JP2003077956A - 部品実装装置及び部品実装方法 - Google Patents
部品実装装置及び部品実装方法Info
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Abstract
高精度の部品実装を実現する。 【解決手段】 部品実装装置は接着材供給部34、仮圧
着部35、及び本圧着部36を備える。仮圧着部35の
仮圧着ステージ41は、第1の部品の少なくとも接合部
を含む部分がその上に載置される透明なステージ本体4
1cと、このステージ本体41cをその下側に進入用空
間41eが形成されるように支持する支持部41a,4
1bとを備える。認識部43は、ステージ本体41cを
介して第1の部品1の下側から第1の認識マーク1cを
認識する。
Description
第1の部品に対して第2の部品を実装するための部品実
装装置及び部品実装方法に関するものである。接合材に
は、例えば、導電性粒子含有膜である異方性導電性フィ
ルム(ACF)及び異方性導電性ペースト(ACP)が
ある。また、第1の部品には、例えば、液晶表示基板
(LCD基板)、フレキシブルプリント基板(FPC基
板)がある。さらに、第2の部品には、例えば、FPC
基板や各種ICチップを含む電子部品がある。
して使用される液晶表示基板(LCD基板)1と、この
LCD基板1の駆動回路を備えるフレキシブルプリント
基板(FPC基板)2とを示している。LCD基板1
は、液晶表示部1aと、駆動電圧供給線3の端部が配置
された電極部(接合部)1bとを備えている。また、L
CD基板1の電極部1bには、円形の認識マーク1cが
設けられている。一方、FPC基板2には、ICチップ
5、他のチップ部品6等により駆動回路が構成されてい
る。また、FPC基板2は、この駆動回路の駆動電圧供
給線4の端部が配置された電極部(接合部)2aを備え
ている。さらに、FPC基板2の電極部2aには、短い
線分である認識マーク2bが設けられている。
化に伴い、上記駆動電圧供給線3,4が狭ピッチ化され
ている。この狭ピッチ化に適合したLCD基板1に対す
るFPC基板2の実装方法として、導電性粒子含有膜、
すなわち異方性導電性フィルム(ACF)や異方性導電
性ペースト(ACP)を使用した電極部1b,2aの接
合が知られている。図7は、ACF7を概略的に示した
ものである。このACF7は、加熱加圧により2つの部
品を接着する機能を有している。また、導電性粒子7a
を含有しており、加圧によりこれらの導電性粒子7aが
押し潰されることにより、加圧方向にのみ導電性が生じ
る。
板1にFPC基板2を実装するための従来の部品実装装
置を示している。この部品実装装置は、モータM1によ
り回転駆動される回転軸11aと、この回転軸11aに
固定された搬送ステージ11bとを有する搬送部11を
備えている。LCD基板1は真空吸引ポンプP1の吸引
力により搬送ステージ11b上に吸着保持され、上記回
転軸11aの回転によって受け渡し部12からACF供
給部13、仮圧着部14、及び本圧着部15に順に搬送
され、再び受け渡し部12に戻される。
部からのLCD基板1の受け渡しと、図示しない搬出部
へのLCD基板1(FPC基板2が実装されている。)
受け渡しが行われる。上記ACF供給部13では、LC
D基板1の電極部1bにテープ状のACF7が貼り付け
られる。上記仮圧着部14では、FPC基板2の電極部
2aがLCD基板1の電極部1bに対して位置決めされ
る。また、この位置決め後、FPC基板2の電極部2a
がLCD基板1の電極部1bに対して所定の圧着力で圧
着される。上記本圧着部15では、上記仮圧着部14よ
りも大きい圧着力で、FPC基板2の電極2aがLCD
基板1の電極部1bに圧着され、それによってFPC基
板2とLCD基板1の電極部1bが互いに固定される。
同時に、対応する駆動電圧供給線3,4が電気的に接続
される。
ついて説明する。まず、仮圧着部14は、モータM2に
よりX軸方向、モータM3によりY軸方向、及びエアシ
リンダS1によりZ軸方向にそれぞれ直線移動可能であ
り、かつモータM4により鉛直方向に延びるそれ自体の
軸線回りに回転可能な仮圧着ヘッド16を備えている。
この仮圧着ヘッド16は真空吸引ポンプP2の吸引力に
よりその下端にFPC基板2を保持することができる。
また、仮圧着ヘッド16と共に一体となって移動する上
側認識カメラ19Aが設けられている。さらに、仮圧着
部14は、モータM6によりX軸方向、モータM7によ
りY軸方向にそれぞれ直線移動可能な可動テーブル17
上に昇降可能な仮圧着ステージ18を備えている。この
仮圧着ステージ18は、図9に示すように、搬送ステー
ジ11bの先端から突出しているLCD基板11の電極
部11bを下側から支持する。また、可動テーブル17
上には下側認識カメラ19Bが固定されている。
が設けられている。このFPC供給部21は、エアシリ
ンダS2により駆動される搬入スライダ21aを備え、
この搬入スライダ21aによって搬入プレート21bが
装置内と装置外の間をX軸方向往復移動する。搬入プレ
ート21b上には、真空吸引ポンプP3によりFPC基
板2が吸着保持される。
が貼り付けられたLCD基板1が仮圧着部14に送られ
ると、上側認識カメラ19AによりLCD基板1の認識
マーク1cが認識される。また、仮圧着ヘッド16が上
記搬入プレート21b上のFPC基板12を吸着保持す
る。さらに、可動テーブル17の移動により、FPC基
板12を保持した仮圧着ヘッド16の下方に下側認識カ
メラ19Bが移動する。そして、下側認識カメラ19B
によりFPC基板2の認識マーク2bが認識される。こ
の認識後、可動テーブル17の移動により、仮圧着ステ
ージ18がLCD基板1の電極部1bの下側に移動す
る。さらに、上側認識カメラ19AによるLCD基板1
の認識結果と、下側認識カメラ19BによるFPC基板
2の認識結果とに基づいて、仮圧着ヘッド16に吸着保
持されたFPC基板12の位置及び姿勢が補正され、F
PC基板2の電極部2aがLCD基板1の電極部1bに
対して位置決めされる。最後に、仮圧着ヘッド2が降下
し、それによってFPC基板2の電極部2aがLCD基
板1の電極部1bに対して圧着される。
置では、2台の認識カメラ、すなわちLCD基板1を認
識するための上側認識カメラ19Aと、FPC基板2を
認識するための下側認識カメラ19Bとを備えているた
め、これらの光学系及び駆動機構の熱膨張差等によるド
リフトが発生する。このドリフトによりLCD基板1及
びFPC基板2の認識精度が低下するため、LCD基板
1の電極1bに対して、FPC基板2の電極2aを高精
度で位置決めすることは困難であり、位置決め不良も発
生しやすい。また、仮圧着ステージ18は下側認識カメ
ラ19Bと一体となって移動する構造であるため、仮圧
着時におけるLCD基板1の固定ないしは支持が不安定
であり、この不安定な支持もLCD基板1に対するFP
C基板2の位置決め精度低下の原因となる。
接合材を使用した部品の実装において、仮圧着の位置決
め精度を向上し、それよって安定した高精度の実装を行
うことを課題としている。
識マークが設けられた第1の部品に対して、第2の認識
マークが設けられた第2の部品を実装するための部品実
装装置であって、上記第1の部品の接合部に接合材を供
給する接合材供給部と、上記第1の部品の少なくとも接
合部を含む部分がその上に載置される透明なステージ本
体と、このステージ本体をその下側に進入用空間が形成
されるように支持する支持部とを備える固定された仮圧
着ステージと、上記ステージ本体の上方で上記第2の部
品の接合部を含む部分を保持する可動の仮圧着ヘッド
と、上記ステージ本体の下側の進入用空間に移動可能で
あって上記ステージ本体を介して上記第1の部品の下側
から上記第1の認識マークを認識する可動の認識部とを
備え、少なくともこの認識部の認識結果に基づいて上記
仮圧着ヘッドが上記第2の部品の接合部を上記第1の部
品の接合部に対して位置決めし、かつ、上記第2の部品
の接合部を上記第1の部品の接合部に対して第1の圧着
力で圧着する、仮圧着部と、上記第2の部品の接合部を
上記第1の部品の接合部に対して、上記第1の圧着力よ
りも大きい第2の圧着力で圧着し、それによって第1及
び第2の部品の接合部を互いに固定する本圧着部とを備
える部品実装装置を提供する。
は、ステージ本体の下側の進入用空間に移動した認識部
が、透明であるステージ本体を介して第1の部品の下側
から第1の認識マークを認識する。従って、ステージ本
体を含む仮圧着ステージを、可動とする必要がなく、固
定することができる。そして、第1の部品の接合部は固
定された仮圧着ステージが備えるステージ本体上に載置
されるため、第1の部品は仮圧着ステージに安定して固
定ないしは支持される。よって、本発明の部品実装装置
では、仮圧着部における第2の接合部の第1の部品に対
する位置決め精度を向上することができ、高精度での第
1の部品に対する第2の部品の実装を安定して行うこと
ができる。
部品の接合部を上記仮圧着ステージから離隔した離隔位
置に移動し、上記認識部は上記離隔位置にある仮圧着ヘ
ッドの下方に移動して上記第2の部品が備える第2の認
識マークを認識し、上記仮圧着ヘッドは、上記認識部に
よる上記第1の部品の第1の認識マークの認識結果と、
上記第2の部品の第2の認識マークの認識結果とに基づ
いて、上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合
部に対して位置決めする。
1及び第2の部品の認識を行うため、複数の認識部を使
用する場合のような光学系及び駆動機構の熱膨張差等に
よるドリフトに起因する認識精度の低下が生じない。従
って、第1及び第2の部品を高精度で認識することがで
き、仮圧着部における位置決め精度が向上し、それによ
って安定した高精度の実装を行うことができる。
は、上記ステージ本体に載置された上記第1の部品の第
1の認識マークが上記認識部の焦点に位置するように固
定され、上記認識部が上記第2の部品の第2の認識マー
クを認識するときには、上記第2の部品の第2の認識マ
ークが上記認識部の焦点に位置するように上記仮圧着ヘ
ッドが昇降する。
であり、上記第1の部品は液晶表示パネル基板、プラズ
マ表示パネル基板又はフレキシブルプリント基板であ
り、上記第2の部品はICチップ又はフレキシブルプリ
ント基板である。上記導電性粒子含有膜には、例えば、
異方性導電性フィルム(ACF)と異方性導電性ペース
ト(ACP)とがある。
れた第1の部品に対して、第2の認識マークが設けられ
た第2の部品を実装する部品実装方法であって、上記第
1の部品の接合部に接合材を供給し、上記第1の部品の
接合部を含む部分を、固定された仮圧着ステージの透明
なステージ本体上に載置し、上記ステージ本体の下側の
進入用空間に上記認識部を移動させ、上記認識部により
上記ステージ本体を介して上記第1の部品の下側から上
記第1の認識マークを認識し、上記第2の部品の接合部
を含む部分を保持し、かつ上記仮圧着ステージの上方に
位置する仮圧着ヘッドを少なくとも上記認識部の認識結
果に基づいて移動させ、それによって上記第2の部品の
接合部を上記第1の部品の接合部に対して位置決めし、
上記仮圧着ヘッドを上記仮圧着ステージのステージ本体
に向けて降下させ、それによって上記第2の部品の接合
部を上記第1の部品の接合部に対して第1の圧着力で圧
着し、上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合
部に対して、上記第1の圧着力よりも大きい第2の圧着
力で圧着し、それによって第1及び第2の部品の接合部
を互いに固定する、部品実装方法を提供する。
品の接合部は固定された仮圧着ステージのステージ本体
上に載置されるため、第1の部品は仮圧着ステージに安
定して固定ないしは支持される。よって、第2の接合部
を第1の部品に対する位置決め精度が向上し、高精度で
の第1の部品に対する第2の部品の実装を安定して行う
ことができる。
部品の第1の認識マークの認識の前又は後に、上記仮圧
着ヘッドを上記仮圧着ステージから離隔した離隔位置に
移動させ、上記認識部を上記離隔位置にある仮圧着ヘッ
ドの下方に移動させ、上記認識部により上記第2の部品
の第2の認識マークを認識し、上記認識部による上記第
1の部品の第1の認識マークの認識結果と、上記第2の
部品の第2の認識マークの認識結果とに基づいて、上記
仮圧着ヘッドを移動させ、それによって上記第2の部品
の接合部を上記第1の部品の接合部に対して位置決めす
る。
認識を行うため、複数の認識部を使用する場合のような
光学系及び駆動機構の熱膨張差等によるドリフトに起因
する認識精度の低下が生じない。従って、第1及び第2
の部品を高精度で認識することができ、仮圧着する際の
位置決め精度を向上し、それによって安定した高精度の
実装を行うこととができる。
態を詳細に説明する。なお、本実施形態は、図6に示す
LCD基板1とFPC基板2とを対象としている。ま
た、LCD基板1の認識マーク1cは上面側に設けられ
ているが、電極部1bは透明性を有するため、下面側か
らも認識可能になっている。さらに、FPC基板2も透
明性を有するため認識マーク2bは上下両面側から認識
可能である。
装装置は、装置内にLCD基板1を搬入する搬入部31
と、この搬入部31から供給されたLCD基板1を装置
内で搬送する搬送部32とを備えている。この搬送部3
2の周囲には受け渡し部33、ACF貼付部34、仮圧
着部35及び本圧着部36が配設されている。また、部
品実装装置は、装置外にLCD基板1及びFPC基板2
を搬出するための搬出部37を備えている。さらに、部
品実装装置は、仮圧着部35にFPC基板2を供給する
FPC供給部38を備えている。
駆動される搬入スライダ31aと、この搬入スライダ3
1aによってX軸方向に往復直線移動する搬入プレート
31bとを備えている。この搬入プレート31bは真空
吸引ポンプP31の吸引力により、その上面にLCD基
板1を吸着保持することがでる。また、搬入部31は、
移載機構31cを備えている。この移載機構31cは、
モータM31により駆動されてガイドレール31d上を
X軸方向に往復直線移動する可動プレート31eを備え
ている。この可動プレート31e上には、移載ヘッド3
1fが設けられている。この移載ヘッド31fは、モー
タM32により駆動されてガイドレール31g上をY軸
方向に直線往復移動し、エアシリンダS32によりZ軸
方向に昇降し、かつモータM33により鉛直方向に延び
るそれ自体の軸線回りに回転する。また、移載ヘッド3
1fは、真空吸引ポンプP32の吸引力によりその下端
にLCD基板1を吸着保持することができる。さらに、
この移載ヘッド31fと共に移動する認識カメラ31h
が設けられている。
れて90度間隔で間欠的に回転する回転軸32aと、こ
の回転軸32aに基端が固定された4個の搬送ステージ
32bとを備えている。これらの搬送ステージ32b
は、平面視で90度間隔で配置されている。各搬送ステ
ージ32bは、真空吸引ポンプP33の吸引力によりそ
の先端側上面にLCD基板1を吸着保持することができ
る。
の供給源34a、ACF7をLCD基板1の電極部1b
に押圧して加熱(例えば80℃)するための加熱加圧ツ
ール34b、及び加熱加圧ツール34bによる加圧後に
ACF7を電極部1bと対応する長さに切断するための
カッター(図示せず)を備えている。
5について説明する。まず、仮圧着部35は、仮圧着ス
テージ41を備えている。この仮圧着ステージ41は、
一対の支持ブロック(支持部)41a,41bと、ステ
ージ本体41cとを備えている。支持ブロック41a,
41bは、それぞれ基端が部品実装装置のフレームの基
部30に対して固定され、鉛直方向上向(+Z方向)に
延びている。また、支持ブロック41a,41bは、X
軸方向に間隔をあけて設けられている。これらの支持ブ
ロック41a,41bの先端に、ステージ本体41cの
両端が固定されている。このステージ本体41cは、X
軸方向に延びる細長い角柱状である。ステージ本体41
cの上面41dは水平面であり、この上面41dに搬送
ステージ32bの先端から突出するLCD基板1の電極
部1bが載置される。また、本実施例では、ステージ本
体41cはガラス製であり、後述するようにステージ本
体41cの下側に位置した認識カメラ43aはステージ
本体41cを介してLCD基板1を認識することができ
る。図3に最も明確に表れているように、仮圧着ステー
ジ41は全体として門型をなしており、ステージ本体4
1cの下側と基部30の間には進入用空間41eが形成
されている。
ている。この仮圧着ヘッド42は、上記仮圧着ステージ
41の上方側に位置している。また、この仮圧着ヘッド
42は、モータM35によりX軸方向、モータM36に
よりY軸方向、及びエアシリンダS34によりZ軸方向
にそれぞれ直線移動可能であり、かつモータM37によ
り鉛直方向に延びるそれ自体の軸線回りに回転可能であ
る。さらに、仮圧着ヘッド42は真空吸引ポンプP34
の吸引力によりその下端にFPC基板2を保持すること
ができる。ただし、上記図8に示す従来の部品実装装置
とは異なり、仮圧着ヘッド42と共に移動する認識カメ
ラ(図8の上側認識カメラ19A)は設けられていな
い。仮圧着ヘッド41は図示しないヒータにより所定温
度(例えば80℃)に加熱される。
る。この認識部43は、仮圧着部35が備える唯一の認
識カメラである認識カメラ43aと、この認識カメラ4
3aを水平面内で移動させるための移動機構43bとを
備えている。この移動機構43bは、図3及び図4に最
も明確に表れているように、基部30上に上記仮圧着ス
テージ41のステージ本体41cと平行に延びるガイド
レール43cを備えている。このガイドレール43c上
の可動プレート43dは、モータM38によりX軸方向
に直線移動する。また、この可動プレート43d上に
は、Y軸方向に延びるガイドレール43eが固定されて
いる。このガイドレール43e上の可動プレート43f
は、モータM39によりY軸方向に直線移動する。この
可動プレート43fに認識カメラ43aが固定されてい
る。従って、認識カメラ43aはガイドレール43c,
43eに沿ってX軸方向及びY軸方向に直線移動するこ
とができる。また、ガイドレール43eは上記進入用空
間41eを貫通して延びているので、認識カメラ43a
はステージ本体41cの鉛直方向下側に位置に移動する
ことができる。
野は鉛直方向上向(+Z方向)である。また、認識カメ
ラ43aの焦点距離は、ステージ本体41cの上面41
dに載置されたLCD基板1の認識マーク1cが焦点に
位置するように、すなわちステージ本体41c上のLC
D基板1の認識マーク1cに焦点が合うように設定され
ている。また、この焦点距離は調節可能であるが、部品
実装装置の動作中は固定されている。
て設けられている。FPC供給部38は、エアシリンダ
S35により駆動される搬入スライダ38aを備え、こ
の搬入スライダ38aによって搬入プレート38bが装
置内と装置外の間をX軸方向往復移動する。搬入プレー
ト31b上には、真空吸引ポンプP36によりFPC基
板2が吸着保持される。
アシリンダS36と、このエアシリンダS36の先端に
取り付けられた加熱加圧ツール(図示せず。)を備えて
いる。この加熱加圧ツールはFPC基板2の電極部2a
をLCD基板1の電極部1bに押圧して加熱(例えば2
00℃)する。
駆動される搬出スライダ37aと、この搬出スライダ3
7aによってX軸方向に往復直線移動する搬出プレート
37bとを備えている。この搬出プレート37bは真空
吸引ポンプP37の吸引力により、その上面にLCD基
板1を吸着保持することがでる。また、搬出部37は、
移載機構37cを備えている。この移載機構37cは、
モータM41により駆動されてガイドレール37d上を
X軸方向に往復直線移動する可動プレート37eを備え
ている。この可動プレート37e上には、移載ヘッド3
7fが設けられている。この移載ヘッド37fは、モー
タM42により駆動されてガイドレール37g上をY軸
方向に直線往復移動し、エアシリンダS38によりZ軸
方向に昇降する。また、移載ヘッド37fは、真空吸引
ポンプS43の吸引力によりその下端にFPC基板2を
実装済みのLCD基板1を保持することができる。
トローラ45を備えている。このコントローラ45は、
認識カメラからの入力、各種センサからの入力、及び操
作盤46から入力される指令に基づいて、モータ、エア
シリンダ、ヒータ等の要素を制御する。
1にFPC基板2を実装する方法を説明する。まず、L
CD基板1を吸着保持した搬入プレート31bが部品実
装装置内に移動する。また、この搬入プレート31bの
上方に移載ヘッド31fが移動する。認識カメラ31h
の認識結果に基づく位置補正の後、移載ヘッド31fが
降下してLCD基板1を吸着保持する。移載ヘッド31
fは受け渡し部33まで移動し、移載ヘッド31fから
搬送ステージ32bにLCD基板1が移載される。LC
D基板1は搬送ヘッド32bに吸着保持される。次に、
回転軸32aが90度回転し、搬送ステージ32bがA
CF供給部34に移動する。ACF供給部34ではAC
F7がLCD基板1の電極部1bに貼り付けられる。
て搬送ステージ32bが仮圧着部35に移動する。図4
に示すように、仮圧着ステージ41のステージ本体41
cの上面41dに、搬送ステージ32bの先端から突出
するLCD基板1の電極部1bが載置される。次に、図
4において点線で示すように、移動機構43bによって
認識カメラ43aがステージ本体41c下側の進入用空
間41eに移動する。認識カメラ43aは、この位置で
LCD基板1の認識マーク1cを認識する。すなわち、
認識カメラ43aは、透明なステージ本体41cを介し
てLCD基板1の電極部1cの下面側から認識マーク1
cを認識する。
部35に移動するのと同期して、FPC基板2を吸着保
持した搬入プレート38bが仮圧着ヘッド42の下方に
移動する。また、仮圧着ヘッド42が降下して、搬入プ
レート38b上のFPC基板2を吸着保持する。FPC
基板2を吸着保持した仮圧着ヘッド42は、図5におい
て実線で示すように、仮圧着ステージ42の近傍である
がY軸方向に離隔した位置(離隔位置)に移動する。次
に、認識カメラ43aは移動機構43bによって、図5
において点線で示す位置、すなわち進入用空間41e内
の位置から、図5において実線で示す位置、すなわち離
隔位置にある仮圧着ヘッド42の下方の位置に移動す
る。認識カメラ43aは、この位置でFPC基板2の認
識マーク2bを認識する。上記のように認識カメラ43
aの焦点距離は固定されているため、この認識時には、
仮圧着ヘッド42の昇降よりFPC基板2の認識マーク
2bが認識カメラ43bの焦点に配置される。
カメラ43aにより、LCD基板1の認識マーク1cの
認識とFPC基板2の認識マーク2bの認識の両方を行
う。従って、複数の認識カメラを使用してLCD基板1
とFPC基板2を別個に認識する場合とは異なり、認識
カメラ間の光学系及び駆動機構の熱膨張差等によるドリ
フトに起因する認識精度の低下が生じない。従って、L
CD基板1とFPC基板2を高精度で認識することがで
きる。
aによるLCD基板1及びFPC基板2の認識結果に基
づく位置補正を行った後、仮圧着ヘッド42を図5にお
いて点線で示す位置に移動させる。すなわち、コントロ
ーラ45は仮圧着ヘッド42を移動させることにより、
仮圧着ヘッド42に吸着保持されたFPC基板2の電極
部2aを仮圧着ステージ41のステージ本体41c上に
載置されたLCD基板1の電極部1bに対して位置決め
する。上記のように一つの認識カメラ43aでLCD基
板1とFPC基板2を認識するため、これらの認識精度
が高い。また、LCD基板1の電極部1bは固定された
仮圧着ステージ41が備えるステージ本体41c上に載
置されるため、安定して固定ないしは支持されている。
従って、上記仮圧着ヘッド42の移動により、FPC基
板2の電極部2aがLCD基板1の電極部1bに対して
高精度で位置決めされる。この位置決めの後、仮圧着ヘ
ッド42が降下し、FPC基板2の電極部2aがACF
7を介してLCD基板1の電極部1bに対して所定の圧
着力(第1の圧着力)で圧着され、同時に加熱される。
し、搬送ステージ32bが本圧着部15に移動する。本
圧着部16では、仮圧着ヘッド42よりも大きい所定の
圧着力(第2の圧着力)でFPC基板2の電極部2aが
ACF7を介してLCD基板1の電極部1bに対して圧
着される。その結果、ACF7によりLCD基板1の電
極部1bとFPC基板2の電極部2aが互いに固定され
る。また、押し潰された導電性粒子7a(図7参照)に
より、LCD基板1の電極部1bの各駆動電圧供給線3
が、FPC基板2の電極部2aの対応する駆動電圧供給
線4に対してそれぞれ電気的に接続される。
ステージ32bが受け渡し部33に戻る。これと同期し
て搬出プレート37bが部品実装装置内に移動する。ま
た、搬出ヘッド37fが搬送ステージ32b上のFPC
基板2を実装済みのLCD基板1を吸着保持し、搬送プ
レート37bに移載する。最後に、FPC基板2を実装
済みのLCD基板1を吸着保持した搬出プレート37b
が部品装置外に移動する。
々の変形が可能である。まず、ステージ本体41cは透
明であればガラス製である必要はなく、例えば、仮圧着
ヘッド42から作用する圧着力に耐える強度を有する透
明な樹脂製であってもよい。また、ステージ本体41c
は、完全に透明である必要はなく、認識カメラ43aが
上面41dのLCD基板2の認識マーク2bを認識可能
な程度の透明度を有していればよい。
ラ43aの移動機構43bは上記のものに限定されな
い。仮圧着ヘッド42は、X−Y平面内での水平移動
と、Z軸方向の昇降が可能であればよい。また、移動機
構43bは、認識カメラ43aをX−Y平面内で水平移
動させるものであればよい。
42に保持されたFPC基板2の認識マーク2aを認識
し、その後にLCD基板1の認識マーク1cを認識して
もよい。
ク43aによる認識時にLCD基板1の認識マーク1c
やFPC基板2の認識マーク2aを照らすライトを設け
てもよい。
板に複数の電極部を備えるFPC基板を実装する際にも
適用することができる。また、ACFが供給される部品
(第1の部品)は、LCD基板に限定されず、例えばエ
レクトロルミネッセンス素子(EL素子)、プラズマデ
ィスプレイパネル(PDP)、FPC基板、又は通常の
プリント基板等であってもよい。さらに、上記第1の部
品に実装される部品(第2の部品)は、FPC基板に限
定されず、FPC基板以外のフィルム状部品(例えばテ
ープキャリアパッケージ(TCP))や、ICチップを
含む各種電子部品であっもよい。さらに、ACFテープ
に代えて、異方性導電性ペースト(ACP)を使用する
こともできる。さらにまた、本発明は電子部品の実装に
限定されず、他の種類の部品間の実装にも適用すること
ができる。この場合、上記ACFやACPに代えて、単
に2つの部品を接合する機能のみを有する接合材を一方
の部品に供給すればよい。
では、ステージ本体の下側の進入用空間に移動した認識
部が、透明であるステージ本体を介して第1の部品の下
側から第1の認識マークを認識する。従って、ステージ
本体を含む仮圧着ステージを、可動とする必要がなく、
固定することができる。そして、第1の部品の接合部は
固定された仮圧着ステージが備えるステージ本体上に載
置されるため、第1の部品は仮圧着ステージに安定して
固定ないしは支持される。よって、仮圧着部における第
2の接合部を第1の部品に対する位置決め精度を向上す
ることができ、高精度での第1の部品に対する第2の部
品の実装を安定して行うことができる。
ける第1及び第2の部品の認識を行うため、複数の認識
部を使用する場合のような光学系及び駆動機構の熱膨張
差等によるドリフトに起因する認識精度の低下が生じな
い。従って、第1及び第2の部品を高精度で認識するこ
とができ、仮圧着部における位置決め精度が向上し、そ
れによって安定した高精度の実装を行うことができる。
斜視図である。
るための側面図である。
を示す分解斜視図である。
る。
側面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 第1の認識マークが設けられた第1の部
品に対して、第2の認識マークが設けられた第2の部品
を実装するための部品実装装置であって、 上記第1の部品の接合部に接合材を供給する接合材供給
部と、 上記第1の部品の少なくとも接合部を含む部分がその上
に載置される透明なステージ本体と、このステージ本体
をその下側に進入用空間が形成されるように支持する支
持部とを備える固定された仮圧着ステージと、上記ステ
ージ本体の上方で上記第2の部品の接合部を含む部分を
保持する可動の仮圧着ヘッドと、上記ステージ本体の下
側の進入用空間に移動可能であって上記ステージ本体を
介して上記第1の部品の下側から上記第1の認識マーク
を認識する可動の認識部とを備え、少なくともこの認識
部の認識結果に基づいて上記仮圧着ヘッドが上記第2の
部品の接合部を上記第1の部品の接合部に対して位置決
めし、かつ、上記第2の部品の接合部を上記第1の部品
の接合部に対して第1の圧着力で圧着する、仮圧着部
と、 上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合部に対
して、上記第1の圧着力よりも大きい第2の圧着力で圧
着し、それによって第1及び第2の部品の接合部を互い
に固定する本圧着部とを備える部品実装装置。 - 【請求項2】 上記仮圧着ヘッドは上記第2の部品の接
合部を上記仮圧着ステージから離隔した離隔位置に移動
し、上記認識部は上記離隔位置にある仮圧着ヘッドの下
方に移動して上記第2の部品が備える第2の認識マーク
を認識し、上記仮圧着ヘッドは、上記認識部による上記
第1の部品の第1の認識マークの認識結果と、上記第2
の部品の第2の認識マークの認識結果とに基づいて、上
記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合部に対し
て位置決めする、請求項1に記載の部品実装装置。 - 【請求項3】 上記認識部の焦点距離は、上記ステージ
本体に載置された上記第1の部品の第1の認識マークが
上記認識部の焦点に位置するように固定され、 上記認識部が上記第2の部品の第2の認識マークを認識
するときには、上記第2の部品の第2の認識マークが上
記認識部の焦点に位置するように上記仮圧着ヘッドが昇
降する、請求項2に記載の部品実装装置。 - 【請求項4】 上記接合材は、導電性粒子含有膜であ
り、上記第1の部品は液晶表示パネル基板、プラズマ表
示パネル基板又はフレキシブルプリント基板であり、上
記第2の部品はICチップ又はフレキシブルプリント基
板である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載
の部品実装装置。 - 【請求項5】 第1の認識マークが設けられた第1の部
品に対して、第2の認識マークが設けられた第2の部品
を実装する部品実装方法であって、 上記第1の部品の接合部に接合材を供給し、 上記第1の部品の接合部を含む部分を、固定された仮圧
着ステージの透明なステージ本体上に載置し、 上記ステージ本体の下側の進入用空間に上記認識部を移
動させ、 上記認識部により上記ステージ本体を介して上記第1の
部品の下側から上記第1の認識マークを認識し、 上記第2の部品の接合部を含む部分を保持し、かつ上記
仮圧着ステージの上方に位置する仮圧着ヘッドを少なく
とも上記認識部の認識結果に基づいて移動させ、それに
よって上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合
部に対して位置決めし、 上記仮圧着ヘッドを上記仮圧着ステージのステージ本体
に向けて降下させ、それによって上記第2の部品の接合
部を上記第1の部品の接合部に対して第1の圧着力で圧
着し、 上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接合部に対
して、上記第1の圧着力よりも大きい第2の圧着力で圧
着し、それによって第1及び第2の部品の接合部を互い
に固定する、部品実装方法。 - 【請求項6】 上記認識部による上記第1の部品の第1
の認識マークの認識の前又は後に、上記仮圧着ヘッドを
上記仮圧着ステージから離隔した離隔位置に移動させ、 上記認識部を上記離隔位置にある仮圧着ヘッドの下方に
移動させ、 上記認識部により上記第2の部品の第2の認識マークを
認識し、 上記認識部による上記第1の部品の第1の認識マークの
認識結果と、上記第2の部品の第2の認識マークの認識
結果とに基づいて、上記仮圧着ヘッドを移動させ、それ
によって上記第2の部品の接合部を上記第1の部品の接
合部に対して位置決めする、請求項5に記載の部品実装
方法。 - 【請求項7】 上記接合材は、導電性粒子含有膜であ
り、上記第1の部品は液晶表示パネル基板、プラズマ表
示パネル基板又はフレキシブルプリント基板であり、上
記第2の部品はICチップ又はフレキシブルプリント基
板である、請求項5又は請求項6に記載の部品実装装
置。
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