弁作用金属の粉末の表面に、五酸化タンタル等の絶
縁性の高い誘電体層を形成するようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記した陽極酸化処理
は、横バー1と陽極酸化処理槽A内のうち陽極体2の下
方に配設したカソード電極体Cとの間に直流の電流を印
加することで行うものであるが、この陽極酸化処理に際
して、カソード電極体Cには、水素ガスの気泡が発生
し、この水素ガスの気泡が上昇して、その上方に位置す
る各陽極体2の表面に付着した状態で大きな気泡に成長
することになるから、各陽極体2の表面に形成される誘
電体層の厚さに、厚い薄いのバラ付きが発生するという
問題がある。
【0007】しかも、前記化成液Bと、これに浸漬した
各陽極体2とは相対的に静止していることにより、前記
陽極酸化処理の速度が遅いばかりか、前記誘電体層の厚
い薄いのバラ付きが助長されるのであった。
【0008】本発明は、これらの問題を解消することを
技術的課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明の方法は、請求項1に記載したように、
「弁作用金属製の陽極体の複数個を、金属製の横バー
に、当該陽極体の上面から延びる陽極棒を固着すること
によって横バーの長手方向に適宜間隔で装着し、この横
バーにおける各陽極体を化成液に浸漬し、この横バー
と、前記陽極体の下方に配設したカソード電極とに直流
電流を印加して陽極酸化処理する途中で、前記横バーを
往復動する。」ことを特徴としている。
【0010】また、本発明の装置は、請求項3に記載し
たように、「弁作用金属製の陽極体の複数個を当該陽極
体の上面から延びる陽極棒を介して装着して成る横バー
と、この横バーにおける各陽極体を浸漬する化成液を容
れた陽極酸化処理槽と、この陽極酸化処理槽内のうち前
記陽極体の下方に配設したカソード電極体と、前記横バ
ーと前記カソード電極体及び補助のカソード電極体とに
直流電流を印加する直流電源と、前記横バーを往復動す
る手段とから成る。」ことを特徴としている。
【0011】
【発明の作用・効果】横バーに装着した各陽極体を、前
記横バーと陽極体の下方に配設したカソード電極体とに
直流電流を印加することによって陽極酸化処理する途中
で、前記横バーを往復動することにより、陽極体の下方
のカソード電極体で発生した水素の気泡が陽極体の表面
に付着して大きく成長することを防止できるから、水素
の気泡によって誘電体層の厚さにバラ付きが発生するこ
とを確実に低減できる。
【0012】しかも、横バーを往復動することにより、
化成液が攪拌されるから、誘電体層の厚さをより均一化
できるとともに、陽極酸化処理の速度をアップすること
ができる。
【0013】また、前記横バーの往復動を、陽極体を左
右方向に傾斜するように回動する往復動にすることによ
り、その往復動するための構成が簡単になる利点があ
る。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
3及び図4の図面について説明する。
【0015】この図において、符号Aは、りん酸水溶液
等の化成液Bを容れた陽極酸化処理槽を示し、この陽極
酸化処理槽A内の底には、カソード電極体Cが配設され
ている。
【0016】前記陽極酸化処理槽Aに、図1に示すよう
に弁作用金属製の陽極体2の複数個を弁作用金属製の陽
極棒3を介して装着した横バー1の複数本を、当該各横
バー1における陽極体2を化成液B中に浸漬するように
平行に並べて装填する。
【0017】この横バー1の陽極酸化処理槽Aへの装填
に際しては、その両端に支持部1aを設けて、この支持
部1aを、前記陽極酸化処理槽Aに設けた一対の支承部
材A1の上面に載置する一方、当該各横バー1を回動自
在に支持し、この各横バー1の上端を、当該横バー1の
長手方向と直角方向に延びるように配設した往復動杆D
に係合して、この往復動杆Dを、往復動機構Eにて往復
動することにより、前記各横バー1を、一斉に往復回動
することにより、この各横バー1に装着されている各陽
極体2を、化成液Bに浸漬した状態で、図5に示すよう
に、前記支持部1aを中心として、左右方向に往復回動
するように構成する。
【0018】また、前記各横バー1と、前記カソード電
極体Cとの間に、直流電源Fにて直流の電流を印加する
ことによって陽極酸化処理を行う。
【0019】この直流電流の印加による陽極酸化処理の
途中で、前記往復動機構Eを作動して、各横バー1を一
斉に往復動することにより、各陽極体2の下方のカソー
ド電極体Cで発生した水素の気泡が陽極体2の表面に付
着して大きく成長することを防止できるとともに、化成
液Bを適度に攪拌することができる。
【0020】なお、前記した陽極酸化処理には、10時
間程度の処理時間を必要とすることから、前記各横バー
1の往復動は、一時間ごとに2〜3回程度行うことが好
ましく、また、各陽極体2を図5に示すように左右方向
に往復動する場合には、左右方向への角度を30度以内
にすることが好ましかった。
【図面の簡単な説明】
【図1】コンデンサ素子における陽極体の複数個を横バ
ーに装着した状態を示す斜視図である。
【図2】従来における陽極酸化処理を示す縦断正面図で
ある。
【図3】本発明の実施の形態による陽極酸化処理を示す
縦断正面図である。
【図4】図3のIV−IV視断面図である。
【図5】図4の要部拡大図である。
【符号の説明】
1 横バー 2 陽極体 3 陽極棒 A 陽極酸化処理槽 B 化成液 C カソード電極体 D 往復動杆 E 往復動機構 F 直流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C25D 11/26 301 C25D 11/26 301 303 303 21/10 302 21/10 302 H01G 13/00 371 H01G 13/00 371F

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】弁作用金属製の陽極体の複数個を、金属製
    の横バーに、当該陽極体の上面から延びる陽極棒を固着
    することによって横バーの長手方向に適宜間隔で装着
    し、この横バーにおける各陽極体を化成液に浸漬し、こ
    の横バーと、前記陽極体の下方に配設したカソード電極
    とに直流電流を印加して陽極酸化処理する途中で、前記
    横バーを往復動することを特徴とする固体電解コンデン
    サ用コンデンサ素子における誘電体層の形成方法。
  2. 【請求項2】前記請求項1の記載において、前記横バー
    の往復動が、陽極体を左右方向に傾斜するように回動す
    る往復動であることを特徴とする固体電解コンデンサ用
    コンデンサ素子における誘電体層の形成方法。
  3. 【請求項3】弁作用金属製の陽極体の複数個を当該陽極
    体の上面から延びる陽極棒を介して装着して成る横バー
    と、この横バーにおける各陽極体を浸漬する化成液を容
    れた陽極酸化処理槽と、この陽極酸化処理槽内のうち前
    記陽極体の下方に配設したカソード電極体と、前記横バ
    ーと前記カソード電極体及び補助のカソード電極体とに
    直流電流を印加する直流電源と、前記横バーを往復動す
    る手段とから成ることを特徴とする固体電解コンデンサ
    用コンデンサ素子における誘電体層の形成装置。
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