JP2003075506A - 部品試験装置における部品収納方法および部品試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試験装置による試験後の部品をより効率的に
トレイに収納できるようにし、これを通じて部品試験動
作のより一層の効率化を図る。 【解決手段】 試験後の部品を試験結果に応じて分類し
た各集団別に異なるトレイ収納部のトレイに収納するよ
うになっている部品試験装置において、制御部７０に、
優先順位設定手段７６、トレイ収納部割当手段７７及び
制御手段７４とが含まれている。優先順位設定手段７６
は、試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間
が短いものほど優先順位を高くするように、各トレイ収
納部に優先順位を予め定めておく。トレイ収納部割当手
段７７は、先行試験を実施して、試験結果に応じて分類
される各集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から順
に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てる。制
御手段７４は、割り当てに従って試験結果に応じたトレ
イへの部品の収納を行うように制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣチップ等の電
子部品を試験する部品試験装置における部品収納方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置などの製造過程においては、
最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各
種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に
行う装置として、従来、特開平１１−３３３７７５号公
報に開示されるような装置がある。

【０００３】この装置は、トレイに収納された試験前の
ＩＣチップを部品吸着用のノズル部材を有する第１搬送
装置により吸着して第１バッファ装置に載せ、第１バッ
ファ装置によりテストヘッド近傍まで搬送した後、部品
吸着用のノズル部材を有する第２搬送装置により第１バ
ッファ装置上のＩＣチップを吸着してテストヘッド上の
ソケットに移載して試験を行う。そして試験後は、第２
搬送装置によりテストヘッドから第２バッファ装置にＩ
Ｃチップを移載してトレイ載置部まで搬送した後、第１
搬送装置によって試験結果に応じた所定のトレイ上にＩ
Ｃチップを移し替えるように構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような装置で
は、試験後の部品をその結果に応じたトレイに振り分け
ながら収納するため、一連の試験動作を効率的に行うに
は、部品の収納が効率良く行われ得るようにトレイのレ
イアウトを合理的に設定するのが好ましい。

【０００５】この点につき、従来のこの種の装置では、
トレイ載置部におけるトレイレイアウトは固定的に定め
られており、試験内容やロット変更等、試験条件が変更
になった場合でも、基本的にはレイアウトが変更される
ことはなかった。例えば、部品を合格品と不合格品とに
選別する場合、トレイの配置は固定的に定められてお
り、試験条件の変更に応じてレイアウトが変更されるこ
とはない。

【０００６】しかし、試験内容やロット変更等、試験条
件が変更になると、試験結果に応じて分類される集団の
数やその比率も異なってくるので、トレイへの部品の収
納をより効率的に行うには、この点に改善の余地がある
と考えられる。

【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であって、試験後の部品をより効率的にトレイに収納で
きるようにし、これを通じて部品試験動作のより一層の
効率化を図ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の部品試験装置における部品収納方法は、部
品試験装置のトレイ収納領域に設けられた複数のトレイ
収納部にトレイを配設しておき、部品をテストヘッドに
搬送して試験に供した後、該試験後の部品を試験結果に
応じて複数の集団に分類して各集団別に異なるトレイ収
納部のトレイに収納する方法であって、試験後の部品を
トレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に
関連する要素を判断要素として含む所定の判断基準に基
づいて各トレイ収納部に優先順位を予め定めておく一
方、設定された所定数の部品の試験を行う先行試験を実
施してその試験結果に応じ、分類される各集団の部品数
を調べ、部品数の多い集団から順に優先順位の高い位置
のトレイ収納部を割り当て、以後、この割り当てに従っ
て試験後の部品を各トレイ収納部のトレイに収納するよ
うにしたものである。

【０００９】また、この方法を実行する本発明の部品試
験装置は、トレイ収納領域に設けられた複数のトレイ収
納部にトレイを配設するとともに、部品の試験を行うテ
ストヘッドと、試験後の部品の受け取り位置と各トレイ
収納部とにわたる範囲で移動可能な部品保持用のヘッド
とを備え、前記テストヘッドによる試験後の部品を試験
結果に応じて複数の集団に分類して各集団別に異なるト
レイ収納部のトレイに収納するようにしたものであっ
て、試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間
もしくはこの時間に関連する要素を判断要素として含む
所定の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を
定める優先順位設定手段と、設定された所定数の部品の
試験を行う先行試験を実施してその試験結果に応じ、分
類される各集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から
順に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるト
レイ収納部割当手段と、この割り当てに従いその後の試
験において試験後の部品を試験結果に応じたトレイ収納
部のトレイに収納すべく前記部品保持用のヘッドを制御
する制御手段とを備えたものである。

【００１０】上記部品収納方法及び部品試験装置による
と、試験内容やロット等の試験条件の変更があった場合
に、新た試験条件での通常の試験動作に先立って上記先
行試験が行われ、その先行試験と予め定められたトレイ
収納部の優先順位とに基づき、試験後の部品を試験結果
に応じて分類した複数の集団のうちで部品数の多い集団
から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部が割当てら
れる。これにより、部品数の多い集団の部品が優先順位
の高いトレイ収納部（試験後の部品をトレイに収納する
までに要する時間が短い収納部）に収納されるようにト
レイ収納部の割当が調整されることとなり、試験後の部
品を分類して別個のトレイ収納部のトレイに収納する作
業を最も効率良く行うことが可能となる。

【００１１】上記方法及び装置において、トレイ収納部
の優先順位の定め方としては、試験後の部品がトレイに
収納されるまでの部品搬送経路の長さを判断要素とし、
複数のトレイ収納部のうちで前記部品搬送経路が短いも
のほど優先順位を高くするように設定しておけばよい。

【００１２】とくに、前記部品保持用のヘッドの移動範
囲内に、該ヘッドに保持された部品の状態を認識するた
めの撮像手段が設けられ、該ヘッドが試験後の部品を受
け取ってから前記撮像手段の撮像位置まで移動して撮像
が行なわれた後にトレイ収納部へ移動するようになって
いる場合、優先順位設定手段は、複数のトレイ収納部の
うちで前記撮像手段との距離が短いものほど優先順位を
高くするように設定すればよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にする
ためにＸ軸、Ｙ軸を示している。

【００１４】図１及び図２は、本発明に係る部品試験装
置を概略的に示している。これらの図に示すように、部
品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬
送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を
担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装
置本体３とから構成されている。

【００１５】試験装置本体３は、上面にテストヘッド４
を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソ
ケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端
子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力
電流を受けることにより部品の品質を判断するように構
成されている。

【００１６】試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対し
て脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例え
ば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ
２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４
をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テ
スト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハン
ドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド
４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はな
く、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他
の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテスト
ヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するよ
うにしてもよい。

【００１７】ハンドラ２は、同図に示すように、上部が
側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部
品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験
後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成
されている。以下、その構成について具体的に説明す
る。

【００１８】ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分け
て、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テ
ストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領
域に分けられている。

【００１９】トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数
のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図
２の左側から順に第１〜第５の５つのトレイ収納部１１
〜１５が１列に設けられている。そして、第２トレイ収
納部１２及び第４トレイ収納部１４に試験前（未検査）
の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に
空のトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３及び第５トレ
イ収納部１５に試験後の部品を載せたトレイＴｒが夫々
収納されている。

【００２０】とくに試験後の部品は合格品と不合格品の
２つの集団に分けられ、これらに対して第３トレイ収納
部１３及び第５トレイ収納部１５のうちのいずれか一方
が合格品用、他方が不合格品用とされ、後に詳述する先
行試験によりいずれが合格品用とされるかが設定された
上で、その設定に従い、前記合格品と不合格品が別々に
トレイ収納部１３，１５のトレイＴｒにそれぞれ載置さ
れるようになっている。

【００２１】なお、各トレイＴｒは何れも共通の構造を
有しており、図示を省略するが、例えばその表面には複
数の部品収納凹部が区画形成されており、ＩＣチップ等
の部品が各部品収納凹部に収納されるように構成されて
いる。

【００２２】各トレイ収納部１１〜１５は、夫々昇降可
能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で
収納するように構成されており、最上位のトレイＴｒの
みを基台２ａ上に臨ませた状態で配置し、それ以外のト
レイＴｒを基台下のスペースに収納するように構成され
ている。

【００２３】具体的には、図３及び図４に示すように、
各トレイ収納部１１〜１５には、上下方向（Ｚ軸方向）
に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテー
ブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモ
ータ１８により回転駆動されて前記レール１７と平行に
延びるボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸
１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着され
ている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが
積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によ
るボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇
降することにより、テーブル１６上に積み重ねられてい
るトレイＴｒの数に応じてその最上位のものが各開口部
１１ａ〜１５ａを介して基台上に配置されるように構成
されている。

【００２４】また、ハンドラ２の側壁には、図１に示す
ように各トレイ収納部１１〜１５に対応して扉１１ｂ〜
１５ｂが設けられており、これらの扉１１ｂ〜１５ｂを
開くことにより各トレイ収納部１１〜１５に対してトレ
イＴｒを出し入れできるように構成されている。

【００２５】トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び
図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robo
t）２０が設けられている。

【００２６】Ｐ＆Ｐロボット２０は、テストヘッド４に
よる試験後の部品を試験結果に応じて選択的にいずれか
のトレイ収納部のトレイに収納すべく、試験後の部品の
受け取り位置（後記受渡し位置Ｐ１）と各トレイ収納部
とにわたる範囲で移動可能となっている部品保持用のヘ
ッド２３を有している。当実施形態ではこのヘッド２３
によって第２又は第４トレイ収納部１２，１４のトレイ
Ｔｒから部品を取出して後述するシャトルロボット３０
Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャト
ルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収
納部１３又は第５トレイ収納部１５のトレイＴｒに移載
する。さらに第１トレイ収納部１１とその他のトレイ収
納部１２〜１５との間でトレイＴｒを搬送するトレイ搬
送機能も有している。

【００２７】詳しく説明すると、前記基台２ａ上にはＹ
軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これ
ら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装
着されている。また、図示を省略するが、サーボモータ
により回転駆動されて前記固定レール２１と平行に延び
るボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールね
じ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示
省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示して
いないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レ
ールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可
能に装着されるとともに、サーボモータにより回転駆動
されて前記固定レールと平行に延びるボールねじ軸が設
けられ、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナ
ット部分に螺合装着されている。そして、前記各サーボ
モータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材
２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動す
ることにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１
５及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡
し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を
移動）し得るように構成されている。

【００２８】ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載
されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズ
ル部材２４ａ，２４ｂ（第１ノズル２４ａ，第２ノズル
２４ｂ）とトレイ吸着用のノズル部材２５（トレイ用ノ
ズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載
されている。

【００２９】部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂ
は、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの
回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモ
ータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように
構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のト
レイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ
の後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状
態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いト
レイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成さ
れている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際して
は、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２
４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して
予め定められた方向で部品を収納し得るように構成され
ている。

【００３０】トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に
対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により作動するように構成され
ている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイ
Ｔｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２及
び第４トレイ収納部１２，１４から第１トレイ収納部１
１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１
トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸
着して第３又は第５のトレイ収納部１３，１５に移送す
るように構成されている。なお、トレイ用ノズル部材２
５については、トレイＴｒを良好に吸着すべくその先端
部（下端部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けら
れることにより広い吸着面積が確保されている。

【００３１】トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャト
ルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間に
ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４（撮像
手段）が配設されている。このカメラ３４は、部品の吸
着状態（吸着位置のずれ等）を画像の認識に基づいて調
べるべく、Ｐ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着
されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後
の部品をトレイＴｒへの収納に先立って撮像するように
構成されている。なお、該部品認識カメラ３４は、ヘッ
ド２３の各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着されている
２つの部品を同時に撮像し得るように構成されている。

【００３２】一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘ
ッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１
シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０
Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。

【００３３】テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに
形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露
出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面に
は、部品をセットするための複数のソケット（図示省
略）が配設されており、当試験装置１においては２つの
ソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。

【００３４】各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチッ
プ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設け
られており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、
部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該
部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試
験等の電気的試験が施されるように構成されている。

【００３５】シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレ
イ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送し
つつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０
に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように
夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レー
ル３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。
そして、第１トレイ収納部１１及び第５トレイ収納部１
５の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品
受渡し位置Ｐ１と、テストヘッド４側方に設定されたテ
ストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２との間で
前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動さ
せながら該テーブル３２により部品を搬送するように構
成されている。

【００３６】テーブル３２には、試験前の部品を載置す
るためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが
予め定められており、当実施形態では、図５に示すよう
にテーブル３２のうちトレイ収納領域Ｓａ側（同図では
下側）が試験後の部品を載置する第１エリアａ１とさ
れ、その反対側が試験前の部品を載置する第２エリアａ
２と定められている。各エリアａ１，ａ２には、夫々一
対の吸着パッド３３ａ，３３ｂがＸ軸方向に所定間隔
で、具体的にはテストロボット４０の各搬送用ヘッド４
２Ａ，４２Ｂに設けられる一対のヘッド本体４３ａ，４
３ｂの最小ピッチ、あるいはそれ以上のピッチであっ
て、かつＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３のノズル
部材２４ａ，２４ｂに対応する間隔で設けられおり、部
品搬送時には、これらパッド３３ａ，３３ｂ上に部品が
置かれて吸着された状態で搬送されるように構成されて
いる。

【００３７】なお、各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ
とＰ＆Ｐロボット２０及びテストロボット４０との部品
の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。

【００３８】まず、Ｐ＆Ｐロボット２０から各シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂに試験前の部品を移載する際に
は、図６（ａ）に示すように部品受渡し位置Ｐ１の所定
の位置にＰ＆Ｐロボット２０のノズル部材２４ａ，２４
ｂ（ヘッド２３）が位置決めされ、ノズル部材２４ａ，
２４ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２
が位置決めされ（この位置を第２ポジションという）、
この状態でノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴いテー
ブル３２上に部品が移載される。一方、シャトルロボッ
ト３０Ａ（３０Ｂ）からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の
部品を移載する際には、図６（ｂ）に示すようにノズル
部材２４ａ，２４ｂに第１エリアａ１が対応するように
テーブル３２が位置決めされ（この位置を第１ポジショ
ンという）、この状態でテーブル３２上の部品がノズル
部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴い吸着される。

【００３９】また、テストロボット４０からシャトルロ
ボット３０Ａ（３０Ｂ）に試験後の部品を移載する際に
は、図６（ｃ）に示すように部品受渡し位置Ｐ２の所定
の位置にテストロボット４０の後記ノズル部材６０ａ，
６０ｂ（ヘッド本体４３ａ，４３ｂ）がＸ軸方向に夫々
位置決めされるとともに、各ノズル部材６０ａ，６０ｂ
に第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置
決めされ（第１ポジション）、この状態（すなわち、前
記両固定レール３１の内側（図５では右側）に位置する
吸着パッド３３ｂとノズル部材６０ｂ、固定レール３１
の外側（図５では左側）に位置する吸着パッド３３ａと
ノズル部材６０ａとが夫々一致する状態）でノズル部材
６０ａ，６０ｂの昇降に伴ってテーブル３２上に部品が
載置される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）
からテストロボット４０に試験前の部品を移載する際に
は、図６（ｄ）に示すようにノズル部材６０ａ，６０ｂ
に第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置
決めされ（第２ポジション）、この状態でノズル部材６
０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上から部品が吸
着されるようになっている。

【００４０】テストロボット４０は、上述のように各シ
ャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓ
ａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド
４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対し
て部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部
品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡
す（排出する）装置である。

【００４１】このテストロボット４０は、シャトルロボ
ット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられ
た高架２Ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２
Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッ
ド４２Ａ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，
４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３
ｂ（第１ヘッド本体４３ａ，第２ヘッド本体４３ｂ）に
よりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行う
ように構成されている。以下、図１，図２及び図７〜図
９を参照しつつ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの構成につ
いて具体的に説明する。

【００４２】各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂは、夫々、
前記高架２Ｂ上に配設されたＸ軸方向の固定レール４５
に沿って移動可能な一対の可動フレーム４６ａ，４６ｂ
（第１可動フレーム４６ａ，第２可動フレーム４６ｂ）
を有している。これらの可動フレーム４６ａ，４６ｂの
うち第１可動フレーム４６ａにはサーボモータ４７が固
定されており、このサーボモータ４７の出力軸にＸ軸方
向に延びるボールねじ軸４８が一体的に連結されるとと
もに、このボールねじ軸４８が第２可動フレーム４６ｂ
に設けられたナット部分４９に螺合装着されている。ま
た、サーボモータ５０により夫々回転駆動される前記固
定レール４５と平行な一対のボールねじ軸５１が基台２
ａに設けられ、これらボールねじ軸５１が搬送用ヘッド
４２Ａ，４２Ｂの各第１可動フレーム４６ａに設けられ
たナット部分５２に螺合装着されている。すなわち、サ
ーボモータ５０によるボールねじ軸５１の回転駆動に伴
い各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂが固定レール４５に沿
って夫々Ｘ軸方向に移動するとともに、前記サーボモー
タ４７によるボールねじ軸４８の回転駆動に伴い、各搬
送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにおいて、図９の二点鎖線に
示すように第２可動フレーム４６ｂが第１可動フレーム
４６ａに対して相対的にＸ軸方向に移動し得るように構
成されている。

【００４３】各可動フレーム４６ａ，４６ｂ上には、図
８及び図９に示すようにＹ軸方向に延びる固定レール５
４が夫々配設されている。各レール５４には、ヘッド支
持部材５５が夫々移動可能に支持されており、これらヘ
ッド支持部材５５の先端部（図８では左側端部）に前記
ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々組付けられている。そ
して、各可動フレーム４６ａ，４６ｂに、サーボモータ
５７により駆動される前記固定レール５４と平行なボー
ルねじ軸５８が夫々固定台５６を介して支持され、これ
らボールねじ軸５８がヘッド支持部材５５に設けられた
ナット部分５９に夫々螺合装着されている。これにより
各サーボモータ５７によるボールねじ軸５８の回転駆動
に伴い各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが可動フレーム４６
ａ，４６ｂに対して夫々Ｙ軸方向に移動するように構成
されている。

【００４４】各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、図８に
示すように部品吸着用のノズル部材６０ａ，６０ｂ（第
１ノズル部材６０ａ，第２ノズル部材６０ｂ）が夫々設
けられている。各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、ヘッド
本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転
（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモ
ータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するよう
に構成されている。

【００４５】また、ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、テ
ストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基
準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなる
ソケット認識カメラ６２が搭載されている。

【００４６】テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテスト
ヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部
品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが配設されている。これら
のカメラ６４Ａ，６４Ｂは、各搬送用ヘッド４２Ａ，４
２Ｂにより夫々吸着されている２つの部品をその下側か
ら同時に撮像し得るように構成されており、図１０に示
すように、ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより各シャトル
ロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）から部品が取り上げられ
た後、該ヘッド本体４３ａ，４３ｂの移動に伴い部品認
識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に部品が配置される
ことにより部品を撮像するように構成されている。な
お、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４
Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配
置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ
を夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッド４に亘って
最短距離で移動させながらその途中で試験前の部品を撮
像し得るように構成されている。

【００４７】なお、ハンドラ２の上部には、図１に示す
ように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領
域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間
がこのカバー２ｃによって覆われている。

【００４８】図１１は、試験装置１の制御系をブロック
図で示している。この図に示すように、試験装置１は、
論理演算を実行する周知のＣＰＵ７０ａと、そのＣＰＵ
７０ａを制御する種々のプログラムなどを予め記憶する
ＲＯＭ７０ｂと、装置動作中に種々のデータを一時的に
記憶するＲＡＭ７０ｃとを備えた制御部７０（制御手
段）を備えている。

【００４９】この制御部７０には、Ｉ／Ｏ部（図示せ
ず）を介して試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６
４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２が電気的に接
続されるとともに、前記Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロ
ボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの各コン
トローラ７１，７２，７３Ａ，７３Ｂが電気的に接続さ
れている。また、各種情報を制御部７０に入出力するた
めの操作部７５及び試験状況等の各種情報を報知するた
めのＣＲＴ７６等がこの制御部７０に電気的に接続され
ている。

【００５０】図１２は、前記制御部７０の機能ブロック
図である。この図に示すように制御部７０は、主制御手
段７４（制御手段）と、部品良否判別手段７５と、優先
順位設定手段７６と、トレイ収納部割当て手段７７とを
含んでいる。

【００５１】主制御手段７４は、予め記憶されているプ
ログラムに従って後に詳述するような試験動作を実施す
べく、Ｐ＆Ｐロボット２０等の各ロボットの動作を統括
的に制御するものである。特に、試験後の部品をトレイ
に収納する際には、試験後の部品を試験結果に応じて複
数の集団に分類して各集団別に異なるトレイ収納部のト
レイに収納するようにＰ＆Ｐロボット２０を制御する。
当実施形態では、部品良否判別手段７５による判別に基
づいて試験後の部品を良品と不良品の２つの集団に分類
し、選択的に第３トレイ収納部１３のトレイ又は第５ト
レイ収納部１５のトレイに収納するようにしている。

【００５２】前記部品良否判別手段７５は、少なくとも
テストヘッド４による試験結果に基づいて部品の良否を
判別し、望ましくはこの試験結果に加えて部品認識カメ
ラ３４による撮像に基づく部品認識結果によっても部品
の良否を判別する。つまり、テストヘッド４による試験
結果が不良のものと、この試験結果が良であっても部品
認識カメラ３４による撮像に基づく部品認識でリードの
曲がり、断裂等の不良が見出されたものとは不良品と
し、テストヘッド４による試験結果及び部品認識カメラ
３４による撮像に基づく部品認識結果がともに良のもの
は良品とする。

【００５３】優先順位設定手段７６は、試験後の部品を
トレイに収納するまでに要する時間もしくはこの時間に
関連する要素を判断要素として含む所定の判断基準に基
づいて各トレイ収納部に優先順位を予め定めておくもの
であり、例えば試験後の部品がトレイに収納されるまで
の部品搬送手段による部品搬送経路の長さを判断要素と
し、複数のトレイ収納部のうちで部品搬送経路が短いも
のほど優先順位を高くするように設定する。当実施形態
では、Ｐ＆Ｐロボットのヘッドが受け渡し位置で試験後
の部品を受け取ってから部品認識カメラ３４の撮像位置
まで移動して撮像が行なわれた後にトレイ収納部へ移動
するようになっているので、前記優先順位設定手段は、
受け渡し位置から部品認識カメラ３４を経てトレイ収納
部に至るまでの部品搬送経路の長さを判断要素とする。
つまり、部品認識カメラ３４に近いものほど優先順位を
高くし、図示の例では部品認識カメラ３４が第３トレイ
収納部１３に近い位置にあるので、トレイ収納部１３，
１５のうち第３トレイ収納部１３の方が優先順位が高く
されている。

【００５４】トレイ収納部割当手段７７は、後に詳述す
るように、設定された所定数の部品についての先行試験
を実施し、その試験結果に応じ、分類される各集団（合
格品の集団と不合格品の集団）の部品数を調べ、部品数
の多い集団から順に優先順位の高い位置のトレイ収納部
を割り当てるようにしている。

【００５５】そして、このような先行試験に基づくトレ
イ収納部の割り当てが行われた後の通常の部品試験動作
では、この割り当てに従い試験結果に応じたトレイ収納
部のトレイに収納すべく、前記主制御手段によるＰ＆Ｐ
ロボット２０等の制御が行われる。

【００５６】次に、前記制御部７０の制御に基づく試験
装置１の動作について説明することにする。

【００５７】まず、通常の部品試験動作について説明す
る前に、トレイ収納部割当てのための先行試験の制御に
ついて図１３のフローチャートを用いて説明する。この
先行試験は、試験内容やロット等の試験条件の変更があ
った場合に、新たな試験条件での試験の際に、最初の所
定数分について行われるものである。

【００５８】まず、ステップＳ１で、第３トレイ収納部
１３が合格品（Pass）用、第５トレイ収納部１５が不合
格品（Fail）用と仮設定され、続いてステップＳ２で試
験動作が行われる。この試験動作は、後に詳述するよう
な図１４のタイミングチャートに示す通常の部品試験動
作と同様であり、試験後の部品はシャトルロボット３０
Ａ，３０Ｂでトレイ収納領域Ｓａ側に移送されてから、
Ｐ＆Ｐロボット２０に受け渡され、Ｐ＆Ｐロボット２０
のヘッド２３が部品認識カメラ３４上に移動してこのカ
メラによる撮像とそれに基づく部品吸着状態の認識が行
われてから、トレイ収納部上にヘッドが移動してトレイ
に部品が収納されるが、この際、ステップＳ１での仮設
定に従って合格品は第３トレイ収納部１３のトレイに収
納され、不合格品は第５トレイ収納部１５のトレイに収
納される。

【００５９】そして、ステップＳ３で、合格品と不合格
品の比率を見極めるのに適当な所定数の部品の試験が終
了したか否かが判定され、所定数に達していなければ試
験動作（ステップＳ２）が繰り返される。

【００６０】所定数の部品の試験が終了したときは、ス
テップＳ４で合格品（Pass）と不合格品（Fail）のどち
らが多いかが比較、判定される。そして、前述の優先順
位設定手段により予め設定された優先順位とステップＳ
４での判定結果とに応じ、合格品と不合格品とのうちで
部品数の多い方の集団に優先順位の高いトレイ収納部が
割り当てられる。具体的には、当実施形態ではトレイ収
納部１３，１５のうちで第３トレイ収納部１３の方が優
先順位が高いため、部品数の多い方の集団に第３トレイ
収納部１３が割り当てられる。

【００６１】すなわち、合格品の方が不合格品よりも多
い場合は仮設定（ステップＳ１での設定）の内容のまま
で本設定される（ステップＳ５）。一方、合格品よりも
不合格品の方が多い場合は、仮設定とは逆に第３トレイ
収納部１３が不合格品用、第５トレイ収納部１５が合格
品用と本設定される（ステップＳ６）。さらにこの場合
は、仮設定に従って既にトレイ収納部１３，１５に収納
されている部品の載せ替えが行われる（ステップＳ
７）。ステップＳ５又はステップＳ６，Ｓ７の処理が済
めば、先行試験動作が終了する。

【００６２】次に、試験装置１における具体的な部品試
験動作について図１４のタイミングチャートに基づいて
説明することにする。

【００６３】なお、このタイミングチャートは試験動作
中の特定の時点（ｔ０時点）からの動作を示しており、
該ｔ０時点における各ロボット２０，３０Ａ，３０Ｂ，
４０（搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ）の状態は以下の通
りである。

【００６４】・Ｐ＆Ｐロボット２０ ；試験後の部品を
トレイＴｒに収納すべくヘッド２３が移動中の状態にあ
る。つまり、ヘッド２３が第１シャトルロボット３０Ａ
の部品受渡し位置Ｐ１から、部品認識カメラ３４の上方
を通過して第３トレイ収納部１３上又は第５トレイ収納
部１５上に向って移動中の状態になる。なお、部品の吸
着状態を調べるための処理、すなわち認識カメラ３４に
よる部品の撮像は終了している。

【００６５】・第１シャトルロボット３０Ａ ；次回第
１搬送用ヘッド４２Ａに供給する部品をテーブル３２上
に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態に
ある。

【００６６】・第１搬送用ヘッド４２Ａ ；次に試験を
行う部品を各ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより吸着し、
かつ各部品を部品認識カメラ６４Ａ上方に配置（待機）
した状態、すなわち部品認識カメラ６４Ａによる部品の
撮像に基づき前記第１吸着誤差演算手段８２により各ノ
ズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品の吸着誤
差（ずれ）が求められた状態になる。

【００６７】・第２シャトルロボット３０Ｂ ；次に第
２搬送用ヘッド４２Ｂに供給する部品をテーブル３２上
に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態に
ある。

【００６８】・第２搬送用ヘッド４２Ｂ ；テストヘッ
ド４において試験終了直後の状態にある。

【００６９】以上のような状態下において、まず、第２
シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２が部品受渡し位
置Ｐ２に移動するとともに（ｔ１時点）、第２搬送用ヘ
ッド４２Ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂが部品をソケ
ットに押圧する状態から該部品を吸着する状態に切替
り、該部品を吸着したまま上昇し、上昇が完了すると試
験後の部品を受け渡すべく第２搬送用ヘッド４２Ｂが第
２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２に移動
を開始する（ｔ３時点）。この際、第２搬送用ヘッド４
２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部
品同士のピッチがテーブル３２における吸着パッド３３
ａ，３３ｂのピッチ（Ｘ軸方向の間隔）と一致しない場
合は、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動中にヘッド本体４
３ａ，４３ｂの間隔が両ソケット４ａ，４ｂの間のピッ
チに一致するように第２搬送用ヘッド４２Ｂが駆動制御
される。

【００７０】部品受渡し位置Ｐ２に第２搬送用ヘッド４
２Ｂが到達すると（ｔ７時点）、まず第２搬送用ヘッド
４２Ｂから第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２
上に試験後の部品が移載され、次いで、該テーブル３２
に予め載置されている次の部品（試験前の部品）が第２
ロボット本体４２Ｂに受け渡される。詳しくは、第２シ
ャトルロボット３０Ｂのテーブル３２がまず部品受渡し
位置Ｐ２において第１ポジション（図６（ｃ）参照）に
位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴
いテーブル３２上の第１エリアａ１に部品が移載される
（ｔ９時点）。その後、テーブル３２が第２ポジション
（図６（ｄ）参照）に位置決めされ、テーブル上の第２
エリアａ２に保持されている部品が各ノズル部材６０
ａ，６０ｂの昇降に伴い吸着される（ｔ１２時点）。

【００７１】第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロ
ボット３０Ｂとの間での部品の受渡しが完了すると、第
２搬送用ヘッド４２Ｂの移動に伴い各部品が部品認識カ
メラ６４Ｂ上に配置されて（ｔ１８時点）、該部品の撮
像に基づき吸着状態を調べるための処理が行われ、この
処理が完了するとテストヘッド４への搬送待機状態とな
る。

【００７２】一方、上記のように第２搬送用ヘッド４２
Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に移動すると、これと同じタイ
ミングで第１搬送用ヘッド４２Ａが次の部品の試験を行
うべくテストヘッド４に移動を開始する（ｔ３時点）。
そして、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４に到
達すると（ｔ５時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが
下降し、この下降に伴い各ノズル部材６０ａ，６０ｂに
吸着されている部品がテストヘッド４の各ソケット４
ａ，４ｂに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めさ
れ、これにより該部品の試験が開始される（ｔ８時
点）。

【００７３】テストヘッド４に位置決めされている部品
の試験が終了すると（ｔ２０時点）、各ノズル部材６０
ａ，６０ｂが上昇して部品がソケット４ａ，４ｂから取
り外され（ｔ２３時点）、さらに第１搬送用ヘッド４２
Ａが移動して該試験後の部品が第１シャトルロボット３
０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送される（ｔ２５時
点）。そして、上述した第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２
シャトルロボット３０Ｂとの部品受け渡し動作と同様に
して、第１搬送用ヘッド４２Ａと第１シャトルロボット
３０Ａとの間で部品の受け渡しが行われる。

【００７４】また、部品受渡し位置Ｐ２への第１搬送用
ヘッド４２Ａの移動開始と同じタイミングで第２搬送用
ヘッド４２Ｂがテストヘッド４に移動し（ｔ２３時
点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，
４３ｂに吸着されている次の部品がテストヘッド４に押
し付けられた状態で位置決めされることとなる（ｔ２６
時点）。

【００７５】一方、Ｐ＆Ｐロボット２０及び各シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂについては、テストロボット４
０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対する部品の受け
渡しが連続的に行われ得るように以下のようにそれらの
動作が制御される。

【００７６】まず、第２シャトルロボット３０Ｂについ
ては、第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に
到達すると同時（ｔ７時点）に試験後の部品を受け取る
べく、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動する。
そして、上記の通りまずテーブル３２が第１ポジション
（図６（ｃ）参照）に配置された状態で第２搬送用ヘッ
ド４２Ｂからテーブル３２へ試験後の部品が受け渡され
（ｔ９時点）、さらにテーブル３２が第２ポジション
（図６（ｄ）参照）に配置されて（ｔ１０時点）試験前
の部品がテーブル３２から第２搬送用ヘッド４２Ｂに受
け渡される（ｔ１２時点）。

【００７７】その後、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ
１に移動を開始し（ｔ１２時点）、まず第２ポジション
（図６（ｂ）参照）にテーブル３２が配置された状態で
（ｔ１４時点）、Ｐ＆Ｐロボット２０からテーブル３２
に次ぎの部品（試験前の部品）が受け渡される（ｔ１６
時点）。次いで、テーブル３２が第１ポジション（図６
（ａ）参照）に配置され（ｔ１７時点）、この状態でテ
ーブル３２からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品が受
け渡され（ｔ１９時点）、その後、次回の部品受渡しま
で部品受渡し位置Ｐ１において待機状態におかれる。な
お、これは第２シャトルロボット３０Ｂの動作制御であ
るが、第１シャトルロボット３０Ａについても第１搬送
用ヘッド４２Ａとの関係で同様にその動作が制御され
る。

【００７８】一方、Ｐ＆Ｐロボット２０は、先に試験が
終了した部品をその試験結果に応じたトレイＴｒに収納
すべくその動作が制御される。この場合、前述の先行試
験（図１３参照）で設定されたトレイ収納部の割当てに
従って試験結果に応じた部品の収納が行われ、例えば先
行試験で第３トレイ収納部１３が合格品用、第５トレイ
収納部１５が不合格品用に本設定されている場合は、そ
れに従って合格品、が第３トレイ収納部１３に、不合格
品が第５トレイ収納部１５にそれぞれ収納される。

【００７９】このとき、各ノズル部材２４ａ，２４ｂに
吸着された２つの部品（試験後の部品）のうち少なくと
も一つが合格品の場合には、まずヘッド２３が第３トレ
イ収納部１３上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノ
ズル部材２４ａの昇降に伴い該合格品がトレイＴｒに収
納される（ｔ４時点）。次いで、第２ノズル部材２４ｂ
の吸着部品が合格品である場合にはヘッド２３が同トレ
イＴｒ上の次の部品収納部に僅かに移動した後、一方、
不合格品である場合にはヘッド２３が第５トレイ収納部
１５上に移動した後、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴
い残りの部品がトレイＴｒに収納される（ｔ６時点）。
こうして第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い部品がその
試験結果に応じて第３トレイ収納部１３、あるいは第５
トレイ収納部１５のトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時
点）。なお、両方の部品が不合格品の場合には、ヘッド
２３が第５トレイ収納部１５上に配置され（ｔ２時
点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い最初の
部品がトレイＴｒに収納され（ｔ４時点）、その後、ヘ
ッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部上に配置さ
れて（ｔ６時点）、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い
残りの部品がトレイＴｒ内に収納される（ｔ８時点）。

【００８０】試験後の部品のトレイＴｒへの収納が完了
すると、ヘッド２３が第２トレイ収納部１２又は第４ト
レイ収納部１４の上方に配置され（ｔ１１時点）、新た
な部品がトレイＴｒから取出される（ｔ１３時点）。そ
して、ヘッド２３が第２シャトルロボット３０Ｂの部品
受渡し位置Ｐ１に移動、配置され、上述したように当該
新たな部品が第２シャトルロボット３０Ｂに受け渡され
るとともに（ｔ１６時点）、試験後の部品が第２シャト
ルロボット３０ＢからＰ＆Ｐロボット２０に受け渡され
る（ｔ１９時点）。

【００８１】このような第２シャトルロボット３０Ｂに
対する部品の受渡しが完了すると、ヘッド２３が部品認
識カメラ３４上に配置され、試験後の部品の撮像に基づ
き該部品の吸着状態を調べるための処理が行われ、この
処理が完了すると、該部品をトレイＴｒに収納すべくヘ
ッド２３等の動作が制御されることとなる（ｔ２２時
点）。なお、ｔ２２時点からｔ２７時点（試験後の次ぎ
の部品を収納すべく第３トレイ収納部１３等の上方にヘ
ッド２３が位置決めされた時点）の間においては、試験
結果に応じて部品が所定のトレイＴｒへ収納された後、
第２トレイ収納部１２等から新たな部品が取出されて第
１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２に受け渡され
るとともに、試験終了後の部品を受け取るための一連の
動作が第１第１シャトルロボット３０Ａ及びＰ＆Ｐロボ
ット２０により行われる。この一連の動作は、ｔ２時点
からｔ１９時点の間の動作と同様なものである。また、
ｔ２６時点からｔ２８時点（次の部品の試験が終了した
時点）の間における第２搬送用ヘッド４２Ｂによる試験
動作も、ｔ８時点からｔ２０時点の間における第１搬送
用ヘッド４２Ａによる動作と同様にその動作が制御され
る。

【００８２】このようにして以後、図１０に示すよう
に、部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間で１搬
送用ヘッド４２Ａ（又は第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を移
動させつつテストヘッド４に２ずつ部品を搬送、位置決
めして試験を行う一方で、これと並行して第２搬送用ヘ
ッド４２Ｂ（又は第１搬送用ヘッド４２Ａ）と第２シャ
トルロボット３０Ｂ（又は第２シャトルロボット３０
Ｂ）との間で部品の受け渡し（つまり試験後の部品と次
回の部品との受け渡し）を行いながら、さらにこのよう
な第１搬送用ヘッド４２Ａ及び第２搬送用ヘッド４２Ｂ
に対する部品の受け渡し等が連続的に行われるように各
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及びＰ＆Ｐロボット２
０の動作が制御される。

【００８３】なお、図１４のタイミングチャート中には
示していないが、試験の進行に伴い第２トレイ収納部１
２又は第４トレイ収納部１４のトレイＴｒ（最上位のト
レイ）が空になると、ヘッド２３により該空トレイＴｒ
を吸着して第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納
部１１に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制
御される。これにより第２トレイ収納部１２等において
次ぎのトレイＴｒからの部品の取出しが可能となる。同
様に、第３トレイ収納部１３又は第５トレイ収納部１５
において、トレイＴｒ（最上位のトレイ）に部品が満載
状態となると、第１トレイ収納部１１に収納されている
空トレイＴｒをヘッド２３により吸着して第３トレイ収
納部１３等に移載するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作
が制御される。これにより第３トレイ収納部１３等にお
いて試験終了後の次ぎの部品をトレイＴｒに収納できる
ようになる。

【００８４】以上説明したように、当実施形態の試験装
置１では、試験結果に応じて合格品、不合格品が第３ト
レイ収納部１３と第５トレイ収納部１５とに分類して収
納される。とくに、予めトレイ収納部の優先順位が定め
られた上で、前述の先行試験ににより、合格品、不合格
品のうちで個数が多い方に優先順位の高いトレイ収納部
が割当てられる。例えば合格品の方が多ければ、優先順
位の高い第３トレイ収納部１３が合格品用、優先順位の
低い第５トレイ収納部１５が不合格品用に割り当てられ
る。そして、先行試験に続いて行われる通常の部品試験
動作では、先行試験による設定に従って、合格品は第３
トレイ収納部１３に、不合格品は第５トレイ収納部１５
にそれぞれ収納される。

【００８５】また、その後に試験内容やロット等の試験
条件の変更があると、改めて先行試験が行われ、その先
行試験で今度は合格品より不合格品の方が多くなったと
すると、第３トレイ収納部１３が不合格品、第５トレイ
収納部１５が合格品用となるように設定が変更され、そ
れに続く通常の部品試験動作ではこのように変更された
設定に従って、合格品は第５トレイ収納部１５に、不合
格品は第３トレイ収納部１３にそれぞれ収納されること
となる。

【００８６】このようにして、常に、合格品、不合格品
のうちで個数が多い方が優先順位の高いトレイ収納部
（試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間が
短い収納部）に収納されるように調整されるので、試験
後の部品を試験結果に応じて分類して別個のトレイ収納
部のトレイに収納する作業を最も効率良く行うことがで
きて、この作業のタクトタイムを短縮することができ、
延いては部品試験装置全体としての効率を向上すること
ができることとなる。

【００８７】ところで、以上説明した試験装置１は、本
発明に係る部品試験装置の一の実施形態であって、その
具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜
変更可能である。例えば、以下のような構成を採用する
こともできる。

【００８８】先行試験の際の処理として、図１３に示
す例では、第３トレイ収納部１３を合格品用、第５トレ
イ収納部１５を不合格品用と仮設定しているが、先行試
験の段階ではこれらのトレイ収納部１３，１５以外の適
当な場所を仮置き部１００（図２参照）とし、合格品と
不合格品とをこの仮置き部１００に分別して仮置きして
もよい。

【００８９】この場合の先行試験は図１５のように行わ
れればよい。すなわち、ステップＳ１１，Ｓ１２で所定
数の部品の試験が終了するまで試験動作（ただし試験後
の部品は合格品と不合格品とを分別して仮置き部に置
く）が繰り返され、所定数の部品の試験が終了するとス
テップＳ１３で合格品の個数と不合格品の個数とが比較
される。そして、合格品の方が多い場合には、第３トレ
イ収納部１３が合格品用、第５トレイ収納部１５が不合
格品用と設定され（ステップＳ１４）、不合格品の方が
多い場合には、第３トレイ収納部１３が不合格品用、第
５トレイ収納部１５が合格品用と設定される（ステップ
Ｓ１５）。さらにステップＳ１６で、先行試験で仮置き
部に仮置きされていた部品が、ステップＳ１４又はステ
ップＳ１５での設定に従って第３，第５トレイ収納部１
３，１５に載せ替えられる。

【００９０】試験後の部品の収納に用いる収納部とし
て前記実施形態では第３及び第５のトレイ収納部１３，
１５を用いているが、これに限らず、例えば第４及び第
５のトレイ収納部１４，１５を用いるようにしてもよ
く、この場合でも、試験後の部品をトレイに収納するま
でに要する時間もしくはこの時間に関連する要素（例え
ば搬送経路の長さ）を判断要素として含む判断基準に基
づいて各トレイ収納部に優先順位を予め定めておく一
方、先行試験により合格品と不合格品の個数を比較し
て、多い方に優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り
当てるようにすることは前記実施形態と同様である。

【００９１】前記実施形態では試験後の部品を合格品
と不合格品の２つの集団に分類しているが、例えばテス
トヘッド４による試験及び部品認識カメラ３４による部
品認識に基づく判定の両方をパスした合格品と、テスト
ヘッド４による試験で異常が認められた不合格品と、部
品認識カメラ３４による部品認識で異常が認められた不
合格品とに分類するというように、３つ以上の集団に分
類し、それに対応して３つ以上のトレイ収納部を試験後
の部品の収納に用いるようにしてもよい。この場合で
も、前述のように試験後の部品を収納するトレイ収納部
に優先順位を定めておくとともに、先行試験により各集
団の部品数を調べ、部品数の高い集団から順に優先順位
の高い位置のトレイ収納部を割り当てるようにすればよ
い。

【００９２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、試験後
の部品を試験結果に応じて分類した各集団別に異なるト
レイ収納部のトレイに収納するものであって、試験後の
部品をトレイに収納するまでに要する時間もしくはこの
時間に関連する要素に基づいて各トレイ収納部に優先順
位を予め定めておくとともに、先行試験により前記各集
団の部品数を調べて、部品数の多い集団から順に優先順
位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるようにしてい
るため、試験後の部品を分類しつつ効率良くトレイに収
納することができ、これによって部品試験動作の効率を
向上することできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図で
ある。

【図２】部品試験装置を示す平面図である。

【図３】トレイ収納領域のトレイ収納部の構成を示す断
面図である。

【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図
である。

【図５】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面
略図である。

【図６】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテ
ーブルの位置を示す図２のＢ矢指図である（（ａ），
（ｃ）はテーブルが第１ポジションに配置された状態、
（ｂ），（ｄ）はテーブルが第２ポジションに配置され
た状態を示す）。

【図７】テストロボットの具体的な構成を示す平面図で
ある。

【図８】テストロボットの具体的な構成を示す図７のＣ
−Ｃ断面図である。

【図９】テストロボットの具体的な構成を示す図８のＤ
−Ｄ断面図である。

【図１０】テストヘッドの構成を示す模式的な平面図で
ある。

【図１１】部品試験装置の制御系を示すブロック図であ
る。

【図１２】制御部の機能構成を示すブロック図である。

【図１３】先行試験の制御を示すフローチャートであ
る。

【図１４】部品試験装置の動作を示すタイミングチャー
トである。

【図１５】先行試験の制御の別の例を示すフローチャー
トである。

【符号の説明】

１ 部品試験装置 ２ ハンドラ ３ 試験装置本体 ４ テストヘッド ２０ Ｐ＆Ｐロボット ７０ 制御部 ７４ 主制御手段（制御手段） ７５ 部品良否判別手段 ７６ 優先順位設定手段 ７７ トレイ収納部割当て手段

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品試験装置のトレイ収納領域に設けら
   れた複数のトレイ収納部にトレイを配設しておき、部品
   をテストヘッドに搬送して試験に供した後、該試験後の
   部品を試験結果に応じて複数の集団に分類して各集団別
   に異なるトレイ収納部のトレイに収納する部品収納方法
   であって、 試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もし
   くはこの時間に関連する要素を判断要素として含む所定
   の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を予め
   定めておく一方、設定された所定数の部品の試験を行う
   先行試験を実施してその試験結果に応じ、分類される各
   集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から順に優先順
   位の高い位置のトレイ収納部を割り当て、以後、この割
   り当てに従って試験後の部品を各トレイ収納部のトレイ
   に収納することを特徴とする部品試験装置における部品
   収納方法。
2. 【請求項２】 試験後の部品がトレイに収納されるまで
   の部品搬送経路の長さを判断要素とし、複数のトレイ収
   納部のうちで前記部品搬送経路が短いものほど優先順位
   を高くするように設定しておくことを特徴とする請求項
   １記載の部品試験装置における部品収納方法。
3. 【請求項３】 トレイ収納領域に設けられた複数のトレ
   イ収納部にトレイを配設するとともに、部品の試験を行
   うテストヘッドと、試験後の部品の受け取り位置と各ト
   レイ収納部とにわたる範囲で移動可能な部品保持用のヘ
   ッドとを備え、前記テストヘッドによる試験後の部品を
   試験結果に応じて複数の集団に分類して各集団別に異な
   るトレイ収納部のトレイに収納するようにした部品試験
   装置であって、 試験後の部品をトレイに収納するまでに要する時間もし
   くはこの時間に関連する要素を判断要素として含む所定
   の判断基準に基づいて各トレイ収納部に優先順位を定め
   る優先順位設定手段と、設定された所定数の部品の試験
   を行う先行試験を実施してその試験結果に応じ、分類さ
   れる各集団の部品数を調べ、部品数の多い集団から順に
   優先順位の高い位置のトレイ収納部を割り当てるトレイ
   収納部割当手段と、この割り当てに従いその後の試験に
   おいて試験後の部品を試験結果に応じたトレイ収納部の
   トレイに収納すべく前記部品保持用のヘッドを制御する
   制御手段とを備えたことを特徴とする部品試験装置。
4. 【請求項４】 前記優先順位設定手段は、試験後の部品
   がトレイに収納されるまでの部品搬送手段による部品搬
   送経路の長さを判断要素とし、複数のトレイ収納部のう
   ちで前記部品搬送経路が短いものほど優先順位を高くす
   るように設定することを特徴とする請求項３記載の部品
   試験装置。
5. 【請求項５】 前記部品保持用のヘッドの移動範囲内
   に、該ヘッドに保持された部品の状態を認識するための
   撮像手段を設け、該ヘッドが試験後の部品を受け取って
   から前記撮像手段の撮像位置まで移動して撮像が行なわ
   れた後にトレイ収納部へ移動するようにし、前記優先順
   位設定手段は、複数のトレイ収納部のうちで前記撮像手
   段との距離が短いものほど優先順位を高くするように設
   定することを特徴とする請求項４記載の部品試験装置。