JP2002515318A - フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 硝酸含有溶液のような金属膜剥し液のリサイクリングにおいて、化学薬品は、膜剥し工程（１００）から別々の循環経路に排出され、そこで、それらは、一連の接線フィルター（６０’、６２’、６４’、６６’）及び収集タンク（３８’）を通って、ポンプで汲み出される。前記フィルターからの濾過液は、膜剥し工程（１００）に戻され、高濃度の固形物を含んだ溶液は、金属の回収をさせるため、収集タンクから取除かれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、全体として、フォトレジスト（photoresist:感光材料）を利用する
現像において、プリント配線回路基板、半導体、その他の製品の製造時に生じる
廃液の処理に関する。より詳しくは、フォトレジスト現像液及び／又はフォトレ
ジスト膜剥し溶液を回収し、リサイクルするための装置と方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】

プリント回路、半導体、化学的ミリング、プリント業において、フォトレジス
トとして知られる感光性エマルジョンが、様々な基質に塗布される。パターンを
画定する写真工具、すなわち、マスクが、フォトレジストに被せられる。ネガの
作用のフォトレジストを、マスクを通して、例えば、紫外線のような放射に曝す
と、結果として、放射に曝された部分に、堅くなったポリマーエマルジョンのパ
ターンが生じる。ポジの作用のフォトレジストもまた、時々使用されるが、光に
曝されなかった部分に、堅くなったフォトレジストのパターンが生じる。

【０００３】 いずれの場合も、放射に曝される工程に続いて、品物が「ＤＥＳ」《DevelopE
tch Strip（現像・エッチング・膜剥し）》ラインとして知られる自動化された
装置を通るコンベヤによって、典型的に、運ばれる。ＤＥＳラインの第１工程 (stage)では、現像液(developing solution)が品物にスプレーされる。現像液は
、基質上の堅くなったポリマーのみを残し、堅くならなかったフォトレジストを
取り除く。次の処理工程では、堅くなったポリマーによって覆われていない基質
の部分がエッチング液に曝されてエッチングされる。さらにその後の工程で、化
学的膜剥し液(stripper)が堅くなったポリマーを取り除くために品物にスプレー
される。似たような処理においては、基質の曝された部分が、エッチングではな
く、金属で被覆されたりめっきされたりする。しかし、ＤＥＳラインと同様に、
被覆やめっき工程の前に現像工程があり、後に、膜剥し工程が続く。

【０００４】 廃液は、現像及び膜剥し工程で生じる。典型的には、プリント回路基板の製造
において、これら両方の処理工程からの廃液は、高濃度の水溶性のフォトレジス
トの材料を含むアルカリ性溶液である。この廃液は、高い化学的酸素要求量（Ｃ
ＯＤ）と高い生物化学的酸素要求量（ＢＯＤ）を有する。このような廃液は、環
境に排出される前に、有機物及びポリマーのスキンを取り除くように、処理され
なければならない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】

過去において、ＤＥＳラインは、現像及び膜剥し溶液を「デッドエンド」フィ
ルターを通して循環させることによって、運転されていた。すなわち、この化学
薬品は、現像及び膜剥し工程から集められ、フィルター媒体を通って、スプレー
ヘッドに戻されていた。フィルター媒体における固形物の集積は、フィルターの
洗浄のため、ＤＥＳライン運転の定期的な中断を必要とさせた。現像液は、次第
に質が悪くなり、結果として、製品の質も漸次低下した。さらに、膜剥し溶液中
に溶解されたポリマーの集積は、次第にその効能を低下させ、ＤＥＳライン全体
が膜剥し溶液の交換のため最終的に止められるまで、長時間にわたり、ますます
ゆっくり運転されることを必要とした。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本発明の主な目的は、フォトレジストの現像装置が連続的に、長時間にわたっ
て、高速で運転させられる、フォトレジストの現像及び膜剥しの化学薬品を回収
しリサイクルさせるための装置を提供することである。 本発明の別の目的は、フォトレジストの処理装置の運転効率を向上させること
である。

【０００７】 本発明のさらなる別の目的は、フォトレジストの処理装置によって作り出され
る商品の質を向上させることである。 本発明の装置は、フォトレジストが塗布されている品物を処理するための改良
された装置である。それは、フォトレジストの現像又は膜剥し液がフォトレジス
トの処理工程を通って循環させられる第１循環フローパスを有する。それは、第
１循環フローパスから前記液体の一部を受けるように接続された第２循環フロー
パスからなる液体回収システムを含む。この第２循環フローパスは、接線方向の
(tangential)フィルターを含む。すなわち、第２循環フローパスを液体が流れる
際、濾過液(permeate)が前記多孔性フィルター媒体を通って第２循環フローパス
から流れ出るように、少なくとも、第２循環フローパスの一部が多孔性フィルタ
ー媒体によって画定されている。その装置は、第１循環フローパスへ濾過液を戻
すための手段を含む。

【０００８】 好適実施形態では、前記装置は、さらに、第２循環フローパスにおいて、第２
循環フローパスを通って流れる液体中の重合可能な材料の重合を加速させるため
の手段を含む。これは、第２循環フローパスを通って流れる液体を加熱するため
の加熱手段、及び／又は第２循環フローパスを流れる液体中の重合可能な材料を
紫外線放射に曝すための手段を含んでもよい。 濃縮された固形物は、排液管を通って第２循環フローパスから、好適には、第
２循環フローパスの一部となる収集タンクから取除かれる。

【０００９】 好適には、液体の流れが第２循環フローパスを通って続いている間、多孔性フ
ィルター媒体を通る濾過液の流れを断続的に遮ったり、前記フィルター媒体を通
る液体の流れを逆方向にしたりするための手段が具えられる。 かくして、前記装置の運転において、現像又は膜剥し液は、第１循環フローパ
スの処理工程を通って連続的に循環させられながら、循環する液体の一部が第１
循環フローパスから、接線濾過にかけられる第２循環フローパスに取込まれる。
第２循環フローパスは、現像及び膜剥し作業の減速を必要とせず、且つ現像及び
膜剥し作業の中断を最小限にして濾過を行なうことができる。これは、結果的に
、高効率運転と高品質製品をもたらす。

【００１０】 プリント回路基板の製造において典型的に使用される他の方法は、めっき工程
を含み、そこでは、基板上にある銅の導体が、はんだ又は他の金属層で覆われる
。典型的には、この工程において、ポジの作用又はネガの作用のフォトレジスト
が、回路基板上の銅層に塗布される。フォトレジスト層はマスクで覆われ、アセ
ンブリは光源に曝される。マスクは取外され、基板は現像工程を通される。使用
されたフォトレジストに応じて、堅くなったポリマーによって境界付けられた対
応する銅のパターンを残して、現像によって、感光又は非感光のフォトレジスト
が取除かれる。その後、銅は、他の金属又は合金、例えば、はんだ（鉛と錫）、
ニッケル、又は銀でめっきされる。

【００１１】 めっき工程に続いて、堅くなったポリマーは剥がされ、めっきされていない銅
が曝される。その後、めっきされていない銅はエッチングされ、最後に、基板は
、膜を剥がす媒体、典型的には、反応抑制剤を含む硝酸を含んだ溶液での金属膜
剥がし工程を通され、はんだを剥がし、銅のパターンをそのまま残す。

【００１２】 膜剥し液に含まれる金属は蓄積し、鉛や錫のような金属を含す。従って、液体
は、再利用のためと、金属成分の適切な処分のために、処理されなければならな
い。

【００１３】 本発明の回収装置は、それ自体、金属剥し液の処理、及びそのような液からの
金属の回収も含む。かくして、塗布された金属層を処理するための装置、第１循
環フローパスを具え、金属膜剥し液が処理工程を循環する装置中に、似たような
液体回収システムが具えられるであろう。液体回収システムは、第１循環フロー
パスから液体の一部を受けるように接続された第２循環フローパス、第２循環フ
ローパスを液体が流れる際、濾過液が多孔性フィルター媒体を通って第２循環フ
ローパスから流れ出るようにされ、多孔性フィルター媒体によって画定されてい
る、第２循環フローパスの少なくとも一部、及び第２循環フローパスを通過した
濾過液を、多孔性フィルター媒体を通って第１循環フローパスへ移送するための
手段を含む。好適には、多孔性フィルター媒体は、多孔性の剛体の支持体の上に
、希土類酸化物を含む。

【００１４】 使用に際して、金属膜剥し液は、通常、コロイド物質が多量に加わり、結晶の
形成と沈殿のため、金属膜剥し作用が妨害される迄に達する。しかし、本発明の
液体回収システムは、連続して迅速にコロイドと沈殿を除去し、化学的膜剥し作
用がなくなるまで、液体をすぐに再利用可能に戻す。本発明は、膜剥し液の寿命
を大いに伸ばし、廃棄物を低減させ、スラッジを減少させる。 本発明の他の目的、詳細及び利点は、図面と関連した以下の詳細な説明から明
らかになるであろう。

【００１５】

【発明の実施の形態】

図１にあるように、プリント回路基板１０は、間隔の空いた回転ローラ１２で
構成されたコンベヤによって、一連の囲い１４、１６、１８、２０、２２、２４
を通って運ばれる。囲い１４は、現像液、典型的には、炭酸カリウムの希釈した
溶液が前記ローラの上下でスプレーヘッド２８を通ってポンプ２６によって循環
させられている、現像工程のための囲いである。前記現像液は、重合されなかっ
たフォトレジストを取り除き、それによって、エッチング工程でエッチングされ
るべきプリント回路基板の金属部分を露出させる。

【００１６】 囲い１８はエッチング工程の囲いである。エッチング液、典型的には、アルカ
リ性エッチング液が、スプレーヘッドを通って循環させられ、プリント回路基板
において露出された部分の金属を取り除くように、前記基板に注がれる。

【００１７】 囲い２２は膜剥し工程の囲いである。膜剥し溶液、典型的には、水酸化ナトリ
ウム、メチルエチルアミン、エチレンジアミン、水酸化テトラメチルアンモニウ
ムが、重合されたフィルムをプリント回路基板から取り除き、それによって、電
気的な伝導体として使用される金属の残った部分を露出させる。膜剥し溶液は現
像工程で循環させられるのと同様の方法で膜剥し工程において、循環させられる
。

【００１８】 囲み１６、２０、２４は、水が循環する、すすぎの工程である。

【００１９】 現像液処理装置３０は、現像工程と関連し、膜剥し液処理装置３２は、膜剥し
工程と関連している。これらの処理装置は、以下で検討されるとおり、或る点で
は異なるが、実質的には互いに同一である。装置３０と３２は実質的に同一であ
ってよいので、現像液処理工程３０の１つのみを図２で詳細に示している。

【００２０】 図２を参照すると、ポンプ２６は、ライン３４を通って囲い１４の底で収集さ
れた現像液を受けて、その現像液の一部をスプレーヘッド２８に戻す。かくして
ポンプ２６は、現像工程の現像液を第１循環フローパスを通して循環させる。

【００２１】 前記現像液の他の部分は、トランスファーポンプ３６によってライン３４から
引き出される。この経路は、きめの粗いプレフィルターを含んでもよい。トラン
スファーポンプ３６は円錐形の底とバルブ４２を具えた排液管４０を有する収集
タンク３８に現像液を移す。前記収集タンクは、コントロール４６を作動させる
フロー４を有する。このコントロールは、タンク３８中の液体レベルを予め決定
された限界内に維持するように、ポンプ３６とバルブ４８の両方を作動させる。

【００２２】 第２循環フローパスは、前記現像液処理装置において、タンク３８、ポンプ５
０、熱交換器５２、フィルターモジュールのセット５４、ＵＶ（紫外線）接触器
５６からなる。液体は、このフローパスを通ってタンクからポンプで汲み出され
、熱交換器、フィルターモジュール、ＵＶ接触器を通ってタンクに戻される。通
常閉められているバルブ５８は、フィルターモジュールをバイパスするために配
置されている。

【００２３】 フィルターモジュールのセットは、直列接続された４つの接線(tangential)濾
過モジュール６０、６２、６４、６６からなる。各々は多孔性チューブからなり
、フィルターモジュールの多孔性チューブは、ともに、第２循環フローパスの一
部を画定する。

【００２４】 フィルターモジュール６０から６６で使用されている多孔性チューブは、好適
には、堅い鉱物や金属の多孔性サポート及び強靭な希土類酸化物又はフッ素重合
体（フルオロポリマー）の膜(membrane)が組込まれ、バックフラッシングに抵抗
できるだけでなく、高温で作動したり、必要なときに、厳しい化学的洗浄に耐え
ることができる。これは、容易に汚れたり、典型的には、バックフラッシングに
耐えるには十分に強くなかったりする、ポリマーの合成物の膜を使用したウルト
ラ濾過及びマイクロ濾過において経験される損傷を回避する。フィルター要素は
、フーバー等の1978年11月7日に付与された米国特許第4,069,157号において説明
された種類のものでもよく、前記特許の開示を引用することによってここに一体
化したものとする。適当なウルトラ濾過及びマイクロ濾過の膜は、当業者には良
く知られており、ユーエス・フィルター社、ローヌ・プーラン社、グレイバー・
セパレイションズ社、セラメム・セパレイションズ社、及びその他のソースから
購入できる。

【００２５】 各多孔性チューブを取り囲むのは、第２循環フローパスから多孔性チューブを
通って外側に流れる濾過液を受けるために配置されたコレクターである。このコ
レクターは、ライン６８を通って、バルブ７４を具えたエアライン７２を有する
加圧可能なタンク７０とバルブ７８を有する出力ライン７６に並列に接続される
。バルブ７４と７８の両方は、タイマー８０によってコントロールされる。

【００２６】 ライン７６は、pH調整器８２を通って戻りライン８４に接続され、pH調整され
た濾過液を囲み１４に戻し、そこで、第１循環フローパスに戻される。

【００２７】 ポンプ５０は、典型的に、前記フィルターモジュールを通る前記フローパス中
の圧力を30から100psiの範囲内に維持する。フィルターモジュールのサイズは、
澄んだ濾過液の所望の流量に基づいて決定される。

【００２８】 前記装置の上記説明から明らかなとおり、前記溶液は、熱や紫外線放射に曝さ
れ、間欠的なバックフラッシングを伴って、強靭な希土類酸化物の膜で濾過され
る。

【００２９】 熱交換器５２によってもたらされる熱は、まだ新しい、フォトレジストが含有
された作動溶液の重合の加速を促す。高い温度で使用する時、コンベヤが耐える
ことができる最高温度を超えないように、注意すべきである。必要なら、高温に
耐える装置を使用したり、溶液が再び使われる前に熱交換器を使用して冷却して
もよい。

【００３０】 溶液が一連のフィルターモジュールを通って流れる際、循環ポンプ５０によっ
て溶液に加えられた圧力は、濾過液の流れがフィルターの膜を通るようにし、収
集タンク３８に向かう濃縮された流れを残す。濾過液は、pH調整の後、現像或い
は膜剥し処理に戻される。

【００３１】 前記濃縮液は、それから、紫外線のＵＶ接触器５６を通り、そこで、レジスト
スキンがさらに堅くされ、収集タンク３８に戻される。廃液やスキンの予め決定
された濃縮が達成された時、材料は、タンク３８の底から排液され、適切な法律
に従って廃棄される。

【００３２】 接線式濾過の利点は、フィルターモジュールを通る液体の流れが、固形物がフ
ィルター媒体に溜まるのを防ぐことである。故に、フィルターモジュールは、長
時間効率的に運転させられることができる。

【００３３】 理想の状況下でも、濾塊の薄い層がフィルター媒体上に形成され、濾過の効率
を低下させるであろう。フィルターモジュールを確実に効率良く運転させるため
に、タンク７０を通る濾過液の流れは、断続的に止められ、逆流させられる。タ
ンク７０は、フィルターの膜を通る濾過液の逆流を促進するよう、短い時間、ラ
イン７２を通ってくる空気の流れによって加圧される。この逆流は、濾過液の高
い流量を維持しながら、濾塊やその他の障害物を取り除く。フィルター媒体を通
る断続的な逆流は、フィルター、収集タンク３８、熱交換器５２、ＵＶ接触器５
６からなる循環経路を通る液体の循環を中断しないで行なうことができる。

【００３４】 バイパスバルブ５８が開くと、フィルターモジュールの修理や交換が可能にな
る。それは、循環する現像液によって運ばれる粒子が紫外線放射によってより効
率的に堅くできるように、現像液がフィルターモジュールを通らないで、ＵＶ接
触器５６を通って循環するように開けられてもよい。これは、フィルターモジュ
ー通る流れが再開される時、フィルターモジュールの目詰まり(blinding)の可能
性を減少させる。

【００３５】 本発明の装置は、プリント回路基板の製造、化学的ミリング、半導体の製造、
印刷において使用されるような写真画像処理の現像或いは膜剥し工程から様々な
フォトレジストを含む溶液を処理するために使用されることができる。本発明は
、これらの溶液が安定した状態で長時間連続的に処理されることを可能にする。

【００３６】 本発明は、従来のフォトレジストを含む現像及び膜剥し溶液を処理する方法か
らは、かけ離れたものである。作動溶液が消費され尽くすまで使用される、従来
のバッチ処理の代わりに、本発明は、フォトレジストポリマー（スキン）が迅速
に、且つ、連続的に取り除かれ、作動溶液を直ちに、且つ、連続的に再使用可能
にする定常的処理を提供する。この定常的処理は、ポリマーやポリマー中の色素
が現像液又は膜剥し溶液と反応したり、前記溶液に溶解するための時間を与えな
い。このことは、新しい溶液の必要量を減少させるだけでなく、従来装置の運転
中に発生する、ノズルの詰まりや排液溜めのクリーニング問題を回避する。又、
それは、典型的に新らしい溶液によって可能になる、高いコンベヤ速度での連続
した運転をもたらす。

【００３７】 本発明は、いくつかの技術を一緒に利用する。セラミック、カーボン、スレン
レス鋼から作られた堅い多孔性膜は、バックフラッシングができる非常に低い濁
りや、ウルトラ濾過又はマイクロ濾過モジュールを安定させる高い温度を達成す
るために、ゾルになったりゲルになったりする処理を使って、様々な希土類が含
浸された酸化物を支える。

【００３８】 これらのモジュールは、前記熱交換器、ＵＶ接触器、間欠性バックフラッシン
グ装置と組合わせて、高濃縮された廃液を作りながら、フォトレジストの現像及
び膜剥し溶液を直ちに使用されるように戻してリサイクルするための連続的な処
理を可能にする。

【００３９】 この装置は、当業者が普通に購入でき公知の部品と要素で組立てられる。

【００４０】 図３と図４に図示された本発明の実施形態は、「膜剥し・エッチング・膜剥し
（Strip-Etch-Strip）」（ＳＥＳ）ラインである。回路基板８６或いは同様の要
素は銅の層を有し、その一部がはんだ又は金属によってめっきされ、その残りが
堅くなったフォトレジストポリマーによって保護されている。これらの基板は、
図１の囲い１４と同様に、コンベヤ８８によってポリマー膜剥し囲い９０を通っ
て運ばれる。膜剥し液は、スプレーヘッド９４を通ってポンプ９２によって循環
させられ、図１の装置３２と同様に、ポリマー膜剥し処理装置９６によって処理
される。

【００４１】 それから、前記回路基板はすすぎ工程９８を通ってエッチング工程９９へ向か
う。そして、前記基板は別のすすぎ工程１０１を通って、金属膜剥しが行なわれ
る囲い１００へ向かう。前記金属膜剥し工程から、前記基板は、別のすすぎ工程
１０２を通過し、そこで仕上げられた基板が排出される。前記金属膜剥し液は、
図４でより詳細に図示されている金属膜剥し処理装置１０４によって処理される
。

【００４２】 金属膜剥し処理装置１０４は、図２の装置に構造的に且つ作動的に似ていて、
図２の要素と同一である図４の要素には、対応する参照番号に「プライム（ダッ
シュ）」が付されている。ＵＶ接触器５６、熱交換器５２、及びpH調整器８２は
、図４では必要とされない。その他の点において、この装置は、図２のそれと同
一である。

【００４３】 運転中、金属膜剥し液、必然的ではないが、典型的には、銅を除去することを
避けるために抑制剤とともに硝酸を含む溶液が、ライン３４’を通って囲い１０
０から取られ、スプレーヘッド１０６を通ってポンプ２６’によって連続的に循
環させられる。タンク３８’の中にある液体レベルセンサー４４’によってコン
トロールされているトランスファーポンプ３６’は、予め決められた限界の間で
前記タンク内の液体レベルを維持し、液体を前記タンクに移動させる。

【００４４】 固形物は、タンク３８’内の金属膜剥し溶液から沈み、バルブ４２’を開ける
ことによって出口４０’を通って、随時、取り除かれる。

【００４５】 ポンプ５０’は、高い流量と好ましくは30から100psiの範囲内の圧力でフィル
ター列５４’を通ってタンク３８’から液体を循環させる。前記フィルターモジ
ュールの多孔性チューブを通って半径方向に通り過ぎる濾過液は、実質的に固形
物がなく、タンク７０’、バルブ７６’、及びライン８４’を通って囲い１００
の内に運ばれ、そこで、ポンプ２６’によって循環させられる液体と再び組み合
わされる。かくして、この装置は、継続的に前記スプレーヘッドを通って循環さ
せられている経路から膜剥し液を排液し、前記液体を濾過し、前記フィルターモ
ジュールからの濾過液を新しい濾過された膜剥し液として前記金属膜剥し囲いに
戻し、定常的に運転される。高い濾過液の流量を維持するように、前記フィルタ
ーモジュールは、典型的にタイマー８０’のコントロール下で時々逆流させられ
る。前記フィルターモジュールは、タンク７０’内の液体を前記フィルターチュ
ーブを通って逆方向に無理に出すよう、ライン７２’内の空気圧を利用すること
によって逆流させられ、それによって、前記チューブの内壁から固形物を取り除
き、取り除かれた固形物を沈め取り除くタンク３８’内に移動させる。タンク３
８’内の固形物の凝縮は、監視されることが可能であり、予め決められたレベル
に達したとき、前記タンクは排液される。前記タンクから排液された材料は、廃
棄されるか、或いは、適用できる環境の法律や規制に従いリサイクルされること
が可能である。リサイクルは、前記タンクから排出される材料が、その高い金属
含有量のために、重要な現金価値を有することがあるので、金属膜剥し液の場合
、好ましいオプションである。

【００４６】 ポリマーの合成物のフィルター浸透膜は、特に熱いとき、より簡単に汚くなる
傾向があり、硝酸膜剥し液に耐えるのに十分な程強固ではないので、堅いセラミ
ック、ミネラル、或いは金属支持体上の希土類酸化物フィルターは、本質的に硝
酸を含む金属膜剥し液と一緒の使用に適している。これらの希土類酸化物フィル
ターは、必要なとき厳しい化学的洗浄に耐えることも可能であり、それらが高い
流量での逆流に耐えるように機械的にも強い。

【００４７】 かくして、本発明は、液体の有効な耐用期間大きく延ばし、回路基板の製造工
程の全体的な効率を向上させ、ポリマーのフォトレジスト材料用の現像液及び膜
剥し液の継続的な処理のためだけでなく、金属膜剥し液の継続的な処理のために
も有用である。

【００４８】 説明された装置及びその運転の方法に様々な変形がなされることは可能である
。例えば、現像ユニットはそれを行なう現像或いは膜剥し装置とすぐ隣り合って
配置されたり、又は、適切な現像或いは膜剥し装置に配管することによって遠隔
に配置され接続されたりできる。現像液のリサイクルの場合、重合を促進するた
めにあった方が望ましいが、熱交換器を省くことが可能である。同様に、膜剥し
溶液のリサイクルにおいても、濾過された固形物の粘着性をなくすためにあった
方が望ましいが、ＵＶ接触器を省くことが可能である。所望であれば、前記現像
ユニットは、バッチモードで運転もでき、廃物処理エリアでも、スペースが許せ
ば、どこにでも配置される。

【００４９】 図３と図４で図示されているような金属膜剥し処理の場合、適切な操作温度で
前記スプレーヘッドへ戻された液体を維持するように、熱交換器を使用すること
ができる。ポリマーの現像液及び膜剥し液の処理の場合と同様に、前記濾過液の
pH調節も、所望なら、実行されることが可能である。この装置は本質的に前記膜
剥し液の継続的な処理に適しているが、所望なら、バッチモードで使用されるこ
ともできる。また、希土類酸化物用の支持体は、セラミックや金属の代わりにカ
ーボン（炭素）から作られることも可能である。金属膜剥し液処理装置は、本質
的に回路基板製造において有用であるが、化学的ミリングのようなその他の工程
においても使用されることができる。前記金属膜剥し液処理装置は、エッチング
剤（etchants）を処理しリサイクルするために使用されることも可能である。

【００５０】 さらに、その他の改良が、以下の請求の範囲によって定められるような本発明
の範囲から離れることなく、上記に説明された装置及び方法について行なわれ得
るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】 現像と膜剥し両方の工程が本発明のリサイクルシステムを具えたＤ
ＥＳラインの概略図。

【図２】 現像液或いは膜剥し液のいずれかによって使用されることが可能な
リサイクルシステムの概略図。

【図３】 ポリマー膜剥し工程と金属膜剥し工程の両方が本発明のリサイクル
システムを具えた装置の概略図。

【図４】 金属膜剥し化学薬品を処理するために使用する本発明のリサイクル
システムの概略図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｚ Ｆターム(参考） 4D006 GA06 GA07 JA56Z JA66Z JA67Z KA72 KB04 KC03 KD11 KE15Q KE16Q MA02 MC03X PB08 PC01 5F046 LA03 LA07 LA09 MA10

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属層が塗布された品物を処理するための装置であって、該
   装置が金属膜剥しの液体が処理工程を通って循環させられる第１循環フローパス
   （３４’、２６’、１０６）を有するものにおいて、 前記第１循環フローパスから液体の一部を受けるように接続された第２循環フ
   ローパス（３６’、５４’）を有し、該第２循環フローパスの少なくとも一部が
   多孔性フィルター媒体（５４’）によって画定されており、かくして、液体が前
   記第２循環フローパスを通って流れるとき、濾過液が前記多孔性フィルター媒体
   を通って前記第２循環フローパスから流れ出るようになっており、さらに、 前記多孔性フィルター媒体を通って前記第２循環フローパスから流れ出る濾過
   液物を前記第１循環フローパスに移動させるための手段（８４’）を有してなる
   、 液体回収システム。
2. 【請求項２】 多孔性フィルター媒体（５４’）が希土類酸化物からなる、
   請求項１の装置。
3. 【請求項３】 多孔性フィルター媒体（５４’）が多孔性で堅い支持体上の
   希土類酸化物からなる、請求項１の装置。
4. 【請求項４】 前記第２循環フローパスから濃縮された固形物を取り除くた
   めの排液管（４０’）を含む、請求項１の装置。
5. 【請求項５】 前記第２循環フローパスが収集タンク（３８’）と、前記収
   集タンク内に前記第２循環フローパスから濃縮された固形物を取り除くための排
   液管（４０’）とを含む、請求項１の装置。
6. 【請求項６】 液体の流れが前記第２循環フローパスを通って続く間、前記
   多孔性フィルター媒体を通る濾過液の流れを間欠的に中断させ、前記フィルター
   媒体を通る液体の流れを逆方向にするための手段（７２’、７４’、７８’）を
   含む、請求項１の装置。
7. 【請求項７】 金属層が塗布された品物を処理する方法であって、 第１循
   環フローパス（３４’、２６’、１０６）において、処理工程を通って金属膜剥
   しの液体を循環させ、 前記液体の一部を前記第１循環フローパスから、少なくとも一部が多孔性フィ
   ルター媒体（５４’）によって画定される第２循環フローパスに通し、 前記液体の前記部分を前記第２循環フローパスを通って循環させて、濾過液が
   前記多孔性フィルター媒体を通って前記第２循環フローパスから出ていくように
   なっており、そして、 前記多孔性フィルター媒体を通って前記第２循環フローパスから流れ出る前記
   濾過液を前記第１循環フローパスに移動させることからなる、 方法。
8. 【請求項８】 濃縮された固形物が前記第２循環フローパスから取除かれる
   、請求項７の方法。
9. 【請求項９】 前記第２循環フローパスが、濃縮された固形物を取り除くた
   めに、収集タンク及び前記収集タンク内に排液管（４０’）を含む、請求項７の
   方法。
10. 【請求項１０】 液体の流れが前記第２循環フローパスを通って続く間、前
    記多孔性フィルター媒体を通る濾過液の流れを間欠的に中断させ、前記フィルタ
    ー媒体を通る液体の流れを逆方向にする、請求項７の方法。
11. 【請求項１１】 前記液体が硝酸を含む、請求項７の方法。
12. 【請求項１２】 前記金属層が鉛を含む、請求項７の方法。
13. 【請求項１３】 前記多孔性フィルター媒体（５４’）が希土類酸化物から
    なる、請求項７の方法。
14. 【請求項１４】 前記多孔性フィルター媒体（５４’）が多孔性で堅い支持
    体上の希土類酸化物からなる、請求項７の方法。