JP4566354B2 - 分子ポンプ - Google Patents
分子ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4566354B2 JP4566354B2 JP2000220009A JP2000220009A JP4566354B2 JP 4566354 B2 JP4566354 B2 JP 4566354B2 JP 2000220009 A JP2000220009 A JP 2000220009A JP 2000220009 A JP2000220009 A JP 2000220009A JP 4566354 B2 JP4566354 B2 JP 4566354B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic body
- molecular pump
- coil
- casing
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体、液晶製造装置等に用いられる分子ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体や液晶の製造装置等において、しばしば使用される複合分子ポンプは、ハウジング内にターボ分子ポンプ部とねじ溝真空ポンプ部とを順次配列して有しており、これらポンプによって凝縮性を有する気体の排気を行なっている。
【0003】
前記凝縮性を有する気体が前記ポンプ内に凝着するのを防止するために、従来はケーシングの外周にヒーターを巻き付けて加熱を行ない、該ケーシングからの熱伝達によって内部のねじ溝真空ポンプ部のステータ等の温度を80℃程度に昇温させるようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ねじ溝真空ポンプ部のステータの温度を80℃程度に昇温させるためには、前記ケーシングを100℃以上に加熱する必要があり、このため、ケーシングの外側にやけど防止用のカバーを設置する必要があった。
【0005】
又、熱伝導や熱放射による熱損失が多く、加熱効率が悪いという問題があった。
【0006】
本発明はこれらの問題点を解消し、ケーシングの外部の温度上昇が抑えられると共に加熱効率の良い加熱装置を備えた分子ポンプを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく、ケーシングの一部をSi−Fe合金又はAl−Fe合金の高電気抵抗を有する強磁性材料からなる第1磁性体に形成すると共に該第1磁性体の内周部に交流電源と接続したコイルを巻設し、更に該コイルの内周部に軟鋼の低電気抵抗を有する強磁性材料からなる第2磁性体を設置して、これら第1磁性体と第2磁性体とが前記コイルを取り囲む構造としたことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態を図1により説明する。
【0009】
図1は第1の実施の形態の複合分子ポンプ1の縦断面図を示し、1aが吸気口、1bが排気口である。
【0010】
複合分子ポンプ1はターボ分子ポンプ部2とねじ溝真空ポンプ部3とからなり、ターボ分子ポンプ部2は複数段の動翼段2aと複数段の静翼段2bとからなる。
【0011】
動翼段2aはロータ4の上部に固定されており、静翼段2bは上部ケーシング6aに固定されている。
【0012】
尚、前記上部ケーシング6aはアルミ合金等の非磁性材料からなっている。
【0013】
前記ねじ溝真空ポンプ部3は2パス式で、前記ロータ4の下部に形成された円筒状部4aの外側に該円筒状部4aと僅かな間隙を存して配設された第1ステータ3aと、前記円筒状部4aの内側に前記円筒状部4aと僅かな間隙を存して配設された第2ステータ3bとからなる。
【0014】
即ち、本実施の形態のねじ溝真空ポンプ部3は、前記円筒状部4aの外周に設けた第1ねじ溝4bと、前記第2ステータ3bの外周に設けた第2ねじ溝3cの2つのねじ溝を有している。
【0015】
尚、前記ロータ4は回転シャフト5に固定されており、該回転シャフト5は磁気軸受7等により回動自在に支承されている。
【0016】
前記第1ステータ3aは軟鋼などの抵抗率が10×10−8乃至20×10−8Ωmの低電気抵抗を有する強磁性材料からなり、該第1ステータ3aが第2磁性体を形成している。
【0017】
又、前記上部ケーシング6aの下方で複数のブラケット6b、6c、6d及び6eからなる中間ケーシング部は、Si−Fe合金又はAl−Fe合金などの高電気抵抗を有する強磁性材料からなり、これら6b乃至6eが第1磁性体を形成している。
【0018】
即ち、シリコン(Si)を4.5パーセント含むSi−Fe合金は62.5×10−8Ωmの抵抗率を有しており、これは軟鋼の抵抗率の3.1倍乃至6.3倍に相当する。
【0019】
又、アルミニウム(Al)を16パーセント含むAl−Fe合金は1.46×10−6Ωm抵抗率を有しており、これは軟鋼の抵抗率の7.3倍乃至14.6倍に相当する。尚、これら合金のシリコン又はアルミニウムの含有量を少なくすると、これら含有量に略比例して抵抗率が減少することが知られている。
【0020】
8はコイルで円環状に形成されており、前記第1磁性体の各ブラケット6b乃至6eと前記第2磁性体の第1ステータ3aとにより、該コイル8は周囲を取り囲まれている。
【0021】
6fは下部ケーシングで、アルミ合金等の非磁性材料からなる。
【0022】
前記上部ケーシング6aと前記中間ケーシング部との間、及び前記下部ケーシング6fと前記中間ケーシングとの間には、それぞれ断熱材9a又は9bを介在させてケーシング相互間の熱伝達を阻むようにしている。
【0023】
次に本実施の形態の複合分子ポンプ1の作動及び効果について説明する。
【0024】
複合分子ポンプ1のコイル8に交流電圧を印加すると、該コイル8を取り囲む磁性体内に交番磁界が誘起され、この交番磁界によって磁性体内に渦電流を生じ、ジュール熱が発生する。
【0025】
第2磁性体を形成する第1ステータ3aは低電気抵抗であるため、流れる渦電流量が大となり、発熱量も大となる。一方、第1磁性体を形成する各ブラケット6b乃至6eは高電気抵抗であるため、第1磁性体側の発熱量は第2磁性体側よりも少なくなる。
【0026】
このようにして、昇温の必要な第1ステータ3aをブラケット6b、6c、6d及び6eからなる中間ケーシング部よりも高温に昇温させて、凝縮性を有する気体がねじ溝真空ポンプ部3に凝着するのを防止することができる。
【0027】
又、コイル8を第1磁性体と第2磁性体とで取り囲んで磁路を形成したので、漏洩磁束損失が少なく、少ない消費電力で効率的にねじ溝真空ポンプ部の加熱を行なえる。
【0028】
尚、前記中間ケーシング部を複数のブラケット6b乃至6eに分割したのは分子ポンプの分解組立て上の便宜を図ったものであり、分割箇所は本実施例と異なってもよい。
【0029】
本発明の第2の実施の形態を図2により説明する。
【0030】
図2は第2の実施の形態の複合分子ポンプ10の縦断面図を示し、アルミ合金等の非磁性の材料からなるケーシング11の外周部に円環状のコイル8を巻設し、該ケーシング11の内周部の前記コイル8と相対する位置に低電気抵抗を有する強磁性材料からなる第1ステータ3aを配置している。
【0031】
即ち、前記第1の実施の形態における第1磁性体を排除して、第2磁性体だけを有する構造とした。
【0032】
本実施の形態もコイル8に交流電圧を印加することにより、第1ステータ3aを加熱して凝着防止を行なう。
【0033】
本実施の形態は、前記第1の実施の形態よりも漏洩磁束損失は増大するが、分子ポンプの製造コストを低減することができる。
【0034】
尚、前記第1の実施の形態及び前記第2の実施の形態において、これら分子ポンプ1及び10は複合分子ポンプであるとしたが、これらはターボ分子ポンプ部を有しないねじ溝真空ポンプのみからなるものであってもよい。
【0035】
【発明の効果】
このように本発明によれば、分子ポンプのケーシングの外周温度を余り上昇させないで、ねじ溝真空ポンプ部の温度を上昇させてガスの凝着の防止を図ることができると共に、加熱のための消費電力を少なくできる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の分子ポンプの第1の実施の形態の縦断面図である。
【図2】本発明の分子ポンプの第2の実施の形態の縦断面図である。
【符号の説明】
1、10 分子ポンプ
3 ねじ溝真空ポンプ部
3a 第2磁性体(ステータ)
6b、6c、6d、6e 第1磁性体(ブラケット)
8 コイル
9a、9b 断熱材
Claims (3)
- ケーシングの一部をSi−Fe合金又はAl−Fe合金の高電気抵抗を有する強磁性材料からなる第1磁性体に形成すると共に該第1磁性体の内周部に交流電源と接続したコイルを巻設し、更に該コイルの内周部に軟鋼の低電気抵抗を有する強磁性材料からなる第2磁性体を設置して、これら第1磁性体と第2磁性体とが前記コイルを取り囲む構造としたことを特徴とする分子ポンプ。
- 前記第2磁性体を分子ポンプのねじ溝真空ポンプ部のステータに形成したことを特徴とする請求項1に記載の分子ポンプ。
- 前記ケーシングの前記第1磁性体の上下両端部に断熱材を配設したことを特徴とする請求項1に記載の分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000220009A JP4566354B2 (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | 分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000220009A JP4566354B2 (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | 分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002031082A JP2002031082A (ja) | 2002-01-31 |
JP4566354B2 true JP4566354B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=18714692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000220009A Expired - Lifetime JP4566354B2 (ja) | 2000-07-21 | 2000-07-21 | 分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4566354B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003269370A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
GB0724837D0 (en) | 2007-12-20 | 2008-01-30 | Edwards Ltd | vacuum pump |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09193111A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-29 | Aica Kogyo Co Ltd | 高周波誘導加熱による無磁性材の接続方法 |
JPH09324789A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Daikin Ind Ltd | 真空ポンプ |
JPH1016435A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-20 | Sony Corp | 電磁誘導加熱型製本装置 |
-
2000
- 2000-07-21 JP JP2000220009A patent/JP4566354B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09193111A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-29 | Aica Kogyo Co Ltd | 高周波誘導加熱による無磁性材の接続方法 |
JPH09324789A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Daikin Ind Ltd | 真空ポンプ |
JPH1016435A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-20 | Sony Corp | 電磁誘導加熱型製本装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002031082A (ja) | 2002-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
BE1019030A5 (nl) | Turbocompressorsysteem. | |
TW526311B (en) | Vacuum pump | |
US8896168B2 (en) | Electric machine having a heat dissipating construction | |
US20180337572A1 (en) | Rotary electric machine | |
JP2005518777A (ja) | 熱伝導ステータ支持構造 | |
JP2019517771A (ja) | 被覆導体のスタックを使用した固定子アセンブリ | |
EP3014083B1 (en) | Supercharging apparatus for a combustion engine | |
EP2401803B1 (en) | Two conductor winding for an induction motor circuit | |
CN108390484A (zh) | 一种带复合护套的高速永磁电机转子结构 | |
JP4566354B2 (ja) | 分子ポンプ | |
JP2002369449A (ja) | 電動機 | |
JP7168689B2 (ja) | 電動冷却液ポンプ | |
JP3912964B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2000270502A (ja) | 回転電気機械 | |
JPH0893687A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
CN208257529U (zh) | 一种带复合护套的高速永磁电机转子结构 | |
JP3456558B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
WO2023170900A1 (ja) | 回転電機 | |
JP2570575Y2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3709298B2 (ja) | 誘導加熱型定着装置 | |
JPH0532789U (ja) | キヤンドモータポンプ | |
TWI324222B (ja) | ||
JP3759057B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2760640B2 (ja) | 電磁ポンプ | |
JP2002043050A (ja) | 誘導発熱ローラ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100622 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4566354 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |