JP2002367780A - 有機el装置及びその製造方法 - Google Patents
有機el装置及びその製造方法Info
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Abstract
圧は低く、発光効率を高くする。 【解決手段】 有機EL装置10は、第1の陰極5Aの
有機発光層4との界面に金属酸化物であるLi2O層を
含有し、Li2O層が有機発光層4との界面側で高濃度
となる濃度勾配を有するように形成されている。
Description
troluminescence)装置及びその製造方法に係り、詳し
くは、少なくとも有機発光層を含む有機層と陰極との界
面に金属酸化物を含有する有機EL装置及びその製造方
法に関する。
EL素子の一種として、有機EL装置が開発されてい
る。図12は、従来から一般に知られている有機EL装
置の構成を示す断面図である。同有機EL装置は、図1
2に示すように、ガラス基板等から成る透明絶縁基板5
1と、透明絶縁基板51上に形成されたITO(Indium
Tin Oxide:酸化インジュウム錫)等の透明導電材料か
ら成る陽極(下部電極)52と、陽極52上に形成され
た正孔輸送層53と、正孔輸送層53上に形成された有
機発光層54と、有機発光層54上に形成されたAlL
i(アルミニウムリチウム)等から成る陰極(上部電
極)55と、陽極52、正孔輸送層53、有機発光層5
4及び陰極55から成る素子主要部が形成された透明絶
縁基板51上に、素子主要部を覆うように封止樹脂56
を介して取り付けられたガラス等から成るキャップ57
とを備えている。上述の封止樹脂としては例えばUV
(Ultra-Violet:紫外線)硬化性樹脂が用いられて、光
源からUVを含んだ光を封止樹脂に照射することによ
り、硬化させて封止を行なっている。
光層54と陰極55との界面が不完全である場合が多い
ので、もともと不安定な欠陥が存在している。この欠陥
とは、界面準位を形成すべき個所に格子欠陥等による不
純物準位が形成されることを意味しており、この欠陥の
存在によって、本来流れるべきキャリアのパス以外にも
パスが発生して、リーク電流が増加するようになる。さ
らに、陰極55と陽極52とがショートするおそれもあ
る。したがって、有機EL装置の特性が不安定になり、
高い整流比が得られなくなる。これらのため、単純マト
リックス駆動を行って場合には、画素ショート、クロス
トークが発生していた。
めに有機発光層と陰極との界面に酸化層を形成するよう
に構成した有機EL装置が知られており、例えば特開平
9−245968号公報に開示されている。同有機EL
装置は、図13に示すように、ガラス基板61と、ガラ
ス基板61上に形成されたITOから成る陽極62と、
陽極62上に形成された有機材料から成るホール輸送材
料層63と、ホール輸送材料層63上に形成された有機
材料から成る電子輸送材料層64と、電子輸送材料層6
4上に形成された陰極65とを備え、電子輸送材料層6
4と陰極65との界面には酸化層66(または水酸化
層)が形成されている。
チウム)、Na(ナトリウム)、Ka(カリウム)等の
一価の金属、Mg(マグネシウム)、Ca(カルシウ
ム)等の二価の金属、あるいはAl(アルミニウム)等
の三価の金属を用いる。具体的には、陰極65の材料の
成膜を行う際に、雰囲気中の酸素分子または水素分子の
濃度を通常の成膜の際よりも高くすることによって、酸
化層66を形成する。このような構成により、有機発光
層である電子輸送材料層64と陰極65との界面の金属
の仕事関数あるいはイオン化ポテンシャルを下げること
によって、低電圧駆動を可能にし、結果として安定に動
作する有機EL装置を得ることができるとされている。
9−245968号公報記載の有機EL装置の構成で
は、有機発光層と陰極との界面に単に酸化層を形成して
いるだけなので、高い整流比を得るのが困難である、と
いう問題がある。すなわち、上記公報においては、有機
EL装置の製造時に陰極65の材料の成膜を行う際に、
雰囲気中の酸素分子または水素分子の濃度を通常の成膜
の際よりも高くすることによって、酸化層66を形成し
ているので、酸素分子または水素分子の濃度を望ましい
範囲に制御するのが困難なため、有機EL装置製造の歩
留まりが悪くなって、スループットが低下し、しかも整
流比が十分高いレベルが得られなかった。また、酸化層
66あるいは水酸化層は絶縁層であるので、これらの層
が均一に形成された場合には、駆動電圧が高く、発光効
率が低くなる問題点があった。
もので、高い整流比を得ることができ、しかも駆動電圧
は低く、発光効率を高くすることができるようにした有
機EL装置及びその製造方法を提供することを目的とし
ている。
に、請求項1記載の発明は、透明絶縁基板上に透明電極
から成る陽極、少なくとも有機発光層を含む有機層、陰
極を順次に積層し、該陰極が上記有機層との界面に金属
酸化物を含有する有機EL装置であって、上記金属酸化
物が上記有機層との界面側で高濃度となる濃度勾配を有
するように形成されていることを特徴としている。
載の有機EL装置に係り、上記陰極は第1の陰極及び第
2の陰極から成り、上記第1の陰極が上記有機層との界
面に金属酸化物を含有することを特徴としている。
載の有機EL装置に係り、上記陰極は複数層から成り、
該複数層の陰極のうち上記有機層と接する陰極が上記有
機層との界面に金属酸化物を含有することを特徴として
いる。
2又は3記載の有機EL装置に係り、上記陰極の膜厚方
向に沿って曲線状に変化していることを特徴としてい
る。
2又は3記載の有機EL装置に係り、上記金属酸化物の
上記濃度勾配は、上記陰極の膜厚方向に沿って直線状に
変化していることを特徴としている。
至5のいずれか1に記載の有機EL装置に係り、上記金
属酸化物の濃度は、上記有機層と界面を形成している陰
極の膜厚内で0になっていることを特徴としている。
板上に透明電極から成る陽極、少なくとも有機発光層を
含む有機層、陰極を順次に積層し、該陰極が上記有機層
との界面に金属酸化物を含有する有機EL装置の製造方
法であって、上記陽極及び上記有機層を順次に積層した
上記透明絶縁基板を真空装置内に配置し、上記金属酸化
物を形成し得る第1の金属及び上記陰極形成用の第2の
金属を共蒸着することにより、上記有機層との界面側で
高濃度となる濃度勾配を有する上記金属酸化物を形成す
ることを特徴としている。
板上に透明電極から成る陽極、少なくとも有機発光層を
含む有機層、陰極を順次に積層し、該陰極が上記有機層
との界面に金属酸化物を含有する有機EL装置の製造方
法であって、上記透明絶縁基板上に上記陽極及び上記有
機層を順次に積層して形成する工程と、上記透明絶縁基
板を、予め上記金属酸化物を形成し得る第1の金属及び
上記陰極形成用の第2の金属が供給された真空装置内に
配置する工程と、上記第1及び第2の金属を共蒸着する
ことにより、上記有機層との界面側で高濃度となる濃度
勾配を有する上記金属酸化物を形成する工程とを含むこ
とを特徴としている。
は8記載の有機EL装置の製造方法に係り、上記第1の
金属が予め表面酸化されていることを特徴としている。
7、8又は9記載の有機EL装置の製造方法に係り、上
記共蒸着を真空装置内に酸素を導入しながら行い、共蒸
着開始時から上記真空装置内の上記酸素を徐々に減少す
るよう制御して行うことを特徴としている。
乃至10のいずれか1に記載の有機EL装置の製造方法
に係り、上記第1の金属がLiあるいはMgから成る一
方、上記第2の金属がAlあるいはAgから成ることを
特徴としている。
の実施の形態について説明する。説明は、実施例を用い
て具体的に行う。◇第1実施例 図1は、この発明の第1実施例である有機EL装置の構
成を示す断面図、図2は同有機EL装置の有機発光層と
陰極との界面の近傍部分を拡大して示す図、図3は同有
機EL装置の陰極の膜厚(横軸)と原子濃度(縦軸)と
の関係をオージェ分析結果で示す図、また、図4は同有
機EL装置の製造方法の構成を工程順に示す工程図、図
5は同有機EL装置の製造方法の主要工程に用いられる
真空蒸着装置の構成を概略的に示す図、図6はガラス基
板上に酸素雰囲気下放置したLiを成膜後Alをその上
に積層成膜した分析用薄膜サンプルを用いて分析した結
果を示す図、図7は同有機EL装置及び比較例の整流特
性を示す図、図8は同有機EL装置の参考例における整
流特性を示す図である。この例の有機EL装置10は、
図1に示すように、ガラス基板等から成る透明絶縁基板
1と、透明絶縁基板1上に形成されたITO等の透明導
電材料から成る陽極2と、陽極2上に形成された例えば
α−NPD(N、N’−ジフェニル(diphenyl)−N、
N’−ビス(bis)(1−ナフチル(naphthyl))−(1、
1’−ビフェニル(biphenyl))−(4、4’−ジアミン
(diamine))から成る正孔輸送層3と、正孔輸送層3上
に形成された例えばAlq3((tris−8−quinolinol)
aluminum)から成る有機発光層4と、有機発光層4上に
形成された例えばAlLiから成る第1の陰極5Aと、
第1の陰極5A上に形成された例えばAlから成る第2
の陰極5Bと、陽極2、正孔輸送層3、有機発光層4、
第1の陰極5A及び第2の陰極5Bから成る素子主要部
が形成された透明絶縁基板1上に、素子主要部を覆うよ
うに封止樹脂6を介して取り付けられたガラス等から成
るキャップ7とを備えている。ここで、AlLiから成
る第1の陰極5A中には、Li2O(酸化リチウム)層
から成る金属酸化物8が有機発光層4との界面側で高濃
度となる濃度勾配を有するように含有されている。
光層4と陰極5(第1及び第2の陰極5A、5Bの積層
構造)との界面の近傍部分を拡大して示す図である。図
3は、有機EL装置10の陰極5の膜厚(横軸)と、陰
極5に含まれているAl及びO(酸素)の原子濃度(縦
軸)との関係をオージェ(Auger)分析結果で示す図で
ある。図2及び図3から明らかなように、第1の陰極5
Aにおける酸素の原子濃度(以下、酸素濃度)は、有機
発光層4との界面(位置c)で最大となっていて、膜厚
方向に沿って界面から離れるにつれて徐々に減少して、
膜厚の半分を少し過ぎた位置dで0になる。また、酸素
濃度は膜厚方向に沿って曲線状に変化している。以上の
説明では酸素濃度について述べたが、これはそのまま金
属酸化物であるLi2O層の濃度にも当てはまる。すな
わち、前述したように、第1の陰極5Aの有機発光層4
との界面に含有されるLi2O層は、有機発光層4の界
面側で高濃度となる濃度勾配を有するように形成されて
いる。一方、Alの原子濃度は、界面(位置c)で最小
となっていて、膜厚方向に沿って界面から離れるにつれ
て徐々に増加して、略位置dを過ぎると略100%にな
る。また、第2の陰極5Bは、略100%のAlで構成
されている。Li2O層の具体的な形成方法について
は、後述する。
の陰極5Aの有機発光層4との界面に金属酸化物である
Li2O層を含有し、Li2O層が有機発光層4との界面
側で高濃度となる濃度勾配を有するように形成されてい
るので、このLi2O層により界面に存在している欠陥
が埋められるため、不安定な準位が安定になって、完全
な界面に形成される。これにより、リーク電流の増加が
抑制され、また陰極と陽極とのショートが回避されるの
で、有機EL装置の特性を安定化することができるよう
になる。この結果、高い整流比を得ることができる。ま
た、例えばAlから成る第2の陰極5Bは、陰極5を厚
膜化して配線抵抗を小さくするために設けられている。
これにより、省力化が図れると同時に発光時の輝度むら
を抑えることができるようになる。
ば、図3からも明らかなように、第1の陰極5Aが有機
発光層4との界面に含有しているLi2O層の濃度が、
第1の陰極5A内の位置dで0になっているので、次の
ような効果が得られる。まず、金属酸化物であるLi2
O層は絶縁物として機能するので、第1の陰極5A内で
Li2O濃度を0にすることにより、陰極5の抵抗値の
増大を防止できるため、その分駆動電圧を低くすること
ができる。また、第1の陰極5A内でLi2O濃度を0
にすることにより、電子の注入効率が向上するので、ホ
ールと電子のキャリアバランスが改善されて発光に寄与
する電流が増加し、電流に対する発光効率(cd/A)
が高くなる。したがって、駆動電圧が低くなるとともに
電流効率が向上するので、駆動時の電力に対する発光効
率が高くなり、消費電力を抑えることができる。
装置の製造方法について工程順に説明する。まず、図4
(a)に示すように、十分に洗浄されたガラス基板等か
ら成る透明絶縁基板1上に、スパッタ法により、透明導
電膜として膜厚が略150nmのITOを成膜する。次
に、周知のフォトリソグラフィ法によりITOを、EL
素子の発光面積が2mm□となるようにパターニングし
て陽極2を形成した。次に、基板1をIPA(Iso-Prop
yl Alcohol)、純水を用いて洗浄した後、IPAで超音
波洗浄を行い、続いてUVオゾン洗浄器を用いて洗浄し
て、その表面の残留有機物を除去した。
に正孔輸送層3及び有機発光層4を順次に形成する。こ
れら正孔輸送層3及び有機発光層4の形成は、次のよう
にして行った。まず、正孔輸送材料として、α−NPD
を100mg供給したモリブデン製のボート(第1のボ
ート)と、発光材料として、Alq3を100mg供給
したモリブデン製のボート(第2のボート)を、それぞ
れ別々の蒸発源となるように真空蒸着装置内に配置し
た。次に、基板1を同真空蒸着装置内に収容した後、装
置内を2×10-4Pa(Pascal)の真空度になるまで排
気し、到達した時点で第1のボートの加熱を開始した。
そして、第1のボート内のα−NPDが蒸発速度0.3
nm/secの一定速度になるまで加熱温度を制御した
後、予め真空蒸着装置内の上部に設けられているシャッ
ターを開放して、α−NPDの成膜を開始し、膜厚が略
50nmに到達した時点でシャッターを閉じて、α−N
PDの成膜を終了させた。
q3が蒸発速度0.3nm/secの一定速度になるま
で加熱温度を制御した後、予め真空蒸着装置内の上部に
設けられているシャッターを開放して、Alq3の成膜
を開始し、膜厚が略55nmに到達した時点でシャッタ
ーを閉じて、Alq3の成膜を終了させた。以上によ
り、陽極2上に、α−NPDから成る正孔輸送層3及び
Alq3から成る有機発光層4を形成した。
着装置に接続された、図5に示すような別の真空蒸着装
置20内に基板1を移動させて、図4(c)に示すよう
に、有機発光層4上に第1の陰極5Aを形成する。真空
蒸着装置20は、図5に示すように、容器(チャンバ
ー)11と、容器11内の底部に設けられたボート支持
台12A、12Bと、容器11内の上部に設けられた基
板支持体13及びシャッター14と、シャッター14の
水平方向の位置を制御するシャッター駆動部15と、容
器11の外部に用意された酸素ガス源16と、酸素ガス
源16から基板支持体13に支持される透明絶縁基板1
表面に延在されたガス導入端子口17に酸素ガスを供給
するガス管18と、ガス管18の途中位置に設けられた
マスフローコントローラ19とを備えている。このよう
な真空蒸着装置20は、この発明の有機EL装置の異な
る製造方法に共通に用いることができる。
Liを100g供給したタングステン製のボート(第3
のボート)21A、及び、Alを1g供給したタングス
テン製のボート(第4のボート)21Bがそれぞれ抵抗
加熱源(図示せず)に接続されて配置されている。ここ
で、Liは、直径2mmのLiワイヤを厚み5〜10m
mのタブレット形状に切断し、これを酸素含有雰囲気
下、一例として大気雰囲気下に予め5分間程度放置した
ものを使用している。Liは、活性が非常に強い金属で
あるため、この酸素雰囲気下放置により表面が酸化さ
れ、Liタブレット表面にはLi2O層が形成されてい
る。Liタブレットのオージェによる分析を行ったとこ
ろ、5分間放置で表面から5〜8μmほど酸化層が認め
られた。また、真空蒸着装置20の容器11内にガス導
入端子口17から導入される酸素ガスはマスフローコン
トローラ19により流量が制御される。そして、この真
空蒸着装置20の容器11内を排気し4×10-4Paの
真空度以下に到達した時点で、第3のボート21A及び
第4のボート21Bを各々抵抗加熱源により加熱して、
第3のボート21A内のLiが蒸発速度0.02〜0.
03nm/sec、第4のボート21B内のAlが蒸発
速度0.4nm/secの一定速度になるまで加熱温度
を制御した後、容器11内の上部に設けられているシャ
ッター14をシャッター駆動部15により水平方向に移
動させることで開放して、AlとLiの共蒸着を開始
し、膜厚が略60nmに到達した時点でシャッター14
を閉じて、AlとLiの共蒸着を終了させた。ここで、
Liの表面にはLi2Oが形成されているので、蒸着開
始時にはLiとLi2Oが同時に蒸着されるが、Li2O
はLi表面に薄く形成されているため、蒸着進行に伴い
徐々に減少し、Li2Oが完全に蒸着された後はLiの
みが蒸着される。これにより、Li2O層から成る金属
酸化物8が形成される。以上により、有機発光層4上
に、この有機発光層4との界面にLi2O層を含有する
AlLiから成る第1の陰極5Aを形成した。
り、有機発光層4上に陰極を積層した際に発生する欠陥
にLi2O層が埋め込まれるので、有機発光層4と陰極
との界面は完全な界面に形成される。この場合の、Li
2O層の形成は、有機発光層4に予めLi2O層を均一に
積層した後に、陰極を積層した状態とは異なっている。
すなわち、図3にも示したように、AlとLiの共蒸
着開始時は、Li表面のLi2O層がLi及びAlとと
もに共蒸着するが、次第にLi2O層は薄膜化して、遂
に位置dでLi2O層は消失するようになる。その後、
位置dと位置bとの間ではAlとLiのみが共蒸着され
ることになる。このように、共蒸着の進行に伴ってLi
2O層は徐々に薄膜化し、Li2O層の濃度勾配は曲線状
になる。X線光電子分光法を用いて酸素雰囲気下放置し
たLiをガラス基板上に成膜、その上にAlを成膜した
分析用薄膜を分析したところ、Liの増加に従って酸素
も増加し、酸化していることが示唆された。図6は、そ
の分析結果を原子濃度(縦軸)と成膜速度(横軸)との
関係で示している。同図の中央部左側の破線位置は、L
i/ガラス界面に概ね相当する位置を示している。同図
では、Li、Alだけでなく、Si、Oについても示し
ており、Siはガラス基板に由来している。
への加熱を停止し、第4のボート21Bのみを抵抗加熱
源により加熱して、第4のボート21B内のAlが蒸発
速度0.6nm/secの一定速度になるまで加熱温度
を制御した後、シャッター14を開放して、Alの成膜
を開始し、膜厚が略100nmに到達した時点でシャッ
ター14を閉じて、Alの成膜を終了させた。以上によ
り、第1の陰極5A上に、図4(c)に示すように、A
lから成る第2の陰極5Bを形成した。これによって、
透明絶縁基板1上には陽極2、正孔輸送層3、有機発光
層4、第1の陰極5A及び第2の陰極5Bから成る素子
主要部が形成されたことになる。
たLiを蒸着することにより、第1の陰極5Aの有機発
光層4との界面にはLi2O層が含有される。そして、
このようなLi2O層は、有機発光層4と第1の陰極5
Aとの界面に安定した準位を形成するように作用し、そ
れゆえ、有機発光層4と第1の陰極5Aとの界面は完全
な界面に形成される。さらに、第1の陰極5A上には第
2の陰極5Bが形成され、第1の陰極5Aとともに陰極
5として働く。
(d)に示すように、例えばガラス製のキャップ7を用
いて、例えばUV硬化性の封止樹脂6を介して透明絶縁
基板1に接着することにより封止して、有機EL装置1
0を完成させた。この封止時において、封止樹脂6を硬
化させるときは、UV照射は、陽極2、正孔輸送層3、
有機発光層4、第1の陰極5A及び第2の陰極5Bから
成る素子主要部を遮光して、封止樹脂6にのみ行うよう
にした。
よれば、素子特性を安定化すべく第1の陰極5Aの有機
発光層4との界面に金属酸化物であるLi2O層を含有
し、Li2O層が有機発光層4との界面側で高濃度とな
る濃度勾配を有するように形成されている有機EL装置
を製造するにあたり、予め大気雰囲気下で表面酸化によ
りLi2O層を形成したLi(酸化され易い金属)とA
l(低抵抗の陰極材料)を蒸発源に用いて、AlとLi
を共蒸着させるようにしたので、上述のような濃度勾配
を有するLi2O層を形成することができる。これによ
り、有機発光層4との界面側で高濃度となる濃度勾配を
有する第1の陰極5Aを制御性良く形成することができ
るので、高歩留まりで有機EL装置を製造できるため、
スループットを向上させることができる。
いて、この例の有機EL装置の製造方法により製造され
た有機EL装置10の整流特性を測定した結果について
説明する。測定は、有機EL装置10の陽極2と第2の
陰極5Bとの間に順方向電圧及び逆方向電圧を印加して
行った。なお、有機EL装置の発光面積は2mm□であ
った。図7は、有機EL装置の整流特性の一例を示す図
で、実施例が上述の測定により得られた結果であり、縦
軸は電流値を、横軸は印加電圧を示している。ここで、
順方向印加電圧8Vにおける順方向電流Ifと、逆方向
印加電圧−8Vにおける逆方向電流Irとの比を整流比
(If/Ir)とした場合、逆方向電流Irはほとんど流れな
いので、4.7×108と大きな整流比が得られ、優れ
た整流特性を示すことを確認した。また、100cd/
m2時の駆動電圧は3.5Vと低く、13.1 lm/w
と発光効率の改善も認められた。特に、低電圧領域での
発光効率が良好であった。
機発光層4との界面にLi2O層を含有するがそのLi2
O層が濃度勾配を有しない有機EL装置から得られた整
流比を、図7の比較例に示す。この比較例では、Li2
O層が厚く、閾値が大きくなっていることが確認され
た。上記と比較して、100cd/m2時の駆動電圧が
4.25Vと高く、発光効率も10.0 lm/wと小
さかった。特に低電圧領域での発光効率が良好でなかっ
た。また、6.1×106と整流特性がやや悪化してい
た。
なように、この例の有機EL装置によれば、大きな整流
比を得ることができる。この理由は、前述したように、
有機発光層4との界面側で高濃度となる濃度勾配を有す
るように形成されているLi 2O層により、有機発光層
4と第1の陰極5Aとの界面が完全な界面に形成された
ためであると思われる。一方、比較例で整流特性が悪い
のは、第1の陰極5Aの有機発光層4との界面にLi2
O層を含有するがそのLi2O層が濃度勾配を有しない
ため、有機発光層4と第1の陰極5Aとの界面に欠陥が
残存しているためであると思われる。なお、参考例とし
て、Li2O層を全く含有させない場合の特性を図8に
示す。同図から明らかなように、整流特性は極めて悪い
ことがわかる。
ば、第1の陰極5Aの有機発光層4との界面に金属酸化
物であるLi2O層を含有し、Li2O層が有機発光層4
との界面側で高濃度となる濃度勾配を有するように形成
されているので、有機発光層4と第1の陰極5Aとの界
面に存在している欠陥はLi2O層により埋められて、
完全な界面に形成される。また、この例の有機EL装置
の製造方法によれば、上記有機EL装置10を製造する
にあたり、予め大気雰囲気下または酸素雰囲気下での表
面酸化によりLi 2O層を形成したLiとAlを蒸発源
に用いて、AlとLiを共蒸着するようにしたので、有
機発光層4との界面側で高濃度となる濃度勾配を有する
Li2O層を形成することができる。したがって、高い
整流比を得ることができ、しかも駆動電圧は低く、発光
効率を高くすることができる。
極の膜厚(横軸)と原子濃度(縦軸)との関係をオージ
ェ分析結果で示す図である。この第2実施例の有機EL
装置の構成が、上述の第1実施例のそれと大きく異なる
ところは、金属酸化物が有する濃度勾配を陰極の膜厚方
向に沿って直線状に変化させるようにした点である。す
なわち、この例の有機EL装置は、図9に示すように、
第1の陰極5Aにおける酸素濃度は、有機発光層4との
界面(位置c)で最大となっていて、膜厚方向に沿って
界面から離れるにつれて徐々に減少して、膜厚の半分を
少し過ぎた位置d´で0になっているが、その濃度勾配
は膜厚方向に沿って直線状に変化している。これ以外
は、上述した第1実施例と略同様である。それゆえ、有
機EL装置の構成は図1と略同様であるので、その説明
を省略する。
ついて工程順に説明する。第1実施例の図4(c)に示
したように、陽極2、正孔輸送層3、有機発光層4を順
次に積層した透明絶縁基板1を、図5に示したような真
空蒸着装置20内に移動させる。ここで、真空蒸着装置
20内の第3のボート21Aには予め大気雰囲気下で表
面酸化させていないLiが供給されている。真空蒸着装
置20の容器11内を排気し4×10-4Paの真空度以
下に到達した時点で、マスフローコントローラ19によ
り酸素ガス流量を略5SCCM(Standard Cubic Centi
meter per Minute)となるように制御し、真空蒸着装置
20の容器11内にガス導入端子口17から酸素ガスを
基板1表面近傍に導入した。その後、第3のボート21
A及び第4のボート21Bを各々抵抗加熱源により加熱
して、第3のボート21A内のLiが蒸発速度0.02
〜0.03nm/sec、第4のボート21B内のAl
が蒸発速度0.4nm/secの一定速度になるまで加
熱温度を制御した後、容器11内の上部に設けられてい
るシャッター14をシャッター駆動部15により水平方
向に移動させることで開放して、AlとLiの共蒸着を
開始した。このとき、容器11内の真空度は2×10-3
Paであった。
iの蒸発速度を徐々に低減し、略100秒後に0nm/
secとなるように制御した。同時に酸素ガスの供給を
停止した。その後、膜厚が略60nmに到達した時点で
シャッター14を閉じて、AlとLiの共蒸着を終了さ
せた。酸素ガスが導入されている間は、飛来するLiの
一部が酸素ガスと反応してLi2O層を生成し、陰極と
してLi、Alとともに共蒸着される。ここで、酸素ガ
スの導入量が減少するにしたがって、Li2O層の生成
量も減少する。酸素ガス導入停止後はAlとLiのみが
共蒸着される。以上により、有機発光層4上に、この有
機発光層4との界面にLi2O層を含有するAlとLi
から成る第1の陰極5Aを形成した。
り、第1実施例の有機EL装置の製造方法の場合と同様
に、有機発光層4上に陰極を積層した際に発生する欠陥
にLi 2O層が埋め込まれるので、有機発光層4と陰極
との界面は完全な界面に形成される。この場合も、Li
2O層の形成は、有機発光層4に予めLi2O層を均一に
積層した後に、陰極を積層した状態とは異なる。すなわ
ち、図9に示したように、AlとLiの共蒸着開始時
は、Liの一部が酸素ガスと反応してLi2O層が形成
されるが、Liの蒸着速度の低減及び酸素ガスの減少に
伴って、次第にLi2O層は薄膜化して、遂に位置d´
でLi2O層は消失するようになる。その後、位置d´
と位置bとの間ではAlとLiのみが共蒸着されること
になる。このように、共蒸着の進行に伴ってLi2O層
は徐々に薄膜化し、Li2O層の濃度勾配は直線状にな
る。なお、Li2O層の濃度が0になる点は、酸素ガス
の導入を停止した時点より少し遅れるが、これは酸素ガ
ス導入を0にしても容器11内に滞留している酸素ガス
の影響と考えられる。
ト21Aの抵抗加熱源への加熱を停止し、第4のボート
21Bのみを抵抗加熱源により加熱して、第4のボート
21B内のAlが蒸発速度0.6nm/secの一定速
度になるまで加熱温度を制御した後、シャッター14を
開放して、Alの成膜を開始し、膜厚が略120nmに
到達した時点でシャッター14を閉じて、Alの成膜を
終了させた。以上により、第1の陰極5A上に、第1実
施例の図4(c)に示すように、Alから成る第2の陰
極5Bを形成した。これ以降は、第1実施例の図4
(d)と略同様な工程を経ることにより、有機EL装置
を完成させる。
L装置の特性を安定化することができるようになり、高
い整流比を得ることができる。この例では、2.0×1
08と大きな整流比が得られ、第1実施例と同様に、優
れた整流特性を示すことを確認した。また、この例の有
機EL装置の製造方法によっても、上記有機EL装置を
製造するにあたり、予め大気雰囲気下で表面酸化させて
いないLiとAlを蒸発源に用いて、AlとLiを共蒸
着するようにしたので、有機発光層4との界面側で高濃
度となる濃度勾配を有するLi2O層を自動的に形成す
ることができる。したがって、装置製造のためのスルー
プットを低下させることなく、高い整流比を得ることが
できる。
1実施例において述べたのと略同様な効果を得ることが
できる。
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更などがあってもこの発明に含まれる。例えば、透明絶
縁基板上に形成する陽極はITOを用いた例で説明した
が、透明導電材料であればITOに限らずに例えばSn
O2(酸化錫)等の他の電極材料を用いることができ
る。また、陰極についてもAlとLiの共蒸着に限らず
に、例えばMgとAgの共蒸着、Al単独等の他の電極
材料を用いることもできるが、酸化し易い材料を一部共
存させることが好ましい。また、正孔輸送材料について
もα−NPDに限らずに、例えば、ビス(ジ(p−トリ
ル)アミノフェニル)−1、1−シクロヘキサン、N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−メチルフェニ
ル)−1、1’−ビフェニル−4、4’−ジアミン、
N、N’−ジフェニル−N−N−ビス(1−ナフチル)
−(1、1’−ビフェニル)−4、4’−ジアミン、銅
フタロシアニン、4、4’、4” トリス(3−メチル
フェニルフェニルアミノ)−トリフェニルアミン、4−
フェニル−4’、4”−ビス〔ジ(3−メチルフェニ
ル)アミノ〕トリフェニルアミン、N、N’−ジフェニ
ル−N、N’−ビス(3−メチルフェニル)−1、1’
−ビフェニル−4、4’−ジアミン、スターバースト型
分子等の他の材料を用いることができる。
発光層、第1の陰極及び第2の陰極から成る構成の素子
主要部を形成する例で説明したが、有機層と陰極層との
界面が形成されている構成であればこれに限らない。有
機発光層と陰極との間に、例えば2−(4−ビフィニ
ル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1、3、4−
オキサジアゾールやビス(8−キノリノール)マグネシ
ウム、ビス(2−メチル−8−キノリノール)(1−フ
ェノラート)ガリウム等の電子輸送層を介在させること
もできるし、正孔輸送層と電子輸送層を共に含有しない
陽極、有機発光層及び陰極から成る構成等の他の構成の
素子主要部を形成することもできる。また、陰極が複数
層から成る構成では、少なくとも有機発光層を含む有機
層と接する陰極と有機層との界面に酸化物が含有されて
いればよい。
に示したように、金属酸化物であるLi2O層の濃度が
第1の陰極5Aと第2の陰極5Bの界面(位置b)で0
になるような有機EL装置も考えられる。また、第2実
施例の変形例として、図10に示したように、Li2O
層の濃度が第1の陰極5Aと第2の陰極5Bの界面で0
にならない有機EL装置も考えられる。ただし、これら
の変形例はいずれも、図3を参照して説明したように、
各実施例を越えるような効果は得られない。
L装置によれば、陰極の少なくとも有機発光層を含む有
機層との界面に金属酸化物を含有し、金属酸化物が有機
層との界面側で高濃度となる濃度勾配を有するように形
成されているので、有機層と陰極との界面に存在してい
る欠陥は金属酸化物により埋められて、完全な界面に形
成される。また、この発明の有機EL装置の製造方法に
よれば、上記有機EL装置を製造するにあたり、予め大
気雰囲気をはじめとする酸素含有雰囲気下で表面酸化に
より金属酸化物を形成し得る金属と陰極形成用金属を蒸
発源に用いて、両金属を共蒸着するようにしたので、有
機層との界面側で高濃度となる濃度勾配を有する金属酸
化物を形成することができる。これにより、素子の逆バ
イアス印加時のショート防止やリーク電流の抑制により
整流比が向上する。また、パッシブマトリックス駆動を
行った場合、画素ショートやクロストークが抑制でき
る。さらに、濃度勾配を設けることにより、駆動電圧は
低く、発光効率を高くすることができる。
成を示す断面図である。
近傍部分を拡大して示す図である。
度(縦軸)との関係をオージェ分析結果で示す図であ
る。
す工程図である。
れる真空蒸着装置の構成を概略的に示す図である。
膜後Alをその上に積層成膜した分析用薄膜サンプルを
用いて分析した結果を示す図である。
置の整流特性を示す図である。
す図である。
極の膜厚(横軸)と原子濃度(縦軸)との関係をオージ
ェ分析結果で示す図である。
例の陰極の膜厚(横軸)と原子濃度(縦軸)との関係を
オージェ分析結果で示す図である。
例の陰極の膜厚(横軸)と原子濃度(縦軸)との関係を
オージェ分析結果で示す図である。
る。
る。
Claims (11)
- 【請求項1】 透明絶縁基板上に透明電極から成る陽
極、少なくとも有機発光層を含む有機層、陰極を順次に
積層し、該陰極が前記有機層との界面に金属酸化物を含
有する有機EL装置であって、 前記金属酸化物が前記有機層との界面側で高濃度となる
濃度勾配を有するように形成されていることを特徴とす
る有機EL装置。 - 【請求項2】 前記陰極は第1の陰極及び第2の陰極か
ら成り、前記第1の陰極が前記有機層との界面に金属酸
化物を含有することを特徴とする請求項1記載の有機E
L装置。 - 【請求項3】 前記陰極は複数層から成り、該複数層の
陰極のうち前記有機層と接する陰極が前記有機層との界
面に金属酸化物を含有することを特徴とする請求項1記
載の有機EL装置。 - 【請求項4】 前記金属酸化物の前記濃度勾配は、前記
陰極の膜厚方向に沿って曲線状に変化していることを特
徴とする請求項1、2又は3記載の有機EL装置。 - 【請求項5】 前記金属酸化物の前記濃度勾配は、前記
陰極の膜厚方向に沿って直線状に変化していることを特
徴とする請求項1、2又は3記載の有機EL装置。 - 【請求項6】 前記金属酸化物の濃度は、前記有機層と
界面を形成している陰極の膜厚内で0になっていること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1に記載の有機
EL装置。 - 【請求項7】 透明絶縁基板上に透明電極から成る陽
極、少なくとも有機発光層を含む有機層、陰極を順次に
積層し、該陰極が前記有機層との界面に金属酸化物を含
有する有機EL装置の製造方法であって、 前記陽極及び前記有機層を順次に積層した前記透明絶縁
基板を真空装置内に配置し、前記金属酸化物を形成し得
る第1の金属及び前記陰極形成用の第2の金属を共蒸着
することにより、前記有機層との界面側で高濃度となる
濃度勾配を有する前記金属酸化物を形成することを特徴
とする有機EL装置の製造方法。 - 【請求項8】 透明絶縁基板上に透明電極から成る陽
極、少なくとも有機発光層を含む有機層、陰極を順次に
積層し、該陰極が前記有機層との界面に金属酸化物を含
有する有機EL装置の製造方法であって、 前記透明絶縁基板上に前記陽極及び前記有機層を順次に
積層して形成する工程と、 前記透明絶縁基板を、予め前記金属酸化物を形成し得る
第1の金属及び前記陰極形成用の第2の金属が供給され
た真空装置内に配置する工程と、 前記第1及び第2の金属を共蒸着することにより、前記
有機層との界面側で高濃度となる濃度勾配を有する前記
金属酸化物を形成する工程とを含むことを特徴とする有
機EL装置の製造方法。 - 【請求項9】 前記第1の金属が予め表面酸化されてい
ることを特徴とする請求項7又は8記載の有機EL装置
の製造方法。 - 【請求項10】 前記共蒸着を真空装置内に酸素を導入
しながら行い、共蒸着開始時から前記真空装置内の前記
酸素を徐々に減少するよう制御して行うことを特徴とす
る請求項7、8又は9記載の有機EL装置の製造方法。 - 【請求項11】 前記第1の金属がLiあるいはMgか
ら成る一方、前記第2の金属がAlあるいはAgから成
ることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1に記
載の有機EL装置の製造方法。
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