JPH01224017A - 循環濾過装置 - Google Patents
循環濾過装置Info
- Publication number
- JPH01224017A JPH01224017A JP63051048A JP5104888A JPH01224017A JP H01224017 A JPH01224017 A JP H01224017A JP 63051048 A JP63051048 A JP 63051048A JP 5104888 A JP5104888 A JP 5104888A JP H01224017 A JPH01224017 A JP H01224017A
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- Japan
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- filter
- pore size
- mek
- solvent
- pump
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薬液の循環濾過に関し、特にホトレジスト上の
メタルリフトオフに用いた溶剤いを濾過し再利用する循
環濾過装置に関する。
メタルリフトオフに用いた溶剤いを濾過し再利用する循
環濾過装置に関する。
従来、半導体装置の製造工程において、半導体基板（ウ
ェーハ）上に電極メタルを選択的に形成する方法として
リフトオフ法がある。第４図（ａ）〜（Ｃ）はこのリフ
トオフ法の処理工程を説明するための断面図である。第
４図（ａ）において、ウェーハ１１上にホトレジスト１
２をパターニングし、つぎに同図（ｂ）のようにホトレ
ジスト１２の上にメタル１３を蒸着する。このときメタ
ル１３の厚みに対しホトレジスト１２の厚みを厚くして
いるので、パターンエツジではメタル１３が途切れてい
る。つぎに同図（Ｃ）のように、ホトレシスト１２を容
易に溶解し、且つメタル１３を腐食しない溶剤、例えば
有機溶剤で言えばメチルエチルケトン（以下、ＭＥＫと
略称する）にウェーハを浸漬し、２０〜５０ＫＨ２の周
波数で超音波照射することにより、ホトレジスト１２を
溶解し、ウェーハ１１の面からメタル１３を離脱させ、
ホトレジスト１２上の不要なメタル１３を除去する。
ェーハ）上に電極メタルを選択的に形成する方法として
リフトオフ法がある。第４図（ａ）〜（Ｃ）はこのリフ
トオフ法の処理工程を説明するための断面図である。第
４図（ａ）において、ウェーハ１１上にホトレジスト１
２をパターニングし、つぎに同図（ｂ）のようにホトレ
ジスト１２の上にメタル１３を蒸着する。このときメタ
ル１３の厚みに対しホトレジスト１２の厚みを厚くして
いるので、パターンエツジではメタル１３が途切れてい
る。つぎに同図（Ｃ）のように、ホトレシスト１２を容
易に溶解し、且つメタル１３を腐食しない溶剤、例えば
有機溶剤で言えばメチルエチルケトン（以下、ＭＥＫと
略称する）にウェーハを浸漬し、２０〜５０ＫＨ２の周
波数で超音波照射することにより、ホトレジスト１２を
溶解し、ウェーハ１１の面からメタル１３を離脱させ、
ホトレジスト１２上の不要なメタル１３を除去する。
上述したリフトオフ処理に用いたＭＥＫには、数百μｍ
にも及ぶ大きさの不要なメタル屑が多量に混在する。こ
れを、仮りに通常のフィルタリング、つまりポアサイズ
０．２μｍのフィルタによる濾過方法では、フィルタの
目詰まりが起こり、再利用できないまま使い捨てにして
いるのが実情である。このために大量の溶剤を必要とし
、経済的でないという欠点と、リフトオフ溶剤には前述
のＭＥＫのような引火性の高い溶剤が主流なため、使用
量が多いと安全性においても問題がある。
にも及ぶ大きさの不要なメタル屑が多量に混在する。こ
れを、仮りに通常のフィルタリング、つまりポアサイズ
０．２μｍのフィルタによる濾過方法では、フィルタの
目詰まりが起こり、再利用できないまま使い捨てにして
いるのが実情である。このために大量の溶剤を必要とし
、経済的でないという欠点と、リフトオフ溶剤には前述
のＭＥＫのような引火性の高い溶剤が主流なため、使用
量が多いと安全性においても問題がある。
上記問題点に対し本発明の循環濾過装置は、溶剤中の異
物を除去するために、沈澱槽と、ポアサイズを段階的に
小さくした複数のフィルタと、溶剤を循環するポンプと
を有せしめている。
物を除去するために、沈澱槽と、ポアサイズを段階的に
小さくした複数のフィルタと、溶剤を循環するポンプと
を有せしめている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック系統図である。処
理槽（図示しない）から排出された不要メタルを含む例
えばメチルエチルケトンＣ以下ＭＥＫと略称する）６を
、先ず沈澱槽１に入れる。この沈澱槽１は、第２図の断
面図に示すように、仕切り板３により三つの部屋に分け
られ、この仕切り板３上部の片面に設けられたメツシュ
４により数百μｍ以上のメタル屑７がトラップされ、Ｍ
ＥＫ６がカスカケード状に流れるようにしている。これ
は、沈澱し難い軽いメタル屑などＭＥＫ６液面付近に浮
遊しているものでも流れ出ていかないようにするためで
ある。このように、沈澱槽１により粗く濾過されたＭＥ
Ｋ６を、第１図の第１ポンプＰ１により送り出され、例
えばポアサイズ１４０μｍの第１のフィルタＦｌおよび
１０μｍの金属製の第２のフィルタＦ２を通して段階的
に濾過されたのちに一旦貯液タンク２に貯蔵する。次に
、第２ポンプＰ２によりＭＥＫ６Ｓ送り出し、ポアサイ
ズ０．２μｍのテフロン製の第３フイルタＦ。
理槽（図示しない）から排出された不要メタルを含む例
えばメチルエチルケトンＣ以下ＭＥＫと略称する）６を
、先ず沈澱槽１に入れる。この沈澱槽１は、第２図の断
面図に示すように、仕切り板３により三つの部屋に分け
られ、この仕切り板３上部の片面に設けられたメツシュ
４により数百μｍ以上のメタル屑７がトラップされ、Ｍ
ＥＫ６がカスカケード状に流れるようにしている。これ
は、沈澱し難い軽いメタル屑などＭＥＫ６液面付近に浮
遊しているものでも流れ出ていかないようにするためで
ある。このように、沈澱槽１により粗く濾過されたＭＥ
Ｋ６を、第１図の第１ポンプＰ１により送り出され、例
えばポアサイズ１４０μｍの第１のフィルタＦｌおよび
１０μｍの金属製の第２のフィルタＦ２を通して段階的
に濾過されたのちに一旦貯液タンク２に貯蔵する。次に
、第２ポンプＰ２によりＭＥＫ６Ｓ送り出し、ポアサイ
ズ０．２μｍのテフロン製の第３フイルタＦ。
により再利用できるレベルに濾過し、処理槽（図示しな
い）へ供給する。
い）へ供給する。
第３図は本発明の他の実施例のブロック系統図である。
本例では、第１図の実施例に加えて最終の第３フィルタ
Ｆ、の後に、三方バルブ５を設け、処理槽側で使用しな
い場合は三方バルブ５により矢印８方向の貯液タンク２
に戻し、リターン濾過を繰り返すことでＭＥＫ６のクリ
ーン化向上させ、使用時は三方バルブ５を矢印９の供給
経路に開き、処理槽へ送るといったより実用性のある循
環濾過装置である。
Ｆ、の後に、三方バルブ５を設け、処理槽側で使用しな
い場合は三方バルブ５により矢印８方向の貯液タンク２
に戻し、リターン濾過を繰り返すことでＭＥＫ６のクリ
ーン化向上させ、使用時は三方バルブ５を矢印９の供給
経路に開き、処理槽へ送るといったより実用性のある循
環濾過装置である。
以上説明したように本発明は、溶剤中（ＭＥＫ）中のメ
タル屑で数百μｍ以上のものを沈澱槽でトラップした後
、１４０μｍ、１０μｍと段階的にメタル屑を除去し、
最終的に０．２μｍフィルタで濾過することによりリフ
トオフに使った溶剤を再利用できる効果がある。
タル屑で数百μｍ以上のものを沈澱槽でトラップした後
、１４０μｍ、１０μｍと段階的にメタル屑を除去し、
最終的に０．２μｍフィルタで濾過することによりリフ
トオフに使った溶剤を再利用できる効果がある。
尚、本発明の実施例ではＭＥＫによるリフトオフについ
て述べたが、この他の溶剤や処理物においても同様な効
果が得られる。
て述べたが、この他の溶剤や処理物においても同様な効
果が得られる。
第１図は本発明の一実施例のブロック系統図、第２図は
第１図の沈澱槽の断面図、第３図は本発明の他の実施例
のブロック系統図、第４図（ａ）〜（Ｃ）はリフトオフ
法による金属膜形成を説明するための工程断面図である
。 １・・・・・・沈澱槽、２・・・・・・貯液タンク、３
・・・・・・仕切板、４・・・・・・メツシュ、５・・
・・・・三方バルブ、６・・・・・・ＭＥＫ（溶剤）、
７・・・・・・メタル屑、８，９・・・・・・溶剤流れ
方向、Ｐｌ・・・・・・第１ポンプ、Ｆ２・・・・・・
第２ボン７’、Ｆｌ・・・・・・第１フイルタ、Ｆ２・
・・・・・第２フィルタ％Ｆ３・・・・・・第３フイル
タ、１１・・・・・・ウェーハ、１２・・・・・・ホト
レジスト、１３・・・・・・メタル。 代理人 弁理士 内 原 音 名３ ｍ （す （榎 （Ｃ） り４ 図
第１図の沈澱槽の断面図、第３図は本発明の他の実施例
のブロック系統図、第４図（ａ）〜（Ｃ）はリフトオフ
法による金属膜形成を説明するための工程断面図である
。 １・・・・・・沈澱槽、２・・・・・・貯液タンク、３
・・・・・・仕切板、４・・・・・・メツシュ、５・・
・・・・三方バルブ、６・・・・・・ＭＥＫ（溶剤）、
７・・・・・・メタル屑、８，９・・・・・・溶剤流れ
方向、Ｐｌ・・・・・・第１ポンプ、Ｆ２・・・・・・
第２ボン７’、Ｆｌ・・・・・・第１フイルタ、Ｆ２・
・・・・・第２フィルタ％Ｆ３・・・・・・第３フイル
タ、１１・・・・・・ウェーハ、１２・・・・・・ホト
レジスト、１３・・・・・・メタル。 代理人 弁理士 内 原 音 名３ ｍ （す （榎 （Ｃ） り４ 図
Claims (2)
- （１）不要な異物が混在する溶剤中の異物を沈澱かつト
ラップする沈澱槽と、この沈澱槽において除去されずに
残った微細な異物を含む溶剤を送り出すポンプと、この
ポンプにより送り出された溶剤中の微細な異物をさらに
濾過するための、ポアサイズが２００〜１００μｍの第
１のフィルタと、前記第１のフィルタの後に設けられた
ポアサイズが１００〜１０μｍの第２のフィルタと、前
記第２のフィルタの後に設けられたポアサイズが０．４
〜０．１μｍの第３のフィルタとを備えていることを特
徴とする循環濾過装置。 - （２）上記沈澱槽は、仕切板により複数のカスケード槽
に仕切られており、さらに前記仕切板の片面には２００
μｍ以上の異物をトラップするメッシュを備えているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の循環濾過
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051048A JPH01224017A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 循環濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051048A JPH01224017A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 循環濾過装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01224017A true JPH01224017A (ja) | 1989-09-07 |
Family
ID=12875918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63051048A Pending JPH01224017A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 循環濾過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01224017A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5269912A (en) * | 1991-11-13 | 1993-12-14 | Shor Peter S | Precious metal recovery system |
| WO2007148538A1 (ja) * | 2006-06-21 | 2007-12-27 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | ストリッピング組成物、ｔｆｔ基板の製造方法及びストリッピング組成物のリサイクル方法 |
| CN101879388A (zh) * | 2010-05-14 | 2010-11-10 | 云南大红山管道有限公司 | 一种陶瓷机滤板滤液水系统及滤液水过滤方法 |
| CN101940855A (zh) * | 2010-05-21 | 2011-01-12 | 云南大红山管道有限公司 | 一种高磁矿浆的脱水方法 |
| CN105597420A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-05-25 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | Led用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤方法及装置 |
| CN108831960A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-16 | 通威太阳能（安徽）有限公司 | 一种新型单晶硅制绒槽及其制绒方法 |
-
1988
- 1988-03-03 JP JP63051048A patent/JPH01224017A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5269912A (en) * | 1991-11-13 | 1993-12-14 | Shor Peter S | Precious metal recovery system |
| WO2007148538A1 (ja) * | 2006-06-21 | 2007-12-27 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | ストリッピング組成物、ｔｆｔ基板の製造方法及びストリッピング組成物のリサイクル方法 |
| CN101879388A (zh) * | 2010-05-14 | 2010-11-10 | 云南大红山管道有限公司 | 一种陶瓷机滤板滤液水系统及滤液水过滤方法 |
| CN101940855A (zh) * | 2010-05-21 | 2011-01-12 | 云南大红山管道有限公司 | 一种高磁矿浆的脱水方法 |
| CN105597420A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-05-25 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | Led用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤方法及装置 |
| CN105597420B (zh) * | 2016-03-01 | 2018-02-06 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | Led用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤方法及装置 |
| CN108831960A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-16 | 通威太阳能（安徽）有限公司 | 一种新型单晶硅制绒槽及其制绒方法 |
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