TW526311B - Vacuum pump - Google Patents

Description

526311 五 發明說明（1) [發明之背景] [發明之領域] 程中用卷^係關於真空幫浦，並且特別 [相關#以真空室排出氣體的真空幫浦 關技藝之說明]

浦轉子，所热知之稱為正排量幫浦的真空幫浦具有一對幫 轉。正，對幫浦轉子在抽入與排出氣體時會彼此同步旋 P 排置真空幫浦包含魯氏真空幫浦（Roots vacuum

-J3 螺旋真空幫浦等，並廣泛地在半導體製程中用以 攸真空室排出製程氣體。 其勺$圖第1圖為習知魯氏正排量真空幫浦的橫剖面圖， 二^合有多階魯氏真空幫浦，且該多階魯氏真空幫浦具有 $納於殼體中的一對幫浦轉子。各該幫浦轉子具有三階魯 氏轉子。如第1圖所示，幫浦轉子51包含配置於殼體52中 的轉子51a, 51b與51c，以及以可旋轉的方式而為軸承53 所支樓的主軸51d。該真空幫浦具有形成於殼體52中並配 置於寬度最大之轉子51a上方的入口 54，並具有形成於殼 體52中並配置於寬度最小之轉子51c下方的出口 55。在位 於出口側之主軸5 1 d的端部，幫浦轉子5 1連接至馬達Μ。定 時齒輪56固定在位於入口側之主軸51d的另一端之幫浦轉 子51。定時齒輪56用於連接一對正對的幫浦轉子51，該幫 浦轉子51之其中之一示於第1圖中。 當馬達Μ通電時，該對幫浦轉子5 1係藉由定時齒輪5 6 而以反向同步旋轉，且氣體係以多階轉子51 a, 51 b， 51 c

526311 五、發明說明（2) 進行輸送與排出。當多階真空幫浦作業時，定位於入口 5 4 附近的轉子51a並未加熱至高溫，而定位於出口 55附近的 轉子51c藉由該氣體加熱至高溫，其中該氣體已以多階的 方式而為成對的轉子51a， 51b， 51c所壓縮。 用於驅動真空幫浦的馬達通常包含感應式馬達。馬達 Μ包含馬達轉子57’該馬達轉子57具有由電磁鋼片之疊層 組所構成的鐵芯58。鐵芯58具有溝槽，用於容納作為第二 導體的轉子棒（未顯示於圖式中）。當馬達_行運轉 ί:Ξ馬子60產生之旋轉場而造成峨電流會 ’旋轉場與感應、電流會產生用於旋轉 馬達轉子5 7的轉矩。铁而、七，一 ^ 馬達轉子57加#，而；^二第二導體的感應電流會將 在馬達定位於為身的溫度變高。 身產生熱的狀況中，馬所加熱的出口側且馬❾本 幅降低馬達Μ的效率。因：易：過度加熱至高溫’因而大 中，馬達Μ需要藉由耦接 t ^配置於出口側的狀況 達Μ與出口 55間隔特定距離呈 至主軸5 1 d，以使得馬 幫浦蒙受機械損失，且t 、/、有該結構的馬達Μ會使真空 另-種習知真空吏真空幫浦小型化。 馬達，並具有馬達轉子ς j置於相當低溫之入口側的 轉子的永久磁鐵而不备產轉子包含直接固定於幫浦 幫浦抽人半導體製程S使㊁=流二然而，倘若該真空 磁鐵會為腐蝕性氣體所腐、性虱體，則馬達的永久 受損壞，而可能造成馬逵i ，，永久磁鐵磁力減弱並 ’達故p早。倘若部分永久磁鐵在馬達

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第6頁 526311 五、發明說明（3) 組裝時受損傷壞，則永久磁鐵在馬達旋轉時便易於產生破 裂而散落，因而使真空幫浦停止運轉。此外，當馬達轉子 因一些原因而突然加熱至高溫時，永久磁鐵的機械強度會 降低，或者用於將永久磁鐵固定於適當位置之黏著劑的黏 合強度會降低。因此，永久磁鐵在轉動時會從轉子脫落， 而造成馬達的故障。 在馬達位於入口側的真空幫浦中，需要在入口側配置 用於支撐馬達的軸承。在轴承配置於入口侧的狀況中，用 於潤滑軸承之潤滑油的油氣分子可能會擴散進入位於入口 之上游端的區域（真空在此產生）。因此，需要安裝轉軸 密封機構，以避免油氣分子擴散進入諸如真空室之區域 中。該轉軸密封機構使得難以簡化該真空幫浦的結構，且 亦難以使真空幫浦小型化。這些問題亦發生於諸如螺旋真 空幫浦之其他正排量真空幫浦中。 [發明之概要] 本發明已鑑於前揭狀況而完成。因此，本發明之目的 在於提供一種可以極可靠之方式作業的真空幫浦，該真空 幫浦所使用的馬達具有熱產生降至最低的馬達轉子，並具 有在高壓條件下安全地作業的能力。 為達成前揭目的，根據本發明之一實施型態，所提供 的真空幫浦包含：具有入口與出口的殼體；一對正對的幫 浦轉子，其設於殼體中，並可同步旋轉，而由入口抽入氣 體，並由出口排出氣體；以及用於轉動該正對之幫浦轉子 的馬達，該馬達包含具有定子與馬達轉子的永久磁鐵馬

313749.ptd 第7頁 526311 五、發明說明（4) 達’該馬達轉子具有鐵芯與配置於鐵芯中的永久磁 根據具有前揭結構的本發明，因為永久磁 所圍繞，所以即使當真空幫浦以高溫作業時，鐵芯 可維持其機械強度。即使用於將永久磁鐵固定在適#鐵仍 iii劑的黏合強度因高溫而降低時’仍可避免 當腐餘性氣體抽入真空幫浦中並進入馬達時， =磁鐵係嵌入鐵芯中，所以與腐蝕性氣體磁= 相當…此，可避免永久磁鐵受腐 維持其較佳的特性。 口叫j 包含該永久磁鐵的多數個永久磁 圍繞馬達轉子的轉#，以使得永久磁：:、=於鐵心中並 於ι、去姑7 ,, 從行水久磁鐵個別的磁極面垂直 :2轉子的徑向’以及該鐵芯包含電 =電片係於鐵芯外緣表面上進行焊接：置 在水久磁鐵之磁極面的中心的徑向上。 坪按伹置位 因為牙經焊接部位的磁诵署★ 時，因定子所造成的磁；所以當馬達作業 電流（eddy wrrent)可降至最低 生於鐵芯甲的任何渦 的熱降至最低，且馬達的_ f 、鐵心 產生 加。 ，建的效率因渦電流損失的減少而增 電磁鋼片具有個別的凹口 位置位在永久磁鐵之由二卜部周緣，且該凹口 凹口提供界定於鐵芯之外緣 :向上。 輞片係經焊接，並藉由焊接描:上的焊接凹槽。電磁 由知接凹槽中的焊接部位而連接在-

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第8頁 526311 五、發明說明（5) ______ ί與GGim1的磁隙大於馬達轉子之外緣表 所以，可降=中接部位的-通量相當小。 產生的任何熱及政壬何渦電凌，因而可將鐵芯 伴護：：保護層的外緣表面。 腐钱性氣體接觸，目此避免與大氣中的水氣及 永久磁鐵馬達配置於出：::J :蝕及腐蝕。 幫浦轉子包含以可旋 ^亦即出口侧。 的主軸，用於支撐各該主軸承所支推的個別 軸端部至幫浦轉子的轉 承係疋位於由出口側的主 子係以懸f的方式而為轴承;的預定位置’ g使得轉 因為幫浦轉子係以懸臂；： (入口侧）無須配置軸承。式進订支撐，所以入口側 滑油的油氣不會擴散進入位於匕，潤滑該軸承所使用之潤 此，真空幫浦中無須使用用於避的區域。因 構。 避免油氣擴散的轉軸密封機 本發明之前揭與其他目 式而由下列說明變得更产楚，、特徵及優點將配合隨附圖 例說明本發明的較佳實二例[其中該隨附圖式係以實例舉 [較佳實施例之詳細說明] 根據本發明之第一實施 考第2圖至第4A至4D圖而說明如^下正排量螺旋真空幫浦將參 如第2圖所示，該正排量 夏螺疑真空幫浦具有一對幫浦

526311 五、發明說明（6) 轉子1’各該幫浦轉子1各包含轉子la及支撐轉子la的主軸 lb。一對正對的轉子ia配置於麩體2中。該正排量螺旋真 空幫浦係直立地安裝，以使得真空轉子的軸直立地延伸、， 定時齒輪置於低位部分，以及入口置於上位部分。殼體2 具有界定於其上壁的入口 3以及界定於其下壁的出口^。該 對幫浦轉子1係以可旋轉的方式而為軸承5所支撐，以使轉 子la在殼體2中旋轉時，得以在正對的轉子la之間及各該 轉子1 a與殼體2之間維持些微的間隙。軸承5未配置於入口 3之侧邊（亦即入口側），而配置於出口 4之侧邊（亦即出 口側）的主軸lb之端部及靠近轉子la的主軸lb。具體而 吕，所有用於支撐主軸lb的軸承5皆位於出口侧， 其中之一位於靠近定時齒輪6之主輛11}之 另一個則位於靠近轉子la的位置。藉由此配 軸承5之 1的轉子la係以懸臂的方式而為輛"…置，餐浦轉子 真空幫浦包含定位於出口甸的 ♦ 接固定於幫浦轉子1之其中之—主、一達’且馬達Μ具有直 時齒輪6安裝於幫浦轉子1之主輛 lb之馬達轉子11。定 當馬達Μ通電時，使幫浦轉子丨得別的端部上，用於 字61代表用於容納定時齒輪6的齒輪沒"體同。ν旋轉。參考數 因為馬達Μ配置於出口 4之侧邊 — 3之側邊（入口側）無須設置用钤出0 所以入口 因而潤滑轴承所使用之潤滑油等 1的轴承， 入 位於入口 3之上游端的區域。的油氣分子不會擴散進 馬達Μ將參考第3圖及第4Α圖至第〇圖而更詳

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Ptd 細說明

526311 五、發明說明（7) 如第3圖及第4A圖至第4D圖所示，馬達M包含具有永久 磁鐵1 7而配置於鐵芯1 2中的永久磁鐵馬達。如第3圖所 7，馬達轉子11直接固定於主軸11}。馬達M具有配置於馬 =轉子Η周圍的定子13。定子13具有與定子13一體成形且 圍繞馬達轉子的磁極齒部14，且亦具有安裝於個別的磁 極齒部1 4上的線圈1 5。 鐵芯1 2包含具有多數個薄電磁鋼片丨β的疊 具有四個磁鐵溝槽18，^中插入相對應的永久磁= 17。如第3圖所示，參考數字na， 17b代表永久磁鐵丨了的 磁極面，鏈線箭號r代表馬達轉子丨丨的徑向，以及參考符 號〇代表永久磁鐵之磁極面17a的中心。圍繞主軸“的磁 鐵溝槽18係以等角距界定，以使得所插入之永久磁鐵丨了的 磁極面17a， 17b垂直於馬達轉子丨丨的徑向r。類板狀永久 磁鐵17插入個別的磁鐵溝槽18中，以使得相鄰之二個永久 磁鐵1 7的正面與背面為相互交錯的不同磁極，且係以黏著 劑（未顯示於圖式中）固定於適當位置。在本實施例中， 有四们永久磁鐵17设於馬達轉子η中，且由插入鐵芯I?中 之永久磁鐵1 7所產生的磁通量係穿經由磁性材料所製做的 電磁鋼片16,而在鐵芯丨2周圍產生四極通量分佈。由永久 磁鐵17所產生的磁通量與由定子13所產生的旋轉場會產生 轉矩’而使馬達轉子U旋轉。 因為馬達Μ具有該結構，以致於永久磁鐵丨7配置於鐵 芯1 2中’所以即使當馬達轉子11加熱至高溫，而降低永久 磁鐵17的機械強度或黏著劑的黏合強度時，永久磁鐵η在

526311 五、發明說明（8) 】達= = 旋轉時也不會從馬達轉子η脫 洛。因此’真空幫浦可安全可靠地進行作業。不會處政 組成馬達Μ的不同元件將詳細說明如下。 如第4Α圖所示，各該電磁鋼片“具有界定於立令 鋼片;孔洞形成鐵芯12的錢溝槽18，且各該電：

定於其外緣的四個凹口2〇。電磁鋼片C 成、Ϊ t製 而t 9與凹口 20係藉由衝壓而同時形 插入：:T鋼片1 6璺層成為鐵芯1 2時’凹口 20係定位於兮 ==久磁鐵17的磁極面之中心。（示於 ； 達轉子1 1之徑向上的延伸部位。 < 馬 如第4B圖所示，界定於雷减相ΰ 2〇將在鐵芯12之外緣表：：Ϊ ::片1 6之外部周緣的凹口 栌21#:乂 ΪΪ 長方形焊接凹槽21。焊接凹 槽2 1係疋位於該插入之永久磁鐵丨7的磁極面之之 徑向上的延伸部位’如前所述。…c圖所；， 鋼片16係焊接在一起’而形成焊接部位22於 在馬達Μ之作業期間，焊接部位22中的磁通量變化相 ^ 。因此，鐵芯1 2中所產生的任何渦電流非常小，所以 子11所產生的熱很小。因此’得以提高馬u的效 率。雖然本實施例中的該疊層的電磁鋼片丨6係焊接在一 起，惟電磁鋼片1 6可包含具有施加黏著劑的電磁鋼片i 6， 且可藉由所施加的黏著劑而彼此連接。在此案例中，電磁 鋼片16先被疊層而後加熱，因而彼此連接。 鋼片1 6疊層後，可軸向地穿經鐵芯而形成通孔，並將填隙

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銷插入該通孔以填隙，以將 如第4D圖所示，非磁性 1 6相同的凹口 ，並分別裝附 1 7插入鐵芯1 2後，便藉由焊 端部，因而以側板2 3覆蓋永 中’惟馬達轉子1 1的整個外 積層。 電磁鋼片16連接在一起。 不鏽鋼側板23具有與電磁鋼片 於鐵芯12的端部。在永久磁鐵 接而將側板23固定於鐵芯12的 久磁鐵17。雖未顯示於圖式 表面皆塗佈以環氧樹脂的電沈 因為 板2 3所保 層，所以 幫浦所抽 的塗佈製 轉子11的 熱收縮管 如第 子1 3之間 空間分割 幫浦所抽 之定子組 電流損失 具有永久磁鐵 護，且馬達轉 永久磁鐵1 7及 入的氣體，因 程（而非電沈 整個外表面可 或樹脂層。 2圖及第3圖所 ’以便環繞馬 成定子室與馬 入的腐餘性氣 件發生腐蝕。 所造成的加熱 1回端部係為侧 Η術入之鐵芯1 2的

子11的整個外表面皆塗佈以保蠖 其他組件並不會直接暴露於為直空 而可避免鏽蝕或腐蝕。可藉由並 積製程加保護層。或：由；J 塗佈以用於提高抗餘性的電鑛層、 示，容器24配置於馬達轉子丨丨與定 達轉子11。容器24將馬達μ的内部 達轉子室。容器24得以避免為真空 體進入馬達Μ，因而避免諸如線圈 容器2 4由樹脂製成，因而避免由渦 ^ 馬達框架25配置於定子13周圍，且螺旋形冷卻水管26 係以相對於環繞定子1 3的方式而嵌入馬達框架25中。馬達 框架25由銘製成，而冷卻水管26包含有熔點高於鋁的螺旋 幵>/不鑛鋼管。在馬達框架25進行鑄造時，藉由將冷卻水管

313749.ptd 第13頁 526311 五、發明說明（ίο) 26放置在用於形成馬達框架25的鑄造材料中，便可將馬達 框架25與冷卻水管26 —體成形。將馬達框架μ緊密裝配於 疋子13上’以使馬達框条25的内周緣表面與定子13的外周 緣表面緊密接觸。冷卻水管2 6係由配置於真空幫浦之外部 的冷卻水供應裝置（未顯示於圖式中）供應以冷卻水（未 顯示於圖式中）。參考數字30代表馬達殼體，其用於容納 固定在其中之一主軸lb上的馬達μ及另一個主轴lb。 界定於容器24與馬達框架25之間的定子室係填 熱材料27。容器24、定子13與馬達框架25係藉由導埶材料 27而整體連接在一起，以形成單一結構。馬 生的熱係依序連績傳經容器24、導熱材料27盥焉逵框牟 25，並接著由馬達框架25輕射出，而馬達框;:= 冷郃。較佳方式係導熱材料2 7為高導熱性的^ ^ ? 脂。可刪除容器24,且諸如樹脂之導熱性 的内周緣表面填充至馬達框架25的内壁， Z由疋子13 之定子元件：因而將定子與馬達轉子彼此隔：封諸如線圈 當正排篁螺旋幫浦作業時，因為由入口 3 t為反向同步旋轉的轉子1&所壓縮並輸送至抽入的氣體 出口 4周圍的部位會被加熱 、w 出口 4，所以 =具有，置於鐵芯12中的：：磁中，因為 於加熱至咼溫的出口 4之側邊r 乂馬達Μ可位 (入口侧）無須裝設任何軸承。 八口 3之側邊 在前揭的馬達轉子丨}中 馬達轉子11因-些原因而突然加熱至高U的^即使當 _為馬達框

526311 五、發明說明（11) 架25具有冷卻裝置或結構，所以可避免馬達轉子丨丨過度加 熱’而得以使馬達Μ安全地作業。在本實施例中，冷卻水 循環牙經在馬達框架2 5中的冷卻水管2 6。或者，冷卻氣體 可循ί衣牙經冷卻水管2 6。雖然將本發明應用於螺旋真空幫 浦的實例已說明於第一實施例中，惟本發明之原理亦可應 用於諸如魯氏真空幫浦、爪式真空幫浦等雙軸真空幫浦。 根據本發明之第二實施例之正排量多階魯庆直步幫浦 將參考第5圖與至第6圖而說明如下。 ^二 如第5圖所示，根據第二實施例之正排量多階魯氏真 空幫浦具有一對正對的幫浦轉子3 1，各該幫浦轉子^ 1包含 轉子31a，31b，31c與主軸31d。轉子31a，31b，31c彼此 具有不同的寬度，並以大致上相等的間距間隔而安裝於主 軸31d上。該對正對的幫浦轉子31分別為軸承33所支撐； 且其轉子31a， 31b， 31c係容納於殼體32中。該真空幫浦 具有配置於寬度最大之轉子31 a上方的入口 34，並具 置於寬度最小之轉子31c之下方的出口 35。 八 在第6圖中，有微小的間隙形成於正對的轉子3。 及轉子31b與殼體32之間，而使轉子31b得以非接 旋轉。該對正對的轉子31b係以反向同步旋轉。 / 制在轉子31b與殼體32之間的空間，並將氣體輸送1 35。在此方式中，氣體被連續輪送並由真空室排豆 該真空室設於入口 34的上游端並與入口 3 4相通。 f 與轉子31c的結構係類似於第6圖所示的轉子31b。得于dia 如第5圖所示，馬達Μ具有馬達轉子41安裝於位在入口

526311 五、發明說明（12) 3 4之側邊（入口側）之主軸3 i d之端部之其中之— 上’且定時齒輪36固定於主軸31d的另一個媳却—主軸31d 輪36作用於將幫浦轉子反向同步旋轉。幫端；定時齒 可旋轉的方式而為軸承33所支撐，而轴承位231係以 35之幫浦轉子31的-端部及靠近人口34周3圍靠近出口 幫浦轉子的另-端部。裝附於主軸31^的圍之轉子仏的 以懸臂的方式而為軸承33所支揮。d的馬達轉子㈣ 口 35=;實Γ?:馬達M並未定位於加熱至高溫的出 -4;：ί :例口轉幫：其所產生的熱”二 效率:ί 幫浦具有熱穩定性，並可以高 如第5圖及第6圖所示，容器43配置於馬達轉子^與定 之間，而相對於定子42的内周緣表面環繞。馬達祕配 49二^ 口 34 ^真空在此產生）之侧邊。容器43可避免定子 所^的氣體流入入口 34中，因而維持極佳的真空條 一谷1§43亦可避免輸入的腐蝕性氣體與定子“圈以 疋件發生反應。 馬？祕包各馬達框架44 ’馬達框架“具有螺旋形冷卻 :“5:入其中。用於供電至馬達Μ的馬達驅動器“緊靠 :且固定於馬達框架44的外表面。馬達轉子41所產生的熱 ，依序連續傳經容器43、導熱材料46與馬達框架以，並接 者由馬達框架44輻射出。因此，可進一步改善馬達轉子4ί

526311 五、發明說明（13) --- 的冷卻效果。因為馬達轉子41係以懸臂的方式支撐，所以 容器43具有大的吸熱面積而提高冷卻能力。在直空幫浦 業期間產f熱:的馬達驅動器47亦為馬達框架乜所冷卻。 諸如树爿曰材料的導熱材料4 6係填充於馬達μ的定子室 中，因此作為真空容器的容器43係為導熱材料46所強化。 因此二：使容器43因一些原因而受損壞，在馬達μ的馬達 ΐ ί 5 2 3 ί持，空。導熱材料4 6亦作用為用於減弱來 /、工/ "卩之哭音的材料，因而可降低該噪音。 一雖^广上明應用於魯氏真空幫浦的實例已說明於第 :Ϊ 第二實施例之原理亦可應用於諸如螺旋真 二幫浦、爪式真空幫浦等雙軸真空幫浦。 2 „並詳細說明本發明的特定較佳實施例，惟 應瞭解地疋在不悖離隨附申 同的改變與修改。附I之專利⑯圍的”内可作不 如刖所述，根據本發明可獲得下列優點： (1)因為永久磁鐵係嵌入鐵芯中， 使得機械強度降低或使得认收、A 便U冋/皿而 之黏著劑的黏合強2;:二於：；久磁鐵固定在適當位置 ^也斗、 降低日守’仍可避免該永久磁鐵膨脹， ί ϊ 11磁鐵從馬達轉子脫落並散落。因&，直空幫 浦可以極可靠的方式進行作業。 /、工胷 (2 )因為永久磁鐵传在 # 磁鐵在作業期間破裂。此；鐵：ΪΪ幫因二辈：避免永久 磁鐵因-些原因而受損壞目二真空幫浦作業_，若永久 只晨’則可避免永久磁鐵散落至馬達

526311 五、發明說明（14) 轉子外。因此，馬達可連續正常地作業，而使真空幫浦得 以極可靠的方式進行作業。 (3)即使當半導體製程所使用的腐蝕性氣體為真空幫 浦排出時，仍可避免馬達轉子的永久磁鐵與該腐蝕性氣體 接觸。因此，可避免永久磁鐵受腐餘、磁通量減少及受損 壞。 (4 )關於馬達配置於出口之側邊（出口側）的部分， 因為幫浦轉子係以懸臂的方式支撐，所以入口侧無須配置 軸承。因此，潤滑該軸承所使用之潤滑油等的油氣不會擴 散進入位於入口之上游端的區域。特別地是，在真空幫浦 中無須使用用於避免油氣擴散的複雜轉軸密封機構。因 此，可使真空幫浦簡單且小型化。

313749.ptd 第18頁 526311 圖式簡單說明 [圖式之簡要說明] 第1圖為習知魯氏正排量多階真空幫浦的橫剖面圖； 第2圖為根據本發明之第一實施例之正排量螺旋真空 幫浦的橫剖面圖； 第3圖中根據本發明第一實施例之並顯示於第2圖之正 排量螺旋真空幫浦中的馬達的線段Μ - Π的橫剖面圖； 第4A圖為第3圖所示之馬達的電磁鋼片的前視圖； 第4B圖為第3圖所示之馬達之鐵芯的斜視圖； 第4C圖為第3圖所示之馬達之鐵芯的焊接部位的放大 局部橫剖面圖； 第4D圖為第3圖所示之馬達的馬達轉子的分解斜視 圖， 第5圖為根據本發明之第二實施例之魯氏正排量多階 真空幫浦的橫剖面圖；以及 第6圖為沿著第5圖之線段VI - VI的橫剖面圖。 [符號說明] 1 幫浦轉子 la 、31a 、31b、 > 31c 、 51a、 51b、 51c 轉 子 lb 主 轴 2 殼 體 3 ' 34 > 54 入 D 4、 35 ^ 55 出 π 5 轴 承 6 定 時 齒 輪 11 、41、 57 馬 達轉子 12 > 58 鐵 13 '42、 60 定 子 14 磁 極 齒 部 15 > 48 線 圈 16 電 磁 鋼 片

313749.ptd 第19頁 526311

圖式簡單說明 17 永久磁鐵 17a、17b 磁極表面 18 磁鐵溝槽 19 孔洞 20 凹口 21 焊接凹槽 22 焊接部位 23 側板 24 > 43 容器 25、44 馬達框架 26 冷卻水管 27、46 導熱材料 30 馬達殼體 31 > 51 幫浦轉子 31d 、 51d 主軸 32 ^ 52 殼體 33 > 53 軸承 36 > 56 定時齒輪 45 冷卻水管 61 齒輪殼 313749.ptd 第20頁

Claims (1)

1. 526311 六、申請專利範圍 1. 一種真空幫浦，包含： 具有入口與出口的殼體； 一對正對的幫浦轉子，係設於該殼體中，並可同 步旋轉，而由該入口抽入氣體，並由該出口排出氣 體；以及 用於轉動該正對的幫浦轉子的馬達，該馬達包含 具有定子與馬達轉子的永久磁鐵馬達，該馬達轉子具 有鐵芯與配置於該鐵芯中的永久磁鐵。 2. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中，該馬達轉子 更包含固定在該鐵芯之二個軸向端部的側板，以覆蓋 該永久磁鐵。 3. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中，包含該永久 磁鐵的多數個永久磁鐵係配置於該鐵芯中並圍繞該馬 達轉子的轉軸，以使得該永久磁鐵的個別的磁極面大 致上垂直於該馬達轉子的徑向，以及該鐵芯包含電磁 鋼片的疊層組，該電磁鋼片係於該鐵芯外緣表面上進 行焊接，且焊接位置位在該永久磁鐵之磁極面中心的 徑向上。 4. 如申請專利範圍第3項之真空幫浦，其中，該電磁鋼片 具有個別的凹口界定於外部周緣，且該凹口位置位在 該永久磁鐵之磁極面的中心的該徑向方向上。 5. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中，該馬達轉子 具有覆以保護層的外緣表面。 6. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中，該永久磁鐵

   313749.ptd 第21頁 526311 六、申請專利範圍 馬達係配置於該出口的側邊。 7.如申請專利範圍第6項之真空幫浦，其中，該幫浦轉子 包含以可旋轉的方式而為軸承所支撐的個別的主軸， 用於支撐各該主軸的軸承係定位於由該出口的該側邊 的主軸端部至該幫浦轉子的轉子之區域中的預定位 置，以使得該轉子係以懸臂的方式而為該軸承所支 撐。

   313749.ptd 第22頁