JP2002364541A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B35/00—Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
- H02K1/22—Rotating parts of the magnetic circuit
- H02K1/27—Rotor cores with permanent magnets
- H02K1/2706—Inner rotors
- H02K1/272—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis
- H02K1/274—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of two or more circumferentially positioned magnets
- H02K1/2753—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of two or more circumferentially positioned magnets the rotor consisting of magnets or groups of magnets arranged with alternating polarity
- H02K1/276—Magnets embedded in the magnetic core, e.g. interior permanent magnets [IPM]
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- Permanent Field Magnets Of Synchronous Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 モータロータの発熱が極めて少なく、高温条
件下でも安全に駆動することのできるモータを使用し
て、ポンプ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供
する。 【解決手段】 吸気口３と排気口４を備え、対向して配
置された一対のポンプロータ１を同期回転させてガスの
吸入排気を行う真空ポンプにおいて、ポンプロータ１を
駆動するモータは、ステータ１３とモータロータ１１と
を備え、モータロータ１１の鉄心１２の内部に永久磁石
１７が配置された。
件下でも安全に駆動することのできるモータを使用し
て、ポンプ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供
する。 【解決手段】 吸気口３と排気口４を備え、対向して配
置された一対のポンプロータ１を同期回転させてガスの
吸入排気を行う真空ポンプにおいて、ポンプロータ１を
駆動するモータは、ステータ１３とモータロータ１１と
を備え、モータロータ１１の鉄心１２の内部に永久磁石
１７が配置された。
Description
【０００１】本発明は真空ポンプに係り、特に半導体製
造工程における真空チャンバ内のガスの排気などに好適
に利用できる真空ポンプに関するものである。
造工程における真空チャンバ内のガスの排気などに好適
に利用できる真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、一対のポンプロータが同期回
転してガスの吸入排気を行う容積式と呼ばれる真空ポン
プが知れられている。この容積式真空ポンプにはルーツ
型やスクリュー型などのタイプがあり、半導体製造工程
における真空チャンバ内のプロセスガスの排気などに広
く用いられている。
転してガスの吸入排気を行う容積式と呼ばれる真空ポン
プが知れられている。この容積式真空ポンプにはルーツ
型やスクリュー型などのタイプがあり、半導体製造工程
における真空チャンバ内のプロセスガスの排気などに広
く用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図６は従来のルーツ型
容積式真空ポンプの一例を示す断面図であり、ケーシン
グ内に３対のルーツ型ロータが収納された多段式ルーツ
型真空ポンプである。ポンプロータ５１はロータ５１
ａ，５１ｂ，５１ｃと主軸５１ｄとから構成されてお
り、ロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃはケーシング５２内
に配置され、主軸５１ｄは軸受５３により回転自在に支
持されている。最も幅の大きいロータ５１ａの上方には
吸気口５４が設けられ、最も幅の小さいロータ５１ｃの
下方には排気口５５が設けられている。ポンプロータ５
１の排気口側の軸端部にはモータＭが接続されており、
吸気口側の軸端部には、一対の対向するポンプロータ５
１を連係するタイミングギヤ５６が固着されている。
容積式真空ポンプの一例を示す断面図であり、ケーシン
グ内に３対のルーツ型ロータが収納された多段式ルーツ
型真空ポンプである。ポンプロータ５１はロータ５１
ａ，５１ｂ，５１ｃと主軸５１ｄとから構成されてお
り、ロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃはケーシング５２内
に配置され、主軸５１ｄは軸受５３により回転自在に支
持されている。最も幅の大きいロータ５１ａの上方には
吸気口５４が設けられ、最も幅の小さいロータ５１ｃの
下方には排気口５５が設けられている。ポンプロータ５
１の排気口側の軸端部にはモータＭが接続されており、
吸気口側の軸端部には、一対の対向するポンプロータ５
１を連係するタイミングギヤ５６が固着されている。
【０００４】モータＭによって回転駆動された一対のポ
ンプロータ５１は、タイミングギヤ５６を介して相互に
同期反転し、各段のロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃによ
ってガスが移送されてガスの排気が行われる。この多段
式の真空ポンプにおいては、ポンプ運転中、吸気口側に
配置されたロータ５１ａはあまり高温にならないが、各
ロータ段間でガスの圧縮作用が働き、排気口側のロータ
５１ｃは高温となる。
ンプロータ５１は、タイミングギヤ５６を介して相互に
同期反転し、各段のロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃによ
ってガスが移送されてガスの排気が行われる。この多段
式の真空ポンプにおいては、ポンプ運転中、吸気口側に
配置されたロータ５１ａはあまり高温にならないが、各
ロータ段間でガスの圧縮作用が働き、排気口側のロータ
５１ｃは高温となる。
【０００５】また、真空ポンプの駆動用モータとして
は、一般的に誘導電動機が使用されている。モータロー
タ５７は、積層された電磁鋼板からなる鉄心５８を備
え、この鉄心５８に設けられた溝には、二次導体として
ロータバー（図示せず）が収納されている。そして、モ
ータ運転時には、ステータ６０に発生する回転磁界によ
りこの二次導体に誘導電流が流れ、回転磁界及び誘導電
流により回転トルクが発生してモータロータ５７が回転
する。しかしながら、この二次導体に流れる誘導電流に
よりモータロータ５７が発熱し、モータ自体が高温とな
っていた。
は、一般的に誘導電動機が使用されている。モータロー
タ５７は、積層された電磁鋼板からなる鉄心５８を備
え、この鉄心５８に設けられた溝には、二次導体として
ロータバー（図示せず）が収納されている。そして、モ
ータ運転時には、ステータ６０に発生する回転磁界によ
りこの二次導体に誘導電流が流れ、回転磁界及び誘導電
流により回転トルクが発生してモータロータ５７が回転
する。しかしながら、この二次導体に流れる誘導電流に
よりモータロータ５７が発熱し、モータ自体が高温とな
っていた。
【０００６】このように、ガス圧縮により高温となる排
気口側にモータを設置した場合に、モータロータ自体が
発熱すると、モータが過度に高温となり、モータ効率が
著しく低下してしまう。このため、排気口側にモータを
設置する場合は、継手などを介して高温となるロータか
らある程度離間させてモータを接続する必要があり、ポ
ンプの機械的損失が生じ、またポンプのコンパクト化を
図ることができなかった。
気口側にモータを設置した場合に、モータロータ自体が
発熱すると、モータが過度に高温となり、モータ効率が
著しく低下してしまう。このため、排気口側にモータを
設置する場合は、継手などを介して高温となるロータか
らある程度離間させてモータを接続する必要があり、ポ
ンプの機械的損失が生じ、またポンプのコンパクト化を
図ることができなかった。
【０００７】一方、他の従来例には、駆動するモータと
して、永久磁石がポンプロータに直接固着された二次電
流の発生しないモータロータを使用して、比較的温度の
低い吸気口側にモータを設置した真空ポンプがある。し
かしながら、半導体製造工程に使用される腐食性ガスを
吸入した場合には、このガスによって永久磁石が腐食さ
れ、磁力の低下や磁石の破損につながり、モータ故障の
原因となっていた。また、モータ組立工程等で永久磁石
が損傷を受けた場合、回転中に永久磁石が割れて磁石が
飛散し、ポンプを停止させる場合があった。更に、突発
的要因によりモータロータが高温となった場合に、磁石
の機械的強度の低下や永久磁石を取り付けている接着剤
の接着力が低下し、回転中の永久磁石が剥れてモータの
故障につながるおそれもあった。
して、永久磁石がポンプロータに直接固着された二次電
流の発生しないモータロータを使用して、比較的温度の
低い吸気口側にモータを設置した真空ポンプがある。し
かしながら、半導体製造工程に使用される腐食性ガスを
吸入した場合には、このガスによって永久磁石が腐食さ
れ、磁力の低下や磁石の破損につながり、モータ故障の
原因となっていた。また、モータ組立工程等で永久磁石
が損傷を受けた場合、回転中に永久磁石が割れて磁石が
飛散し、ポンプを停止させる場合があった。更に、突発
的要因によりモータロータが高温となった場合に、磁石
の機械的強度の低下や永久磁石を取り付けている接着剤
の接着力が低下し、回転中の永久磁石が剥れてモータの
故障につながるおそれもあった。
【０００８】更に、吸気口側にモータを配置する構造の
真空ポンプにおいては、吸気口側に軸受を設置すること
が必要となる。このように軸受を吸気口側に設置する
と、軸受の潤滑に使用されるグリースの油分子が真空状
態となる吸気口上流に逆拡散してしまうといった問題が
生じていた。そして、このような逆拡散を防止するため
に軸封機構を設けることが必要となり、その結果、ポン
プ構造の簡素化やコンパクト化を図ることが困難であっ
た。このような問題は、スクリュー型等の他のタイプの
容積式真空ポンプにおいても同様に生じている。
真空ポンプにおいては、吸気口側に軸受を設置すること
が必要となる。このように軸受を吸気口側に設置する
と、軸受の潤滑に使用されるグリースの油分子が真空状
態となる吸気口上流に逆拡散してしまうといった問題が
生じていた。そして、このような逆拡散を防止するため
に軸封機構を設けることが必要となり、その結果、ポン
プ構造の簡素化やコンパクト化を図ることが困難であっ
た。このような問題は、スクリュー型等の他のタイプの
容積式真空ポンプにおいても同様に生じている。
【０００９】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、モータロータの発熱が極めて少なく、高温条件下で
も安全に駆動することのできるモータを使用して、ポン
プ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供すること
を目的とする。
で、モータロータの発熱が極めて少なく、高温条件下で
も安全に駆動することのできるモータを使用して、ポン
プ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の１態様は、吸気口と排気口を備え、対向し
て配置された一対のポンプロータを同期回転させてガス
の吸入排気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロー
タを駆動するモータは、ステータとモータロータとを備
え、前記モータロータの鉄心の内部に永久磁石が配置さ
れた永久磁石型モータであることを特徴とする。
に、本発明の１態様は、吸気口と排気口を備え、対向し
て配置された一対のポンプロータを同期回転させてガス
の吸入排気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロー
タを駆動するモータは、ステータとモータロータとを備
え、前記モータロータの鉄心の内部に永久磁石が配置さ
れた永久磁石型モータであることを特徴とする。
【００１１】このように構成された本発明によれば、永
久磁石の周囲は鉄心により囲まれているので、高温条件
下で運転しても永久磁石の機械的強度を保持することが
できる。また、高温となって接着剤の接着力が低下した
ような場合でも、永久磁石の飛散を防止することも可能
となる。更に、腐食性のガスを吸入した場合に、ガスが
モータ内部に侵入しても、永久磁石は鉄心内部に埋設さ
れているため、腐食性ガスとの接触面積が小さく、永久
磁石の腐食を防止することができ、永久磁石の性能を維
持させることが可能となる。
久磁石の周囲は鉄心により囲まれているので、高温条件
下で運転しても永久磁石の機械的強度を保持することが
できる。また、高温となって接着剤の接着力が低下した
ような場合でも、永久磁石の飛散を防止することも可能
となる。更に、腐食性のガスを吸入した場合に、ガスが
モータ内部に侵入しても、永久磁石は鉄心内部に埋設さ
れているため、腐食性ガスとの接触面積が小さく、永久
磁石の腐食を防止することができ、永久磁石の性能を維
持させることが可能となる。
【００１２】本発明の他の１態様は、前記鉄心の内部に
は、複数の前記永久磁石が、それぞれの磁極面が前記モ
ータロータの半径方向を向くように前記モータロータの
回転軸を中心に配置され、前記鉄心は、複数の電磁鋼板
が積層されて形成されるとともに、前記鉄心の外周上で
あって、かつ前記永久磁石の磁極中心から前記半径方向
にある位置において溶接されたことを特徴とする。
は、複数の前記永久磁石が、それぞれの磁極面が前記モ
ータロータの半径方向を向くように前記モータロータの
回転軸を中心に配置され、前記鉄心は、複数の電磁鋼板
が積層されて形成されるとともに、前記鉄心の外周上で
あって、かつ前記永久磁石の磁極中心から前記半径方向
にある位置において溶接されたことを特徴とする。
【００１３】このように構成された本発明によれば、こ
の溶接箇所においては通過する磁束が少ないため、モー
タ運転時にステータから受ける磁束の変動によって生じ
る鉄心での渦電流の発生を低く抑えることができる。即
ち、鉄心での発熱が微少になるとともに、渦電流損失を
低減させてモータ効率を向上させることが可能となる。
の溶接箇所においては通過する磁束が少ないため、モー
タ運転時にステータから受ける磁束の変動によって生じ
る鉄心での渦電流の発生を低く抑えることができる。即
ち、鉄心での発熱が微少になるとともに、渦電流損失を
低減させてモータ効率を向上させることが可能となる。
【００１４】本発明の他の１態様は、前記電磁鋼板に
は、前記電磁鋼板の外周縁であって、かつ前記永久磁石
の磁極の中心から前記半径方向にある位置において切欠
き部が設けられたことを特徴とする。
は、前記電磁鋼板の外周縁であって、かつ前記永久磁石
の磁極の中心から前記半径方向にある位置において切欠
き部が設けられたことを特徴とする。
【００１５】このように構成された本発明によれば、前
記切欠き部によって前記鉄心の外周面には溝状の陥入部
が形成される。そして、この陥入部において溶接すれ
ば、前記鉄心の外周面の陥入した位置に溶接部が形成さ
れる。この溶接部においては、他のロータ外周面に比べ
てステータとの磁気ギャップが大きいため、この溶接部
を通過する磁束は極めて少ない。その結果、鉄心での渦
電流の発生を更に減少させ、鉄心での発熱を極めて低く
抑えることができるとともに、渦電流損失を低減させる
ことが可能となる。
記切欠き部によって前記鉄心の外周面には溝状の陥入部
が形成される。そして、この陥入部において溶接すれ
ば、前記鉄心の外周面の陥入した位置に溶接部が形成さ
れる。この溶接部においては、他のロータ外周面に比べ
てステータとの磁気ギャップが大きいため、この溶接部
を通過する磁束は極めて少ない。その結果、鉄心での渦
電流の発生を更に減少させ、鉄心での発熱を極めて低く
抑えることができるとともに、渦電流損失を低減させる
ことが可能となる。
【００１６】本発明の他の１態様は、前記モータロータ
の外周面が保護膜で被覆されたことを特徴とする。
の外周面が保護膜で被覆されたことを特徴とする。
【００１７】このように構成された本発明によれば、永
久磁石や電磁鋼板が雰囲気中の湿気や腐食性ガスなどに
接触することがなくなり、永久磁石等の錆びや腐食を防
止することが可能となる。
久磁石や電磁鋼板が雰囲気中の湿気や腐食性ガスなどに
接触することがなくなり、永久磁石等の錆びや腐食を防
止することが可能となる。
【００１８】本発明の他の１態様は、前記永久磁石型モ
ータが前記排気口側に配置されたことを特徴とする。
ータが前記排気口側に配置されたことを特徴とする。
【００１９】また、本発明の他の１態様は、前記ポンプ
ロータは、前記ポンプロータの主軸部において軸受によ
って支持されており、前記軸受は、前記排気口側の端部
から前記ポンプロータのロータ部までの所定の位置に配
置され、前記軸受によって前記ロータ部が片持ち支持さ
れていることを特徴とする。
ロータは、前記ポンプロータの主軸部において軸受によ
って支持されており、前記軸受は、前記排気口側の端部
から前記ポンプロータのロータ部までの所定の位置に配
置され、前記軸受によって前記ロータ部が片持ち支持さ
れていることを特徴とする。
【００２０】このように構成された本発明によれば、ポ
ンプロータを構成するロータ部を片持ち構造として吸気
口側の軸受の配置を不要とすることができ、その結果、
特段の軸封機構を設けることなく、軸受の潤滑に使用さ
れるグリース等の油分子の逆拡散を解消することが可能
となる。
ンプロータを構成するロータ部を片持ち構造として吸気
口側の軸受の配置を不要とすることができ、その結果、
特段の軸封機構を設けることなく、軸受の潤滑に使用さ
れるグリース等の油分子の逆拡散を解消することが可能
となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの
第１の実施形態について図面を参照して説明する。図１
は本発明をスクリュー型容積式真空ポンプに適用した第
１の実施形態を示す断面図である。
第１の実施形態について図面を参照して説明する。図１
は本発明をスクリュー型容積式真空ポンプに適用した第
１の実施形態を示す断面図である。
【００２２】図１において、ポンプロータ１はロータ１
ａと主軸１ｂとにより構成されており、ケーシング２内
には対向する一対のロータ１ａが配置されている。ケー
シング２の上方には吸気口３が設けられ、ケーシング２
の下方には排気口４が設けられている。ポンプロータ１
は、ロータ１ａ相互間及びケーシング２との間にわずか
な隙間を保持しつつ回転するように軸受５によって支持
されている。軸受５はポンプロータ１の吸気口側端部に
は配置されず、排気口側の主軸１ｂの端部付近と、ロー
タ１ａ付近とに配置されている。そして、ポンプロータ
１はこれらの軸受５に支持されてロータ１ａが取り付け
られているロータ部が片持ち構造となっている。
ａと主軸１ｂとにより構成されており、ケーシング２内
には対向する一対のロータ１ａが配置されている。ケー
シング２の上方には吸気口３が設けられ、ケーシング２
の下方には排気口４が設けられている。ポンプロータ１
は、ロータ１ａ相互間及びケーシング２との間にわずか
な隙間を保持しつつ回転するように軸受５によって支持
されている。軸受５はポンプロータ１の吸気口側端部に
は配置されず、排気口側の主軸１ｂの端部付近と、ロー
タ１ａ付近とに配置されている。そして、ポンプロータ
１はこれらの軸受５に支持されてロータ１ａが取り付け
られているロータ部が片持ち構造となっている。
【００２３】図１に示すように、モータＭは排気口側に
配置され、モータロータ１１はポンプロータ１の主軸１
ｂに直接固着されている。また、ポンプロータ１の主軸
１ｂの排気口側端部にはタイミングギヤ６が取り付けら
れており、モータＭによって回転駆動された一対のポン
プロータ１は、タイミングギヤ６によって相互に反転方
向に同期回転するようになっている。
配置され、モータロータ１１はポンプロータ１の主軸１
ｂに直接固着されている。また、ポンプロータ１の主軸
１ｂの排気口側端部にはタイミングギヤ６が取り付けら
れており、モータＭによって回転駆動された一対のポン
プロータ１は、タイミングギヤ６によって相互に反転方
向に同期回転するようになっている。
【００２４】上述したように、モータＭを排気口側に配
置したことにより、ポンプロータ１の吸気口側の軸受を
不要とし、軸受の潤滑に用いられるグリース等の油分が
吸気口上流側に逆拡散するといった問題を解消すること
ができる。
置したことにより、ポンプロータ１の吸気口側の軸受を
不要とし、軸受の潤滑に用いられるグリース等の油分が
吸気口上流側に逆拡散するといった問題を解消すること
ができる。
【００２５】次に、本実施形態に使用されるモータにつ
いて図２及び図３を参照して説明する。図２は本実施形
態におけるモータの横断面図であり、図３（ａ）は本実
施形態における電磁鋼板の正面図であり、図３（ｂ）は
本実施形態における鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は
本実施形態における鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図で
あり、図３（ｄ）は本実施形態におけるモータロータを
構成する各部を示す分解斜視図である。
いて図２及び図３を参照して説明する。図２は本実施形
態におけるモータの横断面図であり、図３（ａ）は本実
施形態における電磁鋼板の正面図であり、図３（ｂ）は
本実施形態における鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は
本実施形態における鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図で
あり、図３（ｄ）は本実施形態におけるモータロータを
構成する各部を示す分解斜視図である。
【００２６】図２及び図３に示すように、本実施形態に
使用されるモータＭは、鉄心１２に永久磁石１７が内設
された永久磁石型モータである。図２において、主軸１
ｂにモータロータ１１が直接固着されており、モータロ
ータ１１の外周近傍にはステータ１３が周設されてい
る。ステータ１３にはモータロータ１１を取り囲むよう
に磁極歯１４が一体形成され、それぞれの磁極歯１４に
は巻線１５が巻回されている。
使用されるモータＭは、鉄心１２に永久磁石１７が内設
された永久磁石型モータである。図２において、主軸１
ｂにモータロータ１１が直接固着されており、モータロ
ータ１１の外周近傍にはステータ１３が周設されてい
る。ステータ１３にはモータロータ１１を取り囲むよう
に磁極歯１４が一体形成され、それぞれの磁極歯１４に
は巻線１５が巻回されている。
【００２７】鉄心１２は、複数の薄板状の電磁鋼板１６
が積層固着されて形成され、永久磁石１７を挿入するた
めの磁石挿入穴１８が４箇所に設けられている。それぞ
れの磁石挿入穴１８は、永久磁石１７が挿入されたとき
に磁極面がモータロータ１１の半径方向と垂直になるよ
うに、主軸１ｂを中心に円周等配に形成されている。板
状の永久磁石１７は、隣接する永久磁石１７の表裏面が
交互に異磁極となるように、それぞれの磁石挿入穴１８
に挿入され、接着剤（図示せず）によって固着されてい
る。本実施形態においては４つの永久磁石１７が配置さ
れており、内部に埋め込まれた永久磁石１７の磁束は、
磁性体である電磁鋼板１６を介して、鉄心１２の外周に
４磁極の磁束分布を形成している。そして、この永久磁
石１７の磁束とステータ１３の作る回転磁界により駆動
力を得てモータロータ１１が回転する。
が積層固着されて形成され、永久磁石１７を挿入するた
めの磁石挿入穴１８が４箇所に設けられている。それぞ
れの磁石挿入穴１８は、永久磁石１７が挿入されたとき
に磁極面がモータロータ１１の半径方向と垂直になるよ
うに、主軸１ｂを中心に円周等配に形成されている。板
状の永久磁石１７は、隣接する永久磁石１７の表裏面が
交互に異磁極となるように、それぞれの磁石挿入穴１８
に挿入され、接着剤（図示せず）によって固着されてい
る。本実施形態においては４つの永久磁石１７が配置さ
れており、内部に埋め込まれた永久磁石１７の磁束は、
磁性体である電磁鋼板１６を介して、鉄心１２の外周に
４磁極の磁束分布を形成している。そして、この永久磁
石１７の磁束とステータ１３の作る回転磁界により駆動
力を得てモータロータ１１が回転する。
【００２８】このように、本実施形態で使用されるモー
タＭは、永久磁石１７が鉄心１２に内設された構造を持
つため、モータロータ１１が高温となって永久磁石１７
の機械的強度が低下し、または接着剤の接着力が低下し
た場合でも、回転中のモータロータ１１から永久磁石１
７が外れて飛散することがなく、ポンプ運転の安全性を
確保することが可能となる。
タＭは、永久磁石１７が鉄心１２に内設された構造を持
つため、モータロータ１１が高温となって永久磁石１７
の機械的強度が低下し、または接着剤の接着力が低下し
た場合でも、回転中のモータロータ１１から永久磁石１
７が外れて飛散することがなく、ポンプ運転の安全性を
確保することが可能となる。
【００２９】次に、本実施形態におけるモータを構成す
る各部について更に詳細に説明する。図３（ａ）に示す
ように、それぞれの電磁鋼板１６には、磁石挿入穴１８
を形成する４つの穴１９と凹状の切欠き部２０が設けら
れている。電磁鋼板１６は磁性体の素材から成形されて
おり、打ち抜き加工により、磁石挿入穴１８を形成する
４つの穴１９及び切欠き部２０が同時に形成される。こ
の凹状の切欠き部２０の位置は、電磁鋼板１６を積層し
て鉄心１２を形成したときに、内部に配置される永久磁
石１７の磁極面の中心からモータロータ１１の半径方向
に延長した位置である。
る各部について更に詳細に説明する。図３（ａ）に示す
ように、それぞれの電磁鋼板１６には、磁石挿入穴１８
を形成する４つの穴１９と凹状の切欠き部２０が設けら
れている。電磁鋼板１６は磁性体の素材から成形されて
おり、打ち抜き加工により、磁石挿入穴１８を形成する
４つの穴１９及び切欠き部２０が同時に形成される。こ
の凹状の切欠き部２０の位置は、電磁鋼板１６を積層し
て鉄心１２を形成したときに、内部に配置される永久磁
石１７の磁極面の中心からモータロータ１１の半径方向
に延長した位置である。
【００３０】図３（ｂ）に示すように、電磁鋼板１６に
設けられた凹状の切欠き部２０によって鉄心１２の外周
面には断面凹状の溶接溝２１が形成され、その位置は、
上述したように、内設される永久磁石１７の磁極中心の
半径方向延長線上である。そして、この溶接溝２１にお
いて溶接されて溶接部２２が形成され、積層された各電
磁鋼板１６が固着される。
設けられた凹状の切欠き部２０によって鉄心１２の外周
面には断面凹状の溶接溝２１が形成され、その位置は、
上述したように、内設される永久磁石１７の磁極中心の
半径方向延長線上である。そして、この溶接溝２１にお
いて溶接されて溶接部２２が形成され、積層された各電
磁鋼板１６が固着される。
【００３１】この溶接箇所においては、モータ運転時に
おける磁束の変動が極めて少ないので、鉄心１２での渦
電流の発生は微少であり、その結果、モータロータ１１
での発熱が少なくなり、モータ効率を向上させることが
可能となる。なお、本実施形態では溶接により各電磁鋼
板１６を固着しているが、例えば、電磁鋼板として接着
剤付電磁鋼板を用い、これらを積層した後に加熱して固
着する方法などを用いてもよく、あるいは、積層後、鉄
心に積層方向に貫通する穴をいくつか設け、この穴にか
しめピンを挿入し、ピンをかしめて固着してもよい。
おける磁束の変動が極めて少ないので、鉄心１２での渦
電流の発生は微少であり、その結果、モータロータ１１
での発熱が少なくなり、モータ効率を向上させることが
可能となる。なお、本実施形態では溶接により各電磁鋼
板１６を固着しているが、例えば、電磁鋼板として接着
剤付電磁鋼板を用い、これらを積層した後に加熱して固
着する方法などを用いてもよく、あるいは、積層後、鉄
心に積層方向に貫通する穴をいくつか設け、この穴にか
しめピンを挿入し、ピンをかしめて固着してもよい。
【００３２】また、本実施形態においては、図３（ｄ）
に示すように、鉄心１２の両端に、電磁鋼板１６と同形
状の切欠き部が設けられた非磁性ステンレス製の側板２
３が取り付けられている。この側板２３は、鉄心１２の
内部に永久磁石１７が挿入された後、溶接により固着さ
れている。また、本実施形態では、図示はしないが、上
述のように構成されたモータロータ１１の外面全体に、
エポキシの電着コーティングがなされている。
に示すように、鉄心１２の両端に、電磁鋼板１６と同形
状の切欠き部が設けられた非磁性ステンレス製の側板２
３が取り付けられている。この側板２３は、鉄心１２の
内部に永久磁石１７が挿入された後、溶接により固着さ
れている。また、本実施形態では、図示はしないが、上
述のように構成されたモータロータ１１の外面全体に、
エポキシの電着コーティングがなされている。
【００３３】このように、永久磁石１７が挿入された鉄
心１２の両端は側板２３によって保護されており、更に
モータロータ１１の外面全体が保護膜によりコーティン
グされているので、永久磁石１７等が直接吸入ガスに晒
されることがなく、錆や腐食を防止することが可能とな
る。なお、電着コーティングの他に通常の塗装により被
膜する方法も可能であり、更にこれらの方法以外にも、
保護膜として、めっきや熱収縮チューブ、樹脂などをモ
ータロータ１１の外面全体に被覆することで耐腐食性を
強化することも可能である。
心１２の両端は側板２３によって保護されており、更に
モータロータ１１の外面全体が保護膜によりコーティン
グされているので、永久磁石１７等が直接吸入ガスに晒
されることがなく、錆や腐食を防止することが可能とな
る。なお、電着コーティングの他に通常の塗装により被
膜する方法も可能であり、更にこれらの方法以外にも、
保護膜として、めっきや熱収縮チューブ、樹脂などをモ
ータロータ１１の外面全体に被覆することで耐腐食性を
強化することも可能である。
【００３４】図１及び図２に示すように、モータロータ
１１とステータ１３との間には、モータロータ１１を取
り囲むようにキャン２４が設けられている。モータＭの
内部には、このキャン２４によってモータＭの内部空間
が仕切られてステータ室とモータロータ室とが形成され
ている。これは、腐食性ガスなどを吸入した場合に、こ
のガスがモータＭの内部に侵入して、巻線などのステー
タ部材が腐食してしまうことを防止するために設けられ
ている。なお、キャン２４は樹脂により成形されてお
り、キャン２４での渦電流損失による発熱を防止してい
る。
１１とステータ１３との間には、モータロータ１１を取
り囲むようにキャン２４が設けられている。モータＭの
内部には、このキャン２４によってモータＭの内部空間
が仕切られてステータ室とモータロータ室とが形成され
ている。これは、腐食性ガスなどを吸入した場合に、こ
のガスがモータＭの内部に侵入して、巻線などのステー
タ部材が腐食してしまうことを防止するために設けられ
ている。なお、キャン２４は樹脂により成形されてお
り、キャン２４での渦電流損失による発熱を防止してい
る。
【００３５】ステータ１３の外周には、モータフレーム
２５が設けられており、モータフレーム２５の内部に
は、ステータ１３の外周を囲む位置に渦巻き状の冷却水
用パイプ２６が埋設されている。モータフレーム２５は
アルミ材により成形されており、冷却用パイプ２６はア
ルミより融点の高いステンレスパイプを渦巻き状にして
成形されている。そして、モータフレーム２５と冷却水
用パイプ２６とは、モータフレーム２５の成形時に冷却
水用パイプ２６を同時に鋳込んで一体的に成形されてい
る。モータフレーム２５の内周面とステータ１３の外周
面とは密着して嵌め合わされている。冷却水用パイプ２
６の内部には、ポンプ外部に設けられた冷却水供給装置
（図示せず）によって冷却水（図示せず）が供給されて
循環している。
２５が設けられており、モータフレーム２５の内部に
は、ステータ１３の外周を囲む位置に渦巻き状の冷却水
用パイプ２６が埋設されている。モータフレーム２５は
アルミ材により成形されており、冷却用パイプ２６はア
ルミより融点の高いステンレスパイプを渦巻き状にして
成形されている。そして、モータフレーム２５と冷却水
用パイプ２６とは、モータフレーム２５の成形時に冷却
水用パイプ２６を同時に鋳込んで一体的に成形されてい
る。モータフレーム２５の内周面とステータ１３の外周
面とは密着して嵌め合わされている。冷却水用パイプ２
６の内部には、ポンプ外部に設けられた冷却水供給装置
（図示せず）によって冷却水（図示せず）が供給されて
循環している。
【００３６】キャン２４とモータフレーム２５との間に
形成されるステータ室には、熱伝導性材料２７が充填さ
れ、キャン２４とステータ１３及びモータフレーム２５
は、この熱伝導性材料２７を介して一体的構造となって
いる。このようにステータ室に熱伝導性材料２７が充填
されているため、モータロータ１１で発熱した熱は、キ
ャン２４→熱伝導性材料２７→モータフレーム２５の順
にそれぞれを伝熱媒体として伝熱され、外部に放熱され
るとともに、モータフレーム２５において冷却される。
なお、熱伝導性材料２７としては、例えば熱伝導性の良
い樹脂であるシリコン系の樹脂が好適である。なお、キ
ャンを設けずに、樹脂などの熱伝導性材料を、ステータ
の内周よりモータフレームの内壁まで充填し、巻線など
のステータ部材を密閉してしまうことでステータとモー
タロータとを隔壁することもできる。
形成されるステータ室には、熱伝導性材料２７が充填さ
れ、キャン２４とステータ１３及びモータフレーム２５
は、この熱伝導性材料２７を介して一体的構造となって
いる。このようにステータ室に熱伝導性材料２７が充填
されているため、モータロータ１１で発熱した熱は、キ
ャン２４→熱伝導性材料２７→モータフレーム２５の順
にそれぞれを伝熱媒体として伝熱され、外部に放熱され
るとともに、モータフレーム２５において冷却される。
なお、熱伝導性材料２７としては、例えば熱伝導性の良
い樹脂であるシリコン系の樹脂が好適である。なお、キ
ャンを設けずに、樹脂などの熱伝導性材料を、ステータ
の内周よりモータフレームの内壁まで充填し、巻線など
のステータ部材を密閉してしまうことでステータとモー
タロータとを隔壁することもできる。
【００３７】本実施形態のようなスクリュー型容積ポン
プにおいては、吸気口３から吸入されたガスは、同期反
転する一対のロータ１ａによって圧縮されながら排気口
４に移送されるため、ポンプの排気口付近は高温とな
る。本実施形態においては、永久磁石１７が鉄心１２に
内設されたタイプの永久磁石型モータを用いているた
め、高温となる排気口側にモータＭを設置することが可
能となり、上述したように、吸気口側への軸受の設置を
不要とすることが可能となる。
プにおいては、吸気口３から吸入されたガスは、同期反
転する一対のロータ１ａによって圧縮されながら排気口
４に移送されるため、ポンプの排気口付近は高温とな
る。本実施形態においては、永久磁石１７が鉄心１２に
内設されたタイプの永久磁石型モータを用いているた
め、高温となる排気口側にモータＭを設置することが可
能となり、上述したように、吸気口側への軸受の設置を
不要とすることが可能となる。
【００３８】また、上述したように構成されたモータロ
ータ１１においては、モータロータ１１自体の発熱が極
めて少なく、仮に突発的要因によってモータロータ１１
が高温となった場合でも、モータフレーム２５が冷却手
段を備えているので過度な温度上昇を防ぐことができ、
運転上の安全性が確保される。なお、本実施形態におい
ては、モータフレーム２５の冷却水用パイプ２６に冷却
水を循環させることによって冷却しているが、冷却用の
気体を循環させて冷却してもよい。また、本実施形態で
は、本発明をスクリュー型のポンプロータに適用した場
合を説明したが、ルーツ型やクロー型等の２軸型真空ポ
ンプに適用することも可能である。
ータ１１においては、モータロータ１１自体の発熱が極
めて少なく、仮に突発的要因によってモータロータ１１
が高温となった場合でも、モータフレーム２５が冷却手
段を備えているので過度な温度上昇を防ぐことができ、
運転上の安全性が確保される。なお、本実施形態におい
ては、モータフレーム２５の冷却水用パイプ２６に冷却
水を循環させることによって冷却しているが、冷却用の
気体を循環させて冷却してもよい。また、本実施形態で
は、本発明をスクリュー型のポンプロータに適用した場
合を説明したが、ルーツ型やクロー型等の２軸型真空ポ
ンプに適用することも可能である。
【００３９】次に、本発明の第２の実施形態について図
４及び図５を参照して説明する。図４は本発明を多段ル
ーツ型容積式ポンプに適用した場合を示す断面図であ
り、図５は図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。なお、特
に説明しない部分については第１の実施形態と同様に構
成されているので説明を省略する。
４及び図５を参照して説明する。図４は本発明を多段ル
ーツ型容積式ポンプに適用した場合を示す断面図であ
り、図５は図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。なお、特
に説明しない部分については第１の実施形態と同様に構
成されているので説明を省略する。
【００４０】図４に示すように、ポンプロータ３１は、
ロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び主軸３１ｄから構成
され、幅の異なる３つのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ
がほぼ等間隔に離間して主軸３１ｄに固着されている。
対向する一対のポンプロータ３１は軸受３３によって支
持され、それぞれのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃはケ
ーシング３２内に収納されている。最も幅の大きいロー
タ３１ａの上方には吸気口３４が設けられており、最も
幅の小さいロータ３１ｃの下方には排気口３５が設けら
れている。
ロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び主軸３１ｄから構成
され、幅の異なる３つのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ
がほぼ等間隔に離間して主軸３１ｄに固着されている。
対向する一対のポンプロータ３１は軸受３３によって支
持され、それぞれのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃはケ
ーシング３２内に収納されている。最も幅の大きいロー
タ３１ａの上方には吸気口３４が設けられており、最も
幅の小さいロータ３１ｃの下方には排気口３５が設けら
れている。
【００４１】図５において、対向するロータ３１ｂ相互
間及びロータ３１ｂとケーシング３２との間には、わず
かな隙間が形成されており、ロータ３１ｂは非接触で回
転するように構成されている。対向する一対のロータ３
１ｂは互いに反対方向に同期回転し、ロータ３１ｂとケ
ーシング３２との間に形成される空間にガスが閉じ込め
られて排気側に移送される。そして、このようなガスの
移送が連続して行われて、吸気口上流に接続される真空
チャンバ内のガスの排気が達成される。なお、ロータ３
１ａ及びロータ３１ｃにおいても同様に構成されてい
る。
間及びロータ３１ｂとケーシング３２との間には、わず
かな隙間が形成されており、ロータ３１ｂは非接触で回
転するように構成されている。対向する一対のロータ３
１ｂは互いに反対方向に同期回転し、ロータ３１ｂとケ
ーシング３２との間に形成される空間にガスが閉じ込め
られて排気側に移送される。そして、このようなガスの
移送が連続して行われて、吸気口上流に接続される真空
チャンバ内のガスの排気が達成される。なお、ロータ３
１ａ及びロータ３１ｃにおいても同様に構成されてい
る。
【００４２】図４に示すように、モータロータ４１は、
ポンプロータ３１の主軸３１ｄの吸気口側端部に取り付
けられており、他方の端部にはタイミングギヤ３６が固
着されている。ここで、軸受３３は排気口側の軸端部付
近と、吸気口側のロータ３１ａの近傍に配置されてお
り、モータロータ４１が取り付けられている主軸部は片
持ち構造となっている。
ポンプロータ３１の主軸３１ｄの吸気口側端部に取り付
けられており、他方の端部にはタイミングギヤ３６が固
着されている。ここで、軸受３３は排気口側の軸端部付
近と、吸気口側のロータ３１ａの近傍に配置されてお
り、モータロータ４１が取り付けられている主軸部は片
持ち構造となっている。
【００４３】本実施形態においては、モータＭは、高温
になる排気口側には設置されず、比較的温度の低い吸気
口側に設置されている。これに加えて、本実施形態で使
用されるモータロータ４１は第１の実施形態と同じ構成
であって発熱が極めて少ないモータロータであるため、
真空ポンプとして熱的安定が図れ、効率の良い真空ポン
プを得ることができる。
になる排気口側には設置されず、比較的温度の低い吸気
口側に設置されている。これに加えて、本実施形態で使
用されるモータロータ４１は第１の実施形態と同じ構成
であって発熱が極めて少ないモータロータであるため、
真空ポンプとして熱的安定が図れ、効率の良い真空ポン
プを得ることができる。
【００４４】図４及び図５に示すように、本実施形態に
おいても、モータロータ４１とステータ４２との間に
は、ステータ４２の内周を包囲するようにキャン４３が
設けられている。これは、真空状態となる吸気口側にモ
ータＭが配置されているため、キャン４３を設けること
によって、ステータ側からの脱ガスが吸入側に侵入する
ことを防止して、良好な真空状態の維持を可能としてい
る。また、吸入された腐食性ガスとステータ４２の巻線
４８とが反応することを防止している。
おいても、モータロータ４１とステータ４２との間に
は、ステータ４２の内周を包囲するようにキャン４３が
設けられている。これは、真空状態となる吸気口側にモ
ータＭが配置されているため、キャン４３を設けること
によって、ステータ側からの脱ガスが吸入側に侵入する
ことを防止して、良好な真空状態の維持を可能としてい
る。また、吸入された腐食性ガスとステータ４２の巻線
４８とが反応することを防止している。
【００４５】また、本実施形態においても第１の実施形
態と同様に冷却水用パイプ４５を備えるモータフレーム
４４が設けられており、モータ駆動用のドライバ４７は
モータフレーム４４の外側に密着固定されている。上述
した第１の実施形態と同様に、モータロータ４１で生じ
た熱は、キャン４３→熱伝導性材料４６→モータフレー
ム４４の順にそれぞれを伝熱媒体として外部に放熱され
るため、モータロータ４１の冷却効果を一層高めること
が可能となる。特に本実施形態では、モータロータ４１
が取り付けられている部分は片持ち構造となっているの
で、キャン４３での受熱面積が拡大し、冷却効率が高め
られている。また同時に、発熱したドライバ４７もモー
タフレーム４４により冷却される。
態と同様に冷却水用パイプ４５を備えるモータフレーム
４４が設けられており、モータ駆動用のドライバ４７は
モータフレーム４４の外側に密着固定されている。上述
した第１の実施形態と同様に、モータロータ４１で生じ
た熱は、キャン４３→熱伝導性材料４６→モータフレー
ム４４の順にそれぞれを伝熱媒体として外部に放熱され
るため、モータロータ４１の冷却効果を一層高めること
が可能となる。特に本実施形態では、モータロータ４１
が取り付けられている部分は片持ち構造となっているの
で、キャン４３での受熱面積が拡大し、冷却効率が高め
られている。また同時に、発熱したドライバ４７もモー
タフレーム４４により冷却される。
【００４６】また、ステータ室へ樹脂などの熱伝導性材
料４６が充填されることにより、真空容器としてのキャ
ン４３が補強され、仮にキャン４３が破損した場合にお
いてもモータロータ室の真空状態の保持が可能である。
更には、この熱伝導性材料４６がポンプ内部から伝播さ
れる騒音の緩衝材としても機能し、騒音を低減する効果
をも奏する。
料４６が充填されることにより、真空容器としてのキャ
ン４３が補強され、仮にキャン４３が破損した場合にお
いてもモータロータ室の真空状態の保持が可能である。
更には、この熱伝導性材料４６がポンプ内部から伝播さ
れる騒音の緩衝材としても機能し、騒音を低減する効果
をも奏する。
【００４７】なお、本実施形態では、本発明をルーツ型
のポンプロータに適用した場合を説明したが、スクリュ
ー型やクロー型等の２軸型真空ポンプに適用することも
可能である。
のポンプロータに適用した場合を説明したが、スクリュ
ー型やクロー型等の２軸型真空ポンプに適用することも
可能である。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次に列挙する効果を得ることができる。 （１）永久磁石は鉄心の内部に配設されているため、温
度が上昇して永久磁石の強度低下や永久磁石を固着する
接着剤の接着力の低下が生じた場合でも、永久磁石が膨
張したり、永久磁石がモータロータから外れて飛散した
りすることがなくなり、ポンプ運転の信頼性を向上させ
ることが可能となる。 （２）永久磁石は鉄心によって保護されているので、ポ
ンプ組立工程において永久磁石が損傷を受けることがな
くなり、運転中の永久磁石の破損を防ぐことが可能とな
る。更には、ポンプ運転中に何らかの原因で永久磁石が
破損した場合にも、永久磁石がモータロータ外部に飛散
することがないので、良好なモータの回転駆動を維持す
ることが可能となり、安全にポンプを運転することが可
能となる。 （３）半導体製造工程で使用される腐食性のガスを排気
する場合においても、モータロータの永久磁石は腐食性
ガスと接触することがないため、永久磁石の腐食を防ぐ
ことができ、また磁力の低下や破損なども防止すること
が可能となる。 （４）ポンプ排気口側にモータを設置することで、ポン
プロータの吸気口側端部に軸受を持たない構造が可能と
なり、軸受に使用されるグリース等のオイルミストや蒸
気が吸気口側に逆拡散するといった問題を解消すること
が可能となる。特にポンプに逆拡散防止のための複雑な
軸封機構を設置する必要がなくなり、ポンプ構造を簡素
かつコンパクトにすることが可能となる。
次に列挙する効果を得ることができる。 （１）永久磁石は鉄心の内部に配設されているため、温
度が上昇して永久磁石の強度低下や永久磁石を固着する
接着剤の接着力の低下が生じた場合でも、永久磁石が膨
張したり、永久磁石がモータロータから外れて飛散した
りすることがなくなり、ポンプ運転の信頼性を向上させ
ることが可能となる。 （２）永久磁石は鉄心によって保護されているので、ポ
ンプ組立工程において永久磁石が損傷を受けることがな
くなり、運転中の永久磁石の破損を防ぐことが可能とな
る。更には、ポンプ運転中に何らかの原因で永久磁石が
破損した場合にも、永久磁石がモータロータ外部に飛散
することがないので、良好なモータの回転駆動を維持す
ることが可能となり、安全にポンプを運転することが可
能となる。 （３）半導体製造工程で使用される腐食性のガスを排気
する場合においても、モータロータの永久磁石は腐食性
ガスと接触することがないため、永久磁石の腐食を防ぐ
ことができ、また磁力の低下や破損なども防止すること
が可能となる。 （４）ポンプ排気口側にモータを設置することで、ポン
プロータの吸気口側端部に軸受を持たない構造が可能と
なり、軸受に使用されるグリース等のオイルミストや蒸
気が吸気口側に逆拡散するといった問題を解消すること
が可能となる。特にポンプに逆拡散防止のための複雑な
軸封機構を設置する必要がなくなり、ポンプ構造を簡素
かつコンパクトにすることが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態であるスクリュー型容
積式真空ポンプの断面図である。
積式真空ポンプの断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるモータの横断
面図である。
面図である。
【図３】図３（ａ）は第１の実施形態における電磁鋼板
の正面図であり、図３（ｂ）は第１の実施形態における
鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は第１の実施形態にお
ける鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図であり、図３
（ｄ）は第１の実施形態におけるモータロータを構成す
る各部を示す分解斜視図である。
の正面図であり、図３（ｂ）は第１の実施形態における
鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は第１の実施形態にお
ける鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図であり、図３
（ｄ）は第１の実施形態におけるモータロータを構成す
る各部を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態である多段ルーツ型容
積式真空ポンプの断面図である。
積式真空ポンプの断面図である。
【図５】図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図６】従来の実施例である多段ルーツ型容積式真空ポ
ンプの断面図である。
ンプの断面図である。
１，３１，５１ ポンプロータ ２，３２，５２ ケーシング ３，３４，５４ 吸気口 ４，３５，５５ 排気口 ５，３３，５３ 軸受 ６，３６，５６ タイミングギヤ １１，４１，５７ モータロータ １２，５８ 鉄心 １３，４２，６０ ステータ １４ 磁極歯 １５，４８ 巻線 １６ 電磁鋼板 １７ 永久磁石 １８ 磁石挿入穴 １９ 磁石挿入穴形成穴 ２０ 凹状切欠き部 ２１ 溶接溝 ２２ 溶接部 ２３ 側板 ２４，４３ キャン ２５，４４ モータフレーム ２６，４５ 冷却水用パイプ ２７，４６ 熱伝導性材料 ４７ ドライバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｃ 25/02 Ｆ０４Ｃ 25/02 Ｋ ５Ｈ６２１ 29/00 29/00 Ｔ ５Ｈ６２２ Ｈ０２Ｋ 1/14 Ｈ０２Ｋ 1/14 Ｚ 1/22 1/22 Ａ 1/27 ５０１ 1/27 ５０１Ｇ ５０１Ｋ 7/14 7/14 Ｂ 15/03 15/03 Ｚ 21/16 21/16 Ｍ // Ｈ０２Ｋ 1/16 1/16 Ｃ (72)発明者 真武 幸三 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目１番１号 株 式会社荏原電産内 (72)発明者 稲田 高典 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目１番１号 株 式会社荏原電産内 (72)発明者 柳澤 清司 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 Ｆターム(参考） 3H003 AA05 AB06 AC02 CE03 CF05 CF06 3H029 AA03 AA06 AA16 AB06 BB11 BB32 CC07 CC27 CC46 3H076 AA16 AA21 BB03 CC07 5H002 AA00 AA10 AC02 AC03 AC04 5H607 AA00 AA02 BB01 BB14 CC01 CC05 DD01 DD02 DD03 DD16 DD17 FF06 GG01 GG08 5H621 AA00 GA01 GA04 HH01 JK17 JK19 5H622 AA00 CA02 CA07 CB03 PP10 PP18 PP19
Claims (6)
- 【請求項１】 吸気口と排気口を備え、対向して配置さ
れた一対のポンプロータを同期回転させてガスの吸入排
気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロータを駆動
するモータは、ステータとモータロータとを備え、前記
モータロータの鉄心の内部に永久磁石が配置された永久
磁石型モータであることを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記鉄心の内部には、複数の前記永久磁
石が、それぞれの磁極面が前記モータロータの半径方向
を向くように前記モータロータの回転軸を中心に配置さ
れ、前記鉄心は、複数の電磁鋼板が積層されて形成され
るとともに、前記鉄心の外周上であって、かつ前記永久
磁石の磁極中心から前記半径方向にある位置において溶
接されたことを特徴とする請求項１に記載の真空ポン
プ。 - 【請求項３】 前記電磁鋼板には、前記電磁鋼板の外周
縁であって、かつ前記永久磁石の磁極の中心から前記半
径方向にある位置において切欠き部が設けられたことを
特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記モータロータの外周面が保護膜で被
覆されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに
記載の真空ポンプ。 - 【請求項５】 前記永久磁石型モータが前記排気口側に
配置されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか
に記載の真空ポンプ。 - 【請求項６】 前記ポンプロータは、前記ポンプロータ
の主軸部において軸受によって支持されており、前記軸
受は、前記排気口側の端部から前記ポンプロータのロー
タ部までの所定の位置に配置され、前記軸受によって前
記ロータ部が片持ち支持されていることを特徴とする請
求項５に記載の真空ポンプ。
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