JP2003010636A - ハロゲンガスの除去方法 - Google Patents
ハロゲンガスの除去方法Info
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- JP2003010636A JP2003010636A JP2001202977A JP2001202977A JP2003010636A JP 2003010636 A JP2003010636 A JP 2003010636A JP 2001202977 A JP2001202977 A JP 2001202977A JP 2001202977 A JP2001202977 A JP 2001202977A JP 2003010636 A JP2003010636 A JP 2003010636A
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- hydrogen
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Abstract
(57)【要約】
【課題】活性炭系吸着剤を用いることによる発火、臭
気、固形廃棄物発生等の難点を回避又は低減し、かつ、
Ｃｌ２等のハロゲンガスの分解除去処理能力が高い、ハ
ロゲンガスの除去方法の提供。 【解決手段】塩素ガス、臭素ガス及びヨウ素ガスからな
る群より選ばれる一種以上のハロゲンガスを含有するガ
スを炭酸水素塩の粉体又は粒体に接触させて前記ハロゲ
ンガスを除去する方法において、塩化水素、フッ化水
素、臭化水素及びヨウ化水素からなる群より選ばれる一
種以上の酸性ガスを、前記ハロゲンガスに対して１〜１
００体積％添加する。
気、固形廃棄物発生等の難点を回避又は低減し、かつ、
Ｃｌ２等のハロゲンガスの分解除去処理能力が高い、ハ
ロゲンガスの除去方法の提供。 【解決手段】塩素ガス、臭素ガス及びヨウ素ガスからな
る群より選ばれる一種以上のハロゲンガスを含有するガ
スを炭酸水素塩の粉体又は粒体に接触させて前記ハロゲ
ンガスを除去する方法において、塩化水素、フッ化水
素、臭化水素及びヨウ化水素からなる群より選ばれる一
種以上の酸性ガスを、前記ハロゲンガスに対して１〜１
００体積％添加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塩素ガス、臭素ガ
ス及びヨウ素ガスからなる群より選ばれる一種以上のハ
ロゲンガス（以下、本ハロゲンガスという）を含有する
ガスから本ハロゲンガスを除去する方法に関し、例え
ば、本ハロゲンガスを含有するドライエッチング排ガス
等から本ハロゲンガスを除去する方法に関する。
ス及びヨウ素ガスからなる群より選ばれる一種以上のハ
ロゲンガス（以下、本ハロゲンガスという）を含有する
ガスから本ハロゲンガスを除去する方法に関し、例え
ば、本ハロゲンガスを含有するドライエッチング排ガス
等から本ハロゲンガスを除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、本ハロゲンガス又は本ハロゲ
ンガスとハロゲン化合物とを含有するドライエッチング
排ガスやＣＶＤ（化学気相蒸着法）チャンバ排ガス等の
処理方法として、設備の小型化及び操作の簡便化のた
め、活性炭等の吸着剤を使用した乾式による処理方法等
が採用されている。しかし、活性炭等の吸着剤の吸着容
量が小さいため長時間にわたる処理ができないこと、ガ
ス吸着時の吸着熱による発火のおそれがあること、使用
済み吸着剤が臭気を有し、かつ、固形廃棄物として別途
処理を要すること等の問題があった。
ンガスとハロゲン化合物とを含有するドライエッチング
排ガスやＣＶＤ（化学気相蒸着法）チャンバ排ガス等の
処理方法として、設備の小型化及び操作の簡便化のた
め、活性炭等の吸着剤を使用した乾式による処理方法等
が採用されている。しかし、活性炭等の吸着剤の吸着容
量が小さいため長時間にわたる処理ができないこと、ガ
ス吸着時の吸着熱による発火のおそれがあること、使用
済み吸着剤が臭気を有し、かつ、固形廃棄物として別途
処理を要すること等の問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
に鑑み、吸着剤を使用することを要せず、したがって、
吸着剤の発火の問題、使用済み吸着剤の臭気や固形廃棄
物処理の問題がなく、かつ、本ハロゲンガスの処理能力
が高い、本ハロゲンガスの除去方法を提供することを目
的とする。
に鑑み、吸着剤を使用することを要せず、したがって、
吸着剤の発火の問題、使用済み吸着剤の臭気や固形廃棄
物処理の問題がなく、かつ、本ハロゲンガスの処理能力
が高い、本ハロゲンガスの除去方法を提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、塩素ガス、臭
素ガス及びヨウ素ガスからなる群より選ばれる一種以上
のハロゲンガスを含有するガスを炭酸水素塩の粉体又は
粒体に接触させて前記ハロゲンガスを除去する方法にお
いて、塩化水素、フッ化水素、臭化水素及びヨウ化水素
からなる群より選ばれる一種以上の酸性ガスを、前記ハ
ロゲンガスに対して１〜１００体積％添加することを特
徴とするハロゲンガスの除去方法を提供する。
素ガス及びヨウ素ガスからなる群より選ばれる一種以上
のハロゲンガスを含有するガスを炭酸水素塩の粉体又は
粒体に接触させて前記ハロゲンガスを除去する方法にお
いて、塩化水素、フッ化水素、臭化水素及びヨウ化水素
からなる群より選ばれる一種以上の酸性ガスを、前記ハ
ロゲンガスに対して１〜１００体積％添加することを特
徴とするハロゲンガスの除去方法を提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明において、炭酸水素塩とし
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性が少なく、造粒物の製造
や保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナト
リウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナ
トリウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好
ましい。
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性が少なく、造粒物の製造
や保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナト
リウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナ
トリウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好
ましい。
【０００６】本発明では、本ハロゲンガス含有ガスに、
特定酸性ガスを添加して炭酸水素塩の粉体又は粒体に接
触させることにより、炭酸水素塩の反応性を向上させる
ことができ、効果をより長く持続できる。
特定酸性ガスを添加して炭酸水素塩の粉体又は粒体に接
触させることにより、炭酸水素塩の反応性を向上させる
ことができ、効果をより長く持続できる。
【０００７】特定酸性ガスの添加量としては、本ハロゲ
ンガスの全量に対して、同圧力、同温度で１〜１００体
積％である。添加量が１体積％未満であると、特定酸性
ガス添加の効果が充分に得られない。添加量が１００体
積％超であると、炭酸水素塩の反応性のさらなる向上が
認められず、不必要に特定酸性ガスを使用することにな
る他、炭酸水素塩が特定酸性ガスとの反応によって消費
され、本ハロゲンガスの除去容量が低下する。より好ま
しい添加量は１〜８０体積％である。
ンガスの全量に対して、同圧力、同温度で１〜１００体
積％である。添加量が１体積％未満であると、特定酸性
ガス添加の効果が充分に得られない。添加量が１００体
積％超であると、炭酸水素塩の反応性のさらなる向上が
認められず、不必要に特定酸性ガスを使用することにな
る他、炭酸水素塩が特定酸性ガスとの反応によって消費
され、本ハロゲンガスの除去容量が低下する。より好ま
しい添加量は１〜８０体積％である。
【０００８】なお、本ハロゲンガス含有ガスに特定酸性
ガスを添加して炭酸水素塩の粉体又は粒体と接触させる
方法としては、本ハロゲンガス含有ガスにあらかじめ特
定酸性ガスを添加し、混合した後に炭酸水素塩に接触さ
せてもよく、炭酸水素塩に本ハロゲンガス含有ガスを接
触させる際に同時に特定酸性ガスを炭酸水素塩に接触さ
せてもよい。また、本ハロゲンガスや特定酸性ガスの沸
点が高い場合には、接触時の温度を高めたり、他のガス
で希釈したりして、気体状態で炭酸水素塩に接触させる
のがよい。
ガスを添加して炭酸水素塩の粉体又は粒体と接触させる
方法としては、本ハロゲンガス含有ガスにあらかじめ特
定酸性ガスを添加し、混合した後に炭酸水素塩に接触さ
せてもよく、炭酸水素塩に本ハロゲンガス含有ガスを接
触させる際に同時に特定酸性ガスを炭酸水素塩に接触さ
せてもよい。また、本ハロゲンガスや特定酸性ガスの沸
点が高い場合には、接触時の温度を高めたり、他のガス
で希釈したりして、気体状態で炭酸水素塩に接触させる
のがよい。
【０００９】接触させるべき炭酸水素塩の形態は粉体で
もよいが、粒体が好ましく、造粒物が特に好ましい。造
粒物は、炭酸水素塩を７０％（特記しない限り質量基準
である）以上含有することが好ましい。造粒物中におい
て、炭酸水素塩が７０％未満であると、本ハロゲンガス
除去剤としてのガス処理容量が低下し、除去剤充填層の
入れ替え頻度が高くなるので好ましくない。造粒物中の
炭酸水素塩の含有量は、８０％以上であることが特に好
ましい。なお、造粒物中において、他に含まれる材料と
しては、炭酸水素塩以外の吸着剤、バインダー等が挙げ
られる。
もよいが、粒体が好ましく、造粒物が特に好ましい。造
粒物は、炭酸水素塩を７０％（特記しない限り質量基準
である）以上含有することが好ましい。造粒物中におい
て、炭酸水素塩が７０％未満であると、本ハロゲンガス
除去剤としてのガス処理容量が低下し、除去剤充填層の
入れ替え頻度が高くなるので好ましくない。造粒物中の
炭酸水素塩の含有量は、８０％以上であることが特に好
ましい。なお、造粒物中において、他に含まれる材料と
しては、炭酸水素塩以外の吸着剤、バインダー等が挙げ
られる。
【００１０】炭酸水素塩の粉末を造粒物にする際、炭酸
水素塩の粉末は、一次粒子の平均粒子径が１０〜５００
μｍであることが好ましい。一次粒子の平均粒子径が１
０μｍ未満であると、流動性が不充分で、ハンドリング
等が難しくなるので好ましくない。また、平均粒子径が
５００μｍ超であると、技術的に造粒物の製造が困難で
あり、コスト的に高くなるので好ましくない。なお、一
次粒子とは炭酸水素塩の単結晶であり、平均粒子径とは
重量基準による平均粒子径である。
水素塩の粉末は、一次粒子の平均粒子径が１０〜５００
μｍであることが好ましい。一次粒子の平均粒子径が１
０μｍ未満であると、流動性が不充分で、ハンドリング
等が難しくなるので好ましくない。また、平均粒子径が
５００μｍ超であると、技術的に造粒物の製造が困難で
あり、コスト的に高くなるので好ましくない。なお、一
次粒子とは炭酸水素塩の単結晶であり、平均粒子径とは
重量基準による平均粒子径である。
【００１１】炭酸水素塩の粉末の造粒物の平均粒子径は
０．５〜２０ｍｍであることが好ましい。造粒物の平均
粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲン
ガス処理用に、従来から使用されている充填塔等を使用
できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満である
と、本ハロゲンガス含有ガスが充填層等を通過する際の
圧力損失が高くなり、平均粒子径が２０ｍｍを超える
と、本ハロゲン含有ガスと造粒物との接触面積が低下
し、本ハロゲンガスの除去性能を低下させる。造粒物の
平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好まし
い。
０．５〜２０ｍｍであることが好ましい。造粒物の平均
粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲン
ガス処理用に、従来から使用されている充填塔等を使用
できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満である
と、本ハロゲンガス含有ガスが充填層等を通過する際の
圧力損失が高くなり、平均粒子径が２０ｍｍを超える
と、本ハロゲン含有ガスと造粒物との接触面積が低下
し、本ハロゲンガスの除去性能を低下させる。造粒物の
平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好まし
い。
【００１２】造粒物の平均粒子径は、以下の方法により
測定することが好ましい。造粒物の粒子径に対応した範
囲の目開きの篩を重ねあわせ、最下部に底皿を設置し、
上から造粒物を注ぎ、振とう機で振とうさせた後、各篩
上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する篩上残渣質
量の累計を折れ線グラフに表し、篩上残渣質量の累計が
５０％のときの粒子径を平均粒子径とする。上下の篩の
目開きの差は、造粒物の粒子径にもよるが、０．５ｍｍ
のピッチを使用することが好ましい。
測定することが好ましい。造粒物の粒子径に対応した範
囲の目開きの篩を重ねあわせ、最下部に底皿を設置し、
上から造粒物を注ぎ、振とう機で振とうさせた後、各篩
上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する篩上残渣質
量の累計を折れ線グラフに表し、篩上残渣質量の累計が
５０％のときの粒子径を平均粒子径とする。上下の篩の
目開きの差は、造粒物の粒子径にもよるが、０．５ｍｍ
のピッチを使用することが好ましい。
【００１３】造粒物は、圧縮成形法、転動式造粒法、撹
拌式造粒法等の様々な方法により得ことができる。ここ
で、圧縮成形法は、工程が簡略なため工業的に簡便であ
り、バインダーを使用しなくても造粒物を得ることがで
きること、また、硬度が高く壊れにくく、ガス処理容量
の大きな造粒物を得ることができることから特に好まし
い。
拌式造粒法等の様々な方法により得ことができる。ここ
で、圧縮成形法は、工程が簡略なため工業的に簡便であ
り、バインダーを使用しなくても造粒物を得ることがで
きること、また、硬度が高く壊れにくく、ガス処理容量
の大きな造粒物を得ることができることから特に好まし
い。
【００１４】所望粒子径の造粒物を得る方法として、例
えば、圧縮成形機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕
し、篩分ける方法が挙げられる。また、水溶性のバイン
ダーを使用して湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥
させる方法も挙げられる。
えば、圧縮成形機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕
し、篩分ける方法が挙げられる。また、水溶性のバイン
ダーを使用して湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥
させる方法も挙げられる。
【００１５】炭酸水素塩の粉末の造粒物は、本ハロゲン
ガスを処理するために、充填層に充填されて使用される
場合、強度が低いと、粉化して充填層を通過する際の圧
力損失が上昇することがある。このため造粒物の強度は
高くすることが好ましい。
ガスを処理するために、充填層に充填されて使用される
場合、強度が低いと、粉化して充填層を通過する際の圧
力損失が上昇することがある。このため造粒物の強度は
高くすることが好ましい。
【００１６】造粒物の強度は、硬度で評価できる。ここ
で、硬度とは、造粒物粒子の１個を上方より垂直に荷重
をかけて圧縮して破壊するに必要な力のことである。
で、硬度とは、造粒物粒子の１個を上方より垂直に荷重
をかけて圧縮して破壊するに必要な力のことである。
【００１７】造粒物の硬度は、平均粒子径に応じて造粒
物粒子を分級し、粒子径を揃えた粒子群について評価す
ることが好ましい。例えば、平均粒子径１．５ｍｍ以上
２．０ｍｍ未満の造粒物については、目開き１．５ｍｍ
の篩と目開き２．０ｍｍの篩を使用して篩分け、１．５
ｍｍ篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２０個採取し、各
粒子の硬度を測定してその平均値を粒子強度の評価基準
として採用する。
物粒子を分級し、粒子径を揃えた粒子群について評価す
ることが好ましい。例えば、平均粒子径１．５ｍｍ以上
２．０ｍｍ未満の造粒物については、目開き１．５ｍｍ
の篩と目開き２．０ｍｍの篩を使用して篩分け、１．５
ｍｍ篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２０個採取し、各
粒子の硬度を測定してその平均値を粒子強度の評価基準
として採用する。
【００１８】本発明における造粒物の硬度としては、平
均粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の場合
は粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の平均
硬度が１Ｎ以上であること、平均粒子径１．０ｍｍ以上
１．５ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径１．０ｍｍ以上
１．５ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が４Ｎ以上であるこ
と、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物
の場合は粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物
の平均硬度が１０Ｎ以上であること、平均粒子径２．０
ｍｍ以上２０ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径２．０ｍ
ｍ以上２０ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上で
あること、が好ましい。
均粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の場合
は粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の平均
硬度が１Ｎ以上であること、平均粒子径１．０ｍｍ以上
１．５ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径１．０ｍｍ以上
１．５ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が４Ｎ以上であるこ
と、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物
の場合は粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物
の平均硬度が１０Ｎ以上であること、平均粒子径２．０
ｍｍ以上２０ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径２．０ｍ
ｍ以上２０ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上で
あること、が好ましい。
【００１９】本発明では、本ハロゲンガスを除去する。
例えば、本ハロゲンガスを含有するドライエッチング排
ガス等を処理して、該排ガス中の本ハロゲンガスを除去
する。その他にも、例えば、ＢＣｌ３、ＣＣｌ４、Ｓｉ
Ｃｌ４、ＣＯＣｌ２、ＳｉＦ ４、ＣＯＦ２、ＮＦ３、Ｗ
Ｆ６及びＣｌＦ３等のハロゲン化合物又はＦ２を含んで
もよい。
例えば、本ハロゲンガスを含有するドライエッチング排
ガス等を処理して、該排ガス中の本ハロゲンガスを除去
する。その他にも、例えば、ＢＣｌ３、ＣＣｌ４、Ｓｉ
Ｃｌ４、ＣＯＣｌ２、ＳｉＦ ４、ＣＯＦ２、ＮＦ３、Ｗ
Ｆ６及びＣｌＦ３等のハロゲン化合物又はＦ２を含んで
もよい。
【００２０】本発明における被処理ガスの温度が０℃〜
１００℃であると、効率的に除去処理できるので好まし
い。被処理ガスの温度が０℃未満であると、反応速度が
低下するので好ましくない。また、被処理ガスの温度が
１００℃以下であれば、充填塔等の設備を高価な耐熱材
料又は構造とする必要がなく、操作及び設備等を簡略化
できるので好ましい。被処理ガスの温度は０℃〜８０℃
が特に好ましい。
１００℃であると、効率的に除去処理できるので好まし
い。被処理ガスの温度が０℃未満であると、反応速度が
低下するので好ましくない。また、被処理ガスの温度が
１００℃以下であれば、充填塔等の設備を高価な耐熱材
料又は構造とする必要がなく、操作及び設備等を簡略化
できるので好ましい。被処理ガスの温度は０℃〜８０℃
が特に好ましい。
【００２１】本発明において、炭酸水素塩は、本ハロゲ
ンガスと反応し、さらには、ハロゲン化合物とも反応し
て、水溶性の塩を生成する。炭酸水素塩自身も水溶性で
あるために、排ガス中の本ハロゲンガスの除去に使用し
た後、水に溶解でき、固形廃棄物が実質的に発生しな
い。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活性炭
を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
ンガスと反応し、さらには、ハロゲン化合物とも反応し
て、水溶性の塩を生成する。炭酸水素塩自身も水溶性で
あるために、排ガス中の本ハロゲンガスの除去に使用し
た後、水に溶解でき、固形廃棄物が実質的に発生しな
い。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活性炭
を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
【００２２】炭酸水素塩は、活性炭吸着の場合のように
本ハロゲンガス、さらには、ハロゲン化合物が脱離して
臭気を発生することがないため、充填層等の入れ替え作
業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消火性があ
るため発火の危険性がない。
本ハロゲンガス、さらには、ハロゲン化合物が脱離して
臭気を発生することがないため、充填層等の入れ替え作
業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消火性があ
るため発火の危険性がない。
【００２３】本発明においては、本ハロゲンガスに特定
酸性ガスを添加することにより炭酸水素塩と本ハロゲン
ガスとの反応性が向上し、同量の炭酸水素塩を使用した
場合においてもより多量の本ハロゲンガスを除去でき
る。この機構については、明らかではないが、添加され
た特定酸性ガスが、Ｃｌ２、Ｂｒ２又はＩ２と炭酸水素
塩が反応した際に生成する次亜ハロゲン酸塩の分解を促
進するためと推定される。通常、Ｃｌ２、Ｂｒ２又はＩ
２と炭酸水素塩が反応したとき、式１に従い、次亜ハロ
ゲン酸塩が生成する。生成した次亜ハロゲン酸塩は、式
２に従い、分解してハロゲン化ナトリウムと酸素に分解
することが知られている。しかし、この次亜ハロゲン酸
塩が分解せずに残留している場合は炭酸水素塩とＣ
ｌ２、Ｂｒ２又はＩ２との反応が進みにくくなるものと
考えられる。
酸性ガスを添加することにより炭酸水素塩と本ハロゲン
ガスとの反応性が向上し、同量の炭酸水素塩を使用した
場合においてもより多量の本ハロゲンガスを除去でき
る。この機構については、明らかではないが、添加され
た特定酸性ガスが、Ｃｌ２、Ｂｒ２又はＩ２と炭酸水素
塩が反応した際に生成する次亜ハロゲン酸塩の分解を促
進するためと推定される。通常、Ｃｌ２、Ｂｒ２又はＩ
２と炭酸水素塩が反応したとき、式１に従い、次亜ハロ
ゲン酸塩が生成する。生成した次亜ハロゲン酸塩は、式
２に従い、分解してハロゲン化ナトリウムと酸素に分解
することが知られている。しかし、この次亜ハロゲン酸
塩が分解せずに残留している場合は炭酸水素塩とＣ
ｌ２、Ｂｒ２又はＩ２との反応が進みにくくなるものと
考えられる。
【００２４】本発明では、特定酸性ガスを添加すること
により、特定酸性ガス（例えば、ＨＸ）が式３にしたが
い、この次亜ハロゲン酸塩をハロゲン化物と次亜ハロゲ
ン酸に分解し、本ハロゲンガスの除去効率が向上するも
のと考えられる。なお、次亜ハロゲン酸は速やかに式４
にしたがい、分解してハロゲン化水素と酸素になること
が知られている。 ＮａＨＣＯ３＋Ｘ２→ＮａＸＯ＋ＣＯ２＋ＨＸ・・・式１。 （Ｘ＝Ｃｌ、Ｂｒ又はＩ） ＮａＸＯ→ＮａＸ＋１／２Ｏ２・・・式２。 ＮａＸＯ＋ＨＸ→ＮａＸ＋ＨＸＯ・・・式３。 ＨＸＯ→ＨＸ＋１／２Ｏ２・・・式４。
により、特定酸性ガス（例えば、ＨＸ）が式３にしたが
い、この次亜ハロゲン酸塩をハロゲン化物と次亜ハロゲ
ン酸に分解し、本ハロゲンガスの除去効率が向上するも
のと考えられる。なお、次亜ハロゲン酸は速やかに式４
にしたがい、分解してハロゲン化水素と酸素になること
が知られている。 ＮａＨＣＯ３＋Ｘ２→ＮａＸＯ＋ＣＯ２＋ＨＸ・・・式１。 （Ｘ＝Ｃｌ、Ｂｒ又はＩ） ＮａＸＯ→ＮａＸ＋１／２Ｏ２・・・式２。 ＮａＸＯ＋ＨＸ→ＮａＸ＋ＨＸＯ・・・式３。 ＨＸＯ→ＨＸ＋１／２Ｏ２・・・式４。
【００２５】本発明において、炭酸水素塩の造粒物を活
性炭とともに充填塔等の容器に充填して特定酸性ガスを
添加された本ハロゲンガス含有ガスと接触させて、本ハ
ロゲンガスを除去するのも好ましい。この方法により、
活性炭を単独使用した場合と比較して、本ハロゲンガス
の除去量を増加できるのみでなく、活性炭からの臭気の
発生も低減できる。具体的には、炭酸水素塩の造粒物と
活性炭を層状に充填塔等の容器に配置する等して使用す
る方法が挙げられる。
性炭とともに充填塔等の容器に充填して特定酸性ガスを
添加された本ハロゲンガス含有ガスと接触させて、本ハ
ロゲンガスを除去するのも好ましい。この方法により、
活性炭を単独使用した場合と比較して、本ハロゲンガス
の除去量を増加できるのみでなく、活性炭からの臭気の
発生も低減できる。具体的には、炭酸水素塩の造粒物と
活性炭を層状に充填塔等の容器に配置する等して使用す
る方法が挙げられる。
【００２６】
【実施例】以下の各例において、硬度は、藤原製作所製
の木屋式デジタル硬度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定
した。また、硬度は粒子の大きさにより異なるため篩分
けして粒子径を揃えたものについて測定した。
の木屋式デジタル硬度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定
した。また、硬度は粒子の大きさにより異なるため篩分
けして粒子径を揃えたものについて測定した。
【００２７】平均粒子径は、以下の方法により測定し
た。標準篩（内径：２００ｍｍ、金網：ステンレス鋼
製）でそれぞれ目開き３．３５ｍｍ、２．８０ｍｍ、
２．３６ｍｍ、２．００ｍｍ、１．７０ｍｍ、１．００
ｍｍのものを重ねあわせ、最下部に底皿を設置した上
に、炭酸水素塩粉末の造粒物１００ｇを注ぎ、飯田製作
所製ロータップシェーカー式振とう機（周波数６０Ｈ
ｚ、２９０回転／分、打数１６５回／分）で１０分間振
とうさせた後、それぞれの標準篩上残渣の質量を測定
し、各目開き値に対する篩上残渣質量の累計を折れ線グ
ラフに表し、篩上残渣質量の累計が５０％のときの粒子
径を平均粒子径とした。
た。標準篩（内径：２００ｍｍ、金網：ステンレス鋼
製）でそれぞれ目開き３．３５ｍｍ、２．８０ｍｍ、
２．３６ｍｍ、２．００ｍｍ、１．７０ｍｍ、１．００
ｍｍのものを重ねあわせ、最下部に底皿を設置した上
に、炭酸水素塩粉末の造粒物１００ｇを注ぎ、飯田製作
所製ロータップシェーカー式振とう機（周波数６０Ｈ
ｚ、２９０回転／分、打数１６５回／分）で１０分間振
とうさせた後、それぞれの標準篩上残渣の質量を測定
し、各目開き値に対する篩上残渣質量の累計を折れ線グ
ラフに表し、篩上残渣質量の累計が５０％のときの粒子
径を平均粒子径とした。
【００２８】［例１］一次粒子の平均粒子径が９１μｍ
の食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社
製）３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ工
業社製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロール
外径２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧３
６．８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水素
ナトリウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク状
の成形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー式
整粒機のメッシュ目開きを４．７５ｍｍに設定して全通
させた後、回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボ
スクリーナーＴＳ型）を使用して、粒子径４．０ｍｍ以
上の粒子と粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均
粒子径が２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒
物を得た。この造粒物はバインダーを含まず、炭酸水素
ナトリウム含有量は実質的に１００％であった。
の食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社
製）３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ工
業社製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロール
外径２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧３
６．８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水素
ナトリウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク状
の成形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー式
整粒機のメッシュ目開きを４．７５ｍｍに設定して全通
させた後、回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボ
スクリーナーＴＳ型）を使用して、粒子径４．０ｍｍ以
上の粒子と粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均
粒子径が２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒
物を得た。この造粒物はバインダーを含まず、炭酸水素
ナトリウム含有量は実質的に１００％であった。
【００２９】また、前述の硬度測定法によって、造粒物
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、２．０
ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、各粒度の硬度
を２０個測定し平均値を求めたところ、１．０〜１．５
ｍｍの間の粒子の平均硬度が１２Ｎ、１．５〜２．０ｍ
ｍの間の粒子の平均硬度が２３Ｎ、２．０〜２．５ｍｍ
間の粒子の平均硬度が６３Ｎであった。
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、２．０
ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、各粒度の硬度
を２０個測定し平均値を求めたところ、１．０〜１．５
ｍｍの間の粒子の平均硬度が１２Ｎ、１．５〜２．０ｍ
ｍの間の粒子の平均硬度が２３Ｎ、２．０〜２．５ｍｍ
間の粒子の平均硬度が６３Ｎであった。
【００３０】次に、底面が通気性焼結板で内径３００ｍ
ｍ、長さ１３００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として、前記造粒物を
３０ｋｇ充填した。組成比がＣｌ２：８０体積％、アル
ゴン：２０体積％の混合ガスを流量２００ｃｍ３／分、
温度２５℃、常圧下で、上記充填容器の底部から注入
し、さらに、１００体積％のＨＣｌガスを４０ｃｍ３／
分で上記充填容器の底部から同時に注入した。充填容器
の上部から流出したガスを分析したところ、Ｃｌ ２濃度
は０．１体積ｐｐｍ以下であった。
ｍ、長さ１３００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として、前記造粒物を
３０ｋｇ充填した。組成比がＣｌ２：８０体積％、アル
ゴン：２０体積％の混合ガスを流量２００ｃｍ３／分、
温度２５℃、常圧下で、上記充填容器の底部から注入
し、さらに、１００体積％のＨＣｌガスを４０ｃｍ３／
分で上記充填容器の底部から同時に注入した。充填容器
の上部から流出したガスを分析したところ、Ｃｌ ２濃度
は０．１体積ｐｐｍ以下であった。
【００３１】処理開始から３６４時間経過後に流出ガス
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、造粒物粒子
の粉化や臭気の発生はなかった。また、この充填物を水
中に投じたところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はな
かった。
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、造粒物粒子
の粉化や臭気の発生はなかった。また、この充填物を水
中に投じたところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はな
かった。
【００３２】［例２（比較例）］ＨＣｌガスを注入しな
かった以外は、例１と同様にして試験した。例１と同様
にして流出ガスを分析したところ、Ｃｌ２濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下であった。
かった以外は、例１と同様にして試験した。例１と同様
にして流出ガスを分析したところ、Ｃｌ２濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下であった。
【００３３】処理開始から２６６時間経過後に流出ガス
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、造粒物粒子
の粉化や臭気の発生はなかった。また、この充填物を水
中に投じたところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はな
かった。
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、造粒物粒子
の粉化や臭気の発生はなかった。また、この充填物を水
中に投じたところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はな
かった。
【００３４】［例３（比較例）］炭酸水素ナトリウム粉
末の造粒物３０ｋｇのかわりに活性炭３０ｋｇを使用し
た以外は、例１と同様にして試験した。例１と同様にし
て流出ガスを分析したところ、Ｃｌ２濃度は０．１体積
ｐｐｍ以下であった。
末の造粒物３０ｋｇのかわりに活性炭３０ｋｇを使用し
た以外は、例１と同様にして試験した。例１と同様にし
て流出ガスを分析したところ、Ｃｌ２濃度は０．１体積
ｐｐｍ以下であった。
【００３５】処理開始から２０７時間経過後に流出ガス
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、活性炭の粉
化はなかったが、臭気の発生があった。
中のＣｌ２濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。この時点で充填物を取り出したところ、活性炭の粉
化はなかったが、臭気の発生があった。
【００３６】
【発明の効果】本発明により、本ハロゲンガスを除去す
るに際して、除去能力がより高く、効率のよいハロゲン
ガスの除去方法が得られる。また、本発明の方法は、従
来の活性炭を使用する充填塔等にそのまま適用できる。
るに際して、除去能力がより高く、効率のよいハロゲン
ガスの除去方法が得られる。また、本発明の方法は、従
来の活性炭を使用する充填塔等にそのまま適用できる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｎ
(72)発明者 平野 八朗
東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭
硝子株式会社内
(72)発明者 川辺 義勝
愛知県海部郡佐織町大字町方新田字五軒家
東24番地の２ サンワケミカル株式会社内
Ｆターム(参考） 4D002 AA17 AA18 AC10 BA03 CA07
DA02 DA16 EA01 GA01 GB12
4G066 AA43B BA09 BA20 BA35
CA31 CA32 DA02 FA26 FA28
FA37
5F004 AA16 BC02 CA09 DA20
Claims (4)
- 【請求項１】塩素ガス、臭素ガス及びヨウ素ガスからな
る群より選ばれる一種以上のハロゲンガスを含有するガ
スを炭酸水素塩の粉体又は粒体に接触させて前記ハロゲ
ンガスを除去する方法において、塩化水素、フッ化水
素、臭化水素及びヨウ化水素からなる群より選ばれる一
種以上の酸性ガスを、前記ハロゲンガスに対して１〜１
００体積％添加することを特徴とするハロゲンガスの除
去方法。 - 【請求項２】前記炭酸水素塩の粉体又は粒体、平均粒子
径１０〜５００μｍの炭酸水素塩一次粒子の造粒物であ
って、造粒物の平均粒子径が０．５〜２０ｍｍの造粒物
である請求項１に記載のハロゲンガスの除去方法。 - 【請求項３】前記造粒物が炭酸水素塩を７０％以上含有
する請求項２に記載のハロゲンガスの除去方法。 - 【請求項４】前記炭酸水素塩が炭酸水素ナトリウムであ
る請求項１、２又は３に記載のハロゲンガスの除去方
法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202977A JP4711550B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | ハロゲンガスの除去方法 |
| DE60117909T DE60117909T2 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum Entfernen eines Gases der Halogen(verbindungs)gruppe |
| EP01126470A EP1205230B1 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen-containing gas |
| ES01126470T ES2260144T3 (es) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Metodo para eliminar un gas de la serie de los halogenos. |
| AT01126470T ATE320300T1 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum entfernen von einem halogen- enthaltendem gas |
| US09/986,587 US6685901B2 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen series gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202977A JP4711550B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | ハロゲンガスの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003010636A true JP2003010636A (ja) | 2003-01-14 |
| JP4711550B2 JP4711550B2 (ja) | 2011-06-29 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001202977A Expired - Fee Related JP4711550B2 (ja) | 2000-11-10 | 2001-07-04 | ハロゲンガスの除去方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4711550B2 (ja) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5867323A (ja) * | 1981-09-23 | 1983-04-21 | フエルアイニヒテ・エレクトリチテ−ツヴエルケ・ヴエストフア−レン・ア−ゲ− | 可燃性ガス及び煙道ガスから塩素，弗素および硫黄を分離する方法 |
| JPH05237324A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-09-17 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化方法 |
| JPH10235147A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-08 | Meidensha Corp | 脱塩素処理方法 |
| JPH11183055A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-06 | Nkk Corp | 電気炉における排ガス処理方法 |
| JPH11290641A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Shinsei Dental Laboratory:Kk | 腐食性ガスの高温除去方法 |
| JPH11514962A (ja) * | 1995-10-31 | 1999-12-21 | ノバカルブ | 炭酸水素ナトリウムを含む組成物、その製法及びその使用法 |
| JP2000102721A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 排ガス乾式脱塩方法 |
| JP2000107552A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Meidensha Corp | 排ガス浄化方法 |
| JP2000354735A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Kurita Water Ind Ltd | ダイオキシン類の生成防止剤及び生成防止方法 |
-
2001
- 2001-07-04 JP JP2001202977A patent/JP4711550B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5867323A (ja) * | 1981-09-23 | 1983-04-21 | フエルアイニヒテ・エレクトリチテ−ツヴエルケ・ヴエストフア−レン・ア−ゲ− | 可燃性ガス及び煙道ガスから塩素，弗素および硫黄を分離する方法 |
| JPH05237324A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-09-17 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化方法 |
| JPH11514962A (ja) * | 1995-10-31 | 1999-12-21 | ノバカルブ | 炭酸水素ナトリウムを含む組成物、その製法及びその使用法 |
| JPH10235147A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-08 | Meidensha Corp | 脱塩素処理方法 |
| JPH11183055A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-06 | Nkk Corp | 電気炉における排ガス処理方法 |
| JPH11290641A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Shinsei Dental Laboratory:Kk | 腐食性ガスの高温除去方法 |
| JP2000102721A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 排ガス乾式脱塩方法 |
| JP2000107552A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Meidensha Corp | 排ガス浄化方法 |
| JP2000354735A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Kurita Water Ind Ltd | ダイオキシン類の生成防止剤及び生成防止方法 |
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| JP4711550B2 (ja) | 2011-06-29 |
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